68英寸硅抛光片扩产项目环境影响报告书

《68英寸硅抛光片扩产项目环境影响报告书》由会员分享，可在线阅读，更多相关《68英寸硅抛光片扩产项目环境影响报告书（43页珍藏版）》请在装配图网上搜索。

1、建设项目环境影响报告表项目名称： 6-8英寸硅抛光片扩产项目 建设单位：宁波立立电子股份有限公司(盖章)编制日期： 2006年2月 18日浙江省环境保护局制2环评文件确认书建设单位宁波立立电子股份有限公司项目名称6-8英寸硅抛光片扩产项目项目地址宁波保税东区港东大道20号投资额35000万元法定代表人李立本联系电话574-86821903宁波市环保局：我公司委托宁波市环科院编制的“宁波立立电子股份有限公司6-8英寸硅抛光片扩产项目环境影响报告表”经我公司审核，同意该环评文件所述内容，并承诺做到如下环保措施：1、 废气治理：本项目主要为硅片化腐废气，通过集气罩经引风机送入废气水洗塔处理后，可以达

2、到大气污染物综合排放标准(GB16297-1996)二级排放标准。 2、 废水治理：本项目生产废水可以接入生产废水处理设施，经调节中和、混凝沉淀、A/O生化处理后可以达到岩东污水处理厂进网标准，通过保税区污水管网系统排入岩东污水处理，再经岩东污水处理厂二级生化处理后排海。3、 噪声治理：本项目噪声主要为各类设备运行噪声，生产车间噪声在7085dB之间，对有振动设备均应设防震基础或减震垫，确保厂界噪声达到工业企业厂界噪声标准(GB12348-90)类标准。4、 固废治理：生产过程中产生固废物通过分类收集，分质处置的原则，对废多晶硅锭进行回收利用；废水处理装置排放污泥、生活垃圾由环卫部门清运。5、

3、 其它：如改变生产内容和规模，将重新进行相应的环境影响评价及审批。 宁波立立电子股份有限公司(盖章)法定代表人(签字)：2006年月日备注2项目名称： 6-8英寸硅抛光片扩产项目环评类型：环境影响报告表评价单位： 宁波市环境保护科学研究设计院 (公章)项目名称： 6-8英寸硅抛光片扩产项目 环评类型： 环境影响报告表 项目编号： 20060117 项目负责人： 蔡锡明 评价人员情况姓 名从事专业职称上岗证号职责签名蔡锡明环境工程高 工环评岗证字第A20040026号填表赵永才环境工程高 工环评岗证字第A20040018号审核-38-建设项目基本情况项目名称6-8英寸硅抛光片扩产项目建设单位宁波

4、立立电子股份有限公司法人代表李立本联系人乐永幸通讯地址宁波保税东区港东大道20号联系电话86881150传真86881152邮编315800建设地点宁波保税东区港东大道20号立项审批部门宁波市发改委批准文号甬发改备200558号建设性质新建 改扩建技改 行业类别及代码C41占地面积22368.82绿化面积8276总投资35000(万元)其中：环保投资230万元环保投资占总投资比例0.65%评价经费 万元预期投产日期2006年1月工程内容及规模1、 项目背景宁波立立电子股份有限公司(以下简称“立立电子”)系由浙江大学半导体学科相关的技术和管理人员共同组建的股份制企业，于2000年6月21日在宁波

5、保税区注册成立。五年来，通过贯彻“立信、立德、务实、创新”的理念，遵循着“追求纯净完美，满足顾客期望”的宗旨，致力于重掺系列硅单晶锭、硅抛光片、外延片及复合半导体材料的研制。公司在技术上以浙江大学硅材料科学国家重点实验室、浙江大学半导体材料研究所为依托。并拥有一批高素质的技术骨干，在全部512名员工中，本科以上学历有114人，其中高级职称20人，博士5人，硕士40人。公司拥有十多项核心技术发明专利，独创了酸腐蚀工艺、有蜡贴片工艺、多层外延片工艺。公司占地面积5万平方米，均按国际一流的生产要求设计，专用厂房最高净化级别为0.1m10级。公司相继通过了瑞士SGS公司的ISO9001：2000和QS

6、9000：1998质量体系认证，目前正在推行TS16949/ISO14000的认证工作。公司是国家“863”计划成果产业化基地，国家级重点高新技术企业，设有企业博士后流动站。目前，立立电子已成为中国唯一拥有硅单晶锭、抛光片、外延片、芯片制造的完整产业链的企业。拥有三家控股子公司宁波立立半导体有限公司、杭州立昂电子有限公司和杭州立立科技实业有限公司。立立电子从成立之初的年销售不过500万元、资产总额3000万元，经过近五年来的发展成为注册资本金达7108万元，股东权益2.16亿元，资产总额5.81亿元，年销售达3.7亿元的公司规模，成为全国七家年产值超亿元的硅材料生产企业之一。目前是国内已建成的

7、最大的4-6英寸重掺砷、磷、锑、硼单晶锭，硅抛光片、外延片的生产基地，生产能力年产单晶锭120吨、抛光片300万片、外延片30万片。产品已提供给国内外一批晶圆厂商，如上海先进、上海新进、上海贝岭、杭州士兰、无锡华晶、美国Fairchild、美国IR、美国TI、日本NEC。 并与国际著名的ST公司和美国ONSEMI公司建立了良好的战略合作伙伴关系，市场可以得到保障。在战略远景规划上, 公司将通过多种筹资渠道募集资金等来解决发展问题，拟在未来的三年中投入5-7亿元人民币技术改造资金，进一步提高重掺单晶硅锭产量和硅外延片生产规模,提高公司在集成电路行业内的核心竞争力，建立中国最大的具有国际影响力的年

