【质量审查可靠性器件的质量保证】

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1、1.1.1可靠性器件的质质量保证来自中国最大的的资料库下载载对质量的看法瑞萨科技综合日日立制作所与与三菱电机的的半导体部门门常年积累的的可靠性质质量保证的技技术信息，同同时还构建了了基于ISO90011-20000及ISO/TS169949 规格格的质量保证证体系。以可可靠性技术证证实的从设计计阶段的“可可靠性操作”为为基础，展开了从产品计划划到售后服务务的一整套质质量保证管管理。以质量、可靠性性的确保与提提高为重点，从从“设计的可可靠性检验质量管理”、“制制造的质量管管理”以及“产产品的质量保证质量量管理”这三三个观点出发发，实施从开开发到交货的的可靠性检验验质量管理理活动。并且且该活动以“

2、质质量第一”为基本方针，事事业相关各个个人员着力于于实现顾客所所期待的质量量、令顾客满满意的质量。1.2半导体器件的质质量保证体系系从开发设计到到量产出货货、客户实际际使用的生命命周期，其质质量保证体系系的概要，如如图所所示。通过利用质量信信息系统进行行综合质量保保证设计的特点质质量检验可靠性设计设计审查制造的质量管理理处理控制器变更管理产品的质量管理理的的推进质量管理体系质量数据分析设计检验器件封装结构构设计部件材料管理理成品率提高环境管理定期可靠性试验验入库出货管理理可靠性的控制设计开发流程开发试作质量认证体系操作制造质量的管理理提高制造工艺内部工艺管理质量可靠性的的改善故障分析数据据收集

3、可靠性技术故故障物理信息的流动检验产品的标准准质量测试检验客客户客户支持客户的投诉领域信息图 1.1半半导体器件的的质量保证体体系Rev.1.000 20006.06.12 1-1RCJ27L00001-001001.可靠性器器件的质量保保证设计上的质量是是保证产品规规格、质量的的活动，以器器件结构、采采用材料、电电路设计、封封装、制造工工艺等的优化化和设计审查为重点。按按照每个种类类分别检验试试作品的特性性与可靠性之之后，转移到到量产。制造质量是保证证制造工艺质质量的活动，确确立了设备夹具尘埃埃纯水气气体等制造条条件的质量管管理与产品制制造结果的质量管理，以以及融合这些些质量信息的的管理理的

4、质量管理理体制。产品的质量保证证是通过公司司内部分别按按照器件、批批次定期地确确认成品是否否具有标准功功能和可靠性性的试验检检验与投诉处理、质量量信息服务等等方式进行的的客户支持活活动。就这样反馈、前前馈从开发设计到量产产、出货、实实际使用所有有阶段的质量量信息，实现现更进一步提提高质量的质质量保活动。从开发、设计到到出货、实际际使用的质量量保证体系图图如图所示。上述质量管理体体系是按照IISO90001及 ISSO/TS116949规规格构建的。Rev.1.000 20006.06.12 1-2 RCJ27L00001-00100客户营业部门设计技术部门制造部门1.可靠性器器件的质量保保证质

5、量保证部门工艺技术部部门（新规开开发）开发设计量产出货实客户客户市场调查、开发发合同开发、事业化计计划开发设计设计审查试作产品特性评价产品质量确认量产移管量产试作量产质量确认出货指示包装器件结构开发封装结构开发试作工艺特性评价工艺品质确认设计基准确定部件材料认证证际使用投诉报告投诉应对处理图 1.2质质量保证体系系图图1.2所示的的质量体系中中，瑞萨产品品保持、提高高了高可靠性性，从产品开开发阶段确定定表1.1所示的的质量级别，确确保相应级别的的可靠性性。表 1.1质质量级别质量级别高可靠性生产事业高质量品产业用途定义典型用途示例汽车（驱动系统统）、一般交交通运输设备备等汽车（配件）、设备等民

