年产2000吨多晶硅环境影响评价报告

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1、第一章 总 论1.1 前言洛阳中硅高科技有限公司（以下简称洛阳中硅公司）是 2003 年由中 国有色工程设计研究总院、洛阳单晶硅有限责任公司、偃师金丰投资管 理有限公司三家合资组建的一家高科技公司，位于河南省洛阳偃师市高 龙镇石牛村。洛阳中硅公司利用中国有色工程设计研究总院掌握的核心 技术，投资2.2亿元建设的年产300t多晶硅生产线项目，已于2005年底 建成并投入试运行， 2006年6月通过河南省环保局组织的环境保护设施 竣工验收，实现了真正意义上的具有自主知识产权的多晶硅生产技术产 业化，可为单晶硅、硅抛光片生产厂提供优质的多晶硅原料。随着世界各国经济的快速发展，国际性的能源危机问题日趋

2、突出， 使人们认识到地球的化石资源终将耗尽，加上环境保护已提到议事日程， 人类必须寻找新的能源。开发绿色能源、可替代能源已被人们预测为改 变我们未来10年生活的十大新科技之一。利用太阳能发电是人类梦寐以 求的愿望。由于太阳能发电具有清洁、安全、资源相对广泛和充足、寿 命长等其它常规能源所不具备的优点，光伏能源被认为是21 世纪最重要 的新能源。各发达国家纷纷推出了可再生资源和光伏工业发展计划，预 计未来数年光伏行业的增长率将达到 30%，因此电池片、电池组装厂商 急于扩张产能。多晶硅不仅是信息产业最基础的重要原料，而且是能够大规模地实 现光电转换的最理想材料。然而光伏产业链的上游产业硅材料、硅

3、 片厂的产能发展速度远远落后于下游的电池片、电池组件生产厂商。2005 年世界多晶硅产量为28800t，主要为电路级多晶硅，而太阳能级多晶硅 产量仅占总产量的 28.33%。全世界电路级多晶硅产销基本平衡，而由于 太阳能电池每年以 30%以上的速度跳跃式发展，使得太阳能级多晶硅严 重供不应求，价格持续上扬。国际市场预计，太阳能级多晶硅将在未来 57 年持续紧张。2005年我国多晶硅产量仅有180t，而2005年国内多晶硅需求量达 3800t，国内多晶硅市场严重短缺，大量多晶硅需要进口；随着国内经济 的高速发展，多晶硅市场的供需缺口将更大，多晶硅的供需矛盾已成为 制约我国信息产业和光伏产业发展的

4、瓶颈。为此，打破国际技术垄断， 解决多晶硅生产国产化问题已成为当务之急。为适应市场需要，促进我国光伏产业的健康发展，保持电子信息产 业的持续快速发展，国家发改委2005509 号文件明确要求“组织实施可 再生资源和新能源高技术产业界专项”，明确要求“解决我国太阳能电 池用多晶硅原料生产和光伏产业链发展不平衡的问题”。“光伏硅材料 的技术开发”被国家发改委列入可再生资源产业发展指导目录。2005 年 12 月21 日，国家发展与改革委员会发布的第40 号令产业结构调整 指导目录（2005 年本）将“6 英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片制造” 列入当前国家重点鼓励发展的产业、产品。这些都为多晶硅的产

5、业化发 展提供了强有力的政策支持，使我国硅材料产业跨入一个新的发展时期。为了发展壮大我国的多晶硅产业，为集成电路和太阳能电池的发展 提供最基础的原材料，洛阳中硅公司决定以中国有色工程设计研究总院 掌握的多晶硅生产关键技术，利用现有年产300t多晶硅生产的宝贵经验 和基础条件， 2006 年在偃师市高龙工业园区开始实施多晶硅产业化的二 期工程（该项目环评已批复），增加多晶硅生产能力 700t/a， 2006 年底 洛阳中硅公司的多晶硅产量达1000t/a。本项目利用以上条件在洛阳市洛 龙科技园区建设2000t/a超高纯多晶硅集成新工艺高技术产业化项目。根据中华人民共和国环境保护法、国务院1998

