半导体刻蚀设备项目建设工程监理组织与规划

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1、泓域/半导体刻蚀设备项目建设工程监理组织与规划半导体刻蚀设备项目建设工程监理组织与规划xx（集团）有限公司目录一、 工程监理的含义及性质3二、 工程监理的法律地位和责任6三、 工程监理合同订立13四、 工程监理合同履行管理14五、 工程监理实施细则21六、 工程监理规划23七、 产业环境分析25八、 技术端：先进制程拉动刻蚀用量，复杂结构打开设备市场26九、 必要性分析28十、 公司简介29公司合并资产负债表主要数据30公司合并利润表主要数据31十一、 投资计划31建设投资估算表33建设期利息估算表34流动资金估算表35总投资及构成一览表37项目投资计划与资金筹措一览表38十二、 项目实施进度

2、计划38项目实施进度计划一览表39一、 工程监理的含义及性质（一）工程监理的含义工程监理是指工程监理单位受建设单位委托，根据法律和法规、工程建设标准、勘察设计文件及合同，对工程施工质量、造价、进度进行控制，对合同、信息进行管理，对工程建设相关方关系进行协调，并履行建设工程安全生产管理法定职责的服务活动。工程监理制度是我国强制实行的一项制度。中华人民共和国建筑法（以下简称建筑法）明确规定，“国家推行建筑工程监理制度”。与国际上一般的工程咨询服务不同，法律、法规赋予了工程监理单位工程质量、安全生产管理职责工程监理可从以下五个方面进行理解。（1）工程监理的行为主体是工程监理单位。工程监理既不同于政府

3、主管部门的监督管理，也不同于工程总承包单位或施工总承包单位对分包单位的监督管理。（2）工程监理的实施前提是建设单位的委托和授权。建设单位需要与工程监理单位以书面形式订立工程监理合同，明确监理工作的范围、内容、服务期限和酬金，以及双方的义务和违约责任。（3）工程监理的实施依据包括法律和法规、工程建设标准、勘察设计文件及合同。其中，合同既包括工程监理合同，也包括与所监理工程相关的施工合同、材料设备采购合同等。（4）工程监理的实施范围主要在施工阶段。工程监理单位在工程勘察、设计、保修等阶段提供的服务活动均为相关服务。（5）工程监理的基本职责是在建设单位委托授权范围内，通过合同管理和信息管理，以及协调

4、工程建设相关方关系，控制建设工程质量、造价和进度三大目标，即“三控两管一协调”此外，还需履行建设工程安全生产管理的法定职责，这是建设工程安全生产管理条例赋予工程监理单位的社会责任。（二）工程监理的性质工程监理性质可概括为服务性、科学性、独立性和公平性四个方面。1、服务性工程监理人员利用自己的知识、技能和经验，采用必要的试验、检测手段，为建设单位提供管理和技术服务。工程监理单位既不直接进行工程设计，也不直接进行工程施工；既不向建设单位承包工程造价，也不参与施工单位的利润分成2、科学性工程建设规模日趋庞大，建设环境日益复杂，功能需求及建设标准越来越高，新技术、新工艺、新材料、新设备不断涌现，工程建

5、设参与单位越来越多，工程风险日渐增加，工程监理单位只有采用科学的思想、理论、方法和手段，才能驾驭工程建设，协助建设单位力求在计划目标内完成工程建设任务。3、独立性独立性是工程监理单位公平地实施监理的基本前提。首先，工程监理单位应是一个独立法人实体，与被监理工程的承包单位以及建筑材料、建筑构配件和设备供应单位不得有隶属关系或者其他利害关系。其次，在工程监理工作中，工程监理单位必须建立项目监理机构，按照自己的工作计划和程序，根据自己的判断，采用科学的方法和手段，独立地开展工作。4、公平性公平性是工程监理行业能够长期生存和发展的基本职业道德准则。特别是当建设单位与施工单位发生利益冲突或矛盾时，工程监

6、理单位应以事实为依据，以法律、法规和有关合同为准绳，在维护建设单位合法权益的同时，不能损害施工单位的合法权益。例如，在调解建设单位与施工单位之间争议，处理费用索赔和工程延期、进行工程款支付控制及结算时，应客观、公平地对待建设单位和施工单位。二、 工程监理的法律地位和责任（一）工程监理的法律地位自工程监理制度实施以来，相关法律、法规逐步明确了工程监理的法律地位。1、明确了强制实施监理制度的工程范围建筑法规定，国家推行建筑工程监理制度。建设工程质量管理条例明确了五类工程必须实行监理国家重点建设工程。大中型公用事业工程。成片开发建设的住宅小区工程。利用外国政府或者国际组织贷款、援助资金的工程。国家规