6、用定制【注】*根据据个别合同标准品（包含管理、定定制品）个别规格品（不不在上述质量量级别中，个个别设定基准准）电脑、家电、移移动设备等游戏、手机、超超高可靠性用用途*Rev.1.000 20006.06.12 1-3RCJ27L00001-001001.可靠性器器件的质量保保证1.3来自中国最大的的资料库下载载开发阶段的质量量保证为了确保作为目目标的质量可靠性，根根据以下步骤骤进行产品开开发。根据基于市场调调查的新产品品需求预测来来研究新产品品的要求质量量级别功能能可靠性、制制造上的问题题、成本等相相关问题，并制定开发计划划。以开发计划为基基础开发新产产品时，积极极引进新理论论、新技术、构构思

7、等进行设设计和技术开开发，按照新新技术的级别别确定了以下个开发发级别。开发级别通通过新设计基基准、新材料料、新工艺实实现的新规开开发产品开发级别对对既有量产产产品进行设计计变更，或既既有工艺、封封装、材料、设设备的一部分分变更开发级别工工艺、封装是是既有的或品品质上几乎相相同、设计上上有轻微变更更为了确认这些设设计的妥当性性，利用、等实施设设计审查，然然后试作新产产品。在此阶阶段，为了确确认特性、评评价、可靠性是否满足足设计目标，要要实施可靠性性试验。可靠性试验一旦旦合格，就在在预生产（少少量生产）开开始会议上，研研究设计、制制造、质量相相关的课题，待待确认没有问问题后，就转移到下下一个步骤预

8、生产。这这些流程是按按照开发级别别而分别确定定，并进行质质量认证的。在在开发级别时，大致实施如下。为了确保所要求求的质量及可可靠性，以可可靠性设计为为基础，在器器件的设计试试作时期、量量产时期分别别进行质量认认证。另外，质量认证按按照以下方式式进行。（1）从客户的的立场来客观观地实施。（2）充分添加加过去的事故故示例、领域域信息。（3）设计变更更、操作变更更时，也要进进行认证。（4）对部件材材料、工艺实实施重点认证证。（5）讨论工艺艺能力、偏差差因素，确定定量产时的管管理要点。作为认证的步骤骤（a）材料、部部件质量认证证（b）特性认证证（c）设计质量量认证（d）量产质量量认证分为以上个阶阶段，

9、并分别别进行评价讨讨论。设计检验，关于于材料、部件件是通过材料料、部件质量量认证来实施施的，关于产产品是通过特特性认证来实实施的。设计计的妥当性确认是通过过设计质量认认证进行的，确确认设计的妥妥当性后，量量产生产线的的产品质量水水准的确认是是通过量产质质量认证来进行的。Rev.1.000 20006.06.12 1-4 RCJ27L00001-001001.可靠性器器件的质量保保证为了确保预生产产阶段所生产产产品的质量量，要实施初初期流动管理理。所谓初期期流动管理，是是指制造刚开开始的一段时时间内，采取特别的的管理体制，提提高要收集的的质量信息的的密度，然后后迅速对检测测出的问题采采取校正措施

10、施，并进行确确认。在此阶段，还要要完善所需的的图纸标准准以进行量产产，并且对作作业员进行指指导训练，同同时实行材料料部件的筹筹措体系及制造所需设备夹具，向量量产转移。1.4量产阶段的质量量保证在量产阶段，依依据生产计划划、在生产线线上进行连续续生产。对材材料部件、制制造工序、环环境、设备等等进行管理的的同时，对半成品及成品品实施中间检检查及最终检检查、质量保保证检查来确确认产品质量量。为了以较少成本本制造高质量量产品，需要要制造工序上上彻底的质量量管理。因此此，制造部门门要制定作业业标准，确定定主要制造条件的管理项项目。根据造造业标准进行行操作，关于于对质量产生生重要影响的的制造条件，要要通过

11、依据进行的检查以及必要的的特性值管理理进行质量的的保持提高高。还实施制造设备备装置的日日常检查及定定期的精度管管理，致力于于尽早发现异异常并实施预预防保全，努努力制造统一一且高质量的产品。在制造工序中，作作为内部工序序质量管理实实施根据结果果管理和计算算量而进行的的 SPC（SStatissticall Proccess CControol）管理。将由此而而来的质量信信息反馈到前前工序，实现现质量的提高高。为了确保质量而而在每个阶段段都利用统计计方法，特别别在量产阶段段，在主要工工序上采用管管理图，确保保工序的偏差差在合适范围内。在该管理中中，通过管理理工序能力指指数（Cp、CCpk），进进一

