半导体、液晶行业设备材料选用介绍.ppt

半导体 液晶行业设备材料选用介绍 目录 1 机台常用材料种类2 各种常用材料特性 应用位置 1 机台常用材料种类 金属类 Al profile 铝框架 LG2 炮铜 一种优质铜合金 Al ElectrolessNiplating 化学镀镍铝合金 SUS SUS304 SUS440C SUS316 不同代号的不锈钢 聚合物类 PP 聚丙烯PC 聚碳酸酯PVC 聚氯乙烯C PVC 氯化聚氯乙烯POM 聚甲醛塑料PVDF 聚偏氟乙烯PTFE 聚四氟乙烯 Nylon610 聚癸二酰己二胺Nylon612 聚十二乙烷二酰己二胺Anti staticTransparentAcryl 抗静电透明丙烯酸酯树脂 PEEK 聚醚醚酮 UHMW PE 超高分子量聚乙烯 PET 聚对苯二甲酸类塑料MC Nylon 单体浇铸尼龙 Al profile 铝质框架主要是铝合金型材 一般加入Mg或Mn等金属形成相应的合金 具有密度小 强度高 耐蚀性好等优点 是很好的框架材料 2 各种常用材料特性 LG2 炮铜 一种优质铜合金 一种集耐腐蚀抗疲劳耐磨损于一身的优质铜合金 一般在工业上用作活动连接件 机台中把Bearinggrease的材质就是采用这种合金 Al ElectrolessNiplating 化学镀镍铝合金利用化学镀膜方法在铝合金表面镀一层镍 具有很好的耐腐蚀能力 良好的机械性能 难溶及不易与被空气氧化 主要用于DryCVunit SUS SUS304 SUS440C SUS316 不锈钢SUS304是奥氏体不锈钢 塑性较好因而其冷加工性能佳 同时因其奥氏体组织结构 无磁性 热处理难以增加其强度 其耐腐蚀性能较优 多用于制作不锈钢日用品 容器 主要用于碱液单元 水单元传动轴 风刀本体等 SUS440C是马氏体不锈钢 机械强度较SUS304高 并且可以通过热处理来进一步增强其机械性能 有磁铁吸附的特性 多用于制作工具 刀具及其它强度硬度要求较高的用途 可制造在腐蚀环境和无润滑强氧化中工作的轴承零件 主要用于SUSBearing SUS316不锈钢塑性 韧性 冷变性 焊接工艺性能良好 高温强度好 耐蚀性优秀 由于含碳量低且含有2 3 的钼 提高了对还原性盐和各种无机酸和有机酸 碱 盐类的耐腐蚀性能 同时高温性强度 主要用于高压气体管路 药液单元等 PP 聚丙烯耐水性 化学稳定性 耐热性 成型性好等特点 机械性能较好 弯曲强度和拉伸强度接近于聚苯乙烯 刚性和延伸率好 抗应力开裂性比聚乙烯好 但耐磨性稍差 严重缺点是在氧 热 光作用下容易降解 老化 为此 应在聚丙烯塑料中加入稳定剂 主要用于马达传动的斜齿轮处 Anti StaticTransparentPC 抗静电透明聚碳酸酯PC是一种综合性能优良的非晶型热塑性树脂 具有优异的电绝缘性 延伸性 尺寸稳定性及耐化学腐蚀性 较高的强度 耐热性和耐寒性 价格低廉 还具有自熄 阻燃 无毒 可着色等优点 但也有硬度不足容易刮花 不耐强酸 不耐强碱 不耐紫外线 主要用于设备的Cover door等位置 PVC 聚氯乙烯可分为硬聚氯乙烯和软聚氯乙烯 硬聚氯乙烯 不含或只含少量的增塑剂 强度较高 质硬 介电性能好 化学稳定性好 抗酸碱能力强 但耐热性不高 主要用于制造片材 板材 管材 棒材 弯头等各种型材或泡沫塑料 软聚氯乙稀 含较多的增塑剂 可塑性 流动性比硬聚氯乙稀好 制品柔软且富有弹性 抗酸碱能力强 耐寒耐光且不受氧及臭氧的影响 但耐热性 机械强度 耐磨性 耐溶性及介电性不如硬聚氯乙稀 用于制造手柄 绝缘垫等结构性零件 电线电缆的绝缘层和软管 主要用于chamber DIWtank等 C PVC 聚氯乙烯 CPVC经氯化而得的一种热塑性树脂 含氯量61 68 氢原子没有全部被氯取代 溶解性 耐热性 耐寒性均比聚氯乙烯优越 不易燃烧 耐气候 耐化学药品及耐水性均优 可主要作热水上水管使用 主要用于水 药液管路等 POM 聚甲醛塑料俗称赛钢 性质最接近金属 具有高机械强度和刚性 最高的疲劳强度 耐有机溶剂性佳 耐反覆冲击性强 使用温度范围广 良好的电气性质 复原性良好 具自已润滑性 耐磨性良好 尺寸安定性优等特点 但也有加工过程若长时间高温下易起热分解 抗酸性差的不足 可用于生产工业零件 机械零件 齿轮 把手 玩具 螺杆等 用于马达齿轮等位置 PVDF 聚偏氟乙烯偏氟乙烯均聚物或者偏氟乙烯与其它少量氟乙烯基单体的共聚物 它兼具氟树脂和通用树脂的特性 除了具有良好的耐化学腐蚀性 耐高温 耐候性 耐射线辐射性能外还具有压电性 介电性 热电性等特殊性能 是目前含氟塑料中产量名列第二的产品 外观为白色 用于需要耐氧化 耐酸碱 防离子析出等级高的单元 机构 UHMW PE 超高分子量聚乙烯分子量极高 属于价格适中 性能优良的热塑性工程塑料 它几乎集中了各种塑料的优点 具有普通聚乙烯和其它工程塑料无可比拟的耐磨 耐冲击 自润滑 耐腐蚀 吸收冲击能 耐低温 卫生无毒 不易粘附 不易吸水 密度较小等综合性能 事实上 目前还没有一种单纯的高分子材料兼有如此众多的优异性能 主要用于Dryunit的CVRoller上 PET 聚对苯二甲酸类塑料PET是乳白色或浅黄色高度结晶性的聚合物 表面平滑而有光泽 耐蠕变 抗疲劳性 耐摩擦性好 磨耗小而硬度高 具有热塑性塑料中最大的韧性 电绝缘性能好 受温度影响小 但耐电晕性较差 无毒 耐气候性 抗化学药品稳定性好 吸水率低 耐弱酸和有机溶剂 但不耐热水浸泡 不耐碱 一般用于导轮 MC Nylon 单体浇铸尼龙分子量高 物理机械性能优于普通尼龙 有较好的强度 刚性 韧性 耐磨性 化学稳定性 吸水率低 尺寸稳定性好 有自熄性 持续耐热可达100 机械性能受温度影响较大 随着温度的升高 机械性能明显下降 主要用于马达传动齿轮 Nylon610 聚癸二酰己二胺Nylon612 聚十二乙烷二酰己二胺二者分别为DiskBrush和RollerBrush的刷毛材料 与尼龙相比 二者材质均具有较低的吸湿性 因此在有水的条件下仍有较好的刚性 对去除Partical有利 此外二者具有尺寸稳定 介电性好 柔软耐磨 成型加工简便等优点 能有效抗虫咬 霉菌侵蚀等