ITO玻璃镀膜简介

《ITO玻璃镀膜简介》由会员分享，可在线阅读，更多相关《ITO玻璃镀膜简介（18页珍藏版）》请在装配图网上搜索。

1、第一章 简介第二章 玻璃玻璃简介 玻璃制造流程 玻璃生产管理第三章 切割及裂片作业说明制程简介 治具规格说明 制程操作说明及制程条件设定 机台故障排除停电处理程序 质量自主检查 其它考前须知第四章 磨边及倒角作业说明 制程简介 治具规格说明 制程条件 机台操作及故障排除 质量自主检查 其它考前须知第五章 清洗作业说明 制程简介 洗净配药方法 制程条件 机台操作及故障排除 质量自主检查 其它意事项第六章 抛光作业说明抛光玻璃作业流程简介抛光原理抛光玻璃之规格第七章 机台简介与制程条件设定抛光机台简介制程条件设说明第八章 抛光五大控制因素的管理3.2 Pad的管理3.3 template的管理研磨

2、剂的管理振幅的管理第九章 机台操作与抛光作业考前须知作业前之确认事项机台操作抛光作业考前须知破片处理程序第十章 研磨剂测量及Pad修正研磨剂测量6.2 Pad的修正第十一章 质量检验作业程序及标准抽检作业质量检验作业第一章 前言1.1 LCD简介l ：液晶屏幕显示器(Liquid Crystal Display)。l ：液晶，遇电场会使液晶分子从平躺状态旋转成站立情况，使光线从无法穿透变成可穿透，进而产生明暗比照的情形。l 依其扭转的程度可分为：(1)型(2)型(3)型，目前公司主要生产的为型及型。l 以图型来区分可分为：(1)七段式适用于计算器、电子表等(2)点矩阵式适用于电子字典、计算机等

3、。l 作动的原理为：组合两片导电玻璃，之间灌入液晶，当导电玻璃通电时，上下两片图形、线路有重迭局部就会产生电场，改变液晶分子方向，即会颢示。 E l 玻璃基板：一般显示器是使用碱石灰玻璃作为基板，即俗称的钠玻璃。此平板玻璃是采用浮法方法制成，所以又称浮法玻璃。所谓的浮法制程(Floating Process)就是熔融的玻璃抽出后先经过锡炉，然后回温至室温，此种方式产出的玻璃称之为浮法玻璃。玻璃基板的一些特性，如外表凹凸、冷热冲击性、钠离子释出量等特性，对产品质量或制程加工性都有重要影响。l 玻璃基板规格：1. 厚度：一般为、mm、等等。2. 外形尺寸：目前厂内比拟常生产之尺寸为300*350、

4、370*480。3. 外表的伤痕、气泡及杂物：有些矩阵图形，布线最小图形为5-10um，因此在璃基皮上的缺陷也应小于5um，最近图形越来越细，有时50um以下的伤痕和杂物都成了问题。4. 玻璃外表的凹凸：(A) 外表粗糙度：在1-2um的范围内屡次重复出的凹凸，其变化通常比人眼的分辨率还小，这种微小的凹凸影响涂覆膜的特性、液晶取向和图形边缘的平整(B) 外表波纹：是周期在1mm以上的外表凹凸，通常有5-20mm的周期，这有可能成为不均匀显示的背景。(C) 翘曲：通常是在基板内出现1-2次的凹凸，翘曲过大的外表波纹在颢示制造过程中的约是，在操作机台上真空吸附基板时不得产生模糊现象；在有矩阵型时，

5、在实施微细图形的光刻工程中不得产生漏气现象；不得出现干预条纹背景等不均匀显示对于上述各项，各种液晶显示器所对应容估计值如下表：有源矩阵TNSTN外表粗糙度Ra100150200-300200-300平整度20mm20mm波纹型翘曲度100um500um500um第二章 玻璃 玻璃简介是 Indium Tin Oxide 三个字的缩写，中文为氧化铟锡；玻璃是在清洁的绝缘素玻璃外表上，以真空镀膜的方法依序镀上层(二氧化硅)及层(氧化铟锡)；膜乃作为阻挡层，因玻璃基板中的碱性成分会微量释出，并渗入液晶中，进而造成液晶电阻率不降，另钠离子会导电造成字肥现象，或使密封胶黏力下降等，故须先镀上一层做为阻隔

