电子级二氧化碳的制备工艺及装置

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电子级二氧化碳的制备工艺及装置

(19 )中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请""fr(10)申请公布号盈CN109163504A(43 )申请公布日2019.01.08(21 )申请号 CN201811186561.X(22)申请日 2018.10.11(71 )申请人欧中电子材料(重庆)有限公司地址401220重庆市长寿区晏家街道齐心大道20号4-2室(72 )发明人雷海平;吕其明;张建长(74 )专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人肖丽(51) Int.CI权利要求说明书说明书幅图(54 )发明名称电子级二氧化碳的制备工艺及装置(57)摘要本发明属于气体纯化技术领域，涉及电子级二氧化碳的制备工艺及装置。该制备工艺包括：从原料储罐出来的液体二氧化碳原料经换热单元换热后进入汽化单元中，将液体二氧化碳汽化为二氧化碳气体；出汽化单元的二氧化碳气体进入过滤和干燥单元中进行过滤和干燥处理；出干燥单元的二氧化碳气体经加压后进入换热单元中进行热交换，将二氧化碳气体液化，而后进入中间贮罐；出中间贮罐的液化二氧化碳依次经过

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