特气系统工程技术规范.

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1、特气系统工程技术标准1总 那么1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保平安可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产平安，做到平安适用、技术先进，经济合理。制定本标准。 1.0.2 本标准适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。 1.0.3 本标准不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本标准的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。2术 语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气

2、体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用

3、气生产厂房供给硅烷气体的独立建构筑物或区域。2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热外表的固定地点。2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有剩余压力的气体钢瓶。 2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。2.0.9 气瓶集装格 the bundle of gas cylinders用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组

4、单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为4050L。2.0.10 气瓶柜 gas cabinet (GC)特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、紧急迫断阀、过流开关、风压事故报警、压力监测及报警等平安使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。2.0.11 气瓶架 gas rack (GR)特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急迫断阀、压力监测及报警等平安设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。2.0.12 阀门箱 valve manifold box

5、 (VMB)特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。2.0.13 阀门盘 valve manifold panel (VMP)特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。2.0.14 低蒸汽压力气体 low vapor pressure gas 在室温下的饱和蒸气压小于的气体。

6、2.0.15 尾气处理装置 local scrubber用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气到达规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。2.0.16 气体探测系统 gas detector system(GDS) 设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供给急处理数据的系统。2.0.17 气体管理系统 gas management system(GMS) 包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理

7、系统的气体管理与控制系统的统称。2.0.18 最高允许浓度值 threshold limit value(TLV) 工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。2.0.19 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL) 可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。2.0.20 卧式气瓶 y-cylinder/t-cylinder 用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L，1000L。2.0.21 自燃气体 pyrophoric gas 在空气中会发生自动燃烧的气体。2.0.22 可燃气体 flammable gas 指与空气或氧气能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火

8、源会发生燃烧或爆炸的气体。2.0.23 毒性气体 toxic gas LC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。2.0.24 腐蚀性气体 corrosive gas 是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反响引起可见破坏或不可逆反响的气体。2.0.25 氧化性气体 oxygenize gas 是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反响的气体。2.0.26 惰性气体 inert gas 在一般情况下与其它物质不会产生化学反响的气体。2.0.27 限流孔板 restrict flow orifice(RFO) 限定系统最大流量的一种装置。2.0.28 过流开

9、关 excess flow switch(EFS) 流量超出设定值时，给出开关信号。2.0.29 AP管 annealed and pickled pipe 经过酸洗或钝化、去除外表残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。2.0.30 BA管 bright annealing pipe 经加氢或真空状态高温热处理，消除内部应力并在管道外表形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。2.0.31 EP管 electro-polished pipe经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,外表产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。2.0.32 吹扫 purge 用氮气和氩气对特种气体系统内的其它气

10、体进行置换的过程。2.0.33 排气 vent 特种气体设备与系统中排出的本质气体。2.0.34 数据采集与监视控制系统 supervisory control and data acquisitionSCADA是以计算机为根底的生产过程控制与调度自动化系统。它可以对现场的运行设备进行监视和控制，以实现数据采集、设备控制、测量、参数调节以及各类信号报警等各项功能。2.0.35 工厂设备管理控制系统 facility management control systemFMCS用于管理工厂动力设备的管理控制系统，一般只具有监视功能，不具有控制功能。2.0.36 大宗硅烷系统 bulk silane

11、 system是指容器水容积超过250L的硅烷系统，包括钢瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车(T/T)、ISO标准储罐，以及数量超过7个的独立小钢瓶系统。2.0.37 气体面板 gas panel 集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件并安装在气瓶柜内的专用设施。2.0.38 开敞式建筑 open area 立柱和墙面遮挡局部小于周长的25%的建筑。2.0.39 内向检漏 inboard he leak test 又称喷氦法测试. 采用内部抽真空，外部喷氦气的方法，测试管路系统的泄漏率。2.0.40 阀座检漏 cross seat he leak test 采用阀门上游充氦气，下游抽真空，检测泄

12、漏率的方法。2.0.41 外向检漏 outboard he leak test 又称吸枪法测试，采用管路内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查漏点泄漏率的方法。2.0.42 不相容性 incompatible 不同气体混合后即发生化学反响，释放出能量并对环境产生危害作用的特性。2.0.43 ISO标准储罐 ISO module按国际标准组织ISO要求，允许安装在架子上的多个水容积不超过1218L的储罐或长管气瓶的总称。2.0.44 大宗特气输送系统应用：1集束钢瓶容积小于50L钢瓶数量超过12个以上；2Y型钢瓶；3T型钢瓶；4长管拖车；5ISO槽罐等进行特种气体储存和送气作业的系统。 3特种气

13、体站房一般规定3.1.1 特种气体站房包括布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站和布置在生产厂房内的特种气体间。3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供给特种气体。3.1.3 在生产厂房内的特种气体间内的最大允许储存量见表3.1.3，当生产厂房内的气体储量超过规定数量时，应设计独立的特种气体站。表生产厂房内最大允许储存量序号气体种类气体总量1立方米1可燃气体562毒性气体923剧毒性气体4自燃气体5氧化性气体1706腐蚀性气体92说明: 1 标准状态下的气体体积量.3.1.4 集合工艺设备的布置情况，生产厂房内的特种气体间应集中布置在生产厂

