《hall传感器》PPT课件

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1、三 、 霍 尔 式 传 感 器 H all sensor 霍 尔 式 传 感 器 是 利 用 霍 尔 效 应 原 理 将 被测 量 如 电 流 、 磁 场 、 位 移 、 压 力 等 转 换 成 电动 势 输 出 的 一 种 传 感 器 。 优 点 : 结 构 简 单 , 体 积 小 , 坚 固 ; 频 响 范围 宽 ( 从 直 流 到 微 波 ) , 动 态 范 围 大 ; 使 用寿 命 长 ,可 靠 性 高 ; 易 微 型 化 和 集 成 电 路 化 。 缺 点 : 转 换 效 率 较 低 ; 受 温 度 影 响 大 。 霍 尔 效 应 H all effect 金 属 或 半 导 体薄

2、片 置 于 磁 感 应 强 度 为 的 磁 场 中 , 当 有 电 流通 过 时 , 在 垂 直 于 电 磁 场 的 方 向 上 将 产 生 电动 势 , 这 一 物 理 现 象 称 为 霍 尔 效 应 , 相 应 的电 动 势 称 为 霍 尔 电 势 。 霍 尔 效 应 在 高 纯 度 半 导 体 中 表 现 很 显 著 ,以 半 导 体 材 料 制 成 的 霍 尔 式 传 感 器 已 广 泛用 于 很 多 领 域 中 。 Lb dB IHEI HUx yz 半 导 体 I Lb dB IHEI HUx yz 半 导 体 I霍 尔 效 应 原 理 图 0E LF F HE H H L UF

3、e E e Uv Bb bF e v B HU b v B Iv nebd电 流 密 度 , 其 中 n为 N型 半 导 体 中的 电 子 浓 度 ,负 号 表 示 电 子 运 动 速 度 方 向 与电 流 方 向 相 反 。 所 以 通 过 半 导 体 的 电 流 的 大小 为 :电 子 运 动 的 速 度 为 :j nevI j b d n e v b d H H HI B I BU R K I Bn e d d 1 1A T )HH RK d (V3 11 ( . )HR m Cne 霍 尔 系 数灵 敏 度 系 数 与 半 导 体 材 料 的 物 理 性 质 和 几 何 尺 寸 有 关

4、 。 HK 物 理 意 义 : 表 示 在 单 位 磁 感 应 强 度 和 单 位控 制 电 流 时 霍 尔 元 件 输 出 的 霍 尔 电 势 的 大 小 。HK 一 般 电 子 的 迁 移 率 大 于 空 穴 迁 移 率 ,故 N型 半 导 体 的 霍 尔 系 数 大 于 P型 半 导 体 的霍 尔 系 数 , 因 此 霍 尔 元 件 多 用 N型 半 导 体材 料 。 由 于 与 元 件 厚 度 d成 反 比 , d越小 , 越 大 , 因 此 一 般 霍 尔 元 件 都 很 薄 。HKHK若 霍 尔 元 件 为 P型 半 导 体 , 载 流 子 为 空 穴 ,( 其 浓 度 为 P)

5、则 霍 尔 电 势 为 :pH I BU e d 当 载 流 材 料 和 几 何 尺 寸 确 定 后 , 的 大 小 正 比 于 控 制 电 流 和 磁 感 应 强 度 , 即 :HUHU I B H HU K I B 因 此 可 用 于 测 量 磁 场 ( I恒 定 ) , 检 测 电 流( B恒 定 ) , 还 可 制 成 各 种 运 算 器 ( I、 B均作 为 变 量 , 可 作 乘 法 器 、 功 率 计 等 ) 。 当霍 尔 元 件 在 一 个 线 性 梯 度 磁 场 中 移 动 时 ,将 反 映 磁 场 的 变 化 , 由 此 可 用 于 检 测 微 小位 移 、 压 力 和 机

6、 械 振 动 等 。 2.霍 尔 元 件 ( 材 料 、 结 构 ) 基 于 霍 尔 效 应 工 作的 半 导 体 器 件 称 霍 尔 元件 。 其 外 形 、 结 构 如 图示 。 霍 尔 元 件 的 结 构 很简 单 , 它 由 霍 尔 片 、 引线 和 壳 体 组 成 。 a bc d 长 度 方 向 的 两 端 面 上 焊 有 两 根 引 线 ( 图中 a,b) 作 为 控 制 电 流 端 引 线 , 焊 接 处 称 控制 电 极 ( 激 励 电 极 ) ,要 求 接 触 电 阻 要 小 并呈 纯 电 阻 。 另 两 侧 端 面 的 中 间 以 点 的 形 式 对 称 焊有 两 根 霍

