罕王微电子有限公司罕王微机电高科技产业园项目(一期)立项环境评估报告书

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1、罕王微电子（辽宁）有限公司罕王微机电高科技产业园项目（一期）环境影响报告书（简本）建设单位：罕王微电子（辽宁）有限公司评价单位：辽宁辐洁环保技术咨询有限公司2013年3月目 录1 建设项目概况11.1 建设背景及基本内容11.2 规划及产业政策相符性分析22 建设项目周围环境现状52.1 项目所在地环境现状52.2 建设项目环境影响评价范围53 建设项目环境影响措施及预测分析73.1 运营期废气73.1.1 废气治理措施73.1.2 大气环境影响预测83.2 运营期废水93.2.1 废水治理措施93.2.2 地下水环境影响预测93.3 运营期噪声113.3.1 噪声治理措施113.3.2 噪声

2、环境影响预测133.4 运营期固体废物133.5 施工期环境影响分析143.5.1 对公共设施和服务的影响143.5.2 施工扬尘的影响143.5.3 汽车尾气143.5.4 施工废水153.5.5 施工噪声153.5.6 施工弃土与回填153.5.7 小节163.6 环境风险预测分析163.7 经济损益分析173.8 环境监测计划及环境管理制度173.8.1 环境监测计划173.8.2 环境管理制度184 公众参与204.1 公众参与的目的204.2 调查范围与方式204.3 公众参与调查结果分析204.4 小结225 环境影响评价结论231 建设项目概况1.1 建设背景及基本内容为进一步完

3、善产业链条，推动产业升级，本着引进国外先进技术以推进中国相关高新科技产品产业化发展的理念，缩小微机电系统传感器及装置产业化生产制造技术国内外的差距，发展高端传感器和微机电系统装置，罕王微电子（辽宁）有限公司决定在抚顺经济开发区建设罕王微机电高科技产业园，该产业园总投资30亿人民币，占地1000亩，将引进国外先进技术，生产和销售微机电系统芯片产品及其应用领域的配套产品，将新建生产厂房、配套设施、技术服务中心、市场开发等完善设施。其中包括4.5级芯片生产超净间，万级和十万级芯片封装超净间。该产业园的建设将分三期进行，本项目为一期工程，总投资为60000万人民币，主要建设内容为芯片生产车间、芯片封装

4、车间、传感器系统安装车间以及相关配套设置，主要产品为MEMS压力传感器、加速度计以及陀螺仪等，年产量为1.2亿只。项目组成表见表1-1。表1-1 项目组成项目名称规模及内容性质主体工程芯片生产车间主要进行芯片的前端生产，主要工艺为硅片清洗、薄膜沉积、扩散、光刻等新建芯片封装车间主要负责工艺后端，主要工艺为切割、点胶、固化、印刷等新建传感器组装车间传感器安装，主要工艺为点胶、固化、组装等新建公用工程给水开发区管网依托排水生产废水经各处理设施处理后与生活污水共同进入三宝屯污水处理厂依托供电市政电网，在厂内新建11KV变配电所依托供暖抚顺经济开发区水暖公司依托氮气、氢气大宗气站新建辅助工程生产支持楼

5、a4层，面积为13044m2新建生产支持楼b4层，面积为8402m2新建仓库3层，面积为4035m2新建化学品库1层，面积为1358m2新建气体存储库1层，面积为461 m2新建环保工程废气酸性废气喷淋塔2套碱性废气喷淋塔2套区域除害装置2套炭纤维废气净化器3套新建废水清污分流管网新建酸碱废水中和处理、生物接触氧化处理、化学沉淀处理、研磨废水絮凝处理、含氨废水吹脱+硝化处理新建进入三宝屯污水处理厂依托噪声治理采用低噪声设备，同时对各类机泵采用消、吸/隔音设施及减振措施新建绿化厂区绿化30%新建1.2 规划及产业政策相符性分析2011年抚顺市经济开发区委托辽宁省环境科学研究院编制了抚顺市经济开发

6、区及周边54.84km2控制性详细规划环境影响报告书，2013年2月22日，辽宁省环境保护厅以辽环函201357号关于抚顺市经济开发区及周边54.84km2控制性详细规划环境影响报告书的审查意见出具了审查意见。本项目位于抚顺经济开发区二类工业用地内，因此，项目选址符合相关规划的要求。根据产业结构调整指导目录（2011年本），与本项目相关内容为鼓励类第19条：集成电路设计，线宽0.8微米以下集成电路制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网格阵列封装（PGA）、芯片规模封装（CSP）、多芯片封装（MCM）等先进封装与测试；第20条：集成电路装备制造；第21条：新型电子元器件（片式元器件、频率元器件、