14、房一楼靠外墙的区域。3.1.5 低蒸汽压力特种气体供给设施应尽可能靠近工艺设备。3.1.6 布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、槽车、长管拖车向生产线供给特种气体。气体站房分类3.2.1 特种气体依其物性及平安特性，将其分为可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性气体。3.2.2 布置在生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性气体间。3.2.3 独立布置的特种气体站有硅烷站、氨气站等。特种气体设备的布置3.3.1 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里，如果布置在同一房间，气瓶柜架之间的距离应大于6米。3.3.2 同时具

15、有可燃性和毒性气体应放在可燃性气体间3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、就地尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或相近气体性质的设备应布置在一起。3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2米，特气柜与墙体之间的距离宜大于，特气柜之间的距离宜大于0.1m,气瓶集装格宜靠墙布置。布置应考虑维修与运转空间。3.4.5 硅烷站内长钢瓶拖车宜放置在硅烷站的室外空旷地坪。3.4.6 特种气体系统的电气控制盘、仪表控制盘的布置，应符合以下规定：1 应布置在与特种气体供给设备室相邻的控制室内，隔墙上可以设置防爆密闭观查窗。2 控制室应以耐火极限不小于2h的隔墙和不低于的楼板与特种设备间隔开

16、，穿越隔墙的管道应以防火材料填堵。4特种气体工艺系统一般规定4.1.1 电子工厂的特种气体工艺系统应设置以下装置：1. 储存与送气的气瓶柜、气瓶架、集装格；2. 气体输送与分配用阀门箱或阀门盘；3. 辅助氮气吹扫系统；4. 尾气排放处置系统。4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体使用的平安操作、工艺参数、污染控制的要求。4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不应接入同一排气系统。4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。特种气体输送系统4.2.1 特种气体系统的气瓶柜与气瓶架的设置应符合以下规定1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的气瓶柜用气瓶容积不得

17、大于50L；2 氧化性和惰性气体的气瓶架用气瓶容积不得大于50L；3 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气源瓶单瓶式、双工艺气瓶外置吹扫氮气源瓶双瓶式、双工艺气瓶内置吹扫氮气源瓶三瓶式等多种结构配置；4 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中；5 气瓶柜与气瓶架应设有分配、作业用气体面板，气体面板的要求详见条；6 系统的供给能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实；7 气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压，其排风换气次数不得低于300次/小时；8 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄漏探测器；9 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于，并有防腐蚀涂层。10 气瓶柜门应具备

18、自动关闭功能，并配备防爆玻璃观察窗；11 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的平安标示牌；12 气瓶柜地脚螺栓的设计要满足当地地震烈度的要求。13 当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境时，其设计应符合现行国家标准?爆炸和火灾危险环境电力装置设计标准?GB50058的规定。4.2.2 特种气体气瓶柜与气瓶架的气体面板设置应符合以下规定：1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置尽量靠近气瓶端；2 气瓶压力大于的自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有过流开关；3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫系统；4 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体面板应设有辅助抽真

19、空装置，该管路必须设置止回阀；5 各种特种气体面板均应设置工艺气体排气口；4.2.3 可燃特种气体气瓶柜的设置应符合以下要求1. 硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次小时。气瓶柜的负压应持续监控；2. 自燃性气瓶柜应设置紫外红外火焰探测器；3. 可燃与自燃性气瓶柜应设置水喷淋系统，但是ClF3气瓶柜不应设置水喷淋系统；4. 自燃性气体气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板。4.2.4 大宗特种气体输送系统应设置以下装置1 独立设置的气液瓶、储罐或长管拖车及其压力指示或钢瓶称重装置、连接回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单元、电气控制柜；2 大宗特种气体输送系统的其它功能配备应符合第条的规定；3

20、 大宗特种气体输送系统的供给能力必须经过相应的热力学和流体力学计算核实；4 大宗特种气体输送系统宜单独建站，或置于单独的气体房，并考虑消防间距和物流通道等；5 液化气体瓶的大宗特种气体系统应设计适宜的钢瓶加热与保温装置。6 大宗特种气体应考虑在减压前对气体进行预热。4.2.5 液态特种气体输送系统1 液态特种气体系统包括独立放置的液体槽罐、液体输送柜、连接回型管、推动气体单元、载气单元、吹扫氮气单元、电气控制柜与温度控制装置。2 液态特种气体输送系统利用推动气体的静压力或者采用泵，将液体化学品从大包装槽罐里输送至液体输送柜里的小包装液罐，或者将小包装液罐里的液体直接推动输送至用液点。用液点设置

21、鼓泡器或蒸发器，将液体化学品鼓泡或直接蒸发，以汽化形式输送至工艺反响设备。3 液态特种气体输送柜必需的其他功能配备应符合第条的规定。4.2.6 特种气体系统的阀门箱和阀门盘的设置应符合以下规定1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体系统的阀门箱应设有：1进气管路隔离阀门及压力指示单元；2各分支路独立的压力控制调节、过滤器、过流开关单元；3各分支路独立的进出口隔离阀门；4各分支路独立的吹扫氮气或惰性气体单元；5各分支路独立的辅助抽真空单元等2 惰性及氧化性气体系统的阀门盘应设有：1进气管路隔离阀及压力指示单元；2各分支路独立的压力控制调节阀、过滤器；3各分支路独立进出口隔离阀门。吹扫和排气系统4.3.1

