压电驱动技术及压电驱动器的应用研究

《压电驱动技术及压电驱动器的应用研究》由会员分享，可在线阅读，更多相关《压电驱动技术及压电驱动器的应用研究（36页珍藏版）》请在装配图网上搜索。

1、压电驱动技术及压电驱动器的应用研究专 业 ： 机 械 制 造 及 自 动 化 目 录 一 、 压 电 驱 动 技 术 研 究 价 值 二 、 压 电 陶 瓷 基 础 三 、 压 电 驱 动 实 现 方 式 四 、 压 电 驱 动 器 及 其 应 用 五 、 压 电 驱 动 器 的 发 展 展 望 六 、 参 考 文 献 一 、 压 电 驱 动 技 术 研 究 价 值 精密雕刻细胞测试 由 此 可 知 ， 压 电 驱 动 技 术 已 经 运 用 在 MEMS、 生 物 工 程以 及 医 疗 科 学 等 领 域 。 此 外 ， 压 电 驱 动 技 术 还 运 用 于 流 体 驱 动 和噪 声 污

2、染 控 制 等 领 域 。医疗机器人 二 、 压 电 陶 瓷 基 础1. 压 电 陶 瓷 概 述 压 电 陶 瓷 是 一 种 具 有 压 电 效 应 的 多 晶 体 ， 由 于 它 的 生产 工 艺 与 陶 瓷 的 生 产 工 艺 相 似 （ 原 料 粉 碎 、 成 型 、 高 温 烧 结 ） 因而 得 名 。 压电陶瓷片的极化 1940年 以 前 ， 人 们 只 知 道 两 类 铁 电 体 ： 一 类 是 罗 息 盐 和 酒 石 酸 盐； 一 类 是 磷 酸 二 氢 钾 盐 和 它 的 同 品 型 物 。 缺 点 ： 易 溶 解 、 低 温 压电 性 。 1942-1945年 间 发 现 B

3、aTiO3具 有 异 常 高 的 介 电 常 数 ， 不 久 又 发 现它 具 有 压 电 性 ， 钛 酸 钡 压 电 陶 瓷 的 发 现 时 压 电 材 料 的 一 个 飞 跃 。 1947年 美 国 用 BaTiO3陶 瓷 制 造 了 留 声 机 用 拾 音 器 ， 日 本 比 美 国 晚用 了 两 年 。 BaTiO3陶 瓷 缺 点 ： 温 度 和 频 率 的 稳 定 性 欠 佳 。 随 着 研 究 深 入 ， 随 后 又 发 现 ABO3型 铁 电 体 和 反 铁 电 体 ， 至 此 ， 研究 进 入 了 二 元 系 压 电 陶 瓷 时 代 。 其 典 型 代 表 是 PZT(PbTi

4、O 3-PbZrO3)。 接 着 产 生 了 三 元 系 压 电 陶 瓷 PCM， 以 及 由 此 基 础 发 展 出 多 元 系 压电 陶 瓷 。 新 材 料 的 出 现 促 进 了 新 应 用 的 发 展 ， 压 电 驱 动 技 术 有 着光 辉 的 前 景 。 2. 压 电 效 应 压 电 性 质 是 一 种 机 械 能 与 电 能 交 互 作 用 的 现 象 ， 此 性 质是 由 法 国 居 里 兄 弟 于 公 元 1880年 研 究 晶 体 的 对 称 性 时 发 现 的 。 它是 一 种 施 加 应 力 能 产 生 电 荷 ， 施 加 电 场 而 能 产 生 尺 寸 上 变 形 的

5、 效应 ， 称 为 压 电 效 应 。 压电材料上极化后产生的电荷 u 正 压 电 效 应 在 压 电 效 应 中 由 机 械 能 转 变 为 电 能 的 现 象 就 是 正 压 电效 应 。 压 电 式 传 感 器 大 多 是 利 用 正 压 电 效 应 制 成 的 。 u 逆 压 电 效 应 将 电 能 转 化 为 机 械 能 的 现 象 称 为 逆 压 电 效 应 ， 或 称 为电 致 伸 缩 现 象 。 压 电 式 驱 动 器 大 多 是 利 用 磁 效 应 制 成 的 。正压电效应逆压电效应 3. 压 电 方 程 压 电 材 料 的 本 构 方 程 反 映 了 弹 性 变 量 (应

