曝光光学基础

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1、光学基础光的反射(reflection)。光射到任何表面的时候都会发生反射，并且符合反 射定律：入射角等于反射角。在曝光的时候，光刻胶往往会在硅片表面或者金属 层发生反射，使不希望被曝光的光刻胶被曝光，从而造成图形复制的偏差。常常 需要用抗反射涂层(ARC，Anti-ReflectiveCoating)来改善因反射造成的缺陷。光的折射(refraction)。光通过一种透明介质进入到另一种透明介质的时候， 发生方向的改变。主要是因为在两种介质中光的传播速度不同(A=v/f)。直观 来说是两种介质中光的入射角发生改变。所以我们在90nm工艺中利用高折射率 的水为介质(空气的折射率为1.0，而水的

2、折射率为1.47)，采用浸入式光刻技 术，从而提高了分辨率。而且这种技术有可能将被沿用至45nm工艺节点。光的衍射或者绕射(diffraction)。光在传播过程中遇到障碍物(小孔或者 轮廓分明的边缘)时，会发生光传播路线的改变。曝光的时候，掩膜板上有尺寸 很小的图形而且间距很窄。衍射会使光部分发散，导致光刻胶上不需要曝光的区 域被曝光。衍射现象会造成分辨率的下降。光的干涉(interference)。波的本质是正弦曲线。任何形式的正弦波只要具 有相同的频率就能相互干涉，即相长相消：相位相同，彼此相长；相位不同，彼 此相消。在曝光的过程中，反射光与折射光往往会发生干涉，从而降低了图形特 征复制

3、的分辨率。调制传输函数(MTF,ModulationTransferFunction)。用于定义明暗对比度的 参数。即分辨掩膜板上明暗图形的能力，与光线的衍射效应密切相关。MTF=(I max-Imin)/(Imax+Imi n)，好的调制传输函数，就会得到更加陡直的光刻胶显影图 形，即有高的分辨率。临界调制传输函数(CMTF,CriticalModulationTransferFun ction)。主要表征光刻胶本身曝光对比度的参数。即光刻胶分辨透射光线明暗的 能力。一般来说光路系统的调制传输函数必须大于光刻胶的临界调制传输函数， 即MTFCMTF。数值孔径(NA,NumericalAper

4、ture)。透镜收集衍射光(聚光) 的能力。NA=n*sinG=n* (透镜半径/透镜焦长)。一般来说NA大小为0.50.85。 提高数值孔径的方法：1、提高介质折射率n，采用水代替空气；2、增大透镜的 半径；分辨率(Resolution)。区分临近最小尺寸图形的能力。R=k九/(NA)=0.66/ (n*sin0)o提高分辨率的方法：1、减小光源的波长；2、采用高分辨率的光刻胶；3、增大透镜半径；4、采用高折射率的介质，即采用浸入式光刻技术；5、优化 光学棱镜系统以提高k （0.40.7）值（k是标志工艺水平的参数）。焦深（DOF, DepthofFocus）。表示焦点周围的范围，在该范围内

5、图像连续地保持清晰。焦深 是焦点上面和下面的范围，焦深应该穿越整个光刻胶层的上下表面，这样才能够 保证光刻胶完全曝光。D0F=k/（NA）2。增大焦深的方法：1、增大光源的波长； 2、采用小的数值孔径；3、利用CMP进行表面平坦化。由于前两种方法会降低 分辨率，而分辨率是芯片制造所努力提升的重要参数，因此我们需要在看上去相 互矛盾的两个方面做出某种平衡。一般在保证基本的焦深要求下不降低分辨率， 即以分辨率为主。所以，现在一般采用CMP平坦化技术保证足够的焦深。1数值孔径数值孔径简写NA,数值孔径是物镜和聚光镜的主要技术参数，是判断两者（尤其对物 镜而言）性能高低的重要标志。其数值的大小，分别标

6、刻在物镜和聚光镜的外壳上。数值孔 径（NA）是物镜前透镜与被检物体之间介质的折射率（n）和孔径角（u）半数的正弦之乘 积。用公式表示如下：NA=nsinu/2孔径角又称镜口角”，是物镜光轴上的物体点与物镜前 透镜的有效直径所形成的角度。孔径角越大，进入物镜的光通亮就越大，它与物镜的有效直 径成正比，与焦点的距离成反比。显微镜观察时，若想增大NA值，孔径角是无法增大的， 唯一的办法是增大介质的折射率n值。基于这一原理，就产生了水浸物镜和油浸物镜，因 介质的折射率n值大于1, NA值就能大于1。数值孔径最大值为1.4,这个数值在理论上和 技术上都达到了极限。2013年，有用折射率高的溴萘作介质，溴

