半导式体物性传感器.ppt
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第十一章半导体式物性传感器,1970年,荷兰科学家研制出了对氢离子响应的离子敏感场效应晶体管,标志着离子敏半导体传感器的诞生。由于电子技术的飞速发展,以半导体传感器为代表的各种固态传感器相继问世。这类传感器主要是以半导体为敏感材料,在各种物理量的作用下引起半导体材料内载流子浓度或分布的变化,通过检测这些物理特性的变化,即可反映被测参数值。,- 配套讲稿:
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