22、 特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合以下要求：1 自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与公用氮气或工艺氮气系统相连；2 不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源；3 吹扫氮气管线必须设置止回阀。4.3.2 吹扫氮气的气体面板设置包括以下部件：1压力调节阀；2排气管；3上下压截止阀；4上下压压力指示；5平安阀4.3.3 特种气体系统的辅助抽真空设置应符合以下要求：1 真空发生器宜采用氮气实现抽真空功能；2 抽真空用氮气可由公用普通氮气提供；4.3.4 工艺排气与废气处理1 特种气体系统的排气管应设置氮气稀释与连续吹扫，防止空气倒流造成污染和腐蚀。2 不

23、相容性气体的排气不得连接进入同一排气主管。3 自燃、可燃、毒性、腐蚀性气体的排气浓度超过燃烧下限20%或最大允许浓度10%时，必须经过尾气处理装置处理后排入厂房排气系统。4 适宜的废气处理装置包括但不限于：1干式处理；2水洗式处理；3加热分解处理；4燃烧处理；5等离子分解处理；6稀释处理；以及以上几种处理方式的结合。 5硅烷站硅烷工艺系统5.1.1 硅烷站工艺系统应根据以下因素确定1 硅烷的危险性质2 硅烷站的规模3 用户对硅烷纯度及压力要求4 用户对硅烷负荷变化情况的要求5.1.2 硅烷站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烷设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进行布置。5.1.3 硅烷输送

24、工艺系统应包括硅烷容器、气体面板、阀门箱以及相应的连接管道。5.1.4 典型的硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫/排气、平安控制等功能。5.1.5 硅烷应采用独立的惰性气体钢瓶进行吹扫，不得采用公用管道氮气吹扫。5.1.6 阀门箱应配置惰性气体吹扫系统、泄漏侦测和火焰侦测。5.1.7 硅烷的放空不得排入局部排风系统，应直接排到大气，或燃烧式尾气处理器。放空管道应使用氮气连续吹扫。放空管道吹扫氮气流速不应低于。5.1.8 钢瓶出口应设置常闭式紧急迫断阀。硅烷站的各平安出口应设置手动紧急迫断按钮，至少有一个手动紧急迫断按钮与输送系统的距离应大于米。5.1.9 硅烷输送系统应采用金属膜片的波纹管阀、隔

25、膜阀、调压阀。气源应配置直径小于的限流孔板。输送系统应配置过流开关。硅烷站的布置5.2.1 硅烷站的布置，应按以下要求综合比拟确定：1 应布置在工厂常年最小频率风向的上风侧，并应远离有明火或散发火花的地点；2 不应布置在人员密集地段和主要交通要道邻近处；3 硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措施。4 硅烷站应设置不燃烧体的围墙，其高度不应小于；5 大宗硅烷站必须布置为独立的开敞式建筑物或空旷区域，不得有地下室。当采用开敞式建筑结构形式时，硅烷站墙面遮挡局部面积不大于建筑外围面积的25%。如果有障碍物，距离应保证大于障碍物高度的2倍。6 硅烷站的选址应方

26、便运输和消防车辆的进出。5.2.2 硅烷站与工厂建筑物、构筑物的防火间距，不应小于表的规定。表硅烷站与其他建筑物、构筑物、道路的防火间距m名称硅烷站储量t55重要公共建筑50甲类仓库20民用建筑、明火或散发火花地点3040其他建筑一、二级耐火建筑1520三级耐火建筑2025四级耐火建筑2530电力系统电压为 35 500kV 且每台变压器容量在10MVA 以上的室外变、配电站工业企业的变压器总油量大于 5t 的室外降压变电站3040厂外铁路线中心线40厂内铁路线中心线30厂外道路路边20厂内道路路边 主要 10次要5注：1 防火间距应按相邻建筑物、构筑物的外墙、凸出局部外缘、气瓶集装格外缘的最

27、近距离计算。2 固定容积的硅烷气罐，总容积按其水容量m3和工作压力绝对压力的乘积计算。3 与高层厂房的防火间距，应按本表相应增加3m。5.2.3 硅烷站的建筑设计应符合现行国家标准?建筑设计防火标准?GB50016的规定。5.2.4 硅烷站可采用有坡度的屋顶，屋顶最低点宜大于米。硅烷站的面积大于19m2时，必须有两个平安出口。5.2.5 站内任何地点到最近平安出口的距离不得大于23m。5.2.6 硅烷站应采用快开式推杆锁，不得采用其它形式的锁具，疏散门应采用平开门，朝向为疏散方向。5.2.7 露天布置的硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺面板之间应距离9米，当距离不到9米时，应采用2小时防火隔断

