东营半导体刻蚀设备项目申请报告

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1、泓域咨询/东营半导体刻蚀设备项目申请报告目录第一章 项目概述7一、 项目名称及建设性质7二、 项目承办单位7三、 项目定位及建设理由8四、 报告编制说明10五、 项目建设选址12六、 项目生产规模12七、 建筑物建设规模12八、 环境影响12九、 项目总投资及资金构成13十、 资金筹措方案13十一、 项目预期经济效益规划目标14十二、 项目建设进度规划14主要经济指标一览表14第二章 项目背景及必要性17一、 海外龙头居于垄断地位，研发并购筑起行业壁垒17二、 刻蚀设备国产化率低，国产替代空间广17三、 加快推动新旧动能转换，打造先进制造业强市19四、 打造对外开放新高地22五、 项目实施的必

2、要性24第三章 产品规划与建设内容25一、 建设规模及主要建设内容25二、 产品规划方案及生产纲领25产品规划方案一览表25第四章 建筑工程技术方案28一、 项目工程设计总体要求28二、 建设方案29三、 建筑工程建设指标30建筑工程投资一览表30第五章 项目选址方案32一、 项目选址原则32二、 建设区基本情况32三、 构建高质量发展经济体制新优势36四、 项目选址综合评价37第六章 法人治理结构38一、 股东权利及义务38二、 董事41三、 高级管理人员46四、 监事49第七章 发展规划51一、 公司发展规划51二、 保障措施52第八章 SWOT分析54一、 优势分析（S）54二、 劣势分

3、析（W）56三、 机会分析（O）56四、 威胁分析（T）57第九章 项目节能分析63一、 项目节能概述63二、 能源消费种类和数量分析64能耗分析一览表65三、 项目节能措施65四、 节能综合评价66第十章 原辅材料分析68一、 项目建设期原辅材料供应情况68二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理68第十一章 劳动安全生产70一、 编制依据70二、 防范措施73三、 预期效果评价75第十二章 项目实施进度计划77一、 项目进度安排77项目实施进度计划一览表77二、 项目实施保障措施78第十三章 人力资源分析79一、 人力资源配置79劳动定员一览表79二、 员工技能培训79第十四章 投资计划81

4、一、 投资估算的依据和说明81二、 建设投资估算82建设投资估算表84三、 建设期利息84建设期利息估算表84四、 流动资金86流动资金估算表86五、 总投资87总投资及构成一览表87六、 资金筹措与投资计划88项目投资计划与资金筹措一览表89第十五章 经济效益分析90一、 基本假设及基础参数选取90二、 经济评价财务测算90营业收入、税金及附加和增值税估算表90综合总成本费用估算表92利润及利润分配表94三、 项目盈利能力分析95项目投资现金流量表96四、 财务生存能力分析98五、 偿债能力分析98借款还本付息计划表99六、 经济评价结论100第十六章 风险防范101一、 项目风险分析101

5、二、 项目风险对策103第十七章 项目招标、投标分析106一、 项目招标依据106二、 项目招标范围106三、 招标要求107四、 招标组织方式107五、 招标信息发布109第十八章 项目综合评价110第十九章 附表113主要经济指标一览表113建设投资估算表114建设期利息估算表115固定资产投资估算表116流动资金估算表117总投资及构成一览表118项目投资计划与资金筹措一览表119营业收入、税金及附加和增值税估算表120综合总成本费用估算表120固定资产折旧费估算表121无形资产和其他资产摊销估算表122利润及利润分配表123项目投资现金流量表124借款还本付息计划表125建筑工程投资一

6、览表126项目实施进度计划一览表127主要设备购置一览表128能耗分析一览表128第一章 项目概述一、 项目名称及建设性质（一）项目名称东营半导体刻蚀设备项目（二）项目建设性质本项目属于扩建项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xxx有限责任公司（二）项目联系人龚xx（三）项目建设单位概况公司在发展中始终坚持以创新为源动力，不断投入巨资引入先进研发设备，更新思想观念，依托优秀的人才、完善的信息、现代科技技术等优势，不断加大新产品的研发力度，以实现公司的永续经营和品牌发展。公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度