7、定必须实行监理的其他工程。建设工程监理范围和规模标准规定（建设部令第86号）又进一步细化了必须实行监理的工程范围和规模标准，具体内容如下。（1）国家重点建设工程。国家重点建设工程是指依据国家重点建设项目管理办法所确定的对国民经济和社会发展有重大影响的骨干项目。（2）大中型公用事业工程。大中型公用事业工程是指项目总投资额在3000万元以上的工程项目1）供水、供电、供气、供热等市政工程项目。2）科技、教育、文化等项目。3）体育、旅游、商业等项目。4）卫生、社会福利等项目。5）其他公用事业项目。为了保证住宅质量，对高层住宅及地基、结构复杂的多层住宅应当实行监理。（3）利用外国政府或者国际组织贷款、援

8、助资金的工程。具体包括：1）使用世界银行、亚洲开发银行等国际组织贷款资金的项目。2）使用国外政府及其机构贷款资金的项目。3）使用国际组织或者国外政府援助资金的项目。（4）国家规定必须实行监理的其他工程。具体包括：1）项目总投资额在3000万元以上关系社会公共利益、公众安全的下列基础设施项目煤炭、石油、化工、天然气、电力、新能源等项目。铁路、公路、管道、水运、民航以及其他交通运输业等项目；3邮政、电信枢纽、通信、信息网络等项目。防洪、灌溉、排涝、发电、引（供）水、滩涂治理、水资源保护、水土保持等水利建设项目；道路、桥梁、地铁和轻轨交通、污水排放及处理、垃圾处理、地下管道、公共停车场等城市基础设施

9、项目。生态环境保护项目。2）学校、影剧院、体育场馆项目2、明确了建设单位委托工程监理单位的职责建筑法规定，实行监理的建筑工程，由建设单位委托具有相应资质条件的工程监理单位监理。建设单位与其委托的工程监理单位应当订立书面委托监理合同。建设工程质量管理条例规定，实行监理的建设工程，建设单位应当委托具有相应资质等级的工程监理单位进行监理，也可以委托具有工程监理相应资质等级并与被监理工程的施工承包单位没有隶属关系或者其他利害关系的该工程的设计单位进行监理3、明确了工程监理单位的职责建筑法规定，工程监理单位应当在其资质等级许可的监理范围内，承担工程监理业务。建设工程质量管理条例规定，工程监理单位应当选派

10、具备相应资格的总监理工程师和监理工程师进驻施工现场。未经监理工程师签字，建筑材料、建筑构配件和设备不得在工程上使用或者安装，施工单位不得进行下一道工序的施工。未经总监理工程师签字，建设单位不拨付工程款，不进行竣工验收。建设工程安全生产管理条例规定，工程监理单位应当审查施工组织设计中的安全技术措施或者专项施工方案是否符合工程建设强制性标准。工程监理单位在实施监理过程中，发现存在安全事故隐患的，应当要求施工单位整改；情况严重的，应当要求施工单位暂时停止施工，并及时报告建设单位。施工单位拒不整改或者不停止施工的，工程监理单位应当及时向有关主管部门报告。4、明确了工程监理人员的职责建筑法规定，工程监理

11、人员认为工程施工不符合工程设计要求、施工技术标准和合同约定的，有权要求建筑施工企业改正。工程监理人员发现工程设计不符合建筑工程质量标准或者合同约定的质量要求的，应当报告建设单位要求设计单位改正。建设工程质量管理条例规定，监理工程师应当按照工程监理规范的要求，采取旁站、巡视和平行检验等方式，对建设工程实施监理。（二）工程监理的法律责任1、工程监理单位的法律责任（1）建筑法规定，工程监理单位不按照委托监理合同的约定履行监理义务，对应当监督检查的项目不检查或者不按照规定检查，给建设单位造成损失的，应当承担相应的赔偿责任。工程监理单位与建设单位或者建筑施工企业串通，弄虚作假、降低工程质量的，责令改正，

12、处以罚款，降低资质等级或者吊销资质证书；有违法所得的，予以没收；造成损失的，承担连带赔偿责任；构成犯罪的，依法追究刑事责任。工程监理单位转让监理业务的，责令改正，没收违法所得；可以责令停业整顿，降低资质等级；情节严重的，吊销资质证书。（2）建设工程质量管理条例规定1）工程监理单位有下列行为的，责令停止违法行为或改正，处合同约定的监理酬金1倍以上2倍以下的罚款；可以责令停业整顿，降低资质等级；情节严重的，吊销资质证书：0超越本单位资质等级承揽工程的。允许其他单位或者个人以本单位名义承揽工程的。2）工程监理单位转让工程监理业务的，责令改正，没收违法所得，处合同约定的监理酬金25%以上50%以下的罚