28、。防火隔断的设置不应影响自然通风。平安技术措施5.3.1 硅烷站的电气控制室应设置在单独的房间内，并用无门窗洞口的防爆墙与硅烷气瓶库隔开。供硅烷站专用的10kV及以下变配电所，不应设置在硅烷站厂房内或贴邻建造。5.3.2 硅烷大宗钢瓶应进行防静电接地。5.3.3 对于抽风管道的泄漏探测器，设定值不应小于0.34%V/V(25% LEL)，报警并自动关闭输送系统。环境监测点设定值不应小于5ppm，报警但不需要切断输送系统。5.3.4 开放式输送系统大宗钢瓶区域必须设置紫外/红外火焰探测器。封闭式输送系统应采用高温探测器。火焰或感温探测器应与报警系统和紧急迫断系统联动。采暖通风与空气调节5.4.1

29、 采用开放式布置的硅烷站，应采取有效的措施，保证自然通风，防止硅烷气体积聚。假设不能满足开放式的条件时，应设置强制通风系统。5.4.2 封闭式硅烷站严禁采用循环空气调节系统。5.4.3 封闭式的硅烷站室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时，室内设计参数宜满足253。5.4.4 封闭的硅烷站应设置独立的连续排风系统。5.4.5 气柜排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板RFO的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%，并保证流经气瓶颈部和管道机械连接处的气流速度不小于1m/s来确定。5.4.6 气瓶组直接安装在封闭的硅烷站内，房间排风量应按照

30、硅烷的最大储存压力下限流孔板RFO的硅烷连续流量计算房间内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。5.4.7 硅烷阀门箱的排风量应按照硅烷的最大储存压力下限流孔板RFO的硅烷连续流量计算气柜内的硅烷浓度，应保证气柜内的硅烷体积浓度小于0.4%来确定。5.4.8 封闭的硅烷站应设置事故通风，事故通风量根据事故泄漏量计算确定，但换气次数不应小于每小时12次。硅烷站外应设置紧急按钮。5.4.9 硅烷站排风系统应设置备用机组。5.4.10 硅烷站空调系统应采用适当措施保证在空调机组维护或故障时，硅烷站能取得足够的补风。5.4.11 硅烷站排风系统、空调系统电源应设置应急电源。5.4.

31、12 空调系统、排风系统风管应采用不燃材料制作。排风风管应采用刚性风管，不得使用柔性风管。空调系统风管保温应采用不燃或难燃保温材料。5.4.13 排风管路严禁穿越防火分区防火墙。排风管路上不应设置溶片式防火阀。5.4.14 排风系统不应与火灾报警系统连动控制，严禁关闭排风系统。消防系统5.5.1 硅烷站的消防应符合以下规定1在发生硅烷火灾时，在没有关闭泄漏钢瓶之前，严禁扑灭硅烷火焰。2在发生火灾时，硅烷钢瓶和使用到硅烷的相关的设备，应有冷却措施。3 硅烷站严禁使用“哈龙灭火器。4 硅烷站的消火栓系统设计应符合?建筑设计防火标准?GB50016-2006中的有关规定。5.5.2 室外硅烷站的消防

32、应符合以下规定1设置在室外的硅烷站，应设置雨淋系统来冷却硅烷的输送系统。保护部位包括硅烷钢瓶、大宗硅烷储罐及相关的工艺气柜。2雨淋系统的设计喷水强度不小于，火灾持续时间不小于2小时。3消防系统的管道应采用金属管材，接口采用丝扣、焊接管件。在站内15m范围内的管道不应采用以橡胶为密封材料的沟槽式连接方式。4 雨淋系统启动时，应同时切断硅烷的供给。5 当室外硅烷站设有屋顶等防雨措施时，在此处可以设置湿式自动喷水灭火系统。设计喷水强度按照严重危险系II级考虑。设计喷水强度，保护面积260m2。6 室外硅烷站的附近应设置室外消火栓，室外消火栓应设置在距大宗钢瓶30m之外且46m之内。5.5.3 室内硅

33、烷房间的消防应符合以下规定1存储和使用硅烷的房间应设置自动喷水灭火系统。设计喷水强度不低于严重危险级I级，设计喷水强度，保护面积260m2。2硅烷气柜应自带冷却用的自动喷水灭火喷头，该喷头为快速反响喷头。6特种气体管道输送系一般规定6.1.1 特种气体输送系统包括特气管道系统、阀门分配系统、工艺设备和尾气处理系统的管道、管件、阀门、过滤器、减压装置、卸压装置、压力表传感器等所有部件。6.1.2 生产厂房内特种气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内，当与水电管线共架时，当相对密度小于或等于的气体管道宜设在水、电管线下部；相对密度大于的特气管道宜设在水、电管线上部。6.1.3 生产车间内的可

34、燃和有毒特气体管道应明敷，穿过生产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的机械连接处，应置于抽风罩内。6.1.4 可燃特气体与毒性特气体管道不得穿过不使用此类气体的房间，当必须穿过时应设套管或双层管。特气管道严禁穿过生活间、办公室。6.1.5 特气管道不得出现不易吹除的盲管等死区，防止U型弯。6.1.6 易燃性特气体与氧化性特气管道，应设置导出静电的接地设施。6.1.7 室外布置的特种气体管道应架空布置。材料选型6.2.1 工艺和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管，内外表应进行洁净和钝化处理。6.2.2 腐蚀