7、，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理

8、格局逐步建立，广大员工合规意识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。公司秉承“以人为本、品质为本”的发展理念，倡导“诚信尊重”的企业情怀；坚持“品质营造未来，细节决定成败”为质量方针；以“真诚服务赢得市场，以优质品质谋求发展”的营销思路；以科学发展观纵观全局，争取实现行业领军、技术领先、产品领跑的发展目标。 三、 项目定位及建设理由刻蚀设备领域长期由海外龙头垄断，国内刻蚀企业部分技术已达国际一流水平。根据Gartner统计，全球刻蚀企业前三大分别是泛林半导体、东京电子、应用材料，全球市占率合计91%。国内刻蚀设备生产厂商在全球刻蚀设备市场的市占率总计不足2%。然而，近些年来国内刻蚀厂商依托资本和政策

9、扶持一路奋起直追，成效显著。例如中微公司的介质刻蚀已经进入台积电7nm/5nm产线，是唯一一家进入台积电产线的国产刻蚀设备生产商。从晶圆厂招投标情况来看，国内晶圆厂新增产能建设不断加码，中微公司和北方华创等国内半导体刻蚀设备厂家份额进一步提升。随着国内刻蚀龙头紧跟先进制程发展，加大研发投入，积极并购与整合，整体国产刻蚀设备有望加速完成国产替代。锚定二三五年远景目标，经过五年不懈奋斗，到二二五年，主要领域现代化进程走在全省前列，高水平现代化强市建设取得突破性进展。经济实力更强，经济保持持续稳定增长，城乡区域发展更趋协调，区域创新能力明显提升，在山东高质量发展、黄河流域生态保护和高质量发展中的重要

10、地位和作用进一步彰显；发展质效更好，现代产业体系构建取得重大进展，“四新”经济占比大幅提升，产业基础高级化、产业链现代化水平明显提高，新动能成为引领经济发展的主引擎；动力活力更足，要素市场化配置更加高效，营商环境持续优化，市场主体充满活力，更高水平开放型经济新体制基本形成；生态环境更优，国土空间开发保护格局得到优化，生产生活方式绿色转型成效显著，水气土等环境质量持续改善，黄河口国家公园管理机制更加高效，生态系统更加健康稳定，城乡环境更加优美宜居；治理效能更高，平安东营、法治东营、文明东营建设取得新成效，防范化解重大风险体制机制更加健全，发展安全保障更加有力，城市数字化、智慧化取得重要进展，市域

11、治理体系和治理能力水平保持全省前列；人民生活更有品质，实现更加充分更高质量就业，居民收入增长和经济增长基本同步，基本公共服务均等化水平大幅提高，社会保障体系更加健全，防灾减灾救灾能力显著增强，人民生活品质明显改善。重点围绕新时代东营高质量发展的目标定位，聚力高质量发展、高品质生活、高效能治理，奋力攻坚突破，确保大见成效。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要；2、投资项目可行性研究指南；3、相关财务制度、会计制度；4、投资项目可行性研究指南；5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件；6、根据项目需要进行调查和收集的设计基础资料；7、可行性研究与项目评

12、价；8、建设项目经济评价方法与参数；9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。（二）报告编制原则1、严格遵守国家和地方的有关政策、法规，认真执行国家、行业和地方的有关规范、标准规定；2、选择成熟、可靠、略带前瞻性的工艺技术路线，提高项目的竞争力和市场适应性；3、设备的布置根据现场实际情况，合理用地；4、严格执行“三同时”原则，积极推进“安全文明清洁”生产工艺，做到环境保护、劳动安全卫生、消防设施和工程建设同步规划、同步实施、同步运行，注意可持续发展要求，具有可操作弹性；5、形成以人为本、美观的生产环境，体现企业文化和企业形象；6、满足项目业主对项目功能、盈利性等投资方

13、面的要求；7、充分估计工程各类风险，采取规避措施，满足工程可靠性要求。（二） 报告主要内容报告是以该项目建设单位提供的基础资料和国家有关法令、政策、规程等以及该项目相关内外部条件、城市总体规划为基础,针对项目的特点、任务与要求，对该项目建设工程的建设背景及必要性、建设内容及规模、市场需求、建设内外部条件、项目工程方案及环境保护、项目实施进度计划、投资估算及资金筹措、经济效益及社会效益、项目风险等方面进行全面分析、测算和论证，以确定该项目建设的可行性、效益的合理性。五、 项目建设选址本期项目选址位于xx，占地面积约86.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用