12、步降低工工序偏差。此处，工序能力力指数是从一一定时期内的的工序数据与与管理规格值值获取对其工工序规格的稳稳定度，定义义如下。定期期把握该值（规格的的中心值与工工序数据的平平均值一致时时）、值（工序数数据的平均值值与规格的中中心值不一致致时），并将将其用于工序偏差的的改善中。（规格上限规规格下限）接近于平均的规规格极限平平均值在最终检查时，对对电气特性全全部都要检查查。追求产品品质量的稳定定化，为了检检验出并去掉掉未达到要求求质量的产品品，要进行筛选。并并将这些数据据用于质量改改善。对完成最终检查查的成品，进进行质量保证证检查，站在在使用产品的的立场上综合合确认质量。质质量保证检查查，有分批检检

13、查和管理试验。分分批检查是指指按照每个批批次判定合格格与否。该检检查由外观、电电气特性、热热性机械性性环境、持久久性等试验构成。管理理试验是通过过定期地抽检检来确认可靠靠性。该试验验由电气特性性、热性环境境机械性、长长期的持久性性试验构成。由质量保证证检查的结果果得来的质量量信息，迅速速反馈给关联联部门以保持持改善质量量，同时还用用于预测市场场上的质量。从材料部件的的购买到产品品的制造检检查、出货、客客户的实际使使用，整个过过程的质量所所相关的必要要信息，都收收集于质量管理体系中中。将这些信信息集中到主主机、采用统统计质量管理理的方法进行行分析，然后后将其结果反反馈给制造部部门及其他相关部门，

14、利利用到质量的的保持提高高、成品率提提高上。制造造工序或产品品发生异常时时，异常发现现部门发布工工序异常问卷调查，由相关关部门调查、讨讨论异常原因因，并采取对对策。工序异异常与校正处处理的体系图图如图1.33所示。变更设计、材料料部件、制制造方法、设设备时，制作作试作品、进进行要求质量量的确认以及及可靠性评价价，以保证无无问题点。Rev.1.000 20006.06.12 1-5RJJ27L00001-00100 1. 信頼性性品質保証同时获取客户承承认进行变更更。还要对设计技技术部门、制制造部门、营营业部门、管管理部门、资资材部门等所所有部门，由由干部定期进进行质量管理理诊断，指出问题点并进

15、进行改善，同同时提高各部部门的质量管管理意识，使使质量管理体体系更加完善善。处理的步骤及内内容工序异常发生发布工序异常问问卷调查不良分析的实施施工序履历的调查查不良对策会议再发防止对策及及既有品的处处理对策处理效果果的确认担当部门发现部门质量保证、设计计技术、制造部门设计技术、制制造部门等质量保证、设计计技术、制造部门等设计技术、制制造部门质量保证部门Rev.1.000 20006.06.12 1-6 RJJ27L00001-00100图 1.3工工序异常与校校正处理的体体系图1.5变更管理的结构构1.可靠性器器件的质量保保证将制造半导体的的设备和制造造工序合并为为外部因素进进行优化，使使制造

16、工序稳稳定。为了将将该变更所伴伴随的风险降降低到最小限度，确定定并运用如图图所示示的变更那个个管理体系。变变更管理的对对象为制造设设备、制造条条件、制造场场所，甚至更细小的点也也要在管理范范围内。其中中，对影响产产品质量、特特性的变更，通通过同志客户户并进行承认认来运行。客户认定否承认要营业营业技术术部门质量保证部部门否评价要否要判定合格通知客户准备样品数据据设计部门制定变更计划确定评价内容评价否制定切换日程制造部门产品试作中止打样实施变更1.6图 1.4半半导体器件的的变更管理体体系出货后的异常与与纠正措施已出货的产品在在客户接货阶阶段、装配调整阶段、区区域运转阶段段发生问题时时，以质量保保