35、性气体管道，宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管。内外表应进行洁净和钝化处理。6.2.3 用于接触工艺气体的阀门的密封座，应尽量减少塑料材质的使用量和外表接触面积，且材质应与气体性质匹配。6.2.4 双层管的外层管道宜选择经过退火处理和酸洗处理的不锈钢管道。6.2.5 排气和尾气真空管道宜采用不锈钢管道，并经过严格的脱脂处理。6.2.6 氧化性气体应采用专用禁油阀门、附件和管材，所有管件按规定进行脱脂处理。管道设计6.3.1 管道的压力等级应根据工艺气体的输送压力确定。管道设计应符合现行国家标准?工业金属管道设计标准?GB50316的要求。6.3.2 管道设计应充分考虑

36、用气设备对流量和压力的要求。应参照现行国家标准?工艺系统工程设计技术规定?进行计算。6.3.3 管材的壁厚应符合现行国家标准?流体输送用不锈钢无缝钢管?GB/T14976的规定，小尺寸管道管壁厚度应满足下述要求:表小尺寸轨道壁厚要求管道外径壁厚要求6mm(1/4)-10mm(3/8)0.89mm(0.035)15mm (1/2)0.04920mm(3/4)25mm (1)0.0656.3.4 液态特气水平管道应有不小于0.3%的坡度，坡向供液设备或收集器。6.3.5 对于强腐蚀性、自燃性和剧毒性危险性气体，宜采用双套管设计，内管走工艺气体。套管间可采用封闭或开放形式。6.3.6 对于输送低蒸汽

37、压气体，需要对管道设置伴热和保温措施。加热温度不宜超过50。6.3.7 特气管道应采用全自动轨道焊接。阀件或管件处应采用面密封连接，不应采用螺纹或法兰连接。6.3.8 特气阀门应采用隔膜阀或波纹管阀，不应采用球阀、旋塞阀等阀门。6.3.9 特气管道连接用密封垫片宜选用不锈钢垫片，垫片与特气的性质必须相容。6.3.10 产生颗粒的阀件下游宜安装过滤器。6.3.11 特气管道系统安装完成后，应根据工艺的要求进行压力测试、密封性测试和不纯物测试。详见特种气体系统验收章节。管道标签6.4.1 特种气体管道必须进行管道标示，标示方法应按本节规定或企业内部管道标示执行。6.4.2 特种气体管路标识应包括气

38、体名称、主要危险特性和流向箭头，并通过各种颜色来表示管道内介质的危险特性。表特种气体管路标示颜色底色意义物质特性物质种类举例字体颜色箭头颜色红色危险极易燃易爆、强毒性气、液体等AsH3，SiH4, CH2F2，PH3，WF6，ClF3， CO，CCl4等白色白色黄色警告腐蚀性，对人体有危害气、液体等HBr，HCl，HF等黑色黑色蓝色平安危害性较小或无危害惰性气体、无毒性物质SF6，Kr/Ne，Xe等 白色白色注：1 红色危险色，表示内容物易燃易爆、且有强毒性。 2 黄色警告色，表示内容物有腐蚀性、毒性，或对人体有危害性。 3 蓝色/绿色平安色，表示内容物危险性很小，或根本没有危险。6.4.3

39、标示应有该物质名称描述，顺序可根据实际情况进行调整。文字描述不仅包括管内物质名称化学物质包含分子式，还应包括特性判定顺序：易燃性、腐蚀性、毒性等其他性质，其中特性的描述以最主要的性质为依据。中、英文及数字式样如下所示：中文黑体粗体字形英文分子式和数字Arial粗体字形图 6.4.2 管道标示SiH4 硅烷易燃易爆气体箭头记号表示管内物质的流动方向，颜色和字体颜色相同，尺寸与标示大小相匹配。6.4.4 标示的尺寸依管径内径变化。如管路名称比拟长，可根据实际情况增加标签的长度。表标示参数与管径的对照管径标示长度标示高度箭头长度字体高度6mm(1/4)150mm615mm1/230mm1.28mm1

40、/410mm(3/8)150mm615mm1/230mm1.28mm1/415mm(1/2)150mm615mm1/230mm1.28mm1/420mm(3/4)200mm820mm3/440mm1.615mm1/2 25mm(1)-50mm(2)200mm825mm140mm1.620mm3/450mm(2)以上300mm1240mm1.560mm2.430mm1.256.4.5 管路上粘贴标签应符合以下规定：1 水平直管局部：管路直径100mm(4)含以下，每隔3m粘贴一张，其中以主要走道上方为基准方位；管路直径100mm(4)不含以上，每隔6m粘贴一张，其中以主要走道上方为基准方位。2

