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1、无 尘 室 简 介F5 总 务 课 张 月 雷2 0 1 5 年 2 月 2 5 日 目 录 一 、 无 尘 室 概 念 二 、 无 尘 室 控 制 项 目 三 、 百 级 区 域 气 流 分 析 四 、 particulate控 制 要 点 五 、 particulate控 制 重 要 区 域 六 、 总 结 无 尘 室 (Clean Room)的 起 源 。 无 尘 室 的 重 要 性 。 无 尘 室 的 分 类 。 前 言 无 尘 室 立 面 图 技 术 夹 层无 尘 室 高 架 地 板 干 盘 管功 能 ： 温 度 调 节MAU功 能 ： 湿 度 调 节 F5 厂 无 尘 室 采 用
2、： MAU+FFU+DC 系 统 即 是 组 合 式 新 风 机 组（ Make-up Air Unit） + 风 机 过 滤 器 单 元 （ Fan Filter Unit） + 干 盘 管 （ Dry coil） 系 统 。 布 局 如 下 图 所 示 。一 、 无 尘 室 概 念新 风 管 道 一 、 无 尘 室 概 念T-GRID (T型 网 格 ) 高 架 地 板 FFU 干 盘 管 一 、 无 尘 室 概 念FFU和 HEPA（ High efficiency particulate air Filter） 温 湿 度 感 应 模 块 MAU 亚 克 力 隔 间 （ 百 级 区 ）
3、 组 合 式 新 风 空 调 箱 构 造 一 、 无 尘 室 概 念 测 量 结 果 换 算 ： 将 2.83L气 体 体 积 粒 子 数 换 算 成 1立 方 英 尺 （ 28.3L）粒 子 数 ， 并 比 较 相 应 的 洁 净 度 等 级 要 求 ， 确 定 是 否 合 格 。 二 、 无 尘 室 控 制 项 目 USA Federal Standard 2 0 9 E 1 9 9 2 -2 0 0 1 三 、 百级区域气流分析之无尘室模型图 三 、 百级区域气流分析示意图 四 、 particulate控 制 要 点 四 、 洁 净 室 的 发 尘 源 五 、 particulate控 制 重 要 区 域 产 生 垃 圾 、 灰 尘 的 站 别风 淋 室物 料 区更 衣 室 六 、 总 结 人 是 洁 净 室 最 大 的 污 染 源 。 洁 净 室 是 一 个 环 境 ， 洁 净 室 的 效 用 能 否 充分 发 挥 ,不 仅 取 决 于 设 计 、 施 工 的 质 量 ,也取 决 于 日 常 维 护 管 理 的 水 平 ！
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