7、混合集成电路、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高密度印刷电路板和柔性电路板等）制造；第32条：医疗电子、金融电子、航空航天仪器仪表电子、传感器电子等产品制造。本项目以8英寸芯片为基本原材料，经过加工、封装，最终产品为MEMS（微机电系统）传感器，其主要应用于汽车、医疗、消费电子等领域，属于鼓励类项目，符合产业结构调整指导目录（2011年本）的要求。根据辽宁省产业发展指导目录（2008年本），与本项目相关内容为鼓励类第五大条第3条：新型传感器开发及制造。本项目以引进国外先进技术推进中国高科技产品的产业化发展为理念，开发生产的高端微机电系统传感器达到世界水平，符合辽宁省

8、产业发展指导目录（2008年本）的要求。根据外商投资产业指导目录（2011年修订），与本项目相关内容为鼓励类第十七大条第14条：汽车电子装置制造与研发中的电子控制系统的输入（传感器和采样系统）输出（执行器）部件；第二十一大条第15条：新型电子元器件制造中的敏感元器件及传感器。本项目以8英寸芯片为基本原材料，经过加工、封装，最终产品为MEMS（微机电系统）传感器，其主要应用于汽车、医疗、消费电子等领域，属于鼓励类项目，符合外商投资产业指导目录（2011年修订）的要求。为推进我国物联网有序健康发展，国务院于2013年2月下发了国务院关于推进物网有序健康发展的指导意见（国发2013第7号文件），在意

9、见中：“二、主要任务”一栏内阐述道：“（一）加快技术研发，突破产业瓶颈。以掌握原理实现突破性技术创新为目标，把握技术发展方向，围绕应用和产业急需，明确发展重点，加强低成本、低功耗、高精度、高可靠、智能化传感器的研发与产业化，着力突破物联网核心芯片、软件、仪器仪表等基础共性技术，加快传感器网络、智能终端、大数据处理、智能分析、服务集成等关键技术研发创新。”本项目着力突破物联网核心芯片即MEMS芯片传感器研发与生产，以实现低成本、低功耗、高精度、高可靠、MEMS智能化传感器的研发与产业化，符合国务院关于推进物网有序健康发展的指导意见的要求。为贯彻落实国务院关于加快培育和发展战略性新兴产业的决定，更

10、好地指导各部门、各地区开展培育发展战略性新兴产业工作，国家发改委会同相关部门，组织编制了战略性新兴产业重点产品和服务指导目录并于2013年2月22日以发改委2013第16号文件形式正式出台，目录涉及战略新兴产业7个行业、24个重点发展方向下的125个子方向，共3100余项细分的产品和服务。战略性新兴产业重点产品和服务指导目录中：2新一代信息技术产业，2.2电子核心基础产业，2.2.1集成电路内容中明确指出“MEMS传感器芯片”系战略性新兴产业重点产品和服务指导目录组成部分之一，“MEMS传感器芯片”属于国家发改委确定的战略性新兴产业重点产品。本项目生产MEMS传感器芯片，符合战略性新兴产业重点

11、产品和服务指导目录的要求。232 建设项目周围环境现状2.1 项目所在地环境现状（1）环境空气质量现状监测期间，SO2各监测点位小时浓度范围为0.0080.203 mg/m3、日均浓度范围为0.010.142 mg/m3；NO2各监测点位小时浓度范围为0.0080.118 mg/m3，日均浓度范围为0.0180.105 mg/m3，监测期间SO2、NO2监测指标均达到环境空气质量标准（GB3095-1996）中二级标准要求。TSP日均浓度范围为0.1550.822 mg/m3，PM10日均浓度范围为0.0860.532 mg/m3，监测期间，TSP和PM10部分监测值超过了环境空气质量标准（G

12、B3095-1996）中二级标准限值要求，原因本项目新厂区和周边几个企业均正在施工，因此TSP和PM10监测值较高。（2）噪声质量现状项目厂址东、南、西、北厂界各监测点位昼、夜间噪声值均满足声环境质量标准（GB3096-2008）中的3类标准要求。（3）地表水质量现状氨氮、总磷和石油类浓度已超出类地表水标准限值，最大超标倍数分别为0.37倍、1.2倍、0.4倍。除氨氮、总磷和石油类以外，其余监测因子均满足类地表水标准限值要求。（4）地下水质量现状项目厂址所有监测因子均满足地下水质量标准（GB/T14848-93）中类标准要求。2.2 建设项目环境影响评价范围（1） 大气环境影响评价范围根据评价