8、产300吨4-8英寸重掺单晶硅锭和420万片4-8英寸重掺系列硅抛光片、140万片4-8英寸重掺系列硅外延片和30万片6英寸功率芯片的生产基地，分别位列全球市场规模的前列， 使公司年销售规模达到8-10亿元，成为全球半导体材料行业排名前十位的知名供应厂商。力争在经过的20-30年的努力成长为全球半导体材料一流的制造商。根据我国半导体集成电路市场和半导体材料市场发展需要，宁波立立电子股份有限公司在公司现有厂房和完善的检测设备及处理系统的基础上，扩大 6-8英寸硅抛光片的生产，根据中华人民共和国环境影响评价法和建设项目环境保护管理条例，为了切实做好环保工作，宁波立立电子股份有限公司委托宁波市环境保

9、护科学研究设计院对该本项目进行环境影响评价工作。2、 生产内容及规模根据项目可行性报告，本项目主要进行硅抛光片的生产，项目建成后公司将新增月产25万片6-8英寸硅抛光片；产品可用于生产MOS、双极型集成电路及集成电路外延衬底片等。与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题本项目相关企业主要有宁波立立半导体有限公司和宁波立立电子股份有限公司，上述二企业所有公用工程设施为共用，根据硅外延片生产工艺，硅外延片的生产一般可分三步：第一步是单晶硅晶锭的生产，是利用单晶炉将半导体级多晶硅在最高温度达1700的热场中熔化，然后通过籽晶生长在用户所需的直径和电学参数的单晶硅锭；第二步是将硅锭进行切、磨、抛加工，

10、转化成抛光片；第三步在抛光片基础上，在特定的气相反应炉内在硅片的正表面生长一层簿膜加工成外延片。其生产工艺流程分工如下：立立电子立立半导体多晶硅多晶硅检验备料晶体生长取样、分析测试晶锭分段滚园切片切片清洗检验石英坩埚制作参考面检验晶锭粘结磨片化腐背面处理倒角研磨硅片热处理检验硅片边沿抛光贴片硅片表面抛光抛光片清洗检验外延外延清洗检验抛光液最终产品质量检验包装检验检验检验研磨砂立立电子立立半导体入库根据生产分工情况，其二个企业目前主要包括已建工程、在建研发项目、公用工程概况及三废排放情况如下：一、已建工程概况1、宁波立立半导体有限公司生产及污染情况(1)企业概况宁波立立半导体有限公司成立于199

11、8年，主要从事单晶硅片的加工生产，由宁波立立电子股份有限公司全资控股。其年生产能力为单晶硅抛光片300万片，注册资本5000万元，职工定员175人。(2)生产工艺其生产工艺及排污位置如下：成品晶锭切片切片检验热处理清洗倒角烘干革命检验抛光腐化研磨切割废水碱性废水研磨废水废气包装抛光片产品外延外延清洗检验检验硅外延片产品废气废水废水(3)主要设备其主要生产设备如下：序号名称数量单位序号名称数量单位127英寸切片机31台6硅片干燥机8台216英寸切片机5台7自动硅片热处理炉6台3磨片机12台8高纯水设备30t/h1套4倒角机15台高纯水设备12t/h1套5硅片清洗机22台9压缩空气系统20m3/h

12、7套(4)主要原材料消耗主要原材料消耗量如下：序号名称用量序号名称用量1单晶硅100t/a6行星片500片/a227英寸内园刀片100片/a7冷却液40t/a316英寸内园刀片2000片/a8研磨液10t/a4倒角砂轮120片/a9硅片包装盒20000个/a5研磨砂100t/a根据现有企业实际情况，其生产用水45t/d，纯水用量146t/d。(5)三废排放情况废水：根据生产工艺调查，生产过程废水产生情况为：切割废水产生量6t/d，其废水水质：COD150mg/l，SS1000mg/l，PH7.2；研磨废水产生量153t/d，其废水水质：COD610mg/l，SS1000mg/l，PH8.3；酸

13、碱废水产生量20t/d，其废水水质：COD250mg/l，SS100mg/l，PH5.011；清洗废水产生量10t/d，其废水水质：COD210mg/l，SS100mg/l，PH610；目前厂内进行清污分流，对生产废水排入废水处理站处理达标后排放。废气：废气主要为腐化工序产生的酸性废气，其主要成份为HF、HNO3，其废气排放量主要通过引风机，采用水洗吸收塔吸收处理后通过排气筒排放。现有5套废气处理装置，其每套处理风量为989.5m3/h，其总废气排放量为4947.5m3/h。废气经处理后正常运行情况下可以达到GB16297-1996大气污染物综合排放标准。2、宁波立立电子股份公司生产及污染情况

