扩晶机操作说明

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1、扩晶机操作指南一、目的：规范设备使用，确保设备安全正常运行。二、适用范围：扩晶机三、操作步骤：1、将电源插头接通电源、连通气管，检查电源指示灯和气压表是否接通。2、将电源开关开启，设定好扩晶所需温度（455C ）等待加温。3、待温度达到设定温度后，将扩晶机上圆板打开，按动下圆盘上升行程开关将发热圆盘上升到下圆 板水平位置略高一点，放入内晶环（光滑一面朝上）。4、将待扩的晶片膜撕开芯片一面朝上放于发热圆盘上，有晶片的地方尽可能摆放在发热圆盘正中间。5、用手轻轻按住胶膜加热，膜遇热收缩，再将上圆板板压下扣上锁扣，按动下圆盘上升行程开关， 将发热圆盘上升到晶片与晶片间将要的扩开宽度，放上外晶环（光滑

2、一面朝下）。6、按下上圆盘行程开关，将上圆盘压下直到把外晶环压到内晶环1/2位置为准。7、将上圆盘、下发热圆盘回到原位，找开上圆板取出扩好的晶片，将多余的晶片膜用刀片割掉。四、注意事项：1、扩晶前开动气阀和加热开关检查气压是否正常，电源是否正常。2、发热盘的温度必须达到设定温度且上升的速度要适中，不宜太快。3、在放入晶片膜时和下压环时，手一定要小心勿被机器压着。4、不可将硬物碰撞发热盘和上圆盘。发现机器异常，及时报告机修处理。五、保养事项：（1）保养项目：外观保养步骤：1.先用白布将机台之灰尘擦拭干净。2. 若有顽渍不能擦去，可用白布沾少许清洁剂,将顽渍擦去。3. 再用干净白布将留有清洁剂之处再擦一遍，防止清洁腐蚀。（2）保养项目：温度保养步骤：检查温度是否在45 5 C（3）保养项目：气缸保养步骤：检查上升、下降是否灵活。（4）保养项目：气管接头保养步骤：检查气管有无漏气现象。（5）保养项目：接地保养步骤：1.检查接地线是否与机壳接触良好。2.检查Q检桌是否有接地。（6）温控器：保养步骤：检查温控器是否正常。