6、。薄膜的特性是在可见光区具有高度的穿透性与极佳的导电性，非常商合作为显示器的透明导电极。玻璃结构如以下图所示：素玻璃ITO膜: 2x10-5mm-5mml 膜的特性：1. 在常温下具有良好的导性。2. 禁带较宽，主要吸收在紫外光区，因而对可见光有良好的透过率。3. 膜耐碱不耐酸，用盐酸和硝酸的混合液极易蚀刻。4. 导电膜愈厚，那么面阻抗值愈低；穿透率郄会因膜厚不同而有极小值和极大值，膜厚约在1370处会出现穿透率的极大值。l 膜在颜色上的区分：无色：无色：淡黄色5：金黄色：紫色玻璃的应用：导电玻璃的应用范围很广泛，虽然在制作方法上有所差异，但都是作为显示器的透明电极用，而显示器应用于下游产业更

7、是不胜枚举，以表说明其应用范围：产品面阻值产 品 类 别应 用 范 围30040sq.多用于型，尤其是字型符号和小型点阵l 电子手表、闹钟l 掌上型计算器l 家用电器上的颢示器l 仪表显示l 电子帐簿l 携带型游戏机l 太阳能电池4015sq.多用于型，可制作小型或大型点阵l 膝上型计算机l 摄影机l 小型液晶彩色电视机l 笔记型计算机10以下sq.多用于大面积型，以及其它平面显示器l l l l 膝上型计算机l 笔记型计算机l 液晶彩色电视l 导航显示 玻璃制造流程：流程流程大片玻璃切割、裂片l 将大片玻璃切割成300X350mm尺寸磨邊、倒角l 将切割完之玻璃倒角，并去除所产生之微粒研磨拋

8、光l 产品之玻璃外表须经过研磨处理玻璃清洗l 以高精密洗净法完全洗净玻璃SiO2及ITO鍍膜l 于真空系统内，依序镀上SiO2与ITO膜品檢l 检查并记录产品之穿透率及阻抗特性包裝l 检验合格之产品以包装机包装第三章 切割及裂片作业说明制程简介開箱素玻璃切割裂片磨邊針式輸送帶开箱：利用拔钉器及气开工将木箱、钉子及螺丝松开素玻璃：拿取素玻璃置于切割平台切割：利用钨钢刀轮将由国外买入之浮法玻璃用切割机切割成所需之尺寸，如购入之素玻璃尺寸为1225*1075，将它切割成12片350*300尺寸之玻璃供磨边加工。裂片：依据钨钢刀轮在玻璃做外表X及Y轴上之切割刀痕，以人工方式施以一横向力量使玻璃顺着切割

9、刀痕别离。针式输送带：将裂片完成之玻璃放置于针式输送带，准备进行磨边、倒角作业。 玻璃规格说明目前公司生产之玻璃可依以下方式分类：依产品类别：1. 2. 依玻璃尺寸可分为：1. 2. 3. 依玻璃厚度可分为：1. 2. 3. 4. 素玻璃因供给厂商不同可分割的数量亦不相同，有4切、6切、9切及12切等区分，其外箱皆标示厚度、尺寸及开箱方向，玻璃由仓库调拨进来时，须依规格、尺寸确实清点。 制程条件设定、作业程序说明l 切割机各部位说明：操作盘：X-Y軸手動 進退速度控制急停原點燈鼓風刀輪使用鈕刀座下降刀座上升X玻璃尺寸設定手-自動X-Y運動計數器电控箱：電源ON電源OFFTIMER急停l 切割机