14、(1)企业概况宁波立立电子股份有限公司系股份制企业，主要股东是浙江大学半导体学科的专家和技术骨干，公司成立于2000年6月，主要经营范围为硅单晶锭、硅单晶抛光片及外延片的制造及销售。注册资本金7108万元，总占地面积90亩。建筑面积20937m2，职工定员165人，公司是目前国内已建成最大的4-6英寸重掺砷、磷、硼、锑单晶锭、4-6英寸硅外延片生产基地；生产厂房面积30000m2，其中净化面积3300m2，最高净化级别0.1m10级，厂房按国际一流的生产要求设计，一期工程于2000年10月正式投产，二期工程用于硅晶体生长于2001年3月投入试生产，三期外延厂房于2003年12月竣工。(2)生产

15、工艺单晶硅晶锭生产工艺单晶硅晶锭生产工艺及排污位置如下图：多晶清洗备料单晶生长单晶切段坩埚清洗晶锭滚圆检测酸性废气切割研磨废水酸性废水硅外延片生产工艺衬底面检外延生长外延片检测外延片清洗出厂包装外延片面检废气废气硅外延片生产工艺及排污位置如下图：(3)主要生产设备单晶硅晶锭生产主要生产设备如下：序号名称数量单位序号名称数量单位1单晶炉14台6检测仪器5台2真空泵18台7冷却塔2组3割断机3台8高纯水设备20t/h1套4滚圆机2台5清洗机3台硅外延片生产主要设备其主要生产设备如下：序号名称型号数量单位序号名称型号数量单位1外延炉PE2061S6台74PP测试仪1台2C-V测试仪1台8清洗机1台3

16、SRP测试仪SSM-20001台9甩干机1台4FTIP测试仪1台10外延炉尾气处理系统6台5LTV测试仪1台6颗粒度测试仪ADE CR81e1台(4)主要原材料消耗单晶硅晶锭生产主要原材料消耗如下：序号名称用量序号名称用量1多晶硅48t/a4盐酸1.2t/a2硝酸2.4t/a5氢氧化钠1.2t/a3氢氟酸0.3t/a其用水量为20t/d，其中：工艺用水70t/d；冷却水补充300t/d；生活用水及其它用水30t/d。硅外延片生产主要原料消耗如下：序号名称年用量单位来 源1抛光片32万片宁波立立半导体2石墨基座8只德国SGL3石英钟罩2只意大利LPE4三氯氢硅200kg美国PRAXAIR，香港特

17、气公司5氢氧化钠17460kg6氢氟酸600kg7硝酸2700kg8HCl175kg美国PRP9PH31kg美国PRAXAIR，香港特气公司10B2H61kg美国PRAXAIR，香港特气公司11N278840kg宁波MESSER阳光公司12包装袋13500只根据现有企业实际情况，其生产用水8t/d，纯水用量1t/d。(5)三废处理及排放情况废气酸性废气：清洗机、化腐机使用氢氟酸、硝酸，由于酸的挥发及与硅的反应产生的酸性废气，其生产过程中集中在密闭槽子内进行，通过引风机引入废气洗涤吸收塔进行处理，其废气排放量为2968.5m3/h。外延炉废气：硅片在外延过程中将产生含氯化氢及浓度极低(ppm级)

18、PH3、B2H6的废气，根据可行性研究报告，本项目将采用意大利CIR公司进口的专用外延炉尾气处理塔进行处理。废水切割、滚园研磨废水：切割机、滚园研磨机在对硅片切割、研磨过程中，需采用纯水进行冲洗，将产生含微量硅屑的研磨切割废水，废水量6m3/d。酸碱废水：坩锅清洗过程中将产生含硝酸、氢氟酸、氢氧化钠的酸碱废水，废水排放量为1t/d。含HF、HNO3酸废液：含HF、HNO3酸废液主要来自坩锅清洗工序，其产生量为0.1t/d，该废液将排入新建回收槽由HF供应单位回收处理。 噪声噪声主要来自于生产设备(包括纯水制作设备)运行产生的噪声，产生的噪声在5080dB之间；公用动力设备运行产生的噪声，包括空

19、压机房、真空机、水泵等，产生的噪声在6085dB之间；废水、废气处理设备运行产生的噪声，产生的噪声在5085dB之间。冷却水塔运行时产生的噪声，产生的噪声在6085dB之间。 固体废物根据本项目生产工艺，其固体废物产生情况如下：生产工序中使用的石墨基座废料，其主要成份为废石墨等，年产生量为30t/a；二、在建研发工程概况2004年根据发改办高技20041196号国家发展改革委办公厅关于开展2004年信息产业企业技术进步和产业升级专项可行性研究的通知精神，宁波立立电子有限公司和宁波立立半导体有限公司分别在公司现有超净厂房和完善的检测设备及处理系统的基础上，将从国外引进先进的线切割机等机器设备，并

20、与浙江大学硅材料国家重点实验室合作，再结合公司已有的技术成果和多年的产业化成功经验，经宁波市环境保护局审批建设8英寸抛光硅片技术改造和8-12英寸硅外延片生产的二个研发项目，目前上述二个项目正在建设之中，预计2006年底进行试生产，为了明确企业现有情况，本评价对在建项目说明如下：1、8英寸抛光硅片技术改造研发项目(1)项目概况该项目总投资6542万元，主要进行8英寸抛光硅片的生产，项目建成后公司将生产8英寸抛光硅片10万片/年。(2)生产工艺该项目主要从事抛光硅片的生产，主要将单晶硅锭在专用设备上进行切片、磨片、抛光加工生产，加工成抛光硅片，控制其几何尺寸和表面质量，使之能满足外延片生产的要求

