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1、引进国外智力项目成果表项目编号：项目名称JD40001/DD型磁控控溅射系系统专业领域光机电一体体化成果简介通过引智开开发的全全自动磁磁控溅射射系统主主要用于于电子元元器件及及大规模模集成电电路（IIC）器器件制造造，是新新型电子子元器件件研制开开发关键键设备之之一，该该设备还还可以用用于太阳阳能电池池硅片制制造。该该设备综综合技术术性强，自自动化程程度高，设设备由磁磁控溅射射源、超超高真空空系统、基基片自动动传送系系统、自自动控制制系统等等12个个关键技技术部分分组成。、基片适应范围：既能处理多种规格尺寸的硅片，也能处理GaAs片；既能处理完整片，也能处理成型碎片。2、材料适应范围广：能溅射
2、多种靶材且靶材利用率高。3、工艺灵活性强：工艺处理模块能根据需要增减。4、盒对盒自动送片，直线传送，基片不受压力。5、计算机全自动控制。6、严格控制粒子污染，具有良好的膜厚均匀性和台阶覆盖性。7、高可靠性。8、安装、维护方便，占地面积小。此设备用于于在基片片上镀制制各种金金属薄膜膜。采用用当今国国际最先先进、最最流行的的多腔集集成溅射射模式，既既适合中中小批量量工艺处处理要求求又兼顾顾新产品品新工艺艺研究开开发需求求，是有有关工厂厂、研究究院和大大专院校校进行生生产和科科研的理理想设备备。报送部门四川省外国国专家局局项目单位成都南光机机器有限限公司公公司联系人地 址成都市邮政编码610000电
3、 话028-88484480119传 真电子邮箱 siicaiiepn引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址
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6、领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局
7、项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真电子邮箱 引进国外智智力项目目成果表表项目编号：项目名称专业领域成果简介报送部门四川省外国国专家局局项目单位联系人地 址邮政编码电 话传 真
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