6、第253号令建设 项目环境保护管理条例及国家环境保护总局2002第14号令建设项目 环境保护分类管理名录等法规中的有关要求，洛阳中硅公司委托中色 科技股份有限公司承担“洛阳中硅高科技有限公司年产2000吨超高纯多 晶硅集成新工艺高技术产业化项目”环境影响评价工作。评价单位接受 委托后，对拟建厂址及周围地区的自然、社会环境状况进行现场调查、 收集资料，并进行环境质量现状监测的基础上，以工程分析、污染防治 措施及总量控制、清洁生产、环境影响预测及评价、事故风险评价为评 价重点专题，依据“清洁生产、达标排放、总量控制”的原则和环评技 术导则的规定，本着“客观、公正、科学、规范”的精神，编制了本项 目

7、环境影响报告书。2006年9月21日河南省环境工程评估中心在郑州主持召开了该报 告书技术审查会，根据专家技术审查意见，评价单位对该报告书进行了 认真的修改，完成了洛阳中硅高科技有限公司年产 2000 吨超高纯多晶 硅集成新工艺高技术产业化项目环境影响报告书（报批版）。在评价过程中，得到了河南省环保局、洛阳市环保局等部门的热情 指导和大力支持，同时得到了建设单位的积极协助，在此表示衷心感谢！1.2 评价依据1.2.1 有关法律、法规中华人民共和国环境保护法1989年12月26日；中华人民共和国环境影响评价法2003年9月1日；中华人民共和国水污染防治法1996年5月15日；中华人民共和国大气污染

8、防治法2000年9月1日；中华人民共和国固体废物污染防治法2005年4月1日；中华人民共和国噪声污染防治法1996年10月29日；中华人民共和国清洁生产促进法2003年1月1日；建设项目环境保护管理条例国务院(1998)第253号令；建设项目环境保护分类管理名录国家环境保护总局(2002)第 14号令； 国家发展与改革委员会第 40 号令产业结构调整指导目录(2005 本)；(11)国务院关于发布实施促进产业结构调整暂行规定的决定，国 发2005第 40 号；(国家发展与改革委员会发改能源20052517号关于印发可再生 资源产业发展指导目录的通知；(环境影响评价公众参与暂行办法(2006.3

9、.18)；(河南省环境保护局转发环保总局关于环境影响评价公众参与暂 行办法的通知 豫环办20062号；(15) 国务院关于落实科学发展观加强环境保护的决定国发200539 号；(16) 洛阳市环境保护“十一五”计划；(国家环境保护总局关于加强环境影响评价管理防范环境风险的 通知环发2001152号；(18) 河南省环境保护局转发环保总局关于加强环境影响评价管理防 范环境风险的通知豫环办20064 号；(19) 河南省洛阳市城市总体规划(20012010)洛阳市人民政府；(加)洛阳新区总体规划(20022010)洛阳市人民政府。1.2.2 项目文件 洛阳中硅高科技有限公司年产 2000 吨多晶硅

10、高技术产业化项 目环境影响评价委托书； 洛阳中硅高科技有限公司年产 2000 吨多晶硅高技术产业化项 目可行性研究报告，中国有色工程设计研究总院（2006年5 月）； 河南省企业投资项目备案情况公示豫洛市高20060021 号； 关于洛阳中硅高科技有限公司年产2000 吨多晶硅高技术产业化 项目环境影响评价标准的函（2006年9月12日）； 洛阳中硅高科技有限公司年产 2000 吨多晶硅高技术产业化项目 选址意见书（洛城规2006 字第017 号）； 洛阳中硅高科技有限公司年产 300 吨多晶硅高技术产业化项目 竣工环境保护验收监测报告豫环监验字（2006）第 39 号。 洛阳中硅咼科技有限公

11、司年产2000吨超咼纯多晶硅集成新工艺 高技术产业化项目环境影响报告书技术评审意见。123技术标准、规范制定地方大气污染物排放标准的技术方法GB/T13201-91建设项目环境风险评价技术导则HJ/T1692004 ；环境影响评价技术导则HJ/T2.12.3-93 ；环境影响评价技术导则HJ/T 2.4-1995。1.3 评价对象及工程性质评价对象为洛阳中硅咼科技有限公司年产2000吨多晶硅咼技术产业 化项目。工程性质为新建。1.4 评价目的及指导思想1.4.1 评价目的 通过对建设项目周围地区的环境现状调查及监测， 了解评价区 环境质量现状，以及环境敏感点分布情况； 分析本工程采用的生产技术