13、工作等级（三级）要求，考虑到本项目所在区域的地形、地理特征，确定大气环境影响评价范围为以本项目为中心，直径为5km的圆形区域。（2） 地表水环境影响评价范围本项目总排口废水排至抚顺市三宝屯污水处理厂，因此，本环评水环境评价范围为本项目废水总排口。（3） 地下水环境评价范围根据I类建设项目地下水环境现状调查评价范围，建设项目评价级别分类以及具体水文地质条件，确定此次项目调查评价范围，北至大南村，东侧至蔡家沟村，西至康红村，南至后康村，面积约23.82km2。（4） 噪声环境评价范围本项目噪声评价范围为厂区边界及周围居民区。（5） 环境风险评价范围本项目大气环境风险评价范围依据导则规定为以本项目厂

14、区为中心，半径为3km的范围。3 建设项目环境影响措施及预测分析3.1 运营期废气3.1.1 废气治理措施本项目生产过程中排放的废气有酸性废气（包括特殊性气体）、碱性废气和有机废气，分别设置有效的气体净化设施，使废气中的污染物排放量大大降低。（1）酸性废气对生产厂房中有酸性废气产生的各个设施进行排风，捕集的酸性废气经湿性洗涤器（Wet Scrubber）净化处理；晶片生产过程使用的硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、等特殊性气体自设备排出后先经专用的区域性除害装置(Local scrubber)先行处理，再进中央湿式洗涤塔，洗涤后废气由防腐离心机经高于屋顶的排气筒排放。区域性除害装置针对不同的废

15、气成分分别采用吸附、燃烧等等处理工艺进行处理，处理效率可达90%以上，本项目由于硅烷易燃，故采用燃烧处理方法。卧式洗涤器因其紧凑性而特别适合在有限的设备安装空间内使用。治理基于吸收原理,所有与废气直接接触的部分均由防腐材料制成。湿式洗涤器采用20%NaOH作为中和液。酸性废气进入洗涤器后，水平穿过填料，中和液由喷淋管上的喷头均匀分布在填料上，水气两相在填料上得到充分接触，废气中的酸性物质与中和液中的NaOH发生化学反应，转移至液相，废气得到净化，中和液循环使用。废气处理效率可达90%左右。随着化学反应的进行，中和液的pH值不断降低，此时需投加碱液。碱液的投加由控制系统自动完成。而排放的少量废中

16、和液进入酸碱废水治理系统。（2）碱性废气碱性气体主要来自扩散区、薄膜区及化学研磨区产生之含氨废气排放。对生产厂房中有碱性废气产生的各个房间进行排风，捕集的碱性废气经湿式洗涤器净化处理后，由防腐离心风机经屋顶排气筒排放。湿式洗涤器采用80%废H2SO4作为中和液，排放的少量废中和液进入酸碱废水处理系统，废气处理效率预估可以达90%左右。（3）有机废气有机废气主要来自于光刻区、扩散区的光阻剂及清洗用之异丙醇等有机溶剂废气。在生产的初始阶段，生产规模较小，有机溶剂废气中污染物的初始浓度及产生量均较小，采用直接达标排放方式。待生产产量再行增加，污染物产量增大时，再增加治理设备，确保排气中的污染物达到国

17、家规定的标准。拟采用吸附法进行处理。使用吸附法净化治理有机溶剂废气（VOC）是一种成熟的治理技术。通常的吸附剂有活性炭、沸石等种类。（4）传感器组装车间和污水站废气为减轻厂区传感器组装车间无组织排放的有机废气和污水处理站排放的恶臭物质对周边环境的影响，项目在传感器组装车间和污水处理站周围进行绿化，并对污水处理站采取主体构筑物加盖、收集、除臭治理措施。3.1.2 大气环境影响预测 本项目HF最大落地浓度为0.0000768mg/m3，最大落地点位于下风向166m处，最大浓度占标率为0.384%；HCl最大落地浓度为0.0000681mg/m3，最大落地点位于下风向166m处，最大浓度占标率为0.

18、1362%；硫酸雾最大落地浓度为0.000277mg/m3，最大落地点位于下风向166m处，最大浓度占标率为0.0923%；氨最大落地浓度为0.0000442mg/m3，最大落地点位于下风向124m处，最大浓度占标率为0.0221%，；NOx最大落地浓度为0.0003625mg/m3，最大落地点位于下风向124m处，最大浓度占标率为0.145%。由以上可以看出，项目排放的污染物占标率均低于10%，因此对环境影响较小。 本想传感器安装车间和有机污水处理站的卫生防护距离均为50m，目前项目附近最近的的学校、居民区等的距离都在50m以上，因此现有本项目区域位置设置可以满足本工程卫生防护距离要求。3.