7、 尔 电 势 输 出 端 引 线 , 焊 接 处 称 霍尔 电 极 , 要 求 欧 姆 接 触 , 电 极 的 宽 度 与 霍尔 片 的 长 度 之 比 要 小 于 0.1, 电 极 位 于 1/2处 ,此 时 霍 尔 电 势 为 最 大 值 。 霍 尔 元 件 的 壳 体 用 非 导 磁 金 属 , 陶 瓷或 环 氧 树 脂 封 装 。 霍 尔 元 件 外 形 、 结 构 和 符 号 霍 尔 元 件 最 常 用 的 材 料 有 : 锗 (Ge)、 硅 (Si)、 锑 化 铟 (InSb)、 砷 化 铟 (InAs)等 锑 化 铟 材 料 霍 尔 系 数 大 , 但 对 温 度 最 敏感 ,

8、受 温 度 影 响 较 大 ; N型 锗 容 易 加 工 制 造 , 其 霍 尔 系 数 , 温 度性 能 和 线 性 度 都 较 好 ; 砷 化 铟 霍 尔 系 数 较 小 , 受 温 度 的 影 响 比 锑化 铟 要 小 ( 温 度 系 数 较 小 ) 且 线 性 度 较 好 。时 多 采 用 锑 化 铟 材 料 。 输 入 1 输 入 2输 出 1 输 出 2磁 性 顶 端引 线衬 底 霍 尔 元 件溅 射 工 艺 制 作 的锑 化 铟 霍 尔 元 件 HHU IU BR B 特 性电 磁 特 性 包 括 特 性特 性3.霍 尔 元 件 的 电 磁 特 性HU I 特 性( 1)指 控

9、制 电 流 与 霍 尔电 势 之 间 的 关 系 。当 磁 场 恒 定 , 在 一定 环 境 温 度 下 , 控制 电 流 与 霍 尔 电 势之 间 呈 线 性 关 系 。 HU B特 性指 霍 尔 电 势 与 磁 场 强 度之 间 的 关 系 。 控 制 电 流一 定 时 , 霍 尔 元 件 的 开路 霍 尔 输 出 随 磁 感 应 强度 增 加 而 增 大 , 但 不 完全 呈 线 性 关 系 , 只 有 当 时 , 才 呈 现 较 好 的 线 性见 图 示 。 B 0.5T 5000Gs ( 即 ) 指 霍 尔 元 件 的 输 入 ( 或 输 出 ) 电 阻 与 磁 场 B 之 间 的

10、关 系 。 R B特 性实 验 结 果 显 示 ,霍 尔 元 件 的 内 阻随 磁 场 绝 对 值 的增 加 而 增 加 , 此现 象 称 为 磁 阻 效应 。 磁 阻 效 应 指 霍 尔 元 件 的 内 阻 随 磁场 的 绝 对 值 增 加 而 增 加 的 现 象 。磁 阻 效 应 产 生 的 本 质 源 于 材 料 中 载 流 子 运动 速 度 具 有 一 定 的 统 计 分 布 。 以 速 度 v2运动 的 电 子 , 当 时 , 电 子 沿 直 线 运 动 ;速 度 为 v1 v2的 电 子 , , 电 子 向 fE方 向 偏 转 ; 速 度 为 v3 v2的 电 子 , , 电 子

11、向 FL方 向 偏 转 , 由 此 造 成 控制 电 流 方 向 电 流 密 度 减 小 , 即 由 于 磁 场 的存 在 增 加 了 元 件 的 内 阻 。L EF f L EF fL EF f 磁 阻 效 应 产 生 机 理 利 用 磁 阻 效 应 制 作 的 元 件 磁 阻 元件 ,可 用 来 测 量 磁 感 应 强 度 等 许 多 非 电 量 。 磁 阻 效 应 的 大 小 除 与 材 料 中 载 流 子 的迁 移 率 有 关 ( 迁 移 率 愈 大 , 磁 阻 效 应 愈 显 著 )外 , 还 与 元 件 的 几 何 形 状 有 密 切 关 系 , 如 长宽 比 愈 小 , 磁 阻