12、和设备是否符合咼效、 低耗、低污染的清洁生产工艺。根据工程污染因素分析，确定建设项目污染源、污染物产生量。分析工程采用的污染源治理措施的合理性、可行性及 可靠性，稳定运行达到的效果以及污染物最终排放情况； 贯彻“达标排放、清洁生产”原则，最大限度控制污染物的排放 量； 预测项目的建设对周围环境可能造成的影响程度及范围， 对存在的环境风险因素进行识别，提出环境风险预防措施和应急预案； 从环保角度提出建设项目是否可行的明确结论，为领导决策、项目的环境保护设计和环境管理提供科学依据。1.4.2 评价指导思想和方法 依据环境影响评价技术导则及国家有关环保法律、法规、标准， 以科学、公正、实用性为原则，

13、开展环评工作。 贯彻执行“清洁生产、达标排放、总量控制”的原则，促使企业 实现可持续发展。 认真做好工程分析，掌握排污规律，并通过类比国内外先进技术， 分析环保措施的先进性和实用性。 从发展经济和保护环境的目的出发，提出可行的污染防治对策、 措施及建议，为优化工程设计服务，做到社会效益、经济效益和环境效 益的统一。1.4.3 评价总体思路 依据国家、河南省等有关环保法规、环境影响评价技术规定及环 境标准进行评价工作。 贯彻“清洁生产、达标排放、总量控制”、“节约用水”的原则。 根据工程生产工艺及产污环节分析，结合 300 吨多晶硅项目竣工 环境保护验收监测报告和工程设计资料，类比分析并计算确定

14、工程排污源强，根据拟采取的污染防治措施及处理效果进行达标分析，计算工程 主要污染物排放量。 积极推行清洁生产，从工艺过程、装备水平、物耗、能耗等方面， 分析工程清洁生产水平，并提出持续清洁生产方案建议。 在区域环境现状调查、监测与评价的基础上，根据工程分析结果， 预测工程完成后，污染物排放对区域环境空气、声环境等的影响程度和 范围。重点预测工程废气排放对环境空气的影响程度。 对工程拟采取的环保措施的可行性、可靠性进行分析论证，重点 是工程废气处理措施，针对存在的问题提出整改措施建议。 依据环境影响评价公众参与暂行办法的有关规定，采用媒体 公示、口头询问和发放调查表、座谈会等方式征询公众对本项目

15、建设的 意见。 在上述分析论证的基础上，从环保角度对工程的环境可行性作出 明确结论。1.5 环境影响因子及评价因子1.5.1 环境影响因子识别根据本工程的环境污染问题和评价区的环境特征，对本工程施工期 和运行期的主要污染因子进行识别。废气、废水、废渣、噪声是生产运 行期间对环境不利的因素，而其中以废气最为严重，其次是废水，噪声 废渣影响相对较轻。虽然工程对各污染因素均设计采取相应的治理措施， 但仍会对自然环境和人体健康造成影响。当然工程建设将有效地带动当 地工业生产的发展和生活水平的提高。本工程环境影响识别见表1-1。根据表 1-1 分析可知，施工期及运行期的主要环境影响要素如下：施工期机械噪

16、声对周围声环境及生活质量的影响；施工期扬尘对周围环境空气及生活质量的影响；施工期废水对周围水环境可能产生影响；运行期废气对周围环境空气、生态环境及生活质量的影响；运行期废水进入洛阳洛龙科技园区孙辛路污水处理厂，对水环境、生态环境的影响；运行期设备噪声对厂区周围声环境及生活质量的影响表 1-1 环境影响因素识别、一工程活动环境资源施工期运行期施工 噪声施工 扬尘施工 废水施工 固废废气废水噪声固废运输自然 环境环境空气O-OO-OOO-水环境OO-OOOO-O声环境-OOOOO-O-土壤OOO-OOOOO生态 环境农作物O-OO-OOOO植被O-O-OOOO水生动物OOOOOOOOO陆栖动物-O