21、。其生产工艺流程及排污情况如下：废气成品晶锭切片切片检验热处理清洗倒角烘干革命检验抛光腐化研磨切割废水酸性/碱性废水研磨废水包装抛光片产品废水(3)主要新增设备根据生产要求，其主要新增生产设备如下表： 序号名称型号数量单位备注1线切割机E400-E122台瑞士HTC2抛光机SPEEDFAM-594台日本SPEEDFAM3磨片机24B-5L1台日本SPEEDFAM4倒角机WGM-W4200B1台日本ACCRETECH5干燥机GENEX1日本SET6超声清洗机SST-2001日本SES7检测设备：(1)表面颗粒测试仪CR821美国ADE(2)厚度分选仪ADE72001美国ADE(3)厚度分选仪AD

22、E70001美国ADE(4)主要原辅材料及用量主要原辅材料及用量见下表。序号名称年用量单位来 源1单晶硅8000kg宁波立立电子公司227英寸内园刀片1800片南昌威金、美国NIFEC3倒角砂轮15片美国UCC、山东嘉详碳素厂4研磨砂100kg美国MICRABRASIVE5行星片100片美国RODEL6冷却液5t美国RODEL-NALCO7研磨液5t美国RODEL-NALCO8抛光液50t美国RODEL-NALCO9氢氧化钠1200kg10盐酸(MOS纯)15000升江苏江阴润玛、北京化试11NH4OH(MOS纯)20000加仑江苏江阴润玛、北京化试12H2O2(MOS纯)20000加仑江苏江

23、阴润玛、北京化试13氢氟酸(MOS纯)1850升江苏江阴润玛、北京化试14硝酸(分析纯)1120升江苏江阴润玛、北京化试15硅片包装盒80000只美国EMPAK16高纯气体Ar150升上海宝普17高纯气体N2400升上海宝普(5)三废排放情况本项目主要在现有生产车间内进行重新布局和增添相应的8英寸生产设备，其污染源分析如下：废气本项目腐化工序在现有生产车间通风柜内进行，各通风柜均配置相应的引风机、废气水洗吸收塔，从腐化工序所用原料来看，其废气主要为腐化工序产生的酸性/碱性废气，其主要成份为HF、HNO3、NaOH等，目前，其废气排放量主要通过引风机，采用水洗吸收塔吸收处理后通过排气筒排放。废气

24、经处理后在正常运行情况下可以达到GB16297-1996大气污染物综合排放标准二级标准。废水本项目建成投产后，其新增工艺废水如下：抛光废水产生量3t/d，其废水水质：COD150mg/l，SS1000mg/l，PH7.2；化腐、清洗废水产生量3t/d，其废水水质：COD210mg/l，SS100mg/l，PH410；噪声噪声主要来自于生产设备运行产生的噪声，其噪声源强如下：切片机80dB、研磨机75dB、清洗机77dB、热处理机62dB、空压机80dB、纯水制备7080dB之间；公用动力设备运行产生的噪声，包括空压机房、真空机、水泵等，产生的噪声在6085dB之间；废水、废气处理设备运行产生的

25、噪声，产生的噪声在5085dB之间。固体废物根据本项目生产工艺，其固体废物产生情况如下：化学腐蚀过程产生的腐化废液，其主要成份为HNO3、HF等，年产生量为1.5t/a；污水处理站混凝沉淀后产生污泥，根据废水中SS浓度，确定其污泥排放量为12t/a。2、8-12英寸硅外延片生产研发项目概况(1)项目概况该项目总投资19435万元，主要进行硅外延片的生产，项目建成后公司将生产8英寸硅外延片24万片/年(折合6英寸P型/N型单层/多层硅外延片42.7万片/年)；同时开发12英寸硅外延片，形成小批量生产能力。(2)生产工艺本项目主要涉及第三步生产工艺，硅外延片生产工艺流程及排污情况如下：衬底面检外延

26、生长外延片检测外延片清洗出厂包装外延片面检废气废气(3)主要新增设备根据生产要求，其主要生产设备如下表：序号名称型号数量单位序号名称型号数量单位1外延炉HT20005台74PP测试仪1台HT30001台8清洗机1台2C-V测试仪495CN1台9激光打标机1台3SRP测试仪SSM-20001台10甩干机1台4FTIP测试仪1台外延炉尾气处理系统8NR206台5LTV测试仪1台6颗粒度测试仪ADE CR81e1台(4)主要原辅材料及用量主要原辅材料及用量见下表。序号名称年用量单位备 注18英寸衬底片24万片立立电子提供2石墨基座6只德国SGL3石英钟罩2只意大利LPE4三氯氢硅气体147kg美国P

27、RAXAIR，香港特气公司5盐酸(试剂级)2瓶(500ml/瓶)6氨水(试剂级)2瓶(500ml/瓶)7双氧水(试剂级)85瓶(500ml/瓶)8HCl130kg美国PRP9PH31kg美国PRAXAIR，香港特气公司10B2H61kg美国PRAXAIR，香港特气公司11N259000m3宁波MESSER阳光公司12洁净包装袋10000只130#柴油2128t定额用量266kg/h(5)三废排放情况本项目主要为增设外延炉及其相关检测设备，其污染源分析如下：废气酸、碱性废气：酸、碱性废气主要来自外延片钟罩机架清洗工序，清洗工序主要使用盐酸、氨水、过氧化氢，由于盐酸、氨气的挥发产生的酸、碱性废气，

