热场发射扫描电镜
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NOVA NanoSEM430扫描电镜1. 设备外型:2. 主要功能:Nova? NanoSEM 430型号扫描电镜是一款具备超高分辨率的热场发射扫描电镜,主要用于获得纳米尺寸级别的样品表面形貌信息,可在高真空下实现高压和低压的超高分辨率形貌检测。配备两种物镜模式(浸没式和无场式)。配备红外CCD检测相机,极靴内二次电子检测器, 通用 ET二次电子检测器,低真空二次电子检测器,极靴内背散射电子检测器,高真空背散射电子探测器,高衬度背散射电子探测器,低真空 Helix 二次电子探测器。配置电子束减速模式。最大 100*100mm样品移动距离。具备优秀的样品位置导航系统。可在低真空下测量未喷镀的导电样品形貌信息,也可在低真空下获得非导电样品的超高分辨率信息。3. 技术参数:a. 抽真空时间:至 3.0e-2Pa 150s,至 130Pa270s。b. 腔体极限真空 6e-4Pa,下 IGP 真空 5e-5Pa,上 IGP 真空 5e-7Pa。c. UHR 模式下在 15kV 下像散 15um , 1kV 下像散 40um 。d. 15kV 下分辨率 1.0nm , 1kV 下分辨率 1.6nm 。2e. X-Max80型号能谱仪分析元素范围: Be4-U92, 80mm 活区窗口,分辨率优于 129eV (MnK 处 , 计数率为 40000cps) 。
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