12、效 应 愈 大 。 作 为 霍 尔 式 传 感 器 , 其 磁 阻 效 应 的 存 在会 使 霍 尔 输 出 降 低 , 特 别 在 强 磁 场 时 , 输 出降 低 较 多 , 必 要 时 需 采 用 一 定 的 方 法 予 以 补偿 。 4.霍 尔 元 件 的 误 差 及 其 补 偿霍 尔 元 件 主 要 误 差 及 补 偿 方 法 包 括 两 个 方 面 :( 1) 霍 尔 元 件 的 零 位 误 差 及 其 补 偿不 等 位 电 势 寄 生 零 位 电 势零 位 误 差 感 应 零 电 势 自 激 场 零 电 势 不 等 位 电 势 及 其 补 偿 当 霍 尔 元 件 通 以 控 制

13、电 流 而 不 加 外 磁 场 时 ,其 霍 尔 输 出 端 之 间 仍 有 空 载 电 势 存 在 , 该 电 势称 为 不 等 位 电 势 。产 生 原 因 : 制 造 工 艺 不 可 能 保 证 两 个 霍 尔 电 极 对 称 地焊 在 霍 尔 片 的 两 侧 , 致 使 两 电 极 点 不 能 完 全 位于 同 一 等 位 面 上 ; 霍 尔 片 电 阻 率 及 厚 薄 不 均 匀 ; 控 制 电 极 接 触 不 良 。 产 生 不 等 位 电 势 示 意 图补 偿 方 法 : 工 艺 上 采 取 措 施 , 尽 量 使 霍 尔 电 极 对 称 采 用 补 偿 电 路 霍 尔 元 件

14、等 效 电 路 为 一 个 四 臂 电 桥 , 因 此 可 在 某一 桥 臂 并 上 一 定 电 阻 将 其 降 到 最 小 , 甚 至 为 零 。图 为 几 种 不 等 位 电 势 的 补 偿 电 路 , 其 中 不 对 称 补偿 简 单 , 而 对 称 补 偿 温 度 稳 定 性 好 。霍 尔 元 件 符 号 及 等 效 电 路 X 不 等 位 电 势 的 补 偿 ( a)不 对 称 补 偿( b) 对 称 补 偿 X X X 寄 生 直 流 电 势 当 霍 尔 元 件 通 以 交 流 控 制 电 流 而 不 加 外 磁 场 时 ,霍 尔 输 出 除 交 流 不 等 位 电 势 外 , 还

15、 存 在 一 个 直 流 电势 分 量 , 为 寄 生 直 流 电 势 。 它 随 时 间 变 化 , 会 导 致输 出 漂 移 。产 生 原 因 : 两 对 电 极 不 是 完 全 欧 姆 接 触 而 形 成 整 流 效 应 ; 两 个 霍 尔 电 极 的 焊 点 大 小 不 等 , 热 容 量 不 同 ,引 起 温 差 所 产 生 。 对 此 在 元 件 制 作 和 安 装 时 , 尽 量 使 电 极 欧 姆 接触 , 并 做 到 散 热 均 匀 , 有 良 好 的 散 热 条 件 来 予 以 补偿 。 感 应 零 电 势 及 其 补 偿 霍 尔 元 件 在 交 流 或 脉 动 磁 场 中

16、 工 作 时 , 即 使不 加 控 制 电 流 , 霍 尔 端 也 会 有 输 出 , 此 即 感 应 零电 势 。 它 是 由 于 霍 尔 电 极 的 引 线 布 置 不 合 理 造 成 的 。它 的 大 小 正 比 于 磁 场 变 化 频 率 、 磁 感 应 强 度 的 幅值 以 及 霍 尔 电 极 引 线 所 构 成 的 感 应 面 积 。 其 补 偿方 法 见 图 。 感 应 零 电 势 及 其 补 偿 自 激 场 零 电 势 当 霍 尔 元 件 通 以 控 制 电 流 时 , 此 电 流 会 产生 磁 场 自 激 场 , 当 电 流 引 线 处 于 两 端 面 中间 时 不 影 响