28、其生产过程中集中在密闭槽子内进行，通过引风机引入废气洗涤吸收塔进行处理，其废气排放量为1000m3/h。外延炉废气：硅片在外延过程中将产生含氯化氢及浓度极低(ppm级)PH3、B2H6的废气，根据可行性研究报告，本项目将采用意大利CIR公司进口的专用外延炉尾气处理塔进行处理。生产废水酸、碱废水：外延片清洗机使用盐酸、氨水、双氧水清洗硅片，清洗废水含有一定的盐酸、氨水及废气吸收废水，废水排放量为0.5t/d。噪声噪声主要来自于生产设备(包括纯水制作设备)运行产生的噪声，产生的噪声在5080dB之间；公用动力设备运行产生的噪声，包括空压机房、真空机、水泵等，产生的噪声在6085dB之间；废水、废气

29、处理设备运行产生的噪声，产生的噪声在5085dB之间。冷却水塔运行时产生的噪声，产生的噪声在6085dB之间。固体废物根据本项目生产工艺，其固体废物产生情况如下：生产工序中使用的石墨基座废料，其主要成份为废石墨等，年产生量为30t/a；污水处理站混凝沉淀后产生污泥，根据废水中SS浓度，确定其污泥排放量为12t/a。企业办公、生活垃圾其产生量为36t/a。三、公用工程(1)给水排水系统企业给排水系统主要依托宁波保税区东区给排水管网，自来水接自保税区东区给水管网，其供水能力达6000t/d，厂内建有循环冷却水系统能力为4000t/h，纯水、高纯水制备其能力为600t/d。企业建有250t/d处理能

30、力废水处理设施一套，生产废水经中和、沉淀、生化处理后排入保税东区污水管网，进入岩东污水处理厂。(2)供热由于目前保税区东区内没有集中供热，为了控制洁净厂房的温度和湿度，本项目设立燃油蒸气锅炉一台，采用0#柴油作为燃料，其用量226kg/h，锅炉工作时间以每天24小时计，年耗燃油量约2128t/a。根据三废处理工程技术手册废气卷提供的产污系数，估算得各大气污染物排放量如下表：污染物名称排放系数排放量浓度烟气量16.5Nm3/L油5160.93m3/h4459.06万Nm3/aTSP0.25kg/kL0.0782kg/h0.6757t/a15 mg/Nm3SO26.0kg/kL1.878kg/h1

31、6.2153t/a364mg/Nm3NO2*2.24kg/kL0.7024kg/h6.0539t/a136mg/Nm3CO0.63kg/kL0.1968kg/h1.7023t/a38mg/Nm3*：为原数值NO2%0.8得到。(3)供电供电接保税区供电网络，公司原有35KV变电站一座，总供电容量20000KVA。(4)压缩空气本项目二套20m3/min无油空气压缩机组。(5)职工人数、生产制度全公司现有员工及管理人员数为200人。年工作日330天左右，三班制运行。四、主要环境问题根据宁波立立半导体有限公司、宁波立立电子股份有限公司的竣工验收报告，目前该公司位于宁波保税区东区，废水、废气处理装置

32、齐全，正常运行情况下，能确保废水、废气、噪声的达标排放，同时，宁波保税区属港口贸工型的综合性保税区，配套设施完善，全区排水采用雨污水分流制，排水与宁波开发区并网，污水通过泵站排至开发区岩东污水处理厂处理达标后排入金塘水道。主要环境问题该公司应加强废气处理装置的运行管理，确保废气处理装置意外事故的发生，影响周围环境。建设项目所在地自然环境社会环境简况自然环境简况(地形、地貌、地质、气候、气象、水文、植被、生物多样性等)1、 地理位置项目位于宁波保税区东区0125地块，港东大道20号。厂区北临保税区界河，靠近港务局码头区；南依港东大道，与兰羚钢铁公司隔路相望；东为兴业五路，与宁波日月钻石科技有限公

33、司相邻；西靠兴业四路，与高新货柜公司和成路包装公司隔路相望，本项目主要在公司厂区中部的单晶、切磨、抛光厂房内，详见地理位置图。2、 地形、地貌和地质宁波保税区位于宁波市东部的北仑区，地理坐标为东径121°48，北纬29°58。北仑地区地形呈狭长不规则三角形，西北为滨海水网平原，东南为低山丘陵区，面积4.4万ha，区内河流池塘交错密布，地势向海岸方向略有倾斜，坡度小于0.1%，地面标高为1.9-3.8m，略低于高潮海水水面。3、 气象、气候特征北仑区气候属亚热带季风气候，四季分明，气候温和湿润，雨量充沛。冬季少雨干冷，春末夏初为梅雨季节，7-8月受太平洋副热带高压控制，天气晴

34、热少雨。由于地处沿海，受海陆风影响比较明显，夏秋季节受太平洋台风影响，伴有大风和暴雨。本区域主要气象要素如下：历年最高气温 38.7历年最低气温 -8.8年平均气温 16.3年平均相对湿度 82%多年平均降水量 1312.3mm年平均雨日 159.5天年平均气压 1016.5hpa年平均风速 4.82m/s主导风向 SE(10.8%) N(10.04%)4、 水文保税区毗邻的金塘水道海域属于不正规半日潮，由于有舟山群岛的金塘、大榭、黄蟒等岛作屏障，外海涌浪难以传入，主要波浪是局部水域产生的风浪。水道内水深流急，在潮汐作用下，具有良好的水质交换条件。社会环境简况(社会经济结构、教育、文化、文物保