13、款；可以责令停业整顿，降低资质等级；情节严重的，吊销资质证书。3）工程监理单位有下列行为之一的，责令改正，处50万元以上100万元以下的罚款，降低资质等级或者吊销资质证书；有违法所得的，予以没收；造成损失的，承担连带赔偿责任与建设单位或者施工单位串通，弄虚作假、降低工程质量的。将不合格的建设工程、建筑材料、建筑构配件和设备按照合格签字的。4）工程监理单位与施工单位以及建筑材料、建筑构配件和设备供应单位有隶属关系或者其他利害关系承担该项建设工程的监理业务的，责令改正，处5万元以上10万元以下的罚款，降低资质等级或者吊销资质证书；有违法所得的，予以没收。（3）建设工程安全生产管理条例规定，工程监理

14、单位有下列行为之一的，责令限期改正；逾期未改正的，责令停业整顿，并处10万元以上30万元以下的罚款；情节严重的，降低资质等级，直至吊销资质证书；造成重大安全事故，构成犯罪的，对直接责任人员，依照刑法有关规定追究刑事责任；造成损失的，依法承担赔偿责任1）未对施工组织设计中的安全技术措施或者专项施工方案进行审查的。2）发现安全事故隐患未及时要求施工单位整改或者暂时停止施工的。3）施工单位拒不整改或者不停止施工，未及时向有关主管部门报告的。4）未依照法律、法规和工程建设强制性标准实施监理的。（4）中华人民共和国刑法规定，工程监理单位违反国家规定，降低工程质量标准，造成重大安全事故的，对直接责任人员，

15、处5年以下有期徒刑或者拘役，并处罚金；后果特别严重的，处5年以上10年以下有期徒刑，并处罚金。2、监理工程师的法律责任工程监理单位在履行工程监理合同时，是由具体的监理工程师来实现的，因此，如果监理工程师出现工作过错，其行为将被视为工程监理单位违约，应承担相应的违约责任。工程监理单位在承担违约赔偿责任后，有权在企业内部向有过错行为的监理工程师追偿损失。因此，由监理工程师个人过失引发的合同违约行为，监理工程师必然要与工程监理单位承担一定的连带责任。建设工程质量管理条例规定，监理工程师因过错造成质量事故的，责令停止执业1年；造成重大质量事故的，吊销执业资格证书，5年以内不予注册；情节特别恶劣的，终身

16、不予注册。工程监理单位违反国家规定，降低工程质量标准，造成重大安全事故，构成犯罪的，对直接责任人员依法追究刑事责任。建设工程安全生产管理条例规定，注册监理工程师未执行法律、法规和工程建设强制性标准的，责令停止执业3个月以上1年以下；情节严重的，吊销执业资格证书，5年内不予注册；造成重大安全事故的，终身不予注册；构成犯罪的，依照刑法有关规定追究刑事责任。三、 工程监理合同订立建设单位通过招标等方式确定工程监理单位后，需要通过谈判明确监理合同的相关内容，就合同各项条款与工程监理单位进行协商并取得一致意见。工程监理合同应采用书面形式约定双方的义务和违约责任，且通常会参照国家推荐使用的示范文本。除建设

17、工程监理合同（示范文本）（GF-2012-0202）外，国家发展改革委等九部委联合发布的标准监理招标文件（2017年版）中也明确了监理合同条款及格式。监理合同条款由通用合同条款和专用合同条款两部分组成，同时以合同附件格式规定了合同协议书、履约保证金格式。（一）通用合同条款通用合同条款包括12个方面：一般约定、委托人义务、委托人管理、监理人义务、监理要求、开始监理和完成监理、监理责任与保险、合同变更、合同价格与支付、不可抗力、违约、争议解决。（二）专用合同条款专用合同条款是对通用合同条款的细化、完善、补充、修改或另行约定的条款。合同当事人可根据不同工程特点及具体情况，通过谈判、协商对相应通用合同

18、条款进行修改、补充。（三）合同文件解释顺序合同协议书与下列文件一起构成合同文件中标通知书。投标函及投标函附录。专用合同条款。通用合同条款。委托人要求；监理报酬清单。监理大纲。其他合同文件。上述合同文件互相补充和解释。如果合同文件之间存在矛盾或不一致之处，以上述文件的排列顺序在先者为准。四、 工程监理合同履行管理（一）委托人主要义务（1）除专用合同条款另有约定外，委托人应在合同签订后14日内，将委托人代表的姓名、职务、联系方式、授权范围和授权期限书面通知监理人，由委托人代表在其授权范围和授权期限内，代表委托人行使权利、履行义务和处理合同履行中的具体事宜。委托人更换委托人代表的，应提前14日将更换