19、2 运营期废水3.2.1 废水治理措施本项目生产产生的废水主要有五种：酸碱废水、有机废水、含氟废水、含氨废水和研磨废水。根据废水性质不同，采用各自独立系统，进行分流处理。（1）工艺酸碱废水本项目含氟废水采用化学沉淀法进行处理超纯试剂以及超纯水对生产硅片进行清洗的过程，包括对生产工具、器具、石英制品的清洗等。工艺酸碱废水一并处理后，拟汇入中和处理系统处理后由公司废水总排口排放。（2）工艺含氟废水含氟废水采用化学沉淀法进行处理。（3）工艺含氨废水本项目产生的含氨废水属高浓度的含氨废水。拟采用吹脱硝化脱氮方式处理，处理后出水溢流至最终pH调节槽，与上述工艺酸碱废水一并中和处理后排放。（4）研磨废水本

20、项目分为背晶研磨废水、金属研磨废水等，主要污染物为悬浮物，采用絮凝沉淀法进行处理后进入中和系统。（5）有机废水根据生产废水中有机物的含量分析，采用生化法处理。废水经过pH调节，生物接触氧化，澄清沉淀后排放，部分污泥回流，其余污泥经浓缩、脱水后外运。由专门公司统一处理。（6）生活污水生活污水经化粪池处理排入厂区污水管网，再排至市政排水管网。3.2.2 地下水环境影响预测 水文地质条件分析结论拟建项目第四系地下水为松散岩类孔隙潜水，微承压性，下伏太古界鞍山群混合岩，混合岩组裂隙较发育，为隔水层。含水层岩性主要为第四系砂砾石、含粘土砂砾，夹亚粘土层，含水层厚5-10m，渗透系数约1020m/d，单位

21、涌水量为500-1000m3/d，地下水稳定水位埋深9.7m-25m，水头标高70.37-85.21 m。厂区内包气带岩性为粉质粘土，厚8.223m，局部分布有上层滞水，该地下水以大气降水为主要补给来源，主要排泄方式为地下径流和地表蒸发，以向河流排泄为主，地下水位年变幅约2.0 米左右。地下水水力坡度约5。 评价区地下水水质现状评价结论评价区地下水水质现状有如下几个特征：A 本区地下水水质较好，未受到较大的污染和破坏，只是地下水中的石油类含量达到了地表水水质的类标准水平，而其他成分均为超过地下水类标准。B 有机污染物如苯、挥发酚等在评价区各点均未检出，表明此类污染物未对本区地下水产生影响。C

22、重金属有毒污染物Hg、Cd、As、Cr6+均未检出，表明重金属污染物对本区地下水影响不大。D COD表征工业污染环境特征，本区COD未超标，反映了工业污染情况很轻。E 氮类特征污染物的检出，反映了生活及农业污染特征，可能与本区原水田施肥有关。 项目周边水环境影响预测评价结论A 正常工况，无防渗措施，泄露的COD和NH3-N在5年后主要集中在生产厂区附近，均在生产区118.42m范围以内。随着时间的推移，其影响范围不断扩大，由其是沿着地下水流向的方向上，在20年后其影响距离达到了325.49m。该设定工况下，废水的泄漏对厂区内生产区的地下水水质造成一定程度的破坏，影响范围在厂区外围325.49m

23、范围，可能会对东台河的水质有一定的影响。B 正常工况、有防渗措施，废水的泄漏对潜水含水层不构成明显影响，因此，该工况下对全区各含水层不造成污染影响。C 非正常工况、有防渗措施，废水的渗漏不构成对地下水的严重影响，也不会破坏下游地下水水质。D 存储装置爆炸情况下，由于设计含水层直接被揭露，污染物质直接进入含水层，导致破坏性最大，地下水水质将遭到严重污染，并且污染浓度大，扩大趋势较快，虽然20后影响距离达到了374.80m，对项目区周边的地下水环境还是存在一定的安全隐患。由此可见，厂区地面采取有效的防渗措施是十分必要的，它是地下水环境安全的必要保障；同时安全、科学的生产是地下水环境保护的前提。 地