41、垂直直管局部：管路内径100mm(4)含以下，每隔2m粘贴一张，并以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张；管路内径100mm(4)不含以上，每隔4m粘贴一张，并以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张。3 管路的连接处如阀件、弯头，机台与管路的接管处，和穿墙两侧局部都必须粘贴一张。标示的粘贴要遵循整齐的原那么垂直管路上的标示上边缘对齐。标示粘贴的角度要易于识别，使操作人员在操作或紧急突发情况下能迅速辨识。7建筑结构7.0.1 布置于生产厂房的特种气体间的耐火等级不应低于二级。其结构构件的耐火极限应该符合现行国家标准?建筑设计防火标准?GB50016的规定。7.0.2 有爆炸危险的特种气体间的

42、承重结构宜采用钢筋混凝土或钢框架、排架结构，房间应沿建筑外墙布置。7.0.3 有爆炸危险的特种气体应符合现行国家标准?建筑设计防火标准?GB50016的规定设置泄压设施。7.0.4 有爆炸危险的特种气体间的平安出口不应少于2个，且宜分散布置，相邻2个平安出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外，通向疏散走道的门需要满足防火及防爆要求。当爆炸危险房间的面积小于等于100m2，且同一时间的生产人数不超过5人时，可设置一个直接通往室外的出口。7.0.5 惰性气体间的平安出口不应少于2个，且宜分散布置，相邻2个平安出口最近边缘之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外，通向疏散走

43、道的门应为乙级防火门。当惰性气体房间的面积小于等于150m2，且同一时间的生产人数不超过5人时，可设置一个直接通往室外的出口。7.0.6 有爆炸危险的特种气体间与无爆炸危险房间之间，应采用耐火极限不低于4h的不燃烧体防爆墙隔开，防爆墙上不应开设门窗洞口，当设置双门斗相通时，门应错位布置，门的耐火极限不应低于。7.0.7 有爆炸危险的特种气体间的控制室应与该气体房间及相邻其他房间应采用耐火极限不低于的不燃烧体墙体分隔开。7.0.8 特种气体房间的门应向疏散方向开启，有爆炸危险房间的门窗应采用撞击时不产生火花的材料制作。7.0.9 当相对密度小于或等于时，散发较空气轻的可燃性特种气体间，顶棚应平整

44、、防止死角，特种气体间上部应通风良好。7.0.10 当相对密度大于时，散发较空气重的可燃特种气体间，应采用不发火花的地面，并应平整、耐磨、防滑。采用绝缘材料作整体面层时，应采取防静电措施。顶棚外表应平整，防止死角，特种气体房间不应设计地沟，必须设置时，其盖板应严密，防止特种气体的积聚。7.0.11 特气间的高度应满足工艺设备与管道布置的要求，并结合生产厂房的高度统一考虑，不宜低于米。7.0.12 特种气体房间内的装修材料应符合现行国家标准?建筑内部装修设计防火标准?GB50222的规定。8电气与防雷配电与照明8.1.1 特种气体站和特种气体间的电力负荷分级不宜低于二级负荷；可燃、自燃、毒性与腐

45、蚀性气体设备应为一级负荷；气体管理与气体泄漏探测系统为一级负荷中特别重要的负荷，必须配置不间断电源。8.1.2 有爆炸危险特种气体站和特种气体间的爆炸性气体环境内的电力装置应为1区设防，并应符合现行国家标准?爆炸和火灾环境电力装置设计标准?GB50058的规定。8.1.3 特种气体站房的照明灯具宜安装在操作与维修通道处，不宜安装在设备正上方，并应设置备用照明。防雷与接地8.2.1 特种气体间与硅烷站的防雷分类应划分为第二类防雷建筑，应采取防直击雷、防雷电感应和防雷电波侵入的措施。8.2.2 突出屋面的放散管、风管等物体，应按以下方式保护：1 排放爆炸危险气体的放散管、排风管的管口外空间应处于接

46、闪器的保护范围内，并应符合现行国家标准?建筑物防雷设计标准?GB50057中第一类防雷建筑物对管口保护范围的规定。2 排放物达不到爆炸浓度或一排放就点火燃烧的排放爆炸危险气体放散管、排风管；发生事故时排放物才到达爆炸浓度的通风管；排放无爆炸危险气体的放散管；1区和2区爆炸危险环境的自然通风管；装有阻火器的排放爆炸危险气体的放散管、排风管，其防雷保护应符合以下要求：1) 金属物体可不装接闪器，但应和屋面防雷装置相连；2) 在屋面接闪器保护范围之外的非金属物体应装接闪器，并和屋面防雷装置相连。8.2.3 架空敷设的可燃特种气体管道，在进出建筑物处应与防雷电感应的接地装置相连。距建筑100米内的硅烷

47、气管道，宜每隔25米左右接地一次，其冲击接地电阻不应大于20。8.2.4 自燃、可燃、氧化性特种气体设备与管道应采取防静电接地措施。8.2.5 自燃、可燃、氧化性气体的金属管道在进出建筑物处、不同分区的环境边界、管道分岔处及直管段应每隔5080米处应设防静电接地。8.2.6 要求接地的设备与管道应设接地端子。接地端子与接地线之间，可采用螺栓紧固连接；对有震动、位移的设备和管道，其连接处应加挠性连接线过渡。8.2.7 特种气体系统的电气设备工作系统接地、保护接地、雷电保护接地以及防静电接地等不同用途接地采用联合接地方式时，接地装置的接地电阻值应按其中的最小值确定。8.2.8 防静电接地为单独接地