19、人员的姓名、职务、联系方式、授权范围和授权期限书面通知监理人（2）委托人应按约定的数量和期限将专用合同条款约定由委托人提供的文件（包括规范标准、承包合同、勘察文件、设计文件等）交给监理人。（3）委托人应在收到预付款支付申请后28日内，将预付款支付给监理人。（4）符合专用合同条款约定的开始监理条件的，委托人应提前7日向监理人发出开始监理通知。监理服务期限自开始监理通知中载明的开始监理日期起计算。（5）委托人应按合同约定向监理人发出指示，委托人的指示应盖有委托人单位章，并由委托人代表签字确认。在紧急情况下，委托人代表或其授权人员可以当场签发临时书面指示。委托人代表应在临时书面指示发出后24小时内发

20、出书面确认函，逾期未发出书面确认函的.该临时书面指示应被视为委托人的正式指示。（6）委托人应在专用合同条款约定的时间内，对监理人书面提出的事项作出书面答复；逾期没有作出答复的，视为已获得委托人批准。（7）委托人应当及时接收监理人提交的监理文件。如无正当理由拒收的，视为委托人已接收监理文件。委托人接收监理文件时，应向监理人出具文件签收凭证，凭证内容包括文件名称、文件内容、文件形式、份数、提交和接收日期、提交人与接收人的亲笔签名等。（8）委托人应在收到中期支付或费用结算申请后的28日内，将应付款项支付给监理人。委托人未能在前述时间内完成审批或不予答复的，视为委托人同意中期支付或费用结算申请。委托人

21、不按期支付的，按专用合同条款的约定支付逾期付款违约金。（9）委托人要求监理人进行外出考察、试验检测、专项咨询或专家评审时，相应费用不含在合同价格之中，由委托人另行支付。（10）通过监理人提出的合理化建议而降低工程投资、缩短施工期限或者提高工程经济效益的，委托人应按专用合同条款的约定给予奖励。（二）监理人主要义务1、监理工作内容除专用合同条款另有约定外，监理工作包括以下内容。（1）收到工程设计文件后编制监理规划，并在第一次工地会议7日前报委托人。根据有关规定和监理工作需要，编制监理实施细则。（2）熟悉工程设计文件，并参加由委托人主持的图纸会审和设计交底会议。题会议。（3）参加由委托人主持的第一次

22、工地会议，主持监理例会并根据工程需要主持或参加专（4）审查施工承包人提交的施工组织设计，重点审查其中的质量安全技术措施、专项施工方案与工程建设强制性标准的符合性。（5）检查施工承包人工程质量、安全生产管理制度及组织机构和人员资格。（6）检查施工承包人专职安全生产管理人员的配备情况。（7）审查施工承包人提交的施工进度计划，核查施工承包人对施工进度计划的调整（8）检查施工承包人的试验室。（9）审核施工分包人资质条件。（10）查验施工承包人的施工测量放线成果（11）审查工程开工条件，对条件具备的工程签发开工令。（12）审查施工承包人报送的工程材料、构配件、设备质量证明文件的有效性和符合性，并按规定对

23、用于工程的材料采取平行检验或见证取样方式进行抽检。（13）审核施工承包人提交的工程款支付申请，签发或出具工程款支付证书，并报委托人审核、批准。（14）在巡视、旁站和检验过程中，发现工程质量、施工安全存在事故隐患的，要求施工承包人整改并报委托人。（15）经委托人同意，签发工程暂停令和复工令。标准。（16）审查施工承包人提交的采用新材料、新工艺、新技术、新设备的论证材料及相关验收（17）验收隐蔽工程、分部分项工程。（18）审查施工承包人提交的工程变更申请，协调处理施工进度调整、费用索赔、合同争议等事项。（19）审查施工承包人提交的竣工验收申请，编写工程质量评估报告。（20）参加工程竣工验收，签署竣

24、工验收意见。（21）审查施工承包人提交的竣工结算申请并报委托人。（22）编制、整理工程监理归档文件并报委托人。2、工程监理职责（1）监理人应按合同协议书的约定指派总监理工程师，并在约定的期限内到职。监理更换总监理工程师应事先征得委托人同意，并应在更换14日前将拟更换的总监理工程师的姓名和详细资料提交委托人。总监理工程师2日内不能履行职责的，应事先征得委托人同意，并委派代表代行其职责。（2）监理人为履行合同发出的一切函件均应盖有监理人单位章或由监理人授权的项目机构章，并由监理人的总监理工程师签字确认。按照专用合同条款约定，总监理工程师可以接权其下属人员履行其某项职责，但事先应将这些人员的姓名和授

25、权范围书面通知委托人和承包人。（3）监理人应在接到开始监理通知之日起7日内，向委托人提交监理项目机构以及人员安排的报告，其内容应包括项目机构设置、主要监理人员和作业人员的名单及资格条件。主要监理人员应相对稳定；更换主要监理人员的，应取得委托人的同意，并向委托人提交继任人员的资格、管理经验等资料。除专用合同条款另有约定外，主要监理人员包括总监理工程师、专业监理工程师等；其他人员包括各专业的监理员、资料员等。（4）除专用合同条款另有约定外，监理人应根据工程情况对监理责任进行保险，并在合同履行期间保持足额、有效。（5）总监理工程师应当在办理工程质量监督手续前签署工程质量终身责任承诺书，连同法定代表人