17、霍 尔 输 出 , 反 之 会 有 自 激 场 零 电 势输 出 。 控 制 电 流 引 线 需 合 理 安 排 以 消 除 该 电 势 的影 响 。 ( 2) 霍 尔 元 件 的 温 度 误 差 及 其 补 偿 霍 尔 元 件 由 半 导 体 材 料 制 成 , 而 半 导 体 材 料 的电 阻 率 , 迁 移 率 及 载 流 子 浓 度 等 都 随 温 度 变 化 , 因此 霍 尔 元 件 的 性 能 参 数 如 输 入 和 输 出 电 阻 , 霍 尔 常数 会 随 温 度 变 化 , 致 使 霍 尔 电 势 变 化 , 产 生 温 度 误差 。 砷 化 铟 材 料 温 度 系 数 最 小

18、 。 方 法 有 : 采 用 恒 流 源 供 电 , 输 入 回 路 并 联 电 阻 合 理 选 择 负 载 电 阻 的 阻 值 采 用 恒 压 源 和 输 入 回 路 串 联 电 阻 采 用 温 度 补 偿 元 件 电 路 补 偿 措 施 选 择 温 度 系 数 小 的 材 料 dIBRU HH .constKdxdBdIRdxdU HH 则 B x0.constdxdB 若xKxUH N NSSI x磁 钢 6、 磁 敏 二 极 管 和 磁 敏 三 极 管 磁 敏 二 极 管 、 三 极 管 是 继 霍 耳 元件 和 磁 敏 电 阻 之 后 迅 速 发 展 起 来 的 新型 磁 电 转 换

19、 元 件 。 它 们 具 有 磁 灵 敏 度高 ( 磁 灵 敏 度 比 霍 耳 元 件 高 数 百 甚 至数 千 倍 ) ; 能 识 别 磁 场 的 极 性 ; 体 积小 、 电 路 简 单 等 特 点 , 因 而 正 日 益 得到 重 视 ; 并 在 检 测 、 控 制 等 方 面 得 到普 遍 应 用 。 ( 1) 磁 敏 二 极 管磁 敏 二 极 管 结 构 与 普 通 二 极 管 的 区 别 : 普 通 二 极 管 PN结 的 基 区 很 短 , 以 避 免载 流 子 在 基 区 里 复 合 , 磁 敏 二 级 管 的 PN结却 有 很 长 的 基 区 , 大 于 载 流 子 的 扩

20、散 长 度 ,但 基 区 是 由 接 近 本 征 半 导 体 的 高 阻 材 料 构成 的 。 以 2ACM1A为 例 , 该 磁 敏 二 级 管 的 结 构 是P+iN+型 。 在 本 征 导 电 高 纯 度 锗 的 两 端 ,用 合 金 法 制 成 高 掺 杂 的 P区 和 N区 , 并 在 本 征区 ( i区 ) 的 一 侧 设 置 高 复 合 区 ( r区 ) , 与 r 区 相 对 的 另 一 侧 保 持 光 滑 无 复 合 表 面 , 这 就构 成 了 磁 敏 二 极 管 的 管 芯 。 其 符 号 含 义 , 结构 和 电 路 符 号 如 图 。 电 流(a)结 构 +H+H-N

21、+区p+区 i区 r区 (b)电 路 符 号磁 敏 二 极 管 的 结 构 和 电 路 符 号- 磁 敏 二 极 管 的 工 作 原 理 当 磁 敏 二 极 管 的 P区 接 电 源 正 极 , N区 接 电源 负 极 , 即 外 加 正 偏 压 时 , 随 着 磁 敏 二 极管 所 受 磁 场 的 变 化 , 流 过 二 极 管 的 电 流 也在 变 化 , 即 二 极 管 等 效 电 阻 随 着 磁 场 的 不同 而 不 同 。 为 什 么 磁 敏 二 极 管 会 有 这 种 特 性 呢 ? 下 面 作 一 下 分 析 。 P NP NP NH=0H+H - 电 流电 流电 流( a)(

22、b)( c) 磁 敏 二 极 管 的 工 作 原 理 示 意 图iii 电 子孔 穴复 合 区 结 论 : 随 着 磁 场 大 小 和 方 向 的 变 化 , 可产 生 正 负 输 出 电 压 的 变 化 、 特 别 是 在 较 弱 的磁 场 作 用 下 , 可 获 得 较 大 的 输 出 电 压 。 若 r区 和 r区 之 外 的 复 合 能 力 之 差 越 大 , 磁 敏 二极 管 的 灵 敏 度 就 越 高 。 磁 敏 二 极 管 反 向 偏 置 时 , 则 在 r区 仅 流过 很 微 小 的 电 流 , 显 得 几 乎 与 磁 场 无 关 。 因而 二 极 管 两 端 电 压 不 会

