洁净度等级对照

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1-9 级可能是参照的ISO 的标准 国际标准 一般我们所说的百级相当于ISO5级万级相当于ISO7级十万级相当于ISO8级一百万级相当于ISO9级3,或 3530 颗/m3）3,洁净度等级在100级以下者（ 1000, 10000级等）通常用pm粒径考核的 居多；4,随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来 越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施 工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如m）而要用到更多的粒径，如pm pm?四至pm对洁净室进行检测评定。ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒 /m3）dmdmdmdm1医m5dmISO1102ISO210024104SO31000237102358SO4100002365101835283SO51000002365110176351783229SO61000000236514101763351688318293SO7351676831762925SO8351675783176429251SO98317638292511