电子级二氧化碳的制备工艺及装置

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(19 )中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请fr(10)申请公布号盈CN109163504A(43 )申请公布日2019.01.08(21 )申请号 CN201811186561.X(22)申请日 2018.10.11(71 )申请人欧中电子材料(重庆)有限公司地址401220重庆市长寿区晏家街道齐心大道20号4-2室(72 )发明人雷海平;吕其明;张建长(74 )专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人肖丽(51) Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称电子级二氧化碳的制备工艺及装置(57)摘要本发明属于气体纯化技术领域，涉及电子 级二氧化碳的制备工艺及装置。该制备工艺包 括：从原料储罐出来的液体二氧化碳原料经换热 单元换热后进入汽化单元中，将液体二氧化碳汽 化为二氧化碳气体；出汽化单元的二氧化碳气体 进入过滤和干燥单元中进行过滤和干燥处理；出 干燥单元的二氧化碳气体经加压后进入换热单元 中进行热交换，将二氧化碳气体液化，而后进入 中间贮罐；出中间贮罐的液化二氧化碳依次经过