10、参数设定：1. 空气压力总表：kgfcm2 。2. 刀头分压表：kgfcm2 。3. 切割速度：。l 切割前检查步骤：1. 翻开总电源之漏电断器。2. 开启电控箱电源ON。3. 切换至手动模式。4. 检查X、Y轴是否位于机械原点。5. 检查各空气压力表。6. 按下切割台输送运转、刷毛运转和割台运转，使平台清洁并确认运转是否顺畅。7. 设定玻璃尺寸。8. 下刀号数选择。9. 调整刀座之切割尺寸。(参考切割尺寸设定步骤)10. 调整刀轮高度。(参考刀轮更换、调整作业说明)11. 刀轮高度调好后，按刀上上降钮，使刀头全部上升。l 操作说明：1. 电控箱电源ON。2. 切换至手动模式。3. 手动状态下

11、做原点复归。4. 确认原点轴、轴、X/Y连动灯亮。5. 切换至自动模式。6. 切割计数器归。7. 起动切割台、裂片台之鼓风机。8. 踏下切割鼓风机踏板，使桌面浮起。9. 将刀头切至使用位置。10. 将大玻璃放置于切割台上紧靠蓝色PIN点，位置确认后踩下鼓风机踏板使玻璃吸附。11. 刀头确认后，踩下切割踏板即可自动切割。12. 切割完成后踩下裂片台侧之传送踏板，即可将玻璃传送至裂片台。13. 裂片。14. 将裂片完成之玻璃放至针式传送机上。15. 重复上述步骤进行生产。16. 关机时将电控箱之电源Off。l 切割尺寸设定步骤：1. 用卷尺量测欲切割玻璃之正确尺寸，依最大使用效决定刀座切割尺寸之设

12、定。2. 依玻璃轴尺寸设定轴顶PIN距离。2.1 松开Y轴顶PIN之固定螺丝。2.2 调整刻度尺寸和玻璃轴尺寸相同，并对齐固定座后缘。2.3 将螺丝固定，注意勿和刀座行进时有碰撞之虞。3. 将所有刀座之固定螺丝松开。4. 手动刀轴移近顶PIN旁来设定第一刀位置。4.1如前进时刀座会碰到顶PIN，请先将刀座向右移动。4.2 用尺量测顶PIN盘顶点和刀轴之距离。(保持10mm以上之平安距离)4.3 设定好后将刀座固定螺丝锁紧。5. 设定第二刀位置：5.1 将检出器连结至第一刀位置。5.2 将尺寸显示器按RESET键归零。5.3 松开检出器，移动至下一刀座并连结。5.4 依显示器之尺寸调整刀座至设定

13、位置，然后固定。5.5 厘米以下之微调可用检出器之微调器进行。5.6 尺寸微调好后，将刀座固定螺丝锁紧并放检出器。6 将显示器归零，并依上述步骤完成其它刀座设定。7 Y轴刀座之切割尺寸设定方式同上所述。8 未使用之刀座取适当位置固定。9 如切出之玻璃尺寸有误差时，可将检出器再连结至刀座确认，可用刀座微调器做微调。l 尺寸设定标准：切割尺寸设定依系面或面有所不同：1. 磨系面：玻璃尺寸 。2. 磨面：玻璃尺寸 。(299.96300.04)(299.96300.04)(369.96370.04)370*480300*400300*350磨系面尺寸设定(349.96350.40)(399.9640

14、0.04)(479.96480.04)(300.16300.24)(300.16300.24)(370.16370.24)370*480300*400300*350磨R面尺寸设定(350.16350.24)(400.16400.24)(480.16480.24)设定切割尺寸考前须知：1. 顶PIN固定后须使玻璃两侧能同时碰到4个点。2. 检出器移动时速度不宜太快，不可用东西敲打。3. 连结检出器与刀座时，仅须轻轻锁上固定螺丝即可。4. 刀痕太近玻璃边缘时不利于裂片，尺寸设定时须注意。(第一刀与玻璃边缘须有10mm以上平安距)l 刀轮更换、调整作业说明：1. 更换步骤松张刀头固定螺丝将刀头取出。