35、护等)宁波保税区自1992年建区至今，已开发东区、西区、南区三部分，建设面积2.3平方千米，保税区内设有电子信息园、国际软件园、留学人员创业园、精密机械(汽配)园、物流分拨中心。宁波保税区自1992年建区到目前为止，已有近40个国家和地区的投资者在区内设立企业4000多家，注册资金达230亿元，其中外商投资企业684家，总投资26亿美元。引进高科技项目131个，总投资18.6亿美元。尤其是台资企业集聚发展，引进台资企业110多家，其中生产型企业51家，总投资8.4亿美元，成为浙江省最大的台资企业集聚地。目前，区内已初步形成 计算机产业群、半导体光电产业群、精密机械产业群、留学生创业企业群软件产

36、业群和国际贸易、仓储物流企业群，成为华东地区高科技产业发展的高地和重要的进出口物流集散地。(2)岩东污水处理厂概况开发区岩东污水处理厂设计规模24万吨/日，一期工程60000m3/d已于2002年5月正式投入运行，其处理工艺为二级氧化沟好氧生化处理工艺，废水经处理达到城镇污水处理厂二级标准后排海，并通过排海管进行深海排放。根据设计要求，其主要接纳生活污水、工业污水以及北仑仓储区废水，进入岩东污水处理厂废水必须符合岩东污水处理厂进网标准。环境质量状况建设项目所在地区域环境质量现状及主要环境问题(环境空气、地面水、地下水、生态环境等)1、空气环境质量现状2003年10月10日至14日对新矸镇空气环

37、境质量进行监测，结果汇总如下：项目均值范围(mg/m3)超标率(%)SO20.0150.0800NO20.0370.0740TSP0.0450.1100按宁波市空气质量功能区域划分，该地区执行空气环境质量二级标准，根据监测数据表明，该区域环境空气质量符合二级环境标准。2、水环境质量现状近年来在北仑海域进行过多次海洋水质监测，基本包括了整个北仑海域，历年监测统计结果见下表： 北仑海域水质监测结果(单位：除PH外均为mg/l)项目范围均值类别项目范围均值类别PH8.098.438.21无机磷0.0270.0750.053DO7.268.408.01石油类0.0500.1170.057CODMn0.

38、342.621.16Cr00.00650.0014无机氮0.471.010.663SS3262640798从上述数据可知，本区域绝大多数水质指标如PH、DO、CODMn均保持在类海水标准范围内。污染物中石油类浓度较高，与该水域海上交通繁忙，油库较多，排入含油污水量大有关。3、声学环境质量现状对保税区东区环境噪声进行监测，其昼间噪声LAeq为55.9dB；夜间噪声LAeq为51.4dB；声环境现状满足工业区要求的三级标准。主要环境保护目标(列出名单及保护级别)根据水功能区划及建设项目所在的区域的环境状况，主要环境保护目标为：水环境：本海域主导使用功能是港口、工业，水质目标为三类；大气环境：环境空

39、气质量标准(GB3095-1996)二级标准；声环境：工业区执行城市区域环境噪声标准(GB3096-93)3类标准。评价适用标准环境质量标准1、 水环境纳污海域执行海水水质标准(GB3097-1997)第三类，主要参数为PH 6.88.8，DO4mg/L，SS(人为增加的量)100mg/L，COD4mg/L，BOD54mg/L，石油类0.3mg/L，活性磷酸盐(以P计)0.03mg/L。2、 环境空气根据宁波市环境空气质量功能区划分，本区域属二类区，执行环境空气质量标准(GB3095-1996)中的二级标准，详见下表。 污染物名称取值时间浓度限值(mg/m3)一级标准二级标准三级标准SO2年平

40、均0.020.060.10日平均0.050.150.251小时平均0.150.500.70NO2年平均0.040.080.08日平均0.080.120.121小时平均0.120.240.24TSP年平均0.080.200.30日平均0.120.300.503、 环境噪声保税区按GB3096-93城市区域环境噪声标准3类标准执行，即昼间65dB，夜间55dB。污染物排放标准1、 废水排放标准本项目废水排入保税区污水管网至岩东污水处理厂，排放废水执行CJ3082-1999污水排入城市下水道水质标准和岩东污水处理进网要求，其主要指标：PH 69，SS350mg/L，BOD5 200mg/L， COD

41、cr400mg/L，SS350mg/L，石油类20mg/L。2、 废气排放标准锅炉废气排放执行GB13271-2001锅炉大气污染物排放标准二类区时段标准。 锅炉类别适用区域烟尘(mg/m3)SO2 (mg/m3)NO2 (mg/m3)烟囱高度(m)燃油锅炉二类区100500400>8工艺废气执行GB16297-1996大气污染物综合排放标准二级标准，其主要指标如下表：序号污染物最高允许排放浓度mg/m3最高允许排放速率，kg/h无组织排放监控浓度限值mg/m3排气筒高度m二级1氮氧化物24015200.771.300.122氟化氢9.015200.100.1720(g/m3)3、 噪声