26、出具的授权书，报送工程质量监督机构备案。总监理工程师应当按照法律和法规.有关技术标准、设计文件和工程承包合同进行监理，对施工质量承担监理责任。（6）监理人应当根据法律、规范标准、合同约定和委托人要求实施和完成监理，并编制和移交监理文件。监理文件的深度应满足本阶段相应监理工作的规定要求，满足委托人下一步工作需要，并应符合国家和行业现行规定。（7）合同履行中，监理人可对委托人要求提出合理化建议，合理化建议应以书面形式提交委托人。（8）监理人应对施工承包人在缺陷责任期的质量缺陷修复进行监理。（三）违约责任1、委托人违约在合同履行中发生下列情况之一的，属委托人违约（1）委托人未按合同约定支付监理报酬。

27、（2）由于委托人的原因造成监理停止。（3）委托人无法履行或停止履行合同。（4）委托人不履行合同约定的其他义务。委托人发生违约情况时，监理人可向委托人发出暂停监理通知，要求其在限定期限内纠正；逾期仍不纠正的，监理人有权解除合同并向委托人发出解除合同通知。委托人应当承担由于违约所造成的费用增加、周期延误和监理人损失等。2、监理人违约在合同履行中发生下列情况之一的，属监理人违约（1）监理文件不符合规范标准及合同约定。2）监理人转让监理工作。（2）监理人未按合同约定实施监理并造成工程损失。（3）监理人无法履行或停止履行合同。（4）监理人不履行合同约定的其他义务。发生监理人违约情况时，委托人可向监理人发

28、出整改通知，要求其在限定期限内纠正；逾期仍不纠正的，委托人有权解除合同并向监理人发出解除合同通知。监理人应当承担由于违约所造成的费用增加、周期延误和委托人损失等。五、 工程监理实施细则（一）监理实施细则的编制依据和内容监理实施细则是在监理规划的基础上，针对工程项目中某一专业或某一方面监理工作编制的操作性文件。对专业性较强、危险性较大的分部分项工程，项目监理机构应编制监理实施细则。1、监理实施细则的编制依据监理实施细则应依据下列内容编制。（1）已批准的监理规划。（2）与专业工程相关的标准、设计文件和技术资料。（3）施工组织设计、专项）施工方案此外，监理实施细则的编制还可依据工程监理单位的规章制度

29、和经认证发布的质量管理体系，以达到监理内容的全面、完整，有效地提高工程监理工作质量。2监理实施细则的内容建设工程监理规范（GB/T50319-2013）明确规定，监理实施细则内容包括专业工程特点。监理工作流程。监理工作要点。监理工作方法及措施。（二）监理实施细则的编审程序监理实施细则应在相应工程施工前，由专业监理工程师编制。监理实施细则编制完成后，需要报总监理工程师审核批准后方可实施。监理实施细则审核的主要内容包括专业工程特点描述是否准确。监理工作流程是建筑与房地严经济专业知识和实务（中级否完整、翔实，是否与施工流程相衔接。监理工作要点是否明确、清晰，目标值控制点设置是否合理、可控。监理工作方

30、法是否科学、合理、有效，监理工作措施是否具有针对性、可操作性等在工程监理实施过程中，监理实施细则可根据实际情况进行补充、修改，并应经总监理工程师批准后实施。六、 工程监理规划（一）监理规划的编制依据和内容监理规划是项目监理机构全面开展工程监理工作的指导性文件。监理规划的编制既要考虑到工程特点，也要结合项目监理机构的实际状况，要使监理规划具有实际指导性和可操作性。1、监理规划的编制依据监理规划应依据下列内容编制。（1）相关法律、法规和标准。（2）拟建工程外部环境调研资料，包括自然、社会、经济条件等方面的资料（3）工程项目有关审批、核准或备案文件。（4）工程监理合同及施工、材料设备采购合同。（5）

31、委托方要求（6）工程实施过程中输出的有关工程信息。2、监理规划的编制和内部审核（1）监理规划应在签订工程监理合同及收到工程设计文件后，由总监理工程师组织专业监理工程师编制。（2）项目监理机构编制完成的监理规划需要报送工程监理单位技术负责人进行审核。审核的主要内容如下。1）监理范围、工作内容及监理目标是否与工程监理合同要求和建设意图相一致。2）项目监理机构的组织形式是否合理，人员配备及进退场计划是否满足监理工作需要。3）监理工作实施计划是否合理、可行。4）工程质量、造价、进度控制方法和措施是否科学、合理、有效。5）安全生产管理的监理工作内容和方式是否明确有效，相关制度是否建立和健全。6）监理工作