48、时每组接地电阻宜小于100。9生命平安系统特种气体管理系统9.1.1 使用特种气体的生产厂房宜设特种气体管理系统。特种气体管理系统应配置特种气体的连续检测、指示、报警、分析的功能、并且对报警进行记录、存储和打印；特种气体管理系统宜为独立的系统，并宜与工厂设备管理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连。9.1.2 特种气体管理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制室和应急处理中心宜设报警显示单元和集中应急阀门切断控制盘。特种气体泄漏探测系统9.2.1 储存、输送、使用特种气体的以下区域或场所应设置特种气体泄漏探测装置。1 自燃、可燃、毒性气体的使用场所、技术夹层等可能发生气体泄漏处；2 自燃

49、、可燃、毒性气体间；3 自燃、可燃、毒性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；4 生产工艺设备的可燃、自燃、毒性气体接入阀门箱及排风管内；5 生产工艺设备的特种气体的废气处理设备排风口处；6 惰性气体房间氧气探测器。9.2.2 配有PLC的气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘宜通过通讯接口与气体管理控制系统通信。9.2.3 特种气体探测系统可燃、自燃气体、有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警，其中常规的检测报警仅需一级报警，当需要联动控制时，检测装置应具有一级报警和二级报警。在二级报警的同时，输出接点信号至一级报警联动控制系统。9.2.4 自燃、可燃、毒性气体检测装置报警设定值应按以下要求确定：1 自

50、燃、可燃气体的一级报警设定值小于或等于25%可燃气体爆炸下限浓度值，二级报警设定值小于或等于50%可燃气体爆炸下限浓度值。2 毒性气体的一级报警设定值小于或等于50%空气中有害物质的最高允许浓度值，二级报警设定值小于或等于100%空气中有害物质的最高允许浓度值。9.2.5 自燃、可燃、毒性气体检测装置的检测报警响应时间应符合以下规定：1 自燃、可燃气体检测报警：扩散式小于20秒，吸入式小于15秒。2 毒性气体检测报警：扩散式小于40秒，吸入式小于20秒。9.2.6 当相对密度小于或等于时，特气探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处。当相对密度大于时，特气探测器应设置在释放源下方离地面

51、米处。平安设施9.3.1 自燃、可燃、毒性气体的储存、分配及使用场所应设置闭路电视监控摄象机、门禁。9.3.2 自燃、可燃、毒性气体的储存、分配及使用场所入口宜设置发光二级管显示屏LED。9.3.3 自燃、可燃、毒性气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置，灯光颜色应与其它灯光报警装置相区别。9.3.4 在自燃、可燃、毒性气体的储存、分配、使用场所入口处应设紧急手动按钮，主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。9.3.5 在地震多发地区，使用特种气体的主要生产车间宜设置地震探测装置，信号接入气体探测系统。9.3.6 防地震系统设计应符合以下要求:1 气体站房地

52、震仪应在气瓶柜的基座上设置一台，以气体室为基准点，等距离三角形延伸厂区内另两点。地震仪不得设置于人员进出频繁的地点，且应防止受外力干扰而造成误动作；9.3.7 封闭的可燃、自燃气体的特种气体间宜采用防爆红外/紫外火焰探测器。9.3.8 气体站房应配置防毒面具、自吸式防毒面具等平安防护设施气体报警的联动控制9.4.1 气体探测系统确认气体泄漏时，自动启动相应的事故排风装置，并接受反响信号。9.4.2 气体探测系统确认气体泄漏时，自动关闭相关部位的气体切断阀，并接受反响信号。9.4.3 气体探测系统确认气体泄漏时，启动泄漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装置，自动启动应急播送系统。9

53、.4.4 气体探测系统确认气体泄漏后，应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自动释放门禁门，可联动CCTV系統，启动相应区域的摄像机，并自动录像。9.4.5 气体探测系统确认气体泄漏时，信号传至发光二级管显示屏LED，并告知现场人员。9.4.6 地震探测装置探测到里氏5级以上地震，且两台地震探测装置同时报警时，特种气体管理控制系统确认收到的信号后，启动现场的声光报警装置。同时，应关闭气瓶的切断阀，且气瓶柜、气瓶架及阀门箱的阀门必须动作；10给水排水及消防10.1 给水排水10.1.1 管道外表可能结露时，应采取防护措施。10.1.2 特种气站内的用水，除中断供水将造成较大损失外，可以采用单路

54、供水。10.1.3 特种气体站排出的废水，应排入废水处理站处理合格后排放。10.1.4 毒性、腐蚀性气体的特种气体间应设置紧急洗眼器。10.2 消防10.2.1 特种气体间室内外消火栓的设计应符合现行国家标准?建筑设计防火标准?GB50016的规定。10.2.2 特种气体间中应配置手提灭火器，其设计应满足现行国家标准?建筑灭火器配置标准?GB50140的规定。10.2.3 特种气体间内存储的特种气体与水不发生反响时，该特种气体间应设置湿式自动喷水灭火系统。1 喷水强度，保护面积160m2。2 当特气柜中自带水喷淋系统时，在厂房内设置的自动喷水灭火系统应为该系统预留管道和信号阀。10.2.4 特