14、设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xxx套半导体刻蚀设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积110863.21，其中：生产工程65380.26，仓储工程18186.03，行政办公及生活服务设施12867.35，公共工程14429.57。八、 环境影响本项目将严格按照“三同时”即三废治理与生产装置同时设计、同时施工、同时建成使用的原则，贯彻执行国家和地方有关环境保护的法规和标准。积极采用先进而成熟的工艺设备，最大限度利用资源，尽可能将三废消除在工艺内部，项目单位及时对生产过程中的噪音、废水、固体废弃物等都要经过处理，避免造成环境污染，确保该项目

15、的建设与实施过程完全符合国家环境保护规范标准。九、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资45233.54万元，其中：建设投资37627.47万元，占项目总投资的83.18%；建设期利息923.01万元，占项目总投资的2.04%；流动资金6683.06万元，占项目总投资的14.77%。（二）建设投资构成本期项目建设投资37627.47万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用32812.38万元，工程建设其他费用3774.18万元，预备费1040.91万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资45

16、233.54万元，其中申请银行长期贷款18837.06万元，其余部分由企业自筹。十一、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：82700.00万元。2、综合总成本费用（TC）：65557.57万元。3、净利润（NP）：12523.73万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.93年。2、财务内部收益率：20.56%。3、财务净现值：16030.17万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划24个月。十四、项目综合评价通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来

17、看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积57333.00约86.00亩1.1总建筑面积110863.211.2基底面积37266.451.3投资强度万元/亩433.782总投资万元45233.542.1建设投资万元37627.472.1.1工程费用万元32812.382.1.2其他费用万元3774.182.1.3预备费万元1040.912.2建设期利息万元923.012.3流动资金万元6683.063资金筹措万元45233.543.1自筹资金万元26396.483.2银行贷款万元18837.064营业收入

18、万元82700.00正常运营年份5总成本费用万元65557.576利润总额万元16698.317净利润万元12523.738所得税万元4174.589增值税万元3701.0210税金及附加万元444.1211纳税总额万元8319.7212工业增加值万元28665.6713盈亏平衡点万元34217.97产值14回收期年5.9315内部收益率20.56%所得税后16财务净现值万元16030.17所得税后第二章 项目背景及必要性一、 海外龙头居于垄断地位，研发并购筑起行业壁垒半导体刻蚀设备市场主要由美日厂商主导。半导体刻蚀设备领域长期由海外龙头垄断，根据中商情报网统计，全球刻蚀企业前三大分别是泛林半

19、导体（LamResearch）、东京电子（TEL）、应用材料（AMAT），全球市占率合计91%，其中泛林半导体以45%的市场份额遥遥领先，东京电子和应用材料则分别占据28%和18%的市场份额。二、 刻蚀设备国产化率低，国产替代空间广国产刻蚀设备自给率不足两成，国内厂商有望迅速崛起。在2020年，核心集成电路设备的国内市场国产化率不足10%，而刻蚀设备的国产化率约20%，是目前国产替代占比最高的重要半导体设备之一，也有望率先完成国产替代。从需求端看，随着全球贸易摩擦给半导体供应链带来的不确定性，国内晶圆厂更倾向于购买国产设备。从政策环境上来看，我国政府对于半导体设备行业更加重视，推出有针对性的行

20、业优惠扶持政策和以专项的形式组织一批国内半导体设备公司进行一系列重点工艺和技术的攻关。从资本角度来看，政府成立一批国家产业投资基金，大力度投资半导体设备、半导体材料等基础环节。国内刻蚀设备细分龙头如北方华创、中微公司等在等离子体刻蚀设备领域产品优势显著，已达到世界领先水平。因此，刻蚀领域国产化替代前景广阔，在需求、政策、资本、技术等多因素推动下，有望加速实现国产化。对比国际刻蚀龙头，国内刻蚀企业在规模、研发、技术等差距显著。国内刻蚀领域虽然已经涌现出多家实力雄厚的公司，如北方华创和中微公司，但国内刻蚀设备生产厂商在全球刻蚀设备市场的市占率较低，与世界头部企业在多方面存在较大差距。从营业收入和归