17、证部门为中中心追究其原原因并实施纠正措施。质质量保证部门门根据营业部部门的信息，掌掌握客户的问问题状况的同同时，利用各各种测量分分析设备对问问题产品进行故障分析析。根据这些调查所所判明的结果果，技术部门门、制造技术术部门等关联联部门进行商商议并采取必必要的纠正措措施。同时，向向客户报告调查结果果。投诉处理理的流程与纠纠正措施的体体系图如图所示。Rev.1.000 20006.06.12 1-7RJJ27L00001-00100 1.可靠性器器件的质量保保证客户投诉（故障信息息）制造部门对策实施的确认认跟进营业部门质量保证部门故障分析、原因因究明实施再发防止对对策报告质量保证部门报告营业部门回答

18、客户设计部门对策实施的确认认跟进1.7图 1.5投投诉处理的流流程与纠正措措施的体系图图材料、部件的质质量保证来自中国最大的的资料库下载载针对半导体器件件的高性能、高高集成、高密密度化，对半半导体器件的的制造所使用用的材料、部部件的高纯度度化、高精度度化等要求也逐年提提高。半导体器件的芯芯片制作需要要硅晶片、目目标材料、光光刻胶、制程程化学品、材材料气体、纯纯水等，组装装及封装所必必需的引线框架、金线线、胶水、基基板、成形树树脂等，这些些材料分别要要求具有最高高级别的规格格、质量。对应新产品开发发，每种材料料、部件都规规定其购买规规格书、图纸纸，分别从专专业厂家购买买。为了确保保并提高符合合半

19、导体器件要求的部部件、材料的的质量，进行行以下重点的的质量保证活活动。满足购买规格格的部件、材材料的选定或或与专业厂家家的供开发部件、材料厂厂家的工厂调调查与厂家、工工厂认证按照部件、材材料品种进行行认证、评价价部件、材料的的收货检查或或与厂家缔结结Ship to Sttock部件、材料的的保管、处理理的老化防止止部件、材料的的质量数据收收集与异常处处理、对策部件、材料的的变更管理实施部件、材材料厂家的质质量保证状况况调查（质量量监督）与质质量会议Rev.1.000 20006.06.12 1-8 RJJ27L00001-00100这些活动的关联联如图1.66 所示。1.可靠性器器件的质量保保

20、证认证客户客户质量保证协定瑞萨工厂认证综合判定内容判定质量体系系的监查、评评分根据购买规格进进行评价收货检查客户个别认证收货监查部件、材料认证证合格入库判定制造厂家数据审查组装工序的实装装评价抽检方式厂家数据检查方方式方式变更管理客户变更申请不合格变更审议驳回评价新规认证判定收货、工序内不不良的原因纠正方案的讨论论确认实施施资材质量会议（质质量评价）定期举行厂家质质量会议通过厂家定期监监查进行改善善评价异常处理究明原因波及范围调查恒久对策通知判定结果发生收货检查不不良工序内内不良发行不良（不合合格）通知厂家排名的定级次年报告确认Qualityy, Tecchnoloogy, CCost,Del

21、iverry, Seervicee1.8环境适合设计图 1.6购购 买 部 件 、 材材 料 的 质 量 保保 证 活 动如大家所知，企企业活动等人人类一切活动动对地球的环环境负荷急剧剧增大，并且且已经成为大大问题。半导导体用作广泛泛的用途，结果促进了了适用产品的的小型化、高高性能化、电电力化。半导导体为地球环环境的保护做做出了很大的的贡献。而且且现在由于不断的技术革革新而使半导导体自身更加加小型化、高高性能化、省省电化，继续续不断地贡献献于环境保护护。一方面，半导体体的制造过程程中使用大量量能量、化学学物质，而且且废弃物的排排放也不少，事事业活动本身身的环境负荷荷就很大。Rev.1.000