15、松开刀轮轴挡片。用针将轴退出，并取下旧刀轮。将新刀轮换上，反程序装回刀座。2. 手动将刀轮之刀轴移至切割平台方便作业之位置。3. 准备一片玻璃来当垫片。(厚度同欲切割之玻璃)4. 松开固定螺帽。5. 顺时针旋转高度调整螺帽一圈，使刀轮上升至不接触玻璃的位置。6. 将玻璃垫片置于刀轴下方平台。7. 按下切割降钮。8. 将量表吸附于平台上，探针顶在刀座上方。9. 逆时针慢慢旋转高度调整螺帽使刀轮下降，并同时目测刀轮是否与玻璃接触。移动玻璃垫片来感受刀轮是否接触玻璃。接触玻璃时刀头会轻轻转动，此时停止调整。10. 将量表指针归零。11. 将高度调整螺帽逆时针旋转，下降。(玻璃时)12. 锁紧固定螺帽

16、并移开量表。13. 调整完毕按下切割上升钮。刀轮更换、调整考前须知：1. 刀轮转动须顺畅，不可调整过紧或过松。2. 刀轮轴须时常保养。3. 空压不要太大防止玻璃切割痕过深或刀头受力过大。刀头分压表设定标准如下：l ：kgfcm2 。l ：kgfcm2 。4. 刀轮下压高须按以下规定调整：l ：。l ：。5. 滚轮与玻璃间距隔调整确实，防止碰撞玻璃。 机台故障排除、停电处理程序l 机台故障排除 以下为几个常发生之异常状况发生原因及排除方式：1 原点灯不亮：可能是切割完后，轴及轴发生位移所造成。关掉控制电源，并且移动轴或轴，再开所控制电源，按原点复归，假设仍无法恢复正常须请工务查修。2 切割折断桌

17、面无法浮起：系因鼓风器切换开关阀门松脱，无法切换风量所致，须通知组长或工务查修。3 警报：系因电压不稳而造成警报，须切掉控制电源及总电源重新开启，假设仍无法排除须通知组长或工务查修。4 切下降未同步：系因刀座气缸经久未使用、润滑缺乏所造成，由气压管内添加润滑油，以及调整微调加大气压即可改善。l 停电处理程序1. 方案性停电：1.1 停止切割，将刀轴停在原点位置。1.2 将电源关闭。1.3 翻开电控箱将总开关关闭。2. 临时停电：2.1保持现状并将电控箱内总开关关闭。3. 复机：3.1电控箱内总电开关翻开。3.2电源开关翻开。3.3确认刀轴原点正确。(原点灯亮) 质量自主检查作业前切割人员须与裂

18、片人员确认欲投产之玻璃规格，点检机台各项条件是否符合标准始可开始作业。玻璃切割后，以光标卡尺确认尺寸，另检查玻璃切割线条及是否有缺角不良等，确认无误前方可开始生产，以下为切割质量检验工程、机台点检、不良判定及调整方式：l 切割尺寸检验：1. 磨面切割尺寸检验公差：产品尺寸。2. 磨面切割尺寸检验公差：产品尺寸+。Exp.：磨面尺寸300*350。磨面尺寸。l 点检工程：项 目基 准频 率机台空 压50.5 kgfcm21次班刀头压力0.250.5 kgfcm21次班切割速度721次班顶PIN位置不可碰撞刀头1次班原点位置原点灯亮1次班首件切割精度设定值1次班切割深度亮度适中，无跳线、无玻璃丝1

19、次班裂片状况无缺角、破裂1次班切割面朝上1次班l 机台保养：保养工程保养时机保 养 方 式使用器材台面每日每日须保持台面无玻璃屑及检视台面下的清洁毛刷是否正常动作。刀轮和刀轴每日每切割40片大玻璃须用Air gun吹拭刀轮和刀轴上的玻璃丝，并检视刀痕。气压表每日1. 每日去除气压总表水气，并保持气压在4 kgfcm2以上。2. 各刀轮气压分表须保持0.250.5 kgfcm2之间。3. 假设无法调整至上述条件时，检查检气压管路和零件是否有泄气。鼓风机每日开机后检测鼓风和吸风是否正常，并检视鼓与吸的变换气阀是否松脱。刀具导轮每周每周应做清洁润滑乙次，保持导轮平整顺畅，检查固定螺丝是否松动。量尺和