21、母净利润角度看，北方华创和中微公司虽然在近年均呈现高速增长态势，但是总规模与国际巨头差距悬殊。从研发投入角度看，虽然北方华创和中微公司研发投入占营业收入比重超过国外企业，但是研发投入总规模仍然远远小于国际龙头企业。在国家集成电路产业基金和行业政策的大力扶持下，二者的研发投入有望迎来大幅提升。在技术水平上，国内头部企业尚未攻克一些顶尖刻蚀技术，与国际巨头存在较大差距。北方华创和中微公司均未涉足目前行业最尖端的ALE技术，而泛林集团的ALE已经实现量产。在先进制程节点上，泛林集团的5nm刻蚀应用已经进入量产阶段，3nm刻蚀应用正在验证阶段，而国内企业尚处在5nm刻蚀应用的验证阶段和3nm刻蚀应用的

22、研发阶段。国内刻蚀龙头企业的部分技术已达到国际一流水平。在目前广泛使用的高密度等离子刻蚀设备上，中微公司的ICP和CCP刻蚀设备与泛林集团DRIE刻蚀设备的刻蚀效果相当。同时，中微公司的介质刻蚀已经进入台积电7nm/5nm产线，是唯一一家进入台积电产线的国产刻蚀设备生产商。北方华创在ICP刻蚀领域优势显著，已量产28nm制程以上的刻蚀设备，同时已经突破14nm技术，并进入中芯国际14nm产线验证阶段。随着国内刻蚀龙头紧跟先进制程发展，加大研发投入，积极并购与整合，整体国产刻蚀设备水平有望快速迭代升级并完成刻蚀领域的国产替代。三、 加快推动新旧动能转换，打造先进制造业强市完善提升产业集群发展规划

23、，聚合产业发展核心要素，着力打造具有持续竞争力的现代产业体系，推进产业基础高级化、产业链现代化，提高经济质量效益和核心竞争力。（一）优化提升优势传统产业坚决淘汰落后动能，加快改造提升传统动能，推动产业基础再造，促进全产业链整体跃升。石化产业，坚持高端化、智慧化、高效化、一体化、绿色化方向，按照“一区、一片、多点”发展布局，有序推动炼化产能整合转移，以芳烃、烯烃产业链为主，构建链条强韧、价值高端、具有国际竞争力的万亿级石化产业集群。加强与央企国企等国内外大企业集团及化工领域知名高校院所合作，重点推进中国化工集团山东化工原料基地、PX上下游配套、利华益集团有机化工新材料基地、中海油原油仓储等项目建

24、设，打造绿色循环能源石化基地。橡胶轮胎产业，突出整合提升、品牌建设，推动产能向优势企业集聚，深化与国内外大企业集团合资合作，培育旗舰型企业，建成全国一流的高端橡胶产业基地。石油装备产业，突出高端化、智能化、服务化，重点加强海洋油气装备、非常规油气装备、智能油气能源装备等关键共性技术攻关和高端大型成套产品研发创新，构建“制造+服务+品牌”融合发展价值链，打造高端智能石油石化装备制造基地和油服企业总部基地。有色金属产业，重点围绕电子信息、输配电等领域延伸产业链条，发展电磁线、特种线缆等高附加值产品，推动产业提质增效。（二）培育壮大战略性新兴产业新材料产业，坚持创新、高端、集群发展方向，围绕高端功能

25、陶瓷材料、稀土催化材料、高性能纤维材料、化工新材料、铜基新材料五条产业链，集聚整合资源要素，坚定推进自主创新，着力打造“链主”企业，培育发展一批“专精特新”企业，推动不同基础材料产业链之间协作配套、耦合发展，打造2000亿级新材料产业集群。生物医药产业，做大做强骨干企业，引进行业领先企业，以创新研发提升现代中药、新型化药、医药中间体、原料药核心竞争力，加快培育生物化工、制药化工，延伸发展关联行业，形成规模优势、集群效应。航空航天产业，深化与中国商飞、北京航空航天大学、山东省机场集团战略合作，推进胜利机场与空港产业园一体化布局、融合发展，积极发展飞机零部件、航空新材料、精密加工、精密模具等航空关