6、力 T、 应 变 S)和 电 学 变 量 (电 场 E、 电 位 移 D)之 间 的 关 系 。 换 言 之 ， 压 电 方 程 同时 考 虑 了 压 电 元 件 的 力 学 特 性 和 电 学 特 性 以 及 它 们 相 互 的 耦 合 影响 。 第 一 类 压 电 方 程 ： 式 中 ： S E 电 场 E=0（ 或 常 数 ） 时 的 弹 性 柔 顺 系 数 矩 阵 T T=0（ 或 常 数 ） 时 的 介 电 常 数 矩 阵 d 压 电 应 变 系 数 矩 阵 dt d转 置 矩 阵 TE tD dT ES T Es d 三 、 压 电 驱 动 实 现 方 式1.直 动 驱 动 此 种

7、 驱 动 方 式 是 直 接 由 压 电 元 件 驱 动 ， 然 后 再 用 平行 四 边 形 柔 性 铰 链 机 构 进 行 位 移 的 放 大 或 缩 小 。 单柔性四连杆双柔性四连杆 柔 性 铰 链 特 点 ： 结 构 紧 凑 、 无 间 隙 、 无 摩 擦 、 具 有 较 高 的 位 移 分 辨 率， 在 使 用 压 电 器 件 驱 动 的 情 况 下 ， 可 以 方 便 地 实 现 0.01 m的 定位 精 度 。转动副移动副 球面副 应 用 领 域 ： 直 动 式 驱 动 器 的 特 点 是 结 构 紧 凑 、 连 续 进 给 、 力 大 ，但 行 程 范 围 小 ， 对 驱 动

8、电 路 有 消 除 或 减 小 迟 滞 、 蠕 变 、 非 线 性 的要 求 。 一 般 应 用 于 精 密 驱 动 工 作 台 和 MEMS中 。X-Y微驱动工作台原理图 哈工大博实精密工作台 性 能 指 标 ： 移 动 分 辨 率 小 于 1 m； 转 动 分 辨 率 小 于 0.5 rad。日本日立精机技术研究所开发的六自由度微驱动器平移机构转动机构 2.步 进 式 驱 动 步 进 式 的 工 作 原 理 是 根 据 自 然 界 某 些 爬 虫 类 动 物 爬 行的 方 法 而 提 出 的 ， 故 称 为 尺 蠖 步 进 式 直 线 驱 动 机 构 ， 这 种 运 动 方式 又 称 为

9、蠕 动 式 （ inchworm type） 。蠕动式驱动原理图 应 用 领 域 ： 步 进 微 动 机 制 有 效 地 缓 解 了 大 行 程 和 高 分 辨 率 的 矛 盾， 能 够 在 保 持 高 分 辨 率 的 情 况 下 增 大 微 驱 动 器 的 行 程 ， 因 而 在 纳米 级 微 操 作 技 术 中 有 广 泛 的 应 用 前 景 ， 适 于 力 较 大 、 高 分 辨 率 、大 行 程 的 场 合 。 美国Connecticut大学研制的单自由度步进式直线马达，其特点是采用整体柔铰形式，使得驱动器的刚度和输出 推力增大，刚度90N/m,输出推力200N，定位精度5nm，进给速

10、度100m/s。 图 为 哈 工 大 孙 立 宁 等 研 制 的 用 于 光 学 镜 面 微 调 整 的 旋转 驱 动 器 原 理 图 ， E为 活 动 镜 面 ， F为 固 定 转 动 轴 ， A、 C为 电 磁 式箝 位 机 构 ， 与 E通 过 柔 铰 相 连 ， B为 压 电 体 ， 驱 动 器 可 实 现 绕 定 轴顺 、 逆 时 针 旋 转 。 性 能 指 标 ： 行 程 5 ； 步 进 角 0.01 ； 分 辨 率0.02 ； 最 大 步 速 5步 /秒 。 3.惯 性 冲 击 式 驱 动 惯 性 冲 击 式 压 电 驱 动 机 构 是 以 压 电 元 件 为 驱 动 源 ， 利

11、用 电 -机 能 量 转 换 来 形 成 惯 性 冲 击 力 ， 从 而 产 生 运 动 的 机 构 。 结 构 模 型 如 下 所 示 ， 由 三 部 分 组 成 ： 主 体 A、 惯 性 块 B和 压 电 元 件 C。 压 电 元 件 是 动 力 部 件 ， 能 够 产 生 较 大 位 移 和 较 强的 驱 动 力 。 主 体 用 来 支 撑 机 构 并 与 支 撑 面 发 生 作 用 ， 通 过 调 整 它与 支 撑 面 的 摩 擦 力 大 小 可 以 改 变 机 构 的 运 动 步 长 和 承 载 能 力 。 惯性 块 用 来 产 生 惯 性 冲 击 力 ， 它 的 质 量 大 小 直