20、顶PIN每周以酒精擦拭清洁，并在滑块与滑轨上黄油上乙次。传动齿轮键条每周检视齿轮和键条是否有异声，振动和松脱及上黄油润滑。滑块与滑轨每二周每周擦拭后上黄油乙次，并检视滑行是否顺畅和振动。刀座移动滑块每二周光学移动滑块每二周毛刷每月检查毛刷马达是否有异声和振动，皮带是否裂痕和松动，并在轴承上黄油润滑。轴承每月用黄油补充枪按压23次，润滑轴承。机台每月每月应做机台内、外部清洁和防锈工作。l 切割不良判定及调整方式：不良工程状态可能原因处理步骤切割过深切割高线很明显或有玻璃丝产生1.气压过大2.刀轮不利l 1.1玻璃气压范围：kgfcm0.5玻璃气压范围：kgfcml 如气压尚在范围内那么调小气压值

21、，再不行那么更换刀轮。无法裂片或不易裂片用手难将玻璃扳开，或扳破裂1. 气压过小2. 刀轮不利l 将气压调大，如超过标准上限那么更换刀轮。无刀痕没有切割痕迹，无法裂片1. 刀座高度不正确2.刀轮不转动l 校正刀座下压高度。l 检查刀轮是否卡有异物，并用Airgun吹拭。裂片时有突起或刀痕断续1.跳刀2.刀轮转动不顺l 用Airgun吹拭。l 刀轮规律性断续表示刀轮缺角，须立即更换新刀轮。切割面不平整切割断面不平整，严重时呈波浪状1.气压过大2.高度不对3.刀轮不利l 调小气压。l 调整刀座高度。l 更换新刀轮。刀轮下刀点破裂刀轮接触玻璃就破裂1.气压过大2.高度不对3.刀轮下刀点不对l 如切割

22、以下玻璃较易发生，故切割薄板时先将气压调小一点再作业。l 更换板厚时高度未调整好。l 刀轮下刀点不在玻璃上，须将校正原点修改尺寸设定。 其它考前须知l 开箱备料1. 备料人员开箱前须注意OPEN方向，开箱后检查第一片玻璃Tin面是否正确，遇外侧标示不明，应会同组长做确认并确实做到首片检查。2. 搬运玻璃时，须协同两人以上共同进行，防止在运送过程中玻璃倾倒，造成玻璃破裂。3. 未曾作业的新尺寸玻璃须与仓库和工程人员确认浮法方向及切割片数。4. 未切完的玻璃要移动前，最好用木板固定。l 切割作业1. 切割人员拿取玻璃时，应做首片检查确认Tin面是朝上，放置于切割台面，并靠紧蓝色PIN 点。2. 裂片人员首片检查工程包括玻璃尺寸、切割状态、刀轮气压值及确认切割机原点位置。3. 切割每半小时使用Air吹拭刀头及刀轴，防止异物。4. 切割不佳时，可试调整切割刀轮分压压力，但以不超过0.5 Kgfcm2为准。5. 切割完成后再传送，裂片未完成前不可再触动传送踏板。6. 更换刀轮时，须注意刀轮切割方向，切勿反置，防止切割不良。7. 切割裂片人员于操作时须穿载尼龙手套及手术手套及护目镜，防止意外伤害。8. 玻璃切割深度依玻璃厚度不同须做调整，调整方式为刀轮接触玻璃后再下刀，下刀深度如下所示：条：条：条：条9.更换刀轮、玻璃尺寸须由合格之操作人员为之，更换完毕后应立即填写更换记录表。