55、种气体间内存储的特种气体如与水可发生剧烈反响，该特种气体间严禁采用水消防系统。11采暖通风与空气调节通风11.1.1 特种气体间应设置连续的机械通风系统，通风系统应满足气柜的排风要求，并应满足房间最小通风换气次数每小时6次。11.1.2 特种气体气瓶柜和阀门箱应设置机械排风装置。11.1.3 凡属以下情况之一时，应分别设置排风系统：1 两种或两种以上的气体有害物混合后能引起燃烧或爆炸时；2 混合后发生反响，形成危害性更大或腐蚀性的混合物、化合物时；3 混合后形成粉尘。11.1.4 特种气体站房应设置事故通风，事故通风量宜根据事故泄漏量计算确定，但换气次数不应小于每小时12次。特种气体房间外应设

56、置紧急按钮。11.1.5 特种气体排风管道应采用不燃材料制作。11.1.6 可燃气体气瓶柜和阀门箱的排风与主排风管道连接的支管应采用刚性风管，不得使用柔性风管或软管。11.1.7 房间排风口位置应根据特种气体特性确定，当相对密度小于或等于时，房间排风口应设置在房间上部，当相对密度大于时，房间排风口应设置在房间的下部。11.1.8 特种气体间排风，应根据排风的危害性设置相应的处理装置。11.1.9 特种气体间通风系统应设置备用机组。特种气体间通风系统电源应设置应急电源。11.1.10 可燃气体和氧化性气体的排风管应设置防静电接地装置。11.1.11 特种气体站房排风系统不应与火灾报警系统连动控制

57、，严禁关闭排风系统。空调11.2.1 特种气体间宜设置空调系统，并应符合以下规定：1. 室内温度、湿度设计参数应满足气柜的要求。当气柜无具体要求时，室内设计参数宜满足233，3070。2. 不应采用循环空气。11.2.2 空调风管不应穿越特种气体房间之间的分隔墙，当必须穿越时，应安装防火阀。11.2.3 空调系统宜设置备用空调机组，或采用适当措施保证在空调机组维护或故障时，特种气体房间能取得足够的补风。11.2.4 空调系统宜设置应急电源。11.2.5 特种气体间空调风管应采用不燃材料制作，保温采用应采用不燃或难燃材料。11.2.6 空调风管应设置防静电接地装置。12特种气体系统工程施工 一般

58、规定 12.1.1 特种气体系统工程焊接施工除应执行本标准规定外，尚应符合现行国家标准?现场设备、工业管道焊接工程施工及验收标准?GB50236的规定。12.1.2 从事特种气体系统工程施工的单位必须具有相应的施工和检测设备。12.1.3 特种气体系统工程中不锈钢管必须采用全自动轨道氩弧焊机高纯氩气保护焊接，焊工应经过自动焊机操作培训合格持证上岗。12.1.4 安装和试验检测用计量器具应检定合格并在其有效期内使用。12.1.5 特种气体系统工程施工前必须编制专项施工方案，并经业主审批后实施。12.1.6 主要设备与材料进场时应检查产品合格证、质量保证书、性能测试报告及安装、使用、维护和试验要求

59、等技术文件应齐全，规格、型号、数量、设备附件及专用工具应满足合同要求，检验结论应有记录。12.1.7 进口设备、材料进场应提供商检证明和中文的质量合格证明文件、规格、型号、性能测试报告以及中文的安装、使用、维护和试验要求等技术文件。12.1.8 进场设备、材料必须符合本标准和相关技术标准规定，检查结果不符合要求时，不得在工程中使用。12.1.9 设备与材料进场验收、焊接试件鉴定事项，建设单位技术人员必须在场。12.1.10 特种气体间电气工程的安装应符合现行国家标准?建筑电气工程施工质量验收标准?GB50303和?工业自动化仪表工程施工及验收标准?电气防爆和接地的规定。12.1.11 风管系统

60、的安装除应符合本标准的规定外，还应符合现行国家标准?通风与空调工程施工质量验收标准?GB50243的规定。主要设备、材料进场验收12.2.1 气瓶柜进场验收应符合以下要求：1 气瓶柜外包装上防止倾倒、轻放、防雨标识、防震标示完整无损；2 气瓶柜体应由厚度不小于的钢板构成密闭箱体，外表应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应有抽风口和消防喷淋口，柜门下方应有可调节的带空气过滤网的进风口，柜门应有可开启的带防爆玻璃的小门。3 气瓶柜都必须标示气体的名称、化学式、浓度、化学性质和危险标示，气瓶柜内管线、阀体及附件的连接图；4 柜内引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵；5 气瓶柜柜门必须安装能自动关门的闭门器；6 气瓶柜的功能配置必须满足设计及合同要求，不得有缺项。12.2.2 阀门箱、阀门盘进场验收应符合以下规定：1 阀门箱应符合