24、下水污染防治措施评价结论本次评价将厂区划分重点污染防治区、一般污染防治区和非污染防治区。重点污染防治区指位于地下或半地下的生产功能单元，污染地下水环境的物料泄漏不容易及时发现和处理的区域，主要为MEMS产品检测中心、MEMS芯片前端工艺生产车间、MEMS芯片前端工艺生产车间、传感器系统安装车间、MEMS产品安装调试车间、MEMS测试中心、动力车间、设备仪器检测车间、化学品储存库、机加工车间1、机加工车间2、污水处理站；一般污染防治区指裸露地面的生产功能单元，污染地下水环境的物料泄漏容易及时发现和处理的区域，主要为研发中心、设计中心、生产支持楼、变电站；其他区域为非污染防治区；厂区发生污染物泄漏

25、时，为防止受污染的地下水向周边地带扩散，可以采用开采厂区地下水的方法，使地下水流线向厂区集中，有效地防止地下水污染物扩散，保护周边分散居民的饮用水源。在进行抽水阻断的同时，地表防渗及阻断污染源泄漏等应急手段应同时进行。对抽出的地下水水质进行检测，达到地下水质量标准（GB/T14848-93）类标准后，可以逐渐恢复正常状态。地下水环境的保护应以地面防渗等主动性措施为主要保护手段，使污染源的渗漏达到最小程度，并辅以地下水环境监测和应急保护措施进行含水层的防护。3.3 运营期噪声3.3.1 噪声治理措施本工程的噪声污染源主要来自动力设备，如冷冻机组、空压机、真空泵、通风机、水泵等。本项目在工程设计上

26、采取以下措施：（1）合理布置噪声源：冷冻机组、空压机、真空泵、水泵等强噪声源均布置在密闭厂房内；冷却塔布置在动力厂房楼顶部。（2）选择低噪声设备：冷冻站、空压站、水泵等动力设备选用满足国际标准的低噪声、低振动设备，设备都设有减振基础并采用消声措施。（3）在建筑采取隔声措施，设备与管道之间的连接采用柔性连接，以减少噪声和振动的传递。（4）在资金方面，噪声治理重点是动力厂房设备噪声的控制，对空压机房、冷冻机房和废气处理装置、冷却塔噪声等进行控制，尽可能降低生产设备噪声对周围环境的影响。本项目动力设备的噪声治理措施分述如下：（1）通风机噪声控制 生产区空调净化、通风系统及动力站空调通风系统本项目生产

27、过程所用通风机主要设置在净化生产厂房和动力厂房，用作厂房内空气净化、空调和通风。在降噪措施方面，采取如下措施。所有空调器、风机选用符合国家噪声标准的设备；空调器的风机带减振底座。本项目在设计上拟采用风机减振台基础，空调净化排风系统的主排风管设消声器，排风管道进出口加柔性软接头；门窗均采用隔声门或隔声窗等，以降低风机噪声的影响。 生产区及生产支持区通风系统生产区及生产支持区一般废气（废热）排风和工艺排风。工艺排风分为酸性废气、碱性废气、有机废气净化系统，处理装置布设在净化生产厂房的屋顶，净化后的工艺废气经排气筒排入大气。在工程设计上除采用风机减振台基础，通风机的进风和出风口均加设消声器，接头处采

28、用柔性软接头；门窗均采用隔声门、隔声窗。对于设置在屋顶的风机，必要时可加设风机隔声罩，以降低风机噪声对周围环境的影响。（2）空压机、冷冻机和真空泵噪声控制空压机、水泵、冷冻机和真空泵等动力设备大部分安装在密闭的房间内，对噪声较大的设备，房间内壁铺设吸声材料，采取隔声门、隔声窗等措施，使房间内的噪声控制在85 dB(A)以下。（3）冷却塔噪声控制冷却塔的噪声与其他的动力设备装置相比，噪声并不突出，但是多数单位的冷却塔由于布设在临近厂界的厂房顶，其噪声对外界的影响不可忽视。采取以下噪声控制措施： 选用振动、噪声符合国家标准的水泵设备与冷却塔。 控制冷却塔的淋水噪声，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑

29、料垫，该材料专门用于冷却塔降噪用的材料，它既有一般塑料的柔软性，又有多孔漏水的通水性，可减小淋水噪声；一般可降低淋水噪声57 dB(A)。（4）变配电设备 选用低噪声变压器及低噪声开关 对变压器加装保护外壳（5）水泵水泵基础设橡胶隔振垫，以减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振。3.3.2 噪声环境影响预测本项目噪声源经措施治理及距离衰减后，各厂界排放噪声值能够满足国家工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）中3类的要求限值。3.4 运营期固体废物根据对国内数家集成电路芯片企业的调查和统计，通常包括一般工业固体废物、危险废物和生活垃圾等。本项目一般工业固废包括

