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1、半导体参数测试系统Agilent 4155C简介产地：美国，安捷伦科技有限公司型号：4155C Agilent 4155C半导体参数测试仪可全自动地高速测量半导体器件和材料的直流参数。基本配置包括4个源/监视单元（SMU）、2个电压监视单元（VMU）和2个电压源单元（VSU）。1）主机前面板包括液晶显示器、磁盘驱动器和功能按键。可以不使用计算机直接进行设置和测量。后面板包括SMU，VMU，VSU接口，接地接口，以及网线、GPIB、并口等测试仪表通信端口。配置的计算机包括各种计算机通信接口以及DVD/CD-RW驱动器。2）源测量单元4个源/监视测量单元（SMU）具备电压源、电压表、电流源、电流表
2、四种常用功能，同时具有宽脉冲产生能力和准静态CV（QSCV）分析功能，脉冲宽度可以达到500 s，QSCV可以提供工艺参数的重要信息，如氧化膜厚度、表面态电荷量和平带电压等。2个电压监视单元（VMU）测试单元，具备电压表功能2个电压源单元（VSU）输入单元，具备电压源功能3）电缆提供Triax连接端口，随机配有4根Triax电缆和4根BNC电缆，同时可提供Triax-BNC的转接器，适合不同的探针台需要。4）测试分析系统EasyExpert软件内含超过280种测试应用，可以提供半导体参数仪的测量设置、SMU等模块的驱动以及外置仪表如LCR表、示波器、脉冲发生器和开关矩阵等的控制。还具有测试数据
3、列表、绘图、测试报告生成等分析功能。软件面板如下图所示。基本原理：HP4155C的控制部分由三个部件组成。部件A2为主控微处理机，部件A3为激励测量单元SMU控制和A-D转换，部件A4是D-A转换。现将它们的工作原理分述如下：A2部件为主控微处理器，它对仪器进行总控制由监控程序和子程序控制图形显示、软盘驱动和接口。当4155C通电时，RAM和A3部件通过异步通信接口示配器ACIA进行数据传输。A3部件上的光电耦合器，保证了A2部件和A3部件之间的接地隔离。A3部件是SMU控制及A-D 转换。它包含一个ADC和微机控制部分。来自SMU的电压和电流监控信号以及监控电压源Vm都被归一化成10V范围之
4、内加到多路转换器的输入端。控制寄存器命令多路转换器为A-D转换器选择输入电压被多路转换器选择的输人电压加到取样-保持电路上并被保持，直到A-D转换完成。A4部件是D-A转换器部分。它出静态RAM、D-A转换器、IV转换器、多路分配器和取样-保持电路组成。其功能是为4个SMUs和2VS提供参考电压。D-A转换器和I/V转换器把RAM里的数字量转换成模拟量，通过多路分配器送到相应的取样-保持电路的输人端。仪器应用范围：Agilent 4155C 半导体参数分析仪是一款经济高效、精确、适用于先进器件表征的实验室用台式解决方案，可满足绝大多数参数表征需要。可用于测量半导体电子元器件（pn结、晶体管、场
5、效应管、运算放大器）的I-V和C-V特性曲线，薄膜方块电阻等多种器件参数，也可以在低温环境里，测量半导体载流子迁移率等半导体重要参数。该仪器也可以和太阳光模拟器配合使用，测量太阳能电池的I-V特性，获得真实可靠的器件性能指标。性能参数：4155C主要技术指标:l 电压测试分辨率：0.2 Vl 电流测试分辨率（不加前置放大器）：1fAl 4个源/监测单元，2个电压源单元，2个电压测量单元l IV Sampling模式：可达100001点/通道, 可进行Linear及Log扫描模式l 具有Knob sweep功能l 低电流测试: 测量分辨率 1fA 测量精度 (4%+20fA+1fAVout/100) 最大电压 100V l 最大强制电压：100V l 最大强制电流：100mAl 接口：GPIB, LAN
半导体参数测试系统Agilent4155C简介