12、 接 影 响 惯 性 冲 击 力 的大 小 。 惯性冲击式驱动原理图 应 用 领 域 ： 惯 性 冲 击 式 精 密 驱 动 器 由 压 电 叠 堆 或 单 /双 压 电 片 致 动， 结 构 简 单 ， 可 高 频 工 作 (1KHz以 上 )， 适 于 高 分 辨 率 、 大 行 程 、力 小 的 场 合 。 性 能 ： 步 距 :0.14 mrad； 角 度 分 辨 率 :0.1 mrad； 频率 :2kHz； 空 载 最 大 速 度 :1rpm； 最 大 扭 矩 :0.37mNm； 驱 动 电 压Vpp:270V。瑞士：基于stick-slip原理的单自由度旋转驱动器 四 、 压 电

13、驱 动 器 及 其 应 用 压 电 驱 动 器 是 利 用 压 电 体 逆 效 应 形 成 机 械 驱 动 或 控 制 能力 的 一 类 装 置 ， 压 电 驱 动 与 控 制 技 术 研 究 是 超 声 学 与 压 电 学 在 机械 领 域 的 延 伸 与 发 展 。 自 20世 纪 80年 代 初 日 本 学 者 首 先 开 发 成 功 超 声 波 电 动 机以 来 ， 压 电 驱 动 与 控 制 技 术 获 得 了 迅 猛 发 展 ， 现 己 形 成 了 专 门 的研 究 领 域 ， 成 为 近 年 国 内 外 热 门 的 研 究 领 域 之 一 。 超声波电机压电触觉驱动器压电晶体驱动

14、喷油器 1.压 电 驱 动 器 概 述 压 电 驱 动 器 是 将 变 形 (或 振 动 )直 接 作 用 于 从 动件 实 现 机 械 驱 动 或 机 械 控 制 ， 而 非 传 统 驱 动 器 那 样 需 要先 形 成 旋 转 再 经 转 换 形 成 为 目 标 动 力 或 运 动 ， 因 而 一 般具 有 结 构 简 单 、 可 控 性 好 、 适 应 性 强 、 控 制 精 度高 和 响 应 速 度 快 等 特 点 。 压 电 驱 动 器 运 用 逆 压 电 效 应 在 换 能 方 式 上 属 于 一个 机 电 耦 合 过 程 ， 因 而 其 研 究 涉 及 电 子 学 、 机 械 学

15、 与 材料 学 等 多 个 学 科 ， 属 于 多 学 科 交 叉 的 研 究 领 域 ;同 时 由 于换 能 方 式 特 殊 、 适 应 性 强 ， 因 而 主 要 被 用 作 实 现 机 械 领 域 过 去 不 能 实 现 或 实 现 不 好 的 诸 多 功 能 ， 从 而 可 以 产 生更 多 新 方 式 、 新 机 构 。 u 目 前 世 界 上 对 压 电 驱 动 与 控 制 技 术 的 研 究 以 日 本 最 为 先 进 ， 己 经掌 握 了 世 界 上 大 多 数 的 压 电 驱 动 器 发 明 专 利 技 术 。 1992年 以 后 ，日 本 文 部 省 与 日 司 等 都 在

16、 投 入 大 量 资 金 进 行 实 用 性 研 究 。u 美 国 、 德 国 和 法 国 也 不 甘 落 后 ， 正 加 速 追 赶 日 本 。 MIT(麻 省 理 工学 院 )的 航 空 、 航 天 系 空 间 工 程 研 究 中 心 和 电 子 工 程 、 计 算 机 系的 人 工 智 能 中 心 都 在 研 制 自 己 的 压 电 驱 动 器 。 美 国 有 关 的 研 究 报告 预 计 :在 不 久 的 将 来 ， 压 电 驱 动 器 可 能 部 分 取 代 其 他 传 统 装 置而 成 为 满 足 机 械 领 域 特 定 要 求 的 一 类 新 型 驱 动 器 。u 自 20世 纪