32、制度是否健全、有效。3、监理规划的审批确认经工程监理单位技术负责人审核签字后的监理规划，应在召开第一次工地会议前报送建设单位审批确认。监理规划经建设单位审批确认后方可实施。在工程监理实施过程中，由于实际情况或条件发生变化而需要调整监理规划时，应由总监理工程师组织专业监理工程师修改，并应经工程监理单位技术负责人批准后报建设单位审批确认。七、 产业环境分析保持经济社会平稳较快发展，提高发展质量和效益，发展平衡性、包容性和可持续性不断增强，确保如期全面建成小康社会。到2017年，全区地区生产总值和城乡居民人均收入比2010年同口径翻一番；到2020年，全区地区生产总值迈上新台阶，城乡居民人均收入同步

33、提升。产业支撑更加有力。“三大新兴产业”实现快速发展，传统产业进一步提质增效，初步构建起支撑区域发展的产业新体系。城市品质更加优良。进一步突出以人为本，城市综合功能进一步完善，环境质量不断提升，社会民生持续改善。人民生活更加美好。就业、教育、文化、卫生、体育、社保、住房等公共服务体系更加健全，初步实现城乡基本公共服务均等化，人民群众生活质量、健康水平和文明素质不断提高，参与感、获得感、幸福感显著增强。八、 技术端：先进制程拉动刻蚀用量，复杂结构打开设备市场逻辑芯片不断突破，先进工艺刻蚀次数也不断提升。晶圆代工行业呈现越来越高的资金和技术壁垒，如今晶圆厂一条28nm的4万/月的生产线需要40-5

34、0亿美元资本开支，研发新一代制程节点可能需要数十亿美元，如此庞大的投入构筑起了高资金和技术壁垒。而随着“摩尔定律”放缓，从7纳米到5纳米乃至3纳米，每一个制程节点都举步维艰，拥有高端制程能力的公司屈指可数，而对于不同节点的产品研发也需要海量的资金投入。而随着先进制程工艺不断演进，所需要的刻蚀次数也逐渐增多，从65nm制程的20次增加至5nm制程的160次，复杂度提升了8倍，显著提升了半导体刻蚀设备的数量和质量。逻辑电路制程不断微缩，FinFET成为当前主流工艺。逻辑电路工艺不断的向着微型化发展，基于传统平面MOSFET结构的晶胞单元不断的缩小，漏、源的间距也不断的减小，栅极的控制力就不断的减弱

35、，导致器件的性能恶化，同时增加了静态的功耗。当半导体工艺向更高技术节点挺进时，平面结构制程工艺逐渐达到极限难以突破，3D结构的FinFET工艺逐渐成为主流。与平面晶体管相比，FinFET器件改进了对沟道的控制，从而减小了短沟道效应，同时能够更好地对沟道进行静电控制。然而，当工艺制程来到3nm之后，鳍片(Fin)宽度达到5nm(等于3nm节点)时，FinFET将接近实际极限，再向下就会遇到瓶颈。此时全环栅晶体管GAA有望延续半导体技术经典“摩尔定律”的新兴技术路线，进一步增强栅极控制能力，克服当前技术的物理缩放比例和性能限制。先进工艺结构增加刻蚀难度与刻蚀步骤，对刻蚀设备提出了更高的要求。半导体

36、逻辑电路的不断微缩，包括技术本身进化的需求，刻蚀工艺在不断迭代，像MultiplePatterning技术、基于金属硬掩模的双大马士革工艺等等，都提高了刻蚀的难度，相应刻蚀机制造的难度也随之增加。同时先进制程增加了刻蚀的步骤，多次刻蚀要求每一个步骤的精确度足够高，才能保证整体生产的良率。存储工艺革新带动刻蚀需求提升。NANDFlash技术不断成熟和进步，现已经迈入3DNAND时代，3DNAND采用将存储单元立体堆叠的方式，使得储存能力提升明显，而其技术复杂程度较2D有显著提升。3DNAND需要先经过干法和湿法刻蚀形成柱形通孔和3DNAND单元，由内层依次形成沉积氧化层-氮化层-氧化层结构后形成

37、浮栅层，然后刻蚀多余的FG使之能够实现完全隔离，最后通过多步沉积形成3DNANDFlash。3DNAND形成过程中需要用到多步刻蚀，并且要保证刻蚀的各向异性和尽量小的偏差，对于刻蚀设备和相应技术都有着极高的要求。高深宽比通道刻蚀与选择性刻蚀等步骤使3DNAND刻蚀难度全面升级。在96层3DNAND中纵横比高达70:1，每块晶圆中有一万亿个微小孔通道，孔道随着叠加层数而增多，故保证孔道的均匀性和平整性才能保证器件的性能。其中，克服不完全刻蚀、弓形刻蚀、扭曲以及堆叠顶部和底部之间的CD差异成为刻蚀3DNAND工艺中面临的巨大挑战。此外，选择性刻蚀是3DNAND刻蚀工艺中的关键步骤，刻蚀的均一性直接