26、联制造业，培育飞机试飞、维修、飞行校验、航空教育培训等配套服务业，打造民机试飞基地、民用无人驾驶航空实验基地和山东重要的临空经济区。现代海洋产业，坚持特色化、高端化、集群化、智慧化方向，着力发展壮大水产种业，推动传统渔业养殖向品牌化提升、水产品向深加工延伸，做大做强海洋工程装备产业，加快海洋生物医药产业发展，培育发展海洋新能源、海洋新材料、海水淡化和综合利用等战略性新兴产业。大力发展交通装备产业。（三）推动先进制造业与生产性服务业深度融合支持研发设计、知识产权、法律服务等服务业发展，培育覆盖全周期、全要素的生产性服务业产业链，引导科技研发、工业设计等企业与制造业企业嵌入式合作，加快形成服务型制

27、造体系。鼓励物流、快递企业融入制造业采购、仓储、分销、配送等环节，持续推进降本增效。支持各类市场主体参与服务供给，规划建设特色服务业园区，发展共享平台，形成一批带动效应突出的深度融合发展企业、平台和示范区。（四）推进产业数字化利用现代信息技术对制造业进行全方位、全链条的数字化、网络化、智能化改造，推进实施一批智能装备应用、自动化生产线改造、数字化车间及智能工厂建设等项目，推动石化、橡胶轮胎、石油装备、新材料等产业升级和数字赋能。引导鼓励企业在研发、管理、生产、营销、物流等各环节加强数字化应用，构建开放式生产组织体系，发展个性化、定制化智能制造，以数字化转型加快组织变革、业务创新和流程再造。四、

28、 打造对外开放新高地主动服务国家对外开放大局，加快建设更高水平开放型经济新体制，以更高水平开放促进更高质量发展，着力打造对外开放新高地。（一）拓展开放发展新空间深化与“一带一路”沿线国家和地区合作，拓展与区域全面经济伙伴关系协定（RCEP）成员国地方经贸合作，巩固深化欧盟、北美、中东市场，扩展非洲、南美等新兴市场，更大范围开拓海外市场空间。适时开通国际货运航班和欧亚班列。加强与港澳台地区交流合作。主动对接中日韩地方经贸合作示范区济南、青岛、烟台片区，深化与日韩地方经济合作。加强与沿黄地区在生态保护修复、弘扬传承黄河文化、产业转型升级等方面的交流协作。加快融入山东半岛城市群和省会经济圈一体化发展

29、。加强与京津冀、长三角、粤港澳大湾区等区域的合作。（二）培育外贸外资新优势推动外贸促稳提质，坚持优进优出方向，扩大高端装备、橡胶轮胎、新材料、生物医药等产品出口，鼓励能源资源性产品、先进技术设备、关键零部件和优质生活消费品进口。大力发展跨境电商，完善支持政策体系，加快建设国家级跨境电商综合试验区，完善关、汇、税、商、物、融等一体化综合服务生态。创新发展服务贸易，推动石油工程承包、服务外包、数字服务、离岸贸易等新业态新模式创新发展。制定完善主要产业生态图谱，高质量精准化专业化开展“双招双引”，推进产业链上下游、产供销、大中小企业协同发展。推动境外招商一体化联动，举办世界500强走进黄河口等活动，

30、聚焦重点国家和地区，聚力引进世界500强企业和产业链引擎项目，提高利用外资质量。（三）打造对外开放新平台持续深化省级以上开发区体制机制改革创新，支持有条件的开发区建设国际合作产业园，促进国际产业合作和精准招商。支持国家级东营经济技术开发区复制推广先进开放创新经验，建设国际合作园区、联动创新区和国家外贸转型升级基地。支持东营港经济开发区高水平建设东营国际招商产业园，打造石化板块新型产业集聚区。推动东营综合保税区提档升级，打造具有国际水准的对外开放高端平台。加强口岸建设，扩大港口、空港开放。举办世界入海口城市合作发展大会，搭建高层次国际合作平台。五、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的

31、投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第三章 产品规划与建设内容一、 建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积57333.00（折合约86.00亩），预计场区规划总建筑面积110863.21。（二）产能规模根据国内外市场需求和xxx有限责任公司建设能力分析，建设规模确定达产年产xxx套半导体刻蚀设备，预计年营业收入82700.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本

32、期项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为一致，本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品（服务）名称单位单价（元）年设计产量产值1半导体刻蚀设备套xx2半导体刻蚀设备套xx3半导体刻蚀设备套xx4.套5.套6.套合计xxx82700.00IC制造设备占半导体设备比例达80%，光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。从产品细分结构来看

