等离子清洗机常见问题

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1、等离子清洗机常见问题美国 Plasma Etch Inc等离子处理为什么需要真空环境?在真空环境产生等离子体的原因很多,主要有有两个原因:引入真空室的气体在压力环境下不会电离，在充入气体电离产生等离子体之前必须达 到真空环境。另外,真空环境允许我们控制真空室中气体种类，控制真空室中气体种类对等离子处理 体过程的可重复性是至关重要的。处理效果可以保持多长时间?如处理表面保持干净和干燥，大多数等离子处理后效果可以保持大约48小时，。但保 持时间根据处理过程和产品存放环境而改变。如果需要更长时间保持处理效果，清洗完成后立即真空袋包装将延长保质期。真空等离子处理是如何进行？要进行等离子处理产品，首先我

2、们产生等离子体。首先，单一气体或者混合气体被引入 密封的低压真空等离子体室。随后这些气体被两个电极板之间产生的射频RF）激活，这些 气体中被激活的离子加速，开始震动。这种振动“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。在处理过程中，等离子体中被激活的分子和原子会发出紫外光，从而产生等离子体辉光。温度控制系统常用于控制刻蚀速率。60 - 90摄氏度温度之间刻蚀，是室温刻蚀速度的四 倍。对温度敏感的部件或组件，等离子体蚀刻温度可以控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统已经预编程并集成到等离子体系统的软件中间。设置保存每个 等离子处理的程序能轻松复制处理过程。可以通过向等离子体室中引入不同气体，改变处理

3、过程。常用的等离子处理气体包括 02、N2,Ar,H2和CF4。世界各地的大多数实验室，基本上都使用这五种气体单独或者混合使 用，进行等离子体处理。等离子体处理过程通常需要大约两到十分钟。当等离子体处理过程完成时，真空泵去除 等离子室中的污染物，室里面的材料是清洁，消过毒的，可以进行粘接或下一步程序。什么是等离子体清洗？等离子体清洗是利用用一个叫做等离子体的电离气体去除材料表面所有有机物的过程，通 常是在真空室中利用氧气和氩气进行。清洗过程是一个环境安全的过程，不使用有毒害的化 学物质。去除杂质和污染低压等离子清洗器是一种经济的表面处理方式，一致性好，完全安全，干净。只从处理部 分去除表面的污

4、染物，不影响其它部分材料属性。等离子体处理过程在电路板行业被广泛使用，。等离子体处理比其他表面清洗技术提供了重要的优势。它适用于大范围的材料（金属、塑料、玻璃、陶瓷等）。它是环保的选择。等离子体清洗不需要有害化学溶剂。显著节约成本，可不需要解 决其他处理方法对环境危害的问题。氧气体通常是一个合适的处理气体。溶剂处理后会留下剩余物，等离子清洗能够提供一个完全无残留无的最终产品残。处理消除了脱模剂、抗氧化剂、碳残留物，油,和所有种类的有机化合物。-、小型及实验室等离子设备I.（PE-50）标准配置 功能PE-25PE-50PE-50XLPE-75真空腔6061 T6铝材5”直径x 8” 长（圆柱形

5、）5.5”W x 7”D x3.5”H（长方体）7.5”W x 8.5”D x3.5”H（长方体）12” 直径 x11”D（圆柱体）电极配置：水平，平面3.5” 宽 x 7” 长，2.5 ”高度 间隔4.5”W x 6”D,2”高度间隔7”W x 8”D，2”高度间隔11.5”W x 11”D,5.5 ”高度间隔RF射频电源150W x 50 KHz150 W x 50 KHz400 W x 50 KHz400 W x 50 KHz气体流量-1路模拟转子流量计0-25 cc/min, 第2路选项0-25 cc/min，第2路选项0-25 cc/min；第2路选项0-25cc/min， 第2路选

6、项真空计， 热电偶0-1 Torr0-1 Torr0-1 Torr0-1 Torr显示屏幕包含包含包含包含微处理器控制 系统有，PLC有，PLC有，PLC有，PLCJB油真空泵，氧气服务，2级直驱5 CFM5 CFM5 CFM5 CFM建议处理最大 样品3” x 6”样本4” x 6”样本7”样本8”样本该系列可选系统功能包括1、射频电源：100W 13.56 MHz （高频）射频电源，带自动匹配网络150W 13.56 MHz （高频）射频电源，带自动匹配网络300W 13.56 MHz （高频）射频电源，带自动匹配网络400W 50 KHz （低频）射频电源升级包爱德华真空泵RV12，2级