30、废芯片、废活性炭、电子混合废料、废包装料、污水处理站污水，其中废芯片和废活性炭由生产厂家回收；电子混合废料和废包装材料外售；废水处理污泥进行填埋处理等。本项目危险废物包括废光刻胶、废显影液、混合有机溶剂废液、异丙醇废液、废酸、含氟废液，均有有资质单位处理。本项目生活垃圾进行填埋处理。固废治理措施遵循了中华人民共和国固体废物污染环境防治法、危险废物贮存污染控制标准（GB18597-2001）中的有关规定，杜绝了二次污染。因此本项目固废排放去向是可行、可靠、合理的。3.5 施工期环境影响分析3.5.1 对公共设施和服务的影响本项目建设期间大多数的雇佣工人要往返于厂址及住地之间，职工上下班的往返班车

31、，运输材料的卡车和生产设备的大件运输，公路运输流量将会有一些增加，但是这种影响是间断性的。因此，对公路的影响是有限的。3.5.2 施工扬尘的影响（1） 施工扬尘生产设施等工程施工过程中，清理土地、挖掘地基、挖土填土等施工作业中所产生的扬尘，在短期内影响当地的空气质量，主要影响是扬尘污染。这种污染的影响是暂时的，工程一结束，污染影响也就基本消失。粉尘排放量随施工作业的活动水平、特定操作和主导天气而变化很大。建筑施工活动的粉尘排放数量与施工面积和施工水平有关。根据相关工程的现场模拟数据调查，在距平整土地场地50m处，产生的扬尘（TSP）可降至1.00mg/m3。由于本项目施工现场周围空旷，对周围环

32、境影较小。（2） 运输车辆车辆运输造成施工作业场所近地面TSP浓度升高，施工及运输车辆引起的扬尘对路边30m范围以内影响较大，而且成线形污染，路边的TSP浓度可达10mg/m3以上，一般浓度在1.5mg/m330mg/m3。3.5.3 汽车尾气燃油机械和汽车尾气中的污染物为燃料燃烧后的产物，主要有NO2、CO及CmHn等，有关测试结果表明，NO2的浓度可达150g/m3，其影响范围在200m以内的范围。3.5.4 施工废水施工期废水主要来自于施工人员洗漱等生活用水，主要污染物为SS、CODCr，尽管排水量不大，但短期内会对施工区局部水环境造成一定影响。3.5.5 施工噪声施工产生的噪声主要来自

33、于各种机械和车辆以及推土机、挖掘机、装卸机等机械噪声，主要施工机械产生的噪声强度和距离声源不同距离处等效声级见表3-1，噪声衰减按点源自由场中声压级衰减规律计算。表3-1 主要噪声源强度及不同距离的噪声值 单位：dB（A）施工阶段主要噪声源声级距声源距离204060801002004001300土石方阶段挖掘机、推土机90-10266-7660-7056-6654-6452-6246-5640-5029-39结构阶段混凝土振捣器87-9761-7155-6551-6149-5947-5741-5135-4525-38由表3-1对照建筑施工场界环境噪声排放标准（GB12523-2011）标准，本

34、项目昼间40m处满足昼间70dB(A)，夜间200m处噪声满足55dB(A)的标准要求。本项目厂址200m范围内无久住居民，因此，不会发生施工噪声扰民现象。3.5.6 施工弃土与回填本项目厂址地势北高南低，施工期间，场地挖方可以用于平整土地，因此，本项目无弃土。3.5.7 小节施工期间虽对环境产生一定的影响，但其影响是短暂的，随着施工期的结束，其影响也将结束。3.6 环境风险预测分析根据本项目所使用的主要原辅料，确定生产过程中所涉及的物质风险识别范围为：盐酸、氢氟酸、硝酸、硫酸、丙酮、异丙醇、硅烷、氨气、氢气等，这些物品在储存过程中始终存在不同程度的如火灾、爆炸、泄漏等环境风险。本项目生产设施

35、风险识别范围指厂区内部的主要生产装置、贮运系统、公用工程系统及辅助生产设施。本项目氨气钢瓶位于生产车间内部，氨气发生泄露后半致死浓度、危险健康浓度影响范围在厂区内，对周围环境影响不大。针对本项目存在的风险事故，项目设计时已经考虑了将危险气体钢瓶置放于气瓶柜内，气瓶柜安装排风装置，同时在排风管路中设有探头，如果发生泄漏即会自动报警（或排风中断，也会报警）；气瓶内还装有自动喷淋灭火装置，存放处的天花板上也装有探测探头与报警系统相连。在具备硬件防范措施同时，建议建设单位加强以下的防范措施：化学品库安全保障措施、化学品传输系统安全措施、固体废物的存储、堆放、液态废物的存储、堆放、空气系统安全、消防等措