17、 80年 代 以 来 ， 我 国 陆 续 开 始 了 压 电 驱 动 与 控 制 技 术 的 研究 ， 20世 纪 90年 代 以 后 有 了 较 大 进 展 ， 目 前 的 研 究 主 要 是 在 政 府资 金 支 持 下 进 行 的 。 主 要 研 究 单 位 为 清 华 大 学 、 南 京 航 空 航 天 大学 、 东 南 大 学 和 哈 尔 滨 工 业 大 学 等 。 2.压 电 驱 动 器 结 构 分 类 按 驱 动 方 式 不 同 ， 压 电 驱 动 器 可 分 为 刚 性 位 移 驱 动 器和 谐 振 位 移 驱 动 器 。刚性位移驱动器结构形式分类 谐 振 位 移 驱 动 器

18、又 叫 超 声 波 电 机 ， 其 种 类 繁 多 。 按 工作 原 理 ， 可 将 超 声 波 电 机 分 为 接 触 式 和 非 接 触 式 两 种 。 接 触 式 超 声 波 电 机 按 照 机 械 波 的 形 式 可 分 为 行 波 型 、驻 波 型 和 复 合 型 三 种 。行波超声波电动机结构示意图 行波超声波电动机动作原理(齿内小箭头表示瞬时速度) 非 接 触 式 超 声 波 电 机 的 定 子 与 转 子 是 不 接 触 的 。 它 克服 了 接 触 式 超 声 波 电 机 由 于 接 触 摩 擦 所 带 来 的 效 率 低 、 使 用 寿 命短 等 缺 点 ， 是 超 声 波

19、 电 机 的 一 个 新 的 研 究 领 域 。 日 本 东 京 工 业 大 学 分 别 对 定 、 转 子 间 以 气 体 和 液 体 为媒 质 非 接 触 USM的 工 作 情 况 进 行 了 初 步 研 究 。 气 体 媒 质 非 接 触 USM结 构 如 上 图 所 示 ， 采 用 了 两 个 振 子 ， 电 机 转 速 可 达 4400r/min。气体媒质非接触超声波电机 3.压 电 驱 动 器 的 应 用 由 前 所 述 ， 压 电 驱 动 技 术 已 在 机 械 、 精 密 仪 器 、 光 学和 生 物 医 疗 等 行 业 广 泛 应 用 。 而 按 性 能 和 使 用 特 点

20、， 目 前 已 开 发和 应 用 的 压 电 驱 动 器 的 应 用 领 域 大 致 有 如 下 几 类 ：（ 1） 压 电 型 精 密 驱 动 器 精 密 驱 动 器 是 现 代 制 造 工 业 与 自 动 化 装 备 的 重 要 器 件之 一 ， 在 精 密 加 工 与 控 制 领 域 如 光 学 加 工 、 航 空 航 天 以 及 导 弹 装备 等 方 面 有 着 广 泛 需 求 。 压 电 体 变 形 精 度 高 、 反 应 速 度 快 ， 以 现 有 常 用 的 PZT类压 电 叠 堆 为 例 ， 一 般 使 用 情 况 下 变 形 分 辨 率 (单 步 位 移 )即 可 小 于10

21、nm， 频 响 可 达 50kHz， 因 而 被 开 发 用 作 纳 米 级 的 精 密 驱 动 ， 取得 了 良 好 效 果 ， 成 为 近 年 精 密 驱 动 装 置 的 主 要 构 造 方 式 之 一 。 （ 2） 压 电 型 运 动 机 构 压 电 型 运 动 机 构 的 优 点 是 体 积 小 、 结 构 灵 活 ， 便 于 在特 殊 工 况 下 工 作 ， 它 与 压 电 型 精 密 驱 动 器 的 区 别 是 一 般 受 力 小 ，行 程 大 ， 反 应 灵 敏 ， 移 动 迅 速 。 日 本 在 压 电 型 运 动 机 构 方 面 的 研 究 最 为 活 跃 而 富 有 代表

22、性 。 日 本 筑 波 大 学 、 名 古 屋 大 学 、 东 京 大 学 、 早 稻 田 大 学 及 富士 通 研 究 所 等 单 位 20年 前 即 已 开 始 研 究 无 间 隙 直 接 运 动 机 构 ， 目标 是 用 于 细 胞 解 剖 、 集 成 电 路 制 造 和 精 密 装 配 ， 并 考 虑 用 作 人 体内 的 微 型 机 器 人 或 微 型 运 动 机 构 。 （ 3） 流 体 驱 动 及 控 制 机 构 将 压 电 体 逆 效 应 直 接 作 用 于 流 体 即 可 形 成 流 体 驱 动 与 控 制 机 构 ，它 包 括 压 电 泵 、 压 电 阀 与 压 电 伺 服