38、影响后续栅极电介质的沉积质量，但随着堆叠层数增加，畸形氧化沉积层变厚，严重时会直接导致氧化层塌陷，影响芯片性能。因此，3DNAND更高堆叠层数的突破将带来刻蚀难度的极大提升，器件性能的突破也往往伴随着刻蚀工艺的长足进步。DRAM微缩工艺拉动刻蚀设备需求。DRAM制程工艺进入20nm以后，由于制造难度越来越高，内存芯片制造厂商对工艺的定义已经不是具体的线宽，而是分成了1x、1y、1z，大体来讲，1x-nm制程相当于1619nm、1y-nm相当于1416nm，而1z-nm则相当于1214nm。如今传统的DRAM面临越来越严峻的微缩挑战，随着半导体制造技术持续朝更小的技术节点迈进，DRAM电路图形密

39、度增大，多重图案化重复次数增加，极大地增加了刻蚀工艺的设备需求。九、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升

40、级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。十、 公司简介（一）基本信息1、公司名称：xx（集团）有限公司2、法定代表人：田xx3、注册资本：1180万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2012-11-117、营业期限：2012-11-11至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx（二）公司简介经过多年的发展，公司拥有雄厚的技术实力，丰富的生产

41、经营管理经验和可靠的产品质量保证体系，综合实力进一步增强。公司将继续提升供应链构建与管理、新技术新工艺新材料应用研发。集团成立至今，始终坚持以人为本、质量第一、自主创新、持续改进，以技术领先求发展的方针。公司秉承“以人为本、品质为本”的发展理念，倡导“诚信尊重”的企业情怀；坚持“品质营造未来，细节决定成败”为质量方针；以“真诚服务赢得市场，以优质品质谋求发展”的营销思路；以科学发展观纵观全局，争取实现行业领军、技术领先、产品领跑的发展目标。 （三）公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额3369.922695.942527.44负债

42、总额1866.791493.431400.09股东权益合计1503.131202.501127.35公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入7962.826370.265972.11营业利润1292.701034.16969.53利润总额1211.84969.47908.88净利润908.88708.93654.39归属于母公司所有者的净利润908.88708.93654.39十一、 投资计划（一）投资估算的依据本期项目其投资估算范围包括：建设投资、建设期利息和流动资金，估算的主要依据包括：1、建设项目经济评价方法与参数（第三版）2、投资项目可行性研究指南3、建设

43、项目投资估算编审规程4、建设项目可行性研究报告编制深度规定5、建设工程工程量清单计价规范6、企业工程设计概算编制办法7、建设工程监理与相关服务收费管理规定（二）项目费用与效益范围界定本期项目费用界定为工程费用和项目运营期所发生的各项费用；项目效益界定为运营期所产生的各项收益，并严格遵循财务评价过程中费用与效益计算范围相一致性的原则。本期项目建设投资6649.02万元，包括：工程费用、工程建设其他费用和预备费三个部分。（三）工程费用工程费用包括建筑工程费、设备购置费、安装工程费等；工程建设其他费用包括：建设管理费、勘察设计费、生产准备费、其他前期工作费用，合计5743.67万元。1、建筑工程费估

44、算根据估算，本期项目建筑工程费为3449.43万元。2、设备购置费估算设备购置费的估算是根据国内外制造厂家（商）报价和类似工程设备价格，同时参照机电产品报价手册和建设项目概算编制办法及各项概算指标规定的相应要求进行，并考虑必要的运杂费进行估算。本期项目设备购置费为2157.27万元。3、安装工程费估算本期项目安装工程费为136.97万元。（四）工程建设其他费用本期项目工程建设其他费用为737.46万元。（五）预备费本期项目预备费为167.89万元。建设投资估算表单位：万元序号项目建筑工程设备购置安装工程其他费用合计1工程费用3449.432157.27136.975743.671.1建筑工程费

45、3449.433449.431.2设备购置费2157.272157.271.3安装工程费136.97136.972其他费用737.46737.462.1土地出让金333.23333.233预备费167.89167.893.1基本预备费108.76108.763.2涨价预备费59.1359.134投资合计6649.02（六）建设期利息按照建设规划，本期项目建设期为24个月，其中申请银行贷款3882.86万元，贷款利率按4.9%进行测算,建设期利息190.27万元。建设期利息估算表单位：万元序号项目合计第1年第2年1借款1.1建设期利息190.2747.57142.701.1.1期初借款余额194