33、，目前供应的半导体设备主要为IC制造设备，其占市面上半导体设备的比重约为80%；在这些IC制造设备中，以光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备为主，根据SEMI测算数据，当前这三类半导体设备分别约占市面上半导体设备的24%、20%和20%。光刻：光刻是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，其利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上，具有耗时长、成本高的特点。光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平。光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备，技术含量、价值含量极高。刻蚀：刻蚀工艺是半导体制造工艺中的关键步骤，对于器件的电学性能十分重要。其利用化学

34、或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料的过程，目标是在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形。如果刻蚀过程中出现失误，将造成难以恢复的硅片报废，因此必须进行严格的工艺流程控制。薄膜沉积：薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节。薄膜沉积是指任何在硅片衬底上沉积一层膜的工艺，这层膜可以是导体、绝缘物质或者半导体材料。薄膜沉积有化学和物理工艺之分，具体而言可分为化学气相沉积、物理气相沉积和其他沉积三大类。第四章 建筑工程技术方案一、 项目工程设计总体要求（一）设计依据1、根据中国地震动参数区划图（GB18306-2015），拟建项目所在地区地震烈度为7度，本设计原料仓库一、罐区、流平剂车间、光亮剂

35、车间、化学消光剂车间、固化剂车间抗震按8度设防，其他按7度设防。2、根据拟建建构筑物用材料情况，所用材料当地都能解决。特殊建材（如：隔热、防水、耐腐蚀材料）也可根据需要就地采购。3、施工过程中需要的的运输、吊装机械等均可在当地解决，可以满足施工、设计要求。4、当地建筑标准和技术规范5、在设计中尽量优先选用当地地方标准图集和技术规定，以及省标、国标等，因地制宜、方便施工。（二）建筑设计的原则1、应遵守国家现行标准、规范和规程，确保工程安全可靠、经济合理、技术先进、美观实用。2、建筑设计应充分考虑当地的自然条件，因地制宜，积极结合当地的材料、构件供应和施工条件，采用新技术、新材料、新结构。建筑风格

36、力求统一协调。3、在平面布置、空间处理、构造措施、材料选用等方面，应根据工程特点满足防火、防爆、防腐蚀、防震、防噪音等要求。二、 建设方案1、本项目建构筑物完全按照现代化企业建设要求进行设计，采用轻钢结构、框架结构建设，并按建筑抗震设计规范（GB500112010）的规定及当地有关文件采取必要的抗震措施。整个厂房设计充分利用自然环境，强调丰富的空间关系，力求设计新颖、优美舒适。主要建筑物的围护结构及屋面，符合建筑节能和防渗漏的要求；车间厂房设有天窗进行采光和自然通风，应选用气密性和防水性良好的产品。.2、生产车间的建筑采用轻钢框架结构。在符合国家现行有关规范的前提下，做到结构整体性能好，有利于

37、抗震防腐，并节省投资，施工方便。在设计上充分考虑了通风设计，避免火灾、爆炸的危险性。.3、建筑内部装修设计防火规范，耐火等级为二级；屋面防水等级为三级，按照屋面工程技术规范要求施工。.4、根据地质条件及生产要求，对本装置土建结构设计初步定为：生产车间采用钢筋混凝土独立基础。.5、根据项目的自身情况及当地规划建设管理部门对该区域建筑结构的要求，确定本项目生产生间拟采用全钢结构。.6、本项目的抗震设防烈度为6度，设计基本地震加速度值为 0.05g，建筑抗震设防类别为丙类，抗震等级为三级。.7、建筑结构的设计使用年限为50年，安全等级为二级。三、 建筑工程建设指标本期项目建筑面积110863.21，

38、其中：生产工程65380.26，仓储工程18186.03，行政办公及生活服务设施12867.35，公共工程14429.57。建筑工程投资一览表单位：、万元序号工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程19005.8965380.268259.621.11#生产车间5701.7719614.082477.891.22#生产车间4751.4716345.072064.911.33#生产车间4561.4115691.261982.311.44#生产车间3991.2413729.851734.522仓储工程7453.2918186.032147.992.11#仓库2235.995455.81644

39、.402.22#仓库1863.324546.51537.002.33#仓库1788.794364.65515.522.44#仓库1565.193819.07451.083办公生活配套2474.4912867.351890.373.1行政办公楼1608.428363.781228.743.2宿舍及食堂866.074503.57661.634公共工程8198.6214429.571403.10辅助用房等5绿化工程7321.42126.38绿化率12.77%6其他工程12745.1330.667合计57333.00110863.2113858.12第五章 项目选址方案一、 项目选址原则1、符合城乡规