7、，氧气服务8 CFM爱德华真空泵XDS-10干式涡旋真空泵（无油）6.5 CFM爱德华真空泵XDS-10干式泵消声器JB油真空泵，双级，氧气服务（可以不配增空泵，减去相应价格）JB油真空泵油净化器JB油真空泵排气过滤器3、信号塔/r4、Venus选项息三.PE-25 Venus， PE-50 Venus， PE-50XL Venus， PE-75 VenusVenus 选项.- 基于pc的控制系统-支持2个工作序列编程着理一厂*-过程数据采集-硬拷贝过程数据记录.过程数据压缩打包.-在线监控过程趋势图 VENUS选项包含笔记本和控制软件、桌面式等离子设备(PE-100)标准配置 功能PE-10

8、0PE-200真空腔，6061 T6 铝材，矩形12” W x 14”D x 12”H17”W x 17”D x 14”H三层电极配置：水平，平面9”W x 13”D x 3 层，3” 间隔13”W x 16”D x 3 层，3” 间隔RF射频电源和匹配变压器300 W x100-460 KHz300 W x 13.56 MHz质量流量控制器-1路0-50 cc/min0-200 CC/Min真空计0-1 Torr0-1 Torr基于PC的控 制系统PC软件过程监控PC软件过程监控爱德华RV12真空泵，氧气 服务8 CFM29 CFM真空泵油雾分 离器包含不包含真空泵油过滤 器没有3微米Pla

9、sma EtchW一列适合科研实验室的小型清洗机，具有体积小，集成化高，运 行简单，可靠耐用的特点，以上是我们的几款常用的标准机型，如有需要，请 联系我们。深圳市慧烁机电有限公司（WISBAY）是高科技专业设备的技术服务商，成立于2006年 总部位于深圳，并在上海、北京、武汉、重庆和香港设有分公司。作为多家知名国际公司中国区 授权代理商，慧烁凭借专业有效的沟通，质量可靠的产品，热诚如一的服务”，不断赢得业内 客户的支持。丰富的应用实例覆盖微电子，光学，光通信，高分子医用器械，半导体，食品包装， 药品包装，汽车部件等高科技行业以及大专院校和研究机构。我们的产品和服务包括：1、光固化设备和耗材：固

10、化箱、面光源、点光源、能量计、光导管、及灯管2、表面清洗设备：台式UV/O3清洗机，等离子清洗机3、检漏仪：检漏/流量测试方案，手机手表防水检测，导管检漏测试，血液透析检漏测试等快速接头：新能源快速接头、汽车部件发动机快速接头、自动化快速接 头、制冷快速接头、家电快速接头方案等。出师表两汉：诸葛亮先帝创业未半而中道崩殂，今天下三分，益州疲弊，此诚危急存亡之秋也。然侍卫之臣 不懈于内，忠志之士忘身于外者，盖追先帝之殊遇，欲报之于陛下也。诚宜开张圣听，以光 先帝遗德，恢弘志士之气，不宜妄自菲薄，引喻失义，以塞忠谏之路也。宫中府中，俱为一体；陟罚臧否，不宜异同。若有作奸犯科及为忠善者，宜付有司论其

11、刑赏，以昭陛下平明之理；不宜偏私，使内外异法也。侍中、侍郎郭攸之、费祎、董允等，此皆良实，志虑忠纯，是以先帝简拔以遗陛下：愚 以为宫中之事，事无大小，悉以咨之，然后施行，必能裨补阙漏，有所广益。将军向宠，性行淑均，晓畅军事，试用于昔日，先帝称之曰“能二是以众议举宠为督： 愚以为营中之事，悉以咨之，必能使行阵和睦，优劣得所。亲贤臣，远小人，此先汉所以兴隆也；亲小人，远贤臣，此后汉所以倾颓也。先帝在时， 每与臣论此事，未尝不叹息痛恨于桓、灵也。侍中、尚书、长史、参军，此悉贞良死节之臣， 愿陛下亲之、信之，则汉室之隆，可计日而待也。臣本布衣，躬耕于南阳，苟全性命于乱世，不求闻达于诸侯。先帝不以臣卑鄙

12、，猥自枉 屈，三顾臣于草庐之中，咨臣以当世之事，由是感激，遂许先帝以驱驰。后值倾覆，受任于 败军之际，奉命于危难之间，尔来二十有一年矣。先帝知臣谨慎，故临崩寄臣以大事也。受命以来，夙夜忧叹，恐托付不效，以伤先帝之 明；故五月渡泸，深入不毛。今南方已定，兵甲己足，当奖率三军，北定中原，庶竭驽钝， 攘除奸凶，兴复汉室，还于旧都。此臣所以报先帝而忠陛下之职分也。至于斟酌损益，进尽 忠言，则攸之、祎、允之任也。愿陛下托臣以讨贼兴复之效，不效，则治臣之罪，以告先帝之灵。若无兴德之言，则责 攸之、祎、允等之慢，以彰其咎；陛下亦宜自谋，以咨诹善道，察纳雅言，深追先帝遗诏。 臣不胜受恩感激。今当远离，临表涕零，不知所言。4、