17、O-O-O-社会 经济社会经济OOOO+劳动就业OOOO+生活 质量自然景观O-O-O公众健康-O-O-环境美学O-O-:影响显著:影响一般O：无影响 +：有利影响-：不利影响1.5.2 评价因子筛选 根据工程排污特征，本次环境影响评价因子见表 1-2 表 1-2 环境影响评价因子表境 要素生产环节大气环境地面水环境声环境生态环境环境现状PM10、HC1、HF、NO2pH、SS、COD、 石油类、F-噪声植被、水土流失施工期2扬尘SS、COD设备噪声挖填方、固废运行期HC1、HF、NO.2pH、SS、COD、crCl-、F-设备噪声/1.6 评价工作等级及范围1.6.1 评价等级确定 环境空气

18、评价等级本工程主要气态污染物为 SiHCl3 还原炉生长多晶硅的硅芯及多晶硅 产品腐蚀处理过程中的NO2、HF,以及生产尾气、制酸尾气中的HC1。 根据工程大气污染物的排放量，依据环境影响评价技术导则大气环 境(HJ/T2.2-93)的评价级别计算方法：()单位时间排放量t /h)9P 等标排放量丿=)x 1091Coi环境空气标准1小时浓度mg/m3各种污染物等标排放量见表 1-3。表 1-3 环境空气评价工作等级确定项目评价因子单位HFHClno2环境标准(C .)mg / m30.020.050.24排放量(Q；)kg / h0.160.2392.6等标排放量(Pi)m3 / h8X10

19、64.78X1061.08X107Pi范围m3 / hP：V2.5X108地形平原评价等级三级注：HC1 小时平均浓度限值为参照工业企业设计卫生标准TJ36-79 “居住区大气中有害物 质的最咼容许浓度”由于各种污染物等标排放量P.均小于2.5 X 108m3/h，各评价因子中i等标排放量NO2最大，为1.08X107 m3/h。根据环评导则，本评价环境 空气评价等级确定为三级。地表水环境本工程排放的废水主要为SiHCl3提纯尾气淋洗废水、硅芯腐蚀废气 处理废水、其它工业废水及生活污水等，分别处理后汇入厂区污水管网, 排入科技园区污水管网，近期排入洛河，待科技园区孙辛路污水处理厂建成运行后排入

20、污水处理厂进一步处理后排入洛河。根据本工程排水量 及排水水质，结合纳污水体现状及水体功能要求，按照导则规定，确定 本次地表水评价等级为三级。确定依据见表1-4。表 1-4 地表水评价等级污水排放量m3/d污水水质复杂 程度地表水域规模地面水质要求评价等级评价因子1000简单中III三级CODr、Cl-、F- 声环境评价等级厂址所在地声环境功能属 GB3096-93 2 类，工程噪声设备主要有 冷冻机、风机、空压机等，噪声值为8091 dB(A)。大部分噪声设备均设 于室内，基本不会造成厂界噪声大的变化。根据环境影响评价技术导 则HJ/T2.4-95关于评价工作等级的划分原则，结合环境敏感区的分

21、 布等综合考虑，声环境影响评价工作等级为三级。 风险评价等级本项目拟建厂址位于规划的工业区内，且厂区单元不构成重大危险 源，根据HJ/T169-2004建设项目环境风险评价技术导则评价工作等 级划分原则(见表1-5)，本工程环境风险评价等级为二级。表 1-5 评价工作级别剧毒危险性物质一般毒性危险物质可燃、易燃危险性物质i爆炸危险性物质重大危险源-一一二-一一-一一非重大危险源二二二二环境敏感地区-一一-一一-一一-一一1.6.2 评价区范围 大气评价区范围：根据评价等级划分、地形特征和重点保护目标 分布，大气评价区范围如下：以厂址为中心，向东、南、西、北各延伸 3km，评价区面积约36km2

22、o 地表水评价范围： 污水管网入洛河排水口上游 300m 处至下游3000m。 噪声评价范围：拟建厂界外 1m。 环境风险评价范围：评价范围为危险源点周围 3km 土壤评价范围：与环境空气评价范围相同。 评价区范围见表1-6 和附图一。表 1-6评价区范围项目评价等级评价区范围大气环境三级36km2 （以厂址为中心，向东、南、西、北各延伸3km）水环境三级污水管网入洛河排水口上游300m处至下游3000m。噪声环境三级厂界土壤/与环境空气评价范围相同环境风险二级危险源点周围3km1.7 环境敏感区域和环境保护目标本工程拟建厂址位于洛龙科技园区内，评价区内敏感点主要为村庄 本次环评的主要保护目标

