一种氮化铝陶瓷覆铜板的制备方法
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19)中华人民共和国国家知识产权局汐(12 )发明专利申请(10)申请公布号CN108033810A(43)申请公布日2018.05.15(21)申请号 CN201711318747.1(22)申请日 2017.12.12(71)申请人 北京科技大学地址100083 北京市海淀区学院路30号(72)发明人 张珊珊;杨会生;高克玮;颜鲁春;庞晓露;杨理航;童海生;邹佳男(74)专利代理机构 北京市广友专利事务所有限责任公司代理人 张仲波(51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图一种氮化铝陶瓷覆铜板的制备方法(57)摘要本发明公开了一种氮化铝陶瓷覆铜板的制 备方法,属于覆铜基板制造技术领域。本发明在 陶瓷基板的上下两个表面分别进行双层预金属化 和钎焊,解决了现有的陶瓷覆铜板焊接强度低, 界面应力大,使用可靠性低的问题。具体步骤 为:(1)将氮化铝陶瓷进行清洗,然后采用真空磁 控溅射或离子镀的方法对陶瓷表面进行离子轰 击;(2)依次在陶瓷上下表面真空磁控溅射或离子 镀沉积Ti、Zr、Hf或Cr金属层,Cu金属层;
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