36、施。本项目应加强管理，严格落实本报告提出的各项事故风险防范措施，按应急预案原则内容编制环境风险应急救援预案，并配置相应救援物资和设备，进行相关人员培训和预案的演练，并尽可能杜绝各类事故的发生，避免当地的环境受到污染。在完善本项目风险防范措施建设的基础上，本项目的环境风险是可以接受的。3.7 经济损益分析本项目总投资60000万元，主要财务指标分析见表3-2。表3-2 全厂财务指标表序号项目名称单 位经济指标1主要产品产量万只/年120002年产值万元1200003年利税万元63204项目投入总资金万元60000本项目从产品的技术经济效益等方面的分析来看，项目具有较好的市场前景和财务经济效益。因

37、此，本项目从财务角度分析可行。3.8 环境监测计划及环境管理制度3.8.1 环境监测计划为了加强环境保护工作，罕王微电子（辽宁）有限公司的环境管理机构负责对全生产过程的环境管理、监督工作和外协环境监测。（1） 监测计划废气监测内容及监测频次见表3-3。表3-3 废气污染物排放情况序号监测位置监测项目监测频率标准1芯片生产车间废气量、氟化物、硫酸雾、HCl、氨气、异丙醇、有机废气每季一次GB16297-1996GB14554-932芯片封装车间废气量、有机废气3传感器系统安装车间废气量、有机废气4污水处理站氨气、硫化氢具体监测位置位于各废气处理设施进出口处。监测厂总排口出水水质，监测项目为：pH

38、值、CODCr、SS、NH3-N、F-、磷酸盐共6项，监测频率为每月1次。噪声监测包括厂界噪声监测、噪声源监测，厂界噪声监测频率为半年1次；主要噪声源监测频率为1次/年。3.8.2 环境管理制度随着环境保护事业的发展，在厂内设置环境管理机构是十分重要的。罕王微电子（辽宁）有限公司将设置安全环保科，主要负责制定全公司的环境保护管理制度和监测规划，负责全厂环境管理与监督工作，强化管理与监督。根据本项目实际情况，环境管理机构由罕王微电子（辽宁）有限公司副总经理直接领导，环境管理机构分管，车间设置环保员，负责对环保设施的操作维护保养和污染物排放情况进行监督检查，同时要做好记录，建立排污档案。环境管理机

39、构5人，科长1名，科员4名，负责全公司环保工作。主要职责如下：（1）贯彻执行环保法规和有关标准；（2）组织制定和修改本厂的环境保护管理规章制度并监督执行；（3）制定并组织实施本厂的环境保护规划和计划；（4）领导和组织本厂的环境监测；（5）检查本厂环境保护设施的运行情况；（6）推广和应用环境保护先进技术和经验；（7）组织开展本厂环境保护专业的技术培训，以提高环保人员的技术素质和业务水平；（8）组织和开展本厂的环境保护科研和学术交流。要建立健全环保制度，设立全公司和车间的三级环境管理网，把环境管理工作纳入公司、车间的日常生产管理中，把各项环境保护指标以责任书的形式层层分解到有关单位和个人，实行岗位

40、责任制，建立一支懂行善管的环保队伍。对车间操作人员要要定期进行关于操作技能和环保方面的培训，加强操作人员的事业心和环保责任感，要严格按照操作规程办事，要管好用好环保设施，充分发挥其治理效能。4 公众参与4.1 公众参与的目的根据中华人民共和国环境保护法、建设项目环境保护管理条例（中华人民共和国国务院第253号令）以及环境影响评价公众参与暂行办法（国家环保总局，环发200628号）等法律及法规的有关规定，在编制建设项目环境影响报告书时需征求直接受工程影响的公众意见。公众参与是项目建设方或评价单位同公众之间的一种双向交流，可以提高建设项目的环境合理性和社会可接受性，以保证项目能被公众充分认可并提高