22、20006.06.12 1-9RJJ27L00001-00100 1.可靠性部部件的质量保保证来自 中国最大大的资料库下下载而且，最近欧洲洲对电机电电子产品所含含化学物质的的规制进行强强化，人们强强烈希望降低低产品的环境境负荷。在这这种背景下，客户及公司司对使用含有有半导体的电电子部件所含含化学物质的的产品的环境境负荷的改善善要求逐年严严格起来。为了满足这些要要求，本公司司积极组织环环境保护活动动。具体从节节省能源、废废弃物减少等等制造时的环环境负荷消减减（），产品的的环境负荷消消减（）及及环境管理体体制的强化，对对员工进行环环境教育等环环境经营基础础的构建（）这这三个方面着着手。开发并并提供

23、作为的主要课课题的环境考考虑型产品的的基本方案如如图所示。部件供应商瑞萨管理物质调调查绿色调达（技术资材材环境）选择环境负荷少少的部件不使用证明书产品的环境负荷荷消减要求1.8.1绿绿色调达的扩扩大环境考虑型产品品的开发（设计开发发部门）技术（特性技能）指向型产品技术指向环境考虑型型产品客户图 1.7环境考虑型型产品的开发发、提供产品环境评估（设计开发发部门）减少化长寿命化产品的有害性有毒性消减产品包装的的环境负荷省能源化消减生产工序的的环境负荷环境考虑型产品品环境考虑型产品品销售绿色调达活动是是，从源流管管理有害化学学物质、管理理提供给客户户的产品中所所含化学物质质的方法。具具体是一种以以购

24、买部件化学物质含含有状况的调调查和供应商商环境管理体体制的调查为为主的活动。图图表示示了绿色调达达的流程。Rev.1.000 20006.06.12 1-10 RJJ27L00001-00100环境影响的的调查评价价1.可靠性部部件的质量保保证环境负荷的的消减（购买技术部部门）环境负荷化学物物质的含有状况材料本体容器包装材料着手环境保护的的企业姿态的取得状况着手消减自社产产品的环境负荷调查获取信息（环境评价部门门）调查评价结果果制作数据库含有物质的含含有量评价点供应商（技术设计部部门）环境负荷消减部部件及供应商的选择对部件供应商提提出改善要求订购绿色部件（环境负荷消减减的要求）1.8.2图 1

25、.8绿色调达的的流程新产品开发时的的环境负荷消消减（产品环环境评估）产品环境评估是是指，在材料料生产流流通使用回收废弃弃这样的产品品生命周期中中在开发时事事前评估应考考虑的各个环境侧面的方法法。具体是通通过新产品的的环境负荷与与标准产品（前前一代产品）相相比较来掌握握该产品环境境负荷改善程程度的方法。具体的的评估项目如如图所所示。Rev.1.000 20006.06.12 1-11 RJJ27L00001-00100 1.可靠性性器件的质量量保证产品的生命周期期生产过程的废弃弃物材料生产流通（再使用再利利用）的流程程评估项目使用回收分解（废弃）适当处理省资源产品材料包装材料工艺材料使用管理物质

26、（禁止限制）有有无产品材料包装材料工艺材料安全性工艺材料节省能源工序装置节省资源不易发生废弃物物的工序生产工厂的环境境管理节省能源输送节省能源消费能源长寿命化促进再使用包装材料工艺材料包装材料的材料料名称表示信息宣布产品所含化学物质报废时的注意事项有害性产品材料包装材料工艺材料1.8.3图 1.9产品评估项项目（环境境考虑要点）化学物质管理本公司对半导体体产品所含的的或其制造过过程中有可能能使用的约种物物质（群）的的化学物质决决定自主管理理区分进行其使用量、移动动量的管理。具具体有约种物质（群群）为“禁止止物质”、约约种物物质为（群）为为“消减物质质”、约种物质（群群）为“管理理物质”。其其中，“禁止止物质”在年末末之前完全取取消使用。上上述的绿色调调达活动中以以这些管理化学物质质为基础进行行调查。来自自 中国最大大的资料库下下载本公司特别将产产品所含的化化学物质理解解为产品质量量的一个项目目，目前着手手整备关于此此内容的质量量保证体制。Rev.1.000 20006.06.12 1-12 RJJ27L00001-00100