23、为厂址周围的环境空气及声环境，详见表1-6。表 1-7 主要环境保护目标类别保护目标方位距离（m）环境保护类别环境空气薛屯E400GB3095-1996 二级小营SE500后河N900油房头ENE900李王屯SW1000地表水洛河N1800GB3838-2002 III类声环境厂界/GB12348-90 II类1.8 控制污染根据本工程的排污特征，控制污染的主要内容为：按照大气污染物综合排放标准（GB16297-1996）二级标准控 制SiHCl3提纯及多晶硅还原过程中含HC1尾气，以及多晶硅及硅芯腐蚀 处理过程中产生的NO、HF酸雾排放，确保其达标排放；X 生产废水尽量回收利用，排放的生产废

24、水及生活污水经处理后应满足污水综合排放标准(GB8978-1996)三级标准要求; 工程噪声按工业企业厂界噪声标准(GB12348-90)II类标准 控制，保护区域声环境。 工程产生的固体废物按照综合利用或合理处置的原则进行控制， 避免造成二次污染。1.9 评价执行标准 根据洛阳市环境保护局关于明确洛阳中硅高科技有限公司年产 2000 吨多晶硅高技术产业化项目环境影响评价标准的函，本工程环境 影响评价执行标准见表1-8及表1-9。表 1-9 环境质量标准标准名称及级(类)别项目标准值环 境 质 量 标 准环境空气质量标准(GB3095-1996)二级P叫0年均值0.10 mg/Nm3日均值0.

25、15 mg/Nm3NO2年均值0.08 mg/Nm3日均值0.12 mg/Nm3小时值0.24 mg/Nm3氟化物日均值7 gg/Nm3小时值20 gg/Nm3TJ36-79 居住区大气中有害物质的 最咼容许浓度”HC1日均值0.015 mg/Nm3小时值0.05 mg/Nm3地表水环境质量标准(GB38382002) 111类pH69CODcr20 mg/ LF-1.0 mg/ L石油类0.05 mg/ LSS*200 (参照GB508492二类旱作)城市区域环境噪声标准(GB3096-93) 2 类噪声昼 60 dB (A)夜 55 dB (A)表 1-9 污染物排放标准标准名称及级(类)

26、别项目标准值排 放 标 准大气污染物综合排放标准(GB16297-1996) 二级HC1100 mg/Nm, 1.6kg/h (32m)100 mg/Nm, 0.92kg/h (25m)NO240 mg/Nm, 1.3kg/h (21m)x氟化物9.0 mg/Nm, 0.17kg/h (21m)污水综合排放标准(GB8978-1996) 级表 4pH69CODcr100mg/LF-10mg/LSS70mg/L工业企业厂界噪声标准(GB12348-90)II噪声昼 60dB (A)夜 50dB (A)建筑施工场界噪声限值(GB12523-90)土石方昼 75、夜 55 dB (A)打桩昼85、夜

27、禁止施工结构昼 70、夜 55 dB (A)装修昼 65、夜 55 dB (A)1.10 工程特点与环境特点1.10.1 工程特点本项目生产采用中国有色工程设计研究总院开发研究的具有自主知 识产权的改良西门子工艺。改良西门子工艺在传统的西门子工艺增加了 副产物及热能的回收。使工艺更完整、更节能、更符合环保要求，同时 还结合洛阳中硅高科技有限公司的生产经验，使该生产工艺更具有完整 性、技术先进性、系统可靠性、产品适应性以及可持续发展性的特点。 1.10.2 环境特点厂址位于洛阳市洛龙科技园区内，建设用地为工业用地 ，符合洛阳市城市规划要求；厂址附近敏感点少，最近距离居民区为薛屯村，东距厂界400m；拟建厂址附近无自然保护区、风景名胜及水源保护地。 评价区域平坦开阔。1.11 专题设置及评价重点1.11.1 专题设置本工程环评报告书共设置如下十三个专题:总论 周围环境概况及环境质量现状 工程分析施工期环境影响分析及对策 环境影响预测及评价环境风险评价 污染防治措施及总量控制分析 厂址选择及总平面布置合理性分析清洁生产环境管理与监测计划 环境影响经济损益分析 公众参与环境影响评价结论及对策建议1.11.2 评价重点本次环评以工程分析、环境风险评价、清洁生产工艺评述、污染防 治措施评价及总量控制指标、环境空气影响预测及评价为重点。