41、建设项目的环境效益和经济效益。公众参与有利于缓解公众的担心，并对一些难以用货币形式表达的资源进行准确评估；此外，公众还能协助有关部门制定切合本地方实际的、有效的环保措施。4.2 调查范围与方式本项目于2013年2月15日接受环评委托后，于2013年2月16日在沈抚新城（抚顺）政府网站上发布第一次公告（见附件），公告了项目的建设内容，项目环评初稿完成后，2013年2月28日在沈抚新城（抚顺）政府网站上发布第二次公告（见附件），公告10个工作日后，于2013年3月14日发放调查表50份，本次公众参与调查范围为拟建地所在区域的居民，调查对象包括：工人、农民、教师等不同身份的人群。本次公众参与采用走访

42、和发放调查表的方式，通过整理各位走访人员的意见和公众参与调查表，得出公众对罕王微电子（辽宁）有限公司罕王微机电高科技产业园项目（一期）建设后对环境影响的主要看法和建议。4.3 公众参与调查结果分析本项目公众参与调查表共发50份，收回50份，收回率为100%，在收回的50份调查表中100%被调查者对该项目建设表示赞成，无不清楚和持反对意见的。公众参与调查情况见表4-1。表4-1 公众参与调查结果年龄1835 15人3550 20人50以上 15人性别男 28人女 22人文化程度大学 8人大专 11人高中 10人初中 14人小学 7人职业干部 0人工人 11人农民 29人教师 10人学生 0人其他

43、 0人调查内容问题意见您对本项目持何态度赞成反对不发表意见50人0人0人本项目建成后对该地区的大气环境质量影响程度如何严重不严重无0人0人50人本项目建成后产生的废水是否对该地区地表水产生污染是否0人50人本项目建成后是否会对该地区的声环境造成影响严重干扰轻微干扰不干扰0人0人50人本项目建成后产生的固废是否对该地区居民生活环境产生污染是否0人50人本项目建成后是否对该地区生态环境造成影响严重不严重无0人0人50人本项目建成后对该地区的经济效益大中小50人0人0人本项目建成后对该地区产生的社会效益是否能改善该地区居民生活条件是否50人0人是否促进其它产业发展是否50人0人是否能提高该地区的知名

44、度是否50人0人由表4-1可以看出，参与本次调查的公众包括了不同年龄段、不同文化程度及不同职业的人群。其中年龄在18岁35岁的15人，35岁50岁的20人，50岁以上15人。文化程度为大学8人，大专11人，高中10人，初中14人，小学7人。职业中工人11人，农民29人，教师10人。从被调查者的结构可以看出，本次调查对象所涵盖的人员基本包括了项目附近各年龄段、各种职业、不同文化程度的群众，因此，本次调查的结果应该是较全面且合理的。对于是否赞成本项目建设，100%的被调查者表示赞成。对本项目建成后对该地区的大气环境质量影响程度如何，100%的被调查者认为无影响。对于项目建成后产生的废水是否对该地区

45、地表水产生污染，100%的被调查者认为不会产生污染。对于本项目建成后是否能改善该地区居民生活条件，100%的被调查者认为能够改善。由以上调查结果可知，绝大部分公众对本项目建设是认可和赞成的。他们对本区域环境质量问题有所认识，相信通过本项目的建设，能使该地区居民的居住环境得到明显改善。4.4 小结综合以上对调查结果的分析，项目建设会给当地带来较好的社会效益和环境效益，能够得到周边群众的认可。但同时，本项目应严格落实报告书中提出的各项污染治理措施，以确保生产过程中各类污染物的达标排放及杜绝污染事故发生。此外罕王微电子（辽宁）有限公司应根据公众要求把污染物对环境的影响降到最低，把环保工作放在重要的位

46、置，严格按照本环评报告书中提出的环保措施与对策实施，考虑公民的长远利益，按环保要求对产生的污染物进行治理，最终做到环境、社会、经济三者的协调统一。5 环境影响评价结论罕王微电子（辽宁）有限公司罕王微机电高科产业园项目（一期）符合国家有关产业政策要求，拟选厂址为抚顺经济开发区内的二类工业用地。项目采用成熟的清洁生产工艺，对污染源采取的治理措施有效、可靠，实现了所有污染源达标排放，对周围环境的影响程度和范围是有限的。因此，在保证各项环保设施正常稳定运行的基础上，本项目的建设从环保角度讲是可行的。建设单位名称：罕王微电子（辽宁）有限公司地址：沈阳市沈河区青年大街227号建设单位联系人：费玉斌建设单位联系电话：13700130011E-mail：feiyub评价单位名称：辽宁辐洁环保技术咨询有限公司地址：沈阳市东陵区双园路30甲-2号评价单位联系人：张月澜评价单位联系电话：02462835523E-mail：fujiehuanjing