23、因 受 到 磁 场 作 用 而 有任 何 改 变 。 主 要 特 性 : 伏 安 特 性 在 给 定 磁 场 情 况 下 , 磁 敏 二 极 管 两 端 正 向 偏 压和 通 过 它 的 电 流 的 关 系 曲 线 。I kGs2 kGs5.1 kGs10 kGs5.0kGs5.0kGs2 kGs5.1 kGs1 kGs5.1 )电 压 ( V 磁 电 特 性 给 定 条 件 下 , 磁 敏 二 极 管 输 出 电 压 变化 量 与 外 加 磁 场 的 间 的 变 化 关 系 。 弱 磁 场 ( 小 于 0.1T) 下 , 输 出 电 压 与 磁场 强 度 成 正 比 , 并 随 磁 场 强

24、度 的 增 加 趋 于 饱和 。 国 产 磁 敏 二 极 管 2ACM的 磁 灵 敏 度 为10v/T。 磁 敏 二 极 管 的 磁 电 特 性 曲 线B / 0.1T1.0 2.0 3.0-1.0-2.0 0.40.81.21.62.0 -0.4-0.8-1.2-1.6-2.0 B / 0.1T2.0-1.0-2.0 0.40.81.21.62.0 -0.4-0.8-1.2-1.6-2.0 1.0 3kREE=12V( 18V) Td=20(a)单 个 使 用 (b)互 补 使 用U/V U/V 四 种 基 本 电 路 中 ,差 分 接 法 温 度 补偿 好 , 互 补 接 法输 出 对 称

25、 性 好 ,而 桥 式 接 法 温 度特 性 、 对 称 性 、灵 敏 度 都 很 好 。已 有 将 桥 式 接 法集 成 化 构 成 集 成磁 敏 传 感 器 。 温 度 特 性 磁 敏 二 极 管 受 温 度 影 响 较 大 , 特 别 当 温 度 升 高时 , 电 流 急 增 , 电 压 减 小 , 磁 灵 敏 度 下 降 。 U/V T/0 20 400.20.40.60 .81.0 E=6VB = 0.1T 8060-20 I/mA-5-4-3-2-1I磁 敏 二 极 管 温 度 特 性 曲 线U 频 率 特 性 硅 磁 敏 二 极 管 的 响 应 时 间 与 载 流 子 的 有 效

26、 寿 命 相 当 。硅 管 的 响 应 时 间 小 于 1 , 即 响 应 频 率 高 达 1MHz。锗 磁 敏 二 极 管 的 响 应 频 率 小 于 10kHz。sdB 0.1-12-9-6-3 0 1010.01 锗 磁 敏 三 极 管 频 率 特 性 f/kH z (2)磁 敏 三 极 管 磁 敏 三 极 管 的 结 构 NPN型 磁 敏 三 极 管 是 在 弱 P型 近 本 征 半导 体 上 , 用 合 金 法 或 扩 散 法 形 成 三 个 结 即 发 射 结 、 基 极 结 、 集 电 结 所 形 成 的 半导 体 元 件 ,如 图 。 在 长 基 区 的 侧 面 制 成 一个

27、复 合 速 率 很 高 的 高 复 合 区 r。 长 基 区 分为 输 运 基 区 和 复 合 基 区 两 部 。 NPN型 磁 敏 三 极 管 的 结 构 和 符 号rN+N+ce H- H+ P+ b ceb b)符 号ia)结 构 磁 敏 三 极 管 的 工 作 原 理N+ N+N+ cc cy yy ee er rr x xxP+ P+P+b bbN+N+ N + (b) H=H+( c) H=H - 磁 敏 三 极 管 工 作 原 理 示 意 图1-运 输 基 区 ; 2-复 合 基 区1 2 (a) H=0 当 不 受 磁 场 作 用 如 图 (a)时 , 由 于 磁 敏 三 极管