23、 阀 和 压 电 风 扇 等 。 日 本 名 古 屋 大 学 利 用 PZT双 晶 片 型 压 电 体 ， 研 制 了 一 种 响 应 频 率较 高 、 流 量 较 大 的 高 速 开 关 阀 。 该 阀 通 过 控 制 一 块 双 晶 片 的 变 形来 关 闭 或 打 开 不 同 的 喷 嘴 以 驱 动 锥 阀 运 动 。 阀 的 响 应 频 率 可 达200Hz， 在 20MPa系 统 压 力 时 输 出 流 量 达 9.24L/min。u 压 电 泵 是 利 用 压 电 振 子 作 为 换 能 器 的 流 体 传 输 装 置 。 同 传 统 泵 相比 ， 压 电 泵 的 特 点 是 结

24、构 简 单 、 体 积 小 、 重 量 轻 、 耗 能 低 、 无 噪声 和 无 电 磁 干 扰 ， 可 通 过 电 压 或 频 率 控 制 输 出 流 量 等 ， 具 有 广 泛的 应 用 前 景 。 （ 4） 超 声 波 电 动 机u 超 声 波 电 动 机 是 以 高 功 率 超 声 振 动 取 代 电 磁 方 式 构 造 的 电 动 机， 目 前 主 要 采 用 振 动 耦 合 型 和 表 面 波 型 两 种 方 法 进 行 能 量 转 换。 日 本 和 美 国 在 这 方 面 的 研 究 较 为 先 进 ， 所 开 发 出 的 超 声 波 电动 机 己 在 照 相 机 、 复 印 机

25、 等 装 置 中 获 得 了 应 用 。u 同 时 ， 超 声 波 电 动 机 被 应 用 于 诸 多 领 域 ， 包 括 用 于 直 接 驱 动 操作 器 、 火 星 登 陆 机 器 人 手 臂 关 节 驱 动 、 宇 宙 飞 船 舱 壁 检 测 、 微阀 药 物 注 射 装 置 及 飞 行 导 弹 表 面 控 制 等 。u 在 我 国 ， 各 种 类 型 的 超 声 波 电 动 机 正 在 开 发 研 制 之 中 。 上 海 交通 大 学 研 制 了 直 径 为 5mm压 电 微 电 动 机 (其 输 出 力 矩 为 101uN m， 转 速 可 在 40-500r/min内 调 整 )，

26、 清 华 大 学 、 南 京 航 空 航 天 大学 、 东 南 大 学 和 哈 尔 滨 工 业 大 学 等 单 位 也 先 后 进 行 了 相 关 的 研究 工 作 。 （ 5） 压 电 型 减 振 和 降 噪 技 术 压 电 型 减 振 与 降 噪 技 术 是 一 种 新 型 的 减 振 与 降 噪 新 方 法 ， 它 有 主动 型 与 被 动 型 两 种 。 主 动 型 也 称 智 能 型 ， 它 是 在 振 动 或 噪 声 源 部位 分 别 安 装 两 个 压 电 元 件 ， 其 中 一 个 作 为 测 量 振 动 或 噪 声 情 况 的传 感 器 使 用 ， 另 一 个 作 为 控 制

27、 振 动 或 噪 声 的 驱 动 器 使 用 ， 工 作 中先 通 过 传 感 器 测 定 振 动 或 噪 声 信 号 ， 然 后 将 信 号 分 析 、 处 理 转 变为 控 制 信 号 施 加 给 驱 动 器 ， 生 成 与 振 动 或 噪 声 源 幅 值 相 等 而 相 位相 反 的 振 动 或 二 次 声 ， 使 其 与 原 振 动 或 噪 声 叠 加 而 相 互 抵 消 ， 达到 消 减 或 弱 化 的 目 的 。 这 种 技 术 由 于 具 有 自 识 别 、 自 调 整 功 能 且效 果 良 好 ， 已 获 得 科 学 界 广 泛 关 注 。 被 动 型 压 电 减 振 与 降

28、噪 技 术 是 利 用 正 压 电 效 应 以 改 变 系 统 阻 尼 实现 消 减 振 动 与 噪 声 目 的 的 一 种 方 法 。 它 是 在 振 动 或 噪 声 源 部 位 置入 压 电 元 件 ， 当 系 统 振 动 或 有 噪 声 出 现 时 ， 压 电 元 件 随 之 变 形 而自 身 产 生 电 荷 (电 场 )， 将 这 个 电 荷 接 入 合 适 的 电 路 中 使 其 消 耗 ，从 而 消 耗 了 振 动 与 噪 声 能 量 ， 达 到 了 消 减 振 动 与 噪 声 目 的 。 这 种 方 法 结 构 简 单 但 对 环 境 适 应 型 较 差 ， 有 关 的 研 究