40、划和相关标准规范的原则。2、符合产业政策、环境保护、耕地保护和可持续发展的原则。3、有利于产业发展、城乡功能完善和城乡空间资源合理配置与利用的原则。4、保障公共利益、改善人居环境的原则。5、保证城乡公共安全和项目建设安全的原则。6、经济效益、社会效益、环境效益相互协调的原则。二、 建设区基本情况东营，是山东省地级市，批复确定的中国黄河三角洲中心城市、中国重要的石油基地。东营地处中国华东地区、山东东北部、黄河入海口的三角洲地带，东临渤海，与日本、韩国隔海相望，北靠京津唐经济区，南连山东半岛蓝色经济区，向西辐射广大内陆地区，是环渤海经济区的重要节点、山东半岛城市群的重要组成部分，处于连接中原经济区

41、与东北经济区、京津唐经济区与胶东半岛经济区的枢纽位置。地理位置介于东经1185，北纬3815之间。东营市属暖温带大陆性季风气候，地势沿黄河走向自西南向东北倾斜。1983年10月15日，东营市正式挂牌。东营是古代伟大的军事家孙武故里、山东地方代表戏曲吕剧的发源地和中国第二大石油工业基地胜利油田崛起地。2020年，东营市生产总值为2981.19亿元，同比增长3.8%。2019年8月，中国海关总署主办的中国海关杂志公布了2018年“中国外贸百强城市”排名，东营排名第31。2020年7月，全国爱卫会确认东营市为2019年国家卫生城市。我市将率先基本实现社会主义现代化，基本建成高水平现代化强市，在全省、

42、全国发展大局中的地位更加彰显。经济实力、科技实力、综合竞争力迈上新的大台阶，人均生产总值在二二年基础上实现翻番，创新能力显著增强，建成高水平国家创新型城市；基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，率先形成现代产业体系，建成“数字山东”领先城市，建成先进制造业强市、新材料强市；基本实现治理体系和治理能力现代化，基本建成法治东营、法治政府、法治社会，建成更高水平的平安东营；社会事业全面进步，文化软实力显著增强，社会文明程度达到新高度，成为更高水平文明城市、黄河文化交流互鉴高地，建成文化旅游强市；绿色健康生产生活方式蔚然成风，生态环境根本好转，基本建成人与自然和谐共生的美丽东营；成为改革开放

43、新高地，市场化法治化国际化营商环境全面塑成，参与国际合作和区域竞争的优势明显增强，开放型经济发展水平国内领先；城乡融合、油地校融合、陆海联动发展水平显著提高，沿黄沿海盐碱地特色的乡村振兴齐鲁样板塑成优势，基础设施互联互通全面实现，成为现代特色农业强市、海洋强市、交通强市；人的全面发展、人民共同富裕取得更为明显的实质性进展，城乡区域发展差距和居民生活水平差距显著缩小，基本公共服务实现均等化，人人都能享有更高品质的生活。综合实力迈上新台阶，预计二二年全市生产总值突破3000亿元，人均生产总值位居全国前列。新旧动能加快转换，产业结构持续优化，“5+2+2”现代产业体系加速构建。农业农村现代化步伐加快

44、，打造具有东营特色的乡村振兴齐鲁样板取得重要进展。脱贫攻坚取得决定性胜利，全市贫困人口实现稳定脱贫。全面深化改革取得重大突破，对外开放新高地建设全面起势。黄河三角洲生态保护和湿地修复成效突出，污染防治攻坚战取得阶段性成果，生态环境质量持续改善。城市规划建设管理水平全面提高，湿地城市和无内涝城市建设加快推进，城市功能品质进一步提升。基础设施建设全面提速，现代化综合交通体系加快构建。重大风险防控有力有效，重点企业债务风险有序化解，安全生产事故持续下降，新冠肺炎疫情防控取得重大成果。各项社会事业全面进步，人民生活水平明显提高，法治东营建设不断深入，市域社会治理创新走在全省前列，油地校深度融合发展，社