28、 的 基 区 宽 度 大 于 载 流 子 有 效 扩 散 长 度 , 因 而 注入 的 载 流 子 除 少 部 分 输 入 到 集 电 极 c外 , 大 部 分通 过 eib而 形 成 基 极 电 流 。 显 而 易 见 , 基 极电 流 大 于 集 电 极 电 流 。 电 流 放 大 系 数 =Ic Ib 1。 当 受 到 H 磁 场 作 用 如 图 ( b) 时 , 由 于 洛 仑兹 力 作 用 , 载 流 子 向 发 射 结 一 侧 偏 转 , 从 而 使 集电 极 电 流 明 显 下 降 。 当 受 磁 场 作 用 如 图 (c)时 , 载 流 子 在 洛 仑兹 力 作 用 下 , 向

29、 集 电 结 一 侧 偏 转 , 使 集 电 极 电 流增 大 。 H 磁 敏 三 极 管 的 主 要 特 性 伏 安 特 性 /b=5mAIb=4mAIb=3mAI b=2mAIb=1mAIb=0mAIC1.00.80.60.40.20 2 4 6 8 10 VCE/V/mA VC E/VIb=3mA B-= 0.1TIb=3mA B=0Ib=3mA B+=0.1T2 4 6 8 101.00.80.60.40.20IC/mA 磁 敏 三 极 管 伏 安 特 性 曲 线 磁 电 特 性 磁 敏 三 极 管 集 电 极 电 流 的 变 化 与 磁 感 应 强 度 之间 的 关 系 , 是 磁

30、敏 三 极 管 最 重 要 的 工 作 特 性 。 B/0.1TIc/mA0.50.40.30.20.1 1 52 3 4-1-2-3 3BCM磁 敏 三 极 管 电 磁 特 性 温 度 特 性 磁 敏 三 极 管 集 电 极 电 流 与 温 度 的 关 系 。 (a)基 极 电 源 恒 压 (b)基 极 恒 流 3BCM磁 敏 三 极 管 的 温 度 特 性-20 0 20 401.20.80.4 1.6 60B=0B= 0.1T B=0.1TT/基 极 电 源 恒 压Vb=5.7VIC/mA 基 极 恒 流Ib=2mA B=01.20.80.4-20 0 20 401.6 80B= 0.1

31、T B=0.1T T/ (b)IC/mA 对 于 3BCM磁 敏 三 极 管 , 当 采 用 补 偿 措 施 时 , 其正 向 灵 敏 度 受 温 度 影 响 不 大 。 而 负 向 灵 敏 度 受 温 度影 响 比 较 大 , 主 要 表 现 为 有 相 当 大 一 部 分 器 件 存 在着 一 个 无 灵 敏 度 的 温 度 点 , 这 个 点 的 位 置 由 所 加 基流 ( 无 磁 场 作 用 时 ) Ib0的 大 小 决 定 。 当 Ib04mA时 ,此 无 灵 敏 度 温 度 点 处 于 +40 左 右 。 当 温 度 超 过 此点 时 , 负 向 灵 敏 度 也 变 为 正 向

32、灵 敏 度 , 即 不 论 对 正 、负 向 磁 场 , 集 电 极 电 流 都 发 生 同 样 性 质 变 化 。 因 此 , 减 小 基 极 电 流 , 无 灵 敏 度 的 温 度 点 将 向较 高 温 度 方 向 移 动 。 当 Ib0=2mA时 , 此 温 度 点 可 达50 左 右 。 但 另 一 方 面 , 若 I b0过 小 , 则 会 影 响 磁 灵敏 度 。 所 以 , 当 需 要 同 时 使 用 正 负 灵 敏 度 时 , 温 度要 选 在 无 灵 敏 度 温 度 点 以 下 。 ( 3) 磁 敏 二 极 管 和 磁 敏 三 极 管 的 应 用 二 者 统 称 为 磁 敏 管 , 其 优 点 有 : 较 高 的 磁 灵 敏 度 ; 体 积 、 功 耗 小 ; 可 识 别 磁 极 性 。 作 为 一 种 新 型 的 半 导 体 磁 敏 感 元 件 有 着 广 阔的 应 用 前 景 , 与 霍 尔 元 件 相 比 , 其 突 出 优 点 是 磁灵 敏 度 高 , 用 它 测 量 弱 磁 场 ( 可 测 10-7T左 右 的 弱磁 场 ) 在 人 体 磁 信 息 测 量 中 有 一 定 的 应 用 价 值 。

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