29、正 在 进 行 中 。 五 、 压 电 驱 动 器 发 展 展 望 从 国 外 压 电 技 术 及 压 电 驱 动 器 的 开 发 和 应 用 出 发 ， 压电 驱 动 器 的 发 展 将 以 解 决 以 下 三 方 面 着 手 ：u 驱 动 器 用 材 料 及 新 工 艺 。 压 电 器 件 及 其 应 用 的 发 展 ， 在 很 大 程 度仁 取 决 于 压 电 材 料 的 性 能 。 为 了 改 进 压 电 陶 瓷 的 微 观 结 构 ， 提 高材 料 的 性 能 ， 近 几 年 ， 许 多 国 家 都 在 积 极 开 展 高 技 术 陶 瓷 (日 本称 之 为 精 细 陶 瓷 )及 其

30、 粉 体 制 备 工 艺 的 研 究 和 生 产 。 高 技 术 陶 瓷是 继 金 属 和 塑 料 之 后 的 第 三 代 新 材 料 。u 大 行 程 高 精 度 的 压 电 驱 动 器 。u 压 电 驱 动 器 控 制 电 源 、 控 制 系 统 及 控 制 方 法 的 研 究 。 压 电 驱 动 器元 件 在 较 高 电 场 的 作 用 下 将 产 生 严 重 的 非 线 性 、 迟 滞 和 蠕 变 ， 从而 大 大 降 低 它 的 定 位 精 度 ， 这 对 构 造 精 密 驱 动 是 一 十 分 有 害 的 。 由 于 国 内 压 电 驱 动 器 从 理 论 研 究 到 产 品 形

31、成 、 应 用 和推 广 仍 有 很 多 问 题 需 要 解 决 。 故 从 国 内 实 际 情 况 出 发 ， 压 电 驱 动器 的 发 展 应 从 解 决 一 下 问 题 出 发 ： （ 1） 精 密 微 型 样 机 研 制 。 需 要 加 强 对 具 有 微 小 型 体 积 、 大力 矩 输 出 和 高 精 度 步 进 特 性 的 压 电 驱 动 器 的 研 制 。 （ 2） 加 强 理 论 科 研 ， 构 建 系 统 理 论 来 知 道 压 电 陶 瓷 电 机 的结 构 设 计 和 特 性 预 测 ， 完 善 压 电 驱 动 器 的 精 确 数 学 建 模 ， 特 别 是对 压 电 驱

32、 动 器 定 、 转 子 间 微 观 接 触 行 为 给 出 准 确 的 理 论 解 释 。 （ 3） 高 品 质 功 能 材 料 的 生 产 。 需 要 重 点 提 高 摩 擦 材 料 的 耐磨 性 和 稳 定 性 ， 提 高 压 电 陶 瓷 材 料 综 合 性 能 指 标 和 改 进 其 制 备 工艺 ， 研 制 具 有 高 稳 定 性 的 反 馈 跟 踪 电 源 ， 提 高 电 机 的 综 合 性 能 。 （ 4） 需 求 超 声 波 电 机 相 匹 配 的 适 用 场 合 ， 使 超 声 波 电 机 实用 化 加 快 ， 促 进 压 电 驱 动 技 术 的 发 展 。 六 、 一 些

33、参 考 文 献 1 王 健 博 .压 电 陶 瓷 驱 动 技 术 研 究 .长 春 理 工 大 学 硕 士 学 位 论 文.2010.3 2 黄 琴 .压 电 驱 动 技 术 测 试 技 术 与 方 法 研 究 .吉 林 大 学 硕 士 学 位论 文 .2007.10 3 马 玉 婷 .压 电 管 式 复 合 驱 动 器 及 其 应 用 研 究 .中 国 科 学 技 术 大学 博 士 学 位 论 文 .2011.4 4 张 鹏 .内 箝 位 步 进 式 压 电 驱 动 机 构 研 究 .吉 林 大 学 硕 士 学 位 论文 .2005.6 5 吴 博 达 等 .压 电 驱 动 与 控 制 技 术 的 发 展 与 应 用 .机 械 工 程 学 报.第 39卷 第 10期 .2003.10 6 杨 永 生 等 .超 声 波 电 动 机 的 原 理 与 发 展 动 态 .微 特 电 机 .2003年 第 6期