《薄膜问题讨论》PPT课件
SLIDE # 1Film Issues薄膜问题 Doug Pelleymounter & Ken Nauman高级应用工程师 SLIDE # 2薄膜问题和其它系统的最优方案用于反应溅射的闭环控制 Lambda 探测仪残余气体分析仪(RGA)等离子体发射监控器 (PEM)外部电压控制新的 Crystal 电压控制带有多倍射频供应的公共激励振荡器 (CEX) 和相移交流阳极下降气流均匀性薄膜应力和粘着力溅射速率 SiO 2二氧化硅结晶控制厚度 AZO氧化锌铝 vs. ITO 氧化铟锡vs. CdSte每种陶瓷的成本 (合金, 联合溅射, 等等.) SLIDE # 3薄膜问题提问与解答时间 SLIDE # 4订阅 AE 的 Flat Panel FocusSM 电子新闻 订阅AE的 Flat Panel FocusSM、 PV Sun TimesSM 和 Sputter SpotlightSM电子新闻 ,可以随时掌握当今制造业领域中最迫切的问题,订阅地址: www.advanced- FPD如需谘询与光电(PV=Photovoltaics )制造业有关的问题,请发送电子邮件到: PVSunT如需谘询与溅射应用有关的问题,请发送电子邮件到: S SLIDE # 5 www.advanced- www.advanced-NasdaqGM: AEISwww.advanced-energy.co.kr www.advanced-energy.co.jpwww.advanced-energy.de www.advanced-.tw ENG-FilmIssues-150-03 9/24/2008 Specifications are subject to change without notice.Advanced Energy, Crystal, Flat Panel FocusSM, PV Sun TimesSM, and Sputter Spotlight are U.S. trademarks of Advanced Energy Industries, Inc. 2008 Advanced Energy Industries, Inc. All Rights Reserved.