42、排放标准企业厂界噪声执行GB12348-90工业企业厂界噪声标准类标准，即昼间65dB，夜间55dB。总量控制指标建设项目工程分析工艺流程简述(图标)1、 工艺流程硅抛光片的生产工艺一般可分二步：第一步：生产单晶硅晶锭。利用单晶炉将半导体级多晶硅在最高温度达1700的热场中熔化，然后通过籽晶生长在用户所需的直径和电学参数的单晶硅锭。第二步：制作抛光片。将单晶硅锭在专用设备上进行切片、磨片、抛光加工生产，加工成抛光片，控制其几何尺寸和表面质量，使之能满足外延片生产的要求。本项目主要按上述二步生产工艺，硅抛光片生产工艺流程及排污情况如下：(1)单晶硅晶锭生产工艺及排污情况单晶硅晶锭生产工艺及排污位

43、置如下图：多晶清洗备料单晶生长单晶切段坩埚清洗晶锭滚圆周检测酸性废气切割研磨废水酸性废水(2)硅抛光片生产工艺及排污情况硅抛光片其生产工艺及排污位置如下：成品晶锭切片切片检验热处理清洗倒角烘干革命检验抛光腐化研磨切割废水碱性废水研磨废水废气包装抛光片产品废水2、 主要新增设备根据生产要求，其主要生产设备如下表：序号名称型号数量单位备注1单晶炉CG600024台2单晶炉KAYEX1502台3晶锭滚圆机RS-Kh80Nah2台4氧化炉1台5切断机OC-215D2台6X-Ray测试仪MOD101MG1031套7氧含量测试仪QS300J1套8GFA仪RO-416S1套9相衬干涉光显微镜1台10线切割机

44、DS261、E500ED-83台11清洗机SST-2002台12倒角机W-GM-42004台13磨片机22B3台14贴片机MT610/MT8403台15腐蚀设备2套16抛光机SPEEDFAM-5016台17背封机WJ999R2台18颗粒度测试仪ADECR81E1套19表面测试仪ADE72003套20去蜡清洗机1台21片盒清洗机STORM1台22贴片前清洗机1台23热处理前清洗机1台24热处理炉KAKUSAI2台25打标机SIGACLEAN2台26其他设备套3、 主要原辅材料及用量主要原辅材料及用量见下表。序号名称用量序号名称用量1多晶硅230t/a10倒角砂轮120片/a2石英坩锅5160只/

45、a11研磨砂120t/a3石墨坩锅320只/a12抛光液50t/a4高纯石墨部件160套/a13抛光垫4800张/a5线切割材料 240万片/a14硅片包装盒20000个/a6硝酸2.4t/a15高纯气体Ar2600m3/a7氢氟酸0.3t/a16氮气4500m3/a 8盐酸1.2t/a17冷却液40t/a9氢氧化钠1.2t/a184、 厂区总图布置本项目利用已建成的厂房、动力用房、变电站、仓库，动力厂房等占地面积5253m2。公司已有建筑面积20937.26m2，其中单晶厂房占地面积2890m2，建筑面积2890m2，切磨厂房占地面积2716m2，建筑面积5433.74m2，抛光占地面积27

46、52m2，建筑面积5101m2。厂房及仓库占地面积2291.09m2，建筑面积6900.52m2。变电站占地面积612 m2，建筑面积612 m2 氢气站726m2，建筑面积726m2 详见附图3。5、 公用工程本项目可以利用现有供电、压缩空气、供水、排水等设施，公用工程主要增加KFT-2000RT冷却水塔1台，循环水量1400m3/h。 6、 职工人数、生产制度本项目新增职工及管理人员数为80人。年工作日330天左右，三班制运行。主要污染工序根据工程分析，本项目建设投产后宁波立立电子股份有限公司(含宁波立立半导体有限公司)将形成从多晶硅单晶硅锭抛光片外延片产业链中硅抛光片的生产能力，本项目主

47、要为增设多晶硅单晶硅锭抛光片的生产设备，其污染源分析如下：1、 废气本项目废气主要为清洗机、化腐机使用氢氟酸、硝酸，由于酸的挥发及与硅的反应产生的酸性废气，其生产过程中集中在密闭槽子内进行，通过引风机引入废气洗涤吸收塔进行处理，其废气排放量为2968.5m3/h。2、 废水(1) 切割研磨废水本项目切割研磨废水主要包括单晶锭切割、滚园研磨废水和硅片切割、抛光、研磨倒角废水，其研磨切割过程中，需采用纯水进行冲洗，将产生含微量硅屑的研磨切割废水，废水量191m3/d。(2)酸碱废水本项目酸碱废水主要包括多晶清洗、硅片化腐过程中产生的含盐酸、硝酸、氢氟酸、氢氧化钠的酸碱废水，废水排放量为62t/d。

48、(3)含HF、HNO3酸废液含HF、HNO3酸废液主要来自硅片化腐工序，其产生量为2.97t/a，该废液将排入新建回收槽由HF供应单位回收处理。 (4)生活污水：根据新增职工人数，确定其排放量1.5m3/d，其水质如下：PH69；CODcr400mg/l；SS200mg/l；BOD5 250mg/l。3、 噪声噪声主要来自于生产设备(包括纯水制作设备)运行产生的噪声，产生的噪声在5080dB之间；公用动力设备运行产生的噪声，包括空压机房、真空机、水泵等，产生的噪声在6085dB之间；废水、废气处理设备运行产生的噪声，产生的噪声在5085dB之间。冷却水塔运行时产生的噪声，产生的噪声在6085d