46、1.431.1.2当期借款3882.861941.431941.431.1.3当期应计利息190.2747.57142.701.1.4期末借款余额1941.433882.861.2其他融资费用1.3小计190.2747.57142.702债券2.1建设期利息2.1.1期初债务余额2.1.2当期债务金额2.1.3当期应计利息2.1.4期末债务余额2.2其他融资费用2.3小计3合计190.2747.57142.70（七）流动资金流动资金是指项目建成投产后，为进行正常运营，用于购买辅助材料、燃料、支付工资或者其他经营费用等所需的周转资金。流动资金测算一般采用分项详细测算法或扩大指标法，根据企业流动资

47、金周转情况及本项目产品生产特点和项目运营特点，该项目流动资金测算参照同行业流动资产和流动负债的合理周转天数，采用分项详细测算法进行测算。根据测算，本期项目流动资金为1426.63万元。流动资金估算表单位：万元序号项目第1年第2年第3年第4年第5年1流动资产0.008474.429685.0512106.311.1应收账款0.003813.494358.275447.841.2存货0.002966.053389.774237.211.2.1原辅材料0.00889.811016.931271.161.2.2燃料动力0.0044.4950.8563.561.2.3在产品0.001364.381559

48、.301949.121.2.4产成品0.00667.36762.70953.371.3现金0.00677.95774.80968.501.4预付账款0.001016.931162.211452.762流动负债0.007475.788543.7410679.682.1应付账款0.002691.283075.743844.682.2预收账款0.004784.505468.006835.003流动资金0.00998.641141.301426.634流动资金增加0.00998.64142.66285.335铺底流动资金0.002542.322905.513631.89（八）项目总投资本期项目总投资包

49、括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资8265.92万元，其中：建设投资6649.02万元，占项目总投资的80.44%；建设期利息190.27万元，占项目总投资的2.30%；流动资金1426.63万元，占项目总投资的17.26%。总投资及构成一览表单位：万元序号项目指标占总投资比例1总投资8265.92100.00%1.1建设投资6649.0280.44%1.1.1工程费用5743.6769.49%1.1.1.1建筑工程费3449.4341.73%1.1.1.2设备购置费2157.2726.10%1.1.1.3安装工程费136.971.66%1.1.2工程建设其他费用7

50、37.468.92%1.1.2.1土地出让金333.234.03%1.1.2.2其他前期费用404.234.89%1.2.3预备费167.892.03%1.2.3.1基本预备费108.761.32%1.2.3.2涨价预备费59.130.72%1.2建设期利息190.272.30%1.3流动资金1426.6317.26%（九）资金筹措与投资计划本期项目总投资8265.92万元，其中申请银行长期贷款3882.86万元，其余部分由企业自筹。项目投资计划与资金筹措一览表单位：万元序号项目数据指标占总投资比例1总投资8265.92100.00%1.1建设投资6649.0280.44%1.2建设期利息19

51、0.272.30%1.3流动资金1426.6317.26%2资金筹措8265.92100.00%2.1项目资本金4383.0653.03%2.1.1用于建设投资2766.1633.46%2.1.2用于建设期利息190.272.30%2.1.3用于流动资金1426.6317.26%2.2债务资金3882.8646.97%2.2.1用于建设投资3882.8646.97%2.2.2用于建设期利息2.2.3用于流动资金2.3其他资金十二、 项目实施进度计划（一）项目进度安排结合该项目建设的实际工作情况，xx（集团）有限公司将项目工程的建设周期确定为24个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计

52、、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。项目实施进度计划一览表单位：月序号工作内容246810121416182022241可行性研究及环评2项目立项3工程勘察建筑设计4施工图设计5项目招标及采购6土建施工7设备订购及运输8设备安装和调试9新增职工培训10项目竣工验收11项目试运行12正式投入运营（二）项目实施保障措施本期项目计划在获得土地使用权后动工建设。为了确保项目按进度计划顺利进行，同时为了节约项目建设时间，根据该项目的建设和运营特点，项目建设单位拟采用以下具体保障措施：1、项目建设单位要合理安排设计、采购和设备安装的时间，在工作上交叉进行，最大限度缩短建设周期。将投资密度比较大的部分工程尽量押后施工，诸如其它配套工程等。2、将整个项目分期、分段建设，进行项目分解、工期目标分解，按项目的适应性安排施工，各主体工程的施工期叉开实施。3、在技术交流谈判同时，提前进行设计工作。对于制造周期长的设备，提前设计，提前定货。融资计划应比资金投入计划超前，时间及资金数量需有余地。4、项目建设单位组建一个投资控制小组，负责各期投资目标管理跟踪，各阶段实际投资与计划对比，进行投资计划调整，分析原因采取措施，确保该项目建设目标如期完成。