文丘里的工作原理

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1、Prepared By: ZXWNovember, 2008文丘里和除毒系统的工作原理Venturi Vacuum Generator The world leader in industrial and medical gases Agenda文丘里工作原理介绍1除毒系统工作原理介绍 2 Case study3 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理 高压排空GN2进口手阀VGS放空口文丘里的作用： 抽真空排放 保持氮气流过，排放管道 干燥通畅 单向功能低压排空 外观图 The world leader in indu

2、strial and medical gases 文丘里工作原理 排风表头监控点排风量调节器气柜探头监控点文丘里排放排风：50-200帕斯卡岁修排风降至10% The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理气柜探头监控点气柜探头监控点 除毒装置（ASMC 8”毒性气房和腐蚀性气房有次装置）酸性气柜烷类/毒性气柜酸排风管道vent vent vent 一般排风管道酸排风处理装置环境 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理排气口真空口 文丘里阀门驱动 活塞 阀

3、门驱动弹簧 单向阀 阀座 阀座连续进气口（可选）氮气进气口微流阀（可选）驱动控制端口内部结构图廉价制造方便 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理 排空吸力氮气进口结合伯努利原理与流体连续性方程可以知道，对于理想流体，在细处流速会增加，压强则会减少；文丘里管的窄口处就起到了抽真空的作用。为什么能产生真空效应 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理AP71系列（目前TGCM主要使用）AP72系列真空口最大压力及流速范围 真空口最大承受压力真空口最大承

4、受压力 氮气微流流速氮气微流流速 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理AP72625 S 3PW MV4 FV6 TW4 CB005AP71 S MV4 FV6 TW4 CB009系列材质氮气进口接口类型排空口接口类型真空口接口类型 真空口真空口真空口真空口排放排放N2进口N2进口排放N2进口氮气微流流速625：1/4转隔膜阀540：装配气动阀 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理真空口最大承受压力托，真空度单位。在80 psig (5.5 b

5、ar) ， 60标升/分的氮气流量时的真空度。止回阀最大承受压差驱动压力氮气微流流速 主体活塞 弹簧密封可选密封材料 操作参数材质参数 1torr=133.3pa The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理型号参数 Inch face seal male-英寸面密封公头Inch face seal male-英寸面密封母头Inch tube weld stub-英寸管焊接 slpm-标准升每分钟 The world leader in industrial and medical gases 文丘里工作原理真空口流速/slp

6、m Notes：1. N2进口压力 小于10psig时，文丘里不会产生真空效应。2. 当N2进口压力大于90psig时，再提高进口压力也不会有明显效果。 真空口压力(in-Hg) The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理除什么？- 取出气柜排空而出的含有某种有害物质的气体。怎么除？- 有毒气体在除毒系统筒体内与化学物质反应或燃烧而解毒。 The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理 内部侧视图内部前视图气体进口阀门旁通阀气体出口阀门气体进口压力表GN2

7、进口隔离阀（关）气体出口压力表流量计（关） The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理 部件名称 基本功能By-pass valve 旁通阀如果进口压力过大，切换到旁通管道 Inlet valve 进口阀控制气体进入筒体Outlet valve 出口阀控制气体由筒体排出GN2单向阀防止回流Inlet进气口压力表监控进口压力GN2进口隔离阀控制吹扫氮气开关 The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理工作原理点火点 排风口出口热电偶工艺气进口工艺气放空压力

8、表低压切换燃烧室热电偶变压器溶解环火焰漩涡器变相装置进口出厂设置出口温度不高于200摄氏度工艺气进入燃烧室燃烧后，通过变相装置和漩涡器使之与空气充分混合冷却，从而使出口温度低于设定值。安全装置：温度过热可导致shutdown硅烷、砷烷、磷烷 The world leader in industrial and medical gases 空气进口压力表燃料压力表点火点1显示器排放口温度 燃料流量阀火焰状态显示器点火点2显示器 紧急制动 The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理初始启动程序1.在对Burn-box进行操作之

9、前确保所有装置都已安装完 毕，并且处于“OFF”状态。具体设备包括：电力系统、房间排风、氮气。2.确保所有连接的气体管路都已经做过保压测漏。3.顺时针旋转点火阀，确保点火阀处于关闭状态。4.按动EMO按钮，将STOP/START按钮到STOP键。5.连接设备电源到Fab的断路保护器上。打开前控制面板下面的“POWER DISCONNECT”。 6.顺时针转动EMO阀1/4圈直到EMO阀弹出。检查所有的报警装置处于“ON”状态。7.确保保所有控制装置的显示灯都亮启，红色表示环境温度。确保所有的报警显示都有效，包括Warning、Shutdown、以及Low Air Flow(空气流速低报警) 。

10、 The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理8.打开CDA（80Psi），打开RESET按钮消除所有报警，确认点火控制器SETPOINTS 设置正确；确认排空温度控制器设置正确。9.断开EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）按钮确认排空温度报警有效性。重新连接EXHAUST TEMPERATURE（排空温度）报警，按RESET按钮两次，重置排空高温报警。（消警需要等待数秒）10.打开煤气供应管路，对煤气管路进行检漏，在控制面板上检查点火器的压力表。11.按RESET键两次，重置低燃料压，把STOP/START按

11、钮打到START位置，检查控制面 板上IGNITOR 1 和IGNITOR 2指示灯是否开启，确认点火指示器的红灯开启。12.调整点火流量阀，保持反应箱温度在450到600度之间。当反应箱温度超过200度，按RESET钮两次，重置反应箱体温度。13.确保点火温度指示读数保持平稳。按动EMO，确保EMO保持正常工作。旋转EMO按钮顺时针1/4圈，直到EMO阀弹出。14.打开氮气入口，按动RESET键两次，消除所有报警。 The world leader in industrial and medical gases 除毒系统工作原理普通启动程序1.确保所有对GUARDIAN的维修工作都已经完成，

12、确认并关闭所有相连接的气柜和设备。2.确保所有的手阀处于正确的状态，关闭（开启）前控制面板上的POWER DISCONNECT键。 3.重置一下EMO阀。通过检查排空温度指示检查电源是否连通。4.打开STOP/START键到START，检查ACTIVE FLAME INDICATOR（火焰指示器）是否正常。5.检查IGNITOR氖光灯闪烁正常，确保ACTIVE FLAME INDICATOR处于稳定状态。 The world leader in industrial and medical gases Case study在做次级吹扫时发现抽真空抽不下去，请问由哪些可能的原因？ VMB和GC的氮气同时开着，文丘里压力偏低，会导致什么后果？如何解决？ 8”HCl气柜文丘里抽真空时，氮气压力开大，面板压力越来越大？ 文丘里校零后，抽真空抽不到负压？排空困难，PT校验不准，需要换文丘里真空度不够，调高GN2压力，将VMB/GC的氮气关掉，只使用一个；打电话给空分查明情况。文丘里排放管道与酸排放接口处堵住导致氮气倒灌。文丘里校零时本应该关掉，排放口与空气相通。但如果文丘里常开导致校零时处于负压。 The End