7、萘的折射率为1.66,所以 NA值可大于1.4。这里必须指出，为了充分发挥物镜数值孔径的作用，在观察时，聚光镜 的NA值应等于或略大于物镜的NA值。数值孔径与其他技术参数有着密切的关系，它几乎 决定和影响着其他各项技术参数。它与分辨率成正比，与放大率成正比，与焦深成反比， NA值增大，视场宽度与工作距离都会相应地变小。2. 分辨率显微镜的分辨率是指能被显微镜清晰区分的两个物点的最小间距，又称鉴别率。其计 算公式是o=/NA式中o为最小分辨距离；入为光线的波长；NA为物镜的数值孔径。可见 物镜的分辨率是由物镜的NA值与照明光源的波长两个因素决定。NA值越大，照明光线波 长越短，则o值越小，分辨率

8、就越高。要提高分辨率，即减小o值，可采取以下措施（1） 降低波长入值，使用短波长光源。（2）增大介质n值以提高NA值（NA=nsinu/2）。（3） 增大孔径角u值以提高NA值。（4）增加明暗反差。3. 放大率和有效放大率由于经过物镜和目镜的两次放大，所以显微镜总的放大率应该是物镜放大率B和目 镜放大率1的乘积：=B1显然，和放大镜相比，显微镜可以具有高得多的放大率，并 且通过调换不同放大率的物镜和目镜，能够方便地改变显微镜的放大率。放大率也是显微镜 的重要参数，但也不能盲目相信放大率越高越好。显微镜放大倍率的极限即有效放大倍率。 分辨率和放大倍率是两个不同的但又互有联系的概念。有关系式：50

9、0NAv1000NA当选 用的物镜数值孔径不够大，即分辨率不够高时，显微镜不能分清物体的微细结构，此时即使 过度地增大放大倍率，得到的也只能是一个轮廓虽大但细节不清的图像,称为无效放大倍率。 反之如果分辨率已满足要求而放大倍率不足，则显微镜虽已具备分辨的能力，但因图像太小 而仍然不能被人眼清晰视见。所以为了充分发挥显微镜的分辨能力，应使数值孔径与显微镜 总放大倍率合理匹配。4. 焦深焦深为焦点深度的简称，即在使用显微镜时，当焦点对准某一物体时，不仅位于该点 平面上的各点都可以看清楚，而且在此平面的上下一定厚度内，也能看得清楚，这个清楚部 分的厚度就是焦深。焦深大 可以看到被检物体的全层，而焦深

10、小，则只能看到被检物体的 一薄层，焦深与其他技术参数有以下关系：（1）焦深与总放大倍数及物镜的数值孔径成反 比。（2）焦深大，分辨率降低。由于低倍物镜的景深较大，所以在低倍物镜照相时造成困 难。在显微照相时将详细介绍。5.视场直径（Field Of View）观察显微镜时，所看到的明 亮的圆形范围叫视场，它的大小是由目镜里的视场光阑决定的。视场直径也称视场宽度，是 指在显微镜下看到的圆形视场内所能容纳被检物体的实际范围。视场直径愈大,愈便于观察。 有公式F=FN/B式中F:视场直径，FN：视场数（Field Number,简写为FN,标刻在目镜 的镜筒外侧），B：物镜放大率。由公式可看出：（1

11、）视场直径与视场数成正比。（2）增大 物镜的倍数，则视场直径减小。因此，若在低倍镜下可以看到被检物体的全貌，而换成高倍 物镜，就只能看到被检物体的很小一部份。6覆盖差显微镜的光学系统也包括盖玻片在 内。由于盖玻片的厚度不标准，光线从盖玻片进入空气产生折射后的光路发生了改变，从而 产生了相差，这就是覆盖差。覆盖差的产生影响了显微镜的成响质量。国际上规定，盖玻片 的标准厚度为0.17mm,许可范围在0.16-0.18mm,在物镜的制造上已将此厚度范围的相差 计算在内。物镜外壳上标的0.17,即表明该物镜所要求的盖玻片的厚度。7.工作距离WD 工作距离也叫物距，即指物镜前透镜的表面到被检物体之间的距离。