49、B之间。4、 固体废物根据本项目生产工艺，其固体废物产生情况如下：(1) 生产过程将产生废多晶锭，其主要成份为废单晶硅等，年产生量为23t/a；(2) 污水处理站混凝沉淀后产生污泥，根据废水中SS浓度，确定其污泥排放量为120t/a。(3) 企业办公、生活垃圾其产生量为10t/a。5、 所用化学品物理化学性质a) 硝酸：硝酸是一种透明、无色或带有黄色独特的窒息性气味的腐蚀性液体。遇潮气或受热分解而成刺鼻臭味的二氧化氮。硝酸化学性质活泼，能与多种物质反应，它是一种强氧化剂，它可腐蚀各种金属和材料(除铝和特殊的铬合金钢)。浓硝酸在长期储存后(尤其是在光线照射下)，会分解释出二氧化氮。硝酸的相对密度

50、为1.503，熔点为-41.59°，沸点83°。硝酸能与多种物质如金属粉末、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，发生爆炸，与可燃物、还原剂和有机物如木屑、棉花、稻草或废纱头等接触，引起燃烧，并散发出剧毒的棕色烟雾。硝酸液及硝酸蒸气对皮肤和粘膜有强刺激和腐蚀作用，皮肤或眼接触硝酸液可引起灼伤。皮肤接触硝酸的部位呈褐黄色。浓硝酸烟雾可释放出五氧化二氮，遇水蒸汽形成酸雾，可迅速分解而形成二氧化氮，浓硝酸加热时产生硝酸蒸气，也可分解产生二氧化氮，吸入后可引起急性氮氧化物中毒。人在低于12ppm(30mg/m3)左右时未见明显的损害。吸入可引起肺炎。大鼠吸入LC5049ppm/4小时。硝

51、酸储存要和其他仓间隔离，良好通风、避光，并远离热源。用耐酸地坪。大量存储地要有围墙或门栏，以防万一漏出时向外扩散，并备有中和剂。储库外要备有消防龙头和氧气防毒面具，以应急救。与氧化剂、金属粉末、电石、硫化氢、碱性物质、松节油、有机酸、以及各种可燃物(如木屑、稻草、纸张、废纱头等)、有机物或易氧化物相隔绝。搬运时要轻装轻卸，防止撞击、震动、斜倒。硝酸是挥发性酸，不宜久储。发生硝酸泄漏后进行处理前必须戴好防毒面具和手套。发生硝酸接触事故应立即脱离事故现场至空气新鲜处。眼或皮肤污染时立即用大量清水冲洗15分钟以上。一旦泄漏立即用水冲洗，如大量溢出，则工作人员均要撤离储库，用水或碳酸钠中和硝酸，中和的

52、污水PH值降至5.58.5方可排入废水系统。b) 氢氟酸：性状：氢氟酸是含氟化氢40%的水溶液，极易挥发，露置空气中即冒白烟。极毒，空气中最高容许浓度为1mg/m3。对金、铂、铅、石蜡及其某些塑料不起腐蚀作用，但对很多金属都能发生腐蚀，并且能和硅化合物反应生成气态的四氟化硅，因此不能用玻璃及陶瓷用容器。危险特性：在高温下极易挥发出剧毒气体，很易引起人畜中毒。灭火剂：雾状水，泡沫。储运注意事项：储存于通风库房，避免阳光直射，远离火种、热源。切忌接触H发孔剂、氰化物、金属粉末、碱类等，以防发生意外。验收时核对品名，搬运时轻装轻卸。来源及用途：由氟化钙与硫酸作用制得。用于蚀刻玻璃，以及制含氟化合物。

53、c) 氢氧化钠：氢氧化钠为固体状，分子量40.01，相对密度2.13，熔点318°。从空气中迅速吸收水分的同时，也迅速吸收二氧化碳。氢氧化钠可溶于水、乙醇和甘油。溶解时产生大量的热。消防处理时用水、沙土扑救，但需防止物品遇水产生飞溅，造成灼伤。固碱可装入钢桶中严封，塑料袋、编织袋外成组包装；或塑料瓶外木箱，储存于干燥的地方，防止受潮。液碱散装储运。应防止容器破损。与酸类、铝、锡、铅、锌及其合金、爆炸物、有机过氧化物、铵盐及易燃物隔离储运，操作人员必须穿戴防护用品。处理氢氧化钠泄漏需穿戴防护眼镜与手套。扫起，慢慢倒至大量水中，地面用水冲洗，冲洗废水的PH值降至5.58.5方可排入废水系

54、统。吸入氢氧化钠的粉尘或烟雾时，可引起化学性上呼吸道炎，与皮肤接触引起灼伤。氢氧化钠溅入眼内，可发生结膜炎、结膜水肿、结膜和角膜坏死，严重者可致失明。氢氧化钠对皮肤污染可用清水彻底冲洗，溅入眼内时，迅速用大量清水冲洗。不可用酸性液体中和。氢氧化钠的车间空气卫生标准：中国MAC苛性碱0.5mg/m3(以Na0H计)；美国ACGIH TLVC 2mg/m3。新建项目拟采取污染防治措施及预期治理效果1、 废水治理根据本项目生产废水产生量258.5t/d及现有废水处理装置处理能力250t/d，为适应企业发展，将对废水处理装置进行扩建，满足生产发展需要，对现有废水处理装置进行扩建改造，废水处理扩建工程投资80