45、会大局持续和谐稳定，连续三届入选全国文明城市。“十三五”规划目标任务即将完成，全面建成小康社会胜利在望。五年来，东营经济社会发展的内涵结构、体制机制、生态环境加快重塑，全市上下干事创业、争先进位的热情高涨，为东营未来发展奠定了坚实基础。当前和今后一个时期，我国发展仍然处于重要战略机遇期，继续发展具有多方面优势和条件。进入新发展阶段的科学判断和构建新发展格局的重大决策，我省开启新时代现代化强省建设新征程，为我们创造了有利的外部环境和新的发展空间。新一轮科技革命和产业变革深入发展，新一轮深层次改革和高水平开放纵深推进，有利于我们抓住机遇、变道超越，打造区域发展新优势。国家和我省出台应对疫情冲击、恢

46、复经济发展一系列支持政策，有力保护和激发了市场主体活力，推动高质量发展的各种潜力加快释放。经过多年努力，我市产业发展的竞争力明显提升，重大项目支撑带动作用持续增强，新产业新动能正在积蓄发力，高质量发展的基础更加坚实。特别是黄河流域生态保护和高质量发展重大国家战略全面实施，东营的战略地位显著提升，迎来了前所未有的重大历史机遇。综合分析东营面临形势，我们完全有底气、有能力、有信心在新发展阶段实现更大作为。但对照新形势新任务的要求，我市科技创新能力不强，新旧动能转换任务依然艰巨，资源环境约束趋紧，黄河三角洲生态保护治理任重道远，重点领域改革有待深化，重大交通基础设施建设需要提速加力，民生领域和社会治

47、理还有弱项。全市上下必须立足“两个大局”，增强机遇意识和风险意识，科学把握新发展阶段，坚定贯彻新发展理念，积极融入新发展格局，保持战略定力，抢抓发展机遇，准确识变、科学应变、主动求变，全力推动新时代东营高质量发展。三、 构建高质量发展经济体制新优势聚焦重点领域和关键环节深入推进改革，推动有效市场和有为政府更好结合、改革和发展深度融合，为经济发展注入强劲动力。（一）深化要素市场化配置改革深化土地管理制度改革，完善建设用地二级市场交易制度。健全“项目跟着规划走、要素跟着项目走”要素保障机制，加强土地、能耗等要素资源全市统筹。完善人才资源交流使用制度，加快发展技术要素市场。完善僵尸企业处置机制，全面

48、清理处置闲置低效用地、批而未供土地，促进要素资源向先进生产力集聚。完善公共资源交易平台，全面实施公共资源电子化交易。（二）激发市场主体活力坚持突出主业，深化国资国企改革，做优做强国有资本、国有企业。推行职业经理人制度，深化劳动、人事、分配等制度改革。全面落实放宽民营企业市场准入的政策措施，畅通民间资本投资渠道，吸引民营企业更多进入公共服务领域。加强对民营企业全生命周期服务，落实清理和防止拖欠民营企业账款长效机制，完善促进中小微企业和个体工商户发展的政策体系。扎实推进“个转企、小升规、规改股、股上市”，引导民营企业建立现代企业制度。构建亲清政商关系，弘扬企业家精神，优化民营经济发展环境。四、 项

49、目选址综合评价项目选址应符合城乡建设总体规划和项目占地使用规划的要求，同时具备便捷的陆路交通和方便的施工场址，并且与大气污染防治、水资源和自然生态资源保护相一致。第六章 法人治理结构一、 股东权利及义务1、公司召开股东大会、分配股利、清算及从事其他需要确认股东身份的行为时，由董事会或股东大会召集人确定股权登记日，股权登记日收市后登记在册的股东为享有相关权益的股东。2、公司股东享有下列权利：（1）依照其所持有的股份份额获得股利和其他形式的利益分配；（2）依法请求、召集、主持、参加或者委派股东代理人参加股东大会，并行使相应的表决权；（3）依法请求人民法院撤销董事会、股东大会的决议内容；（4）对公司

50、的经营进行监督，提出建议或者质询；（5）依照法律、行政法规及本章程的规定转让、赠与或质押其所持有的股份；（6）查阅本章程、股东名册、公司债券存根、股东大会会议记录、董事会会议决议、监事会会议决议、财务会计报告；（7）公司终止或者清算时，按其所持有的股份份额参加公司剩余财产的分配；（8）对股东大会作出的公司合并、分立决议持异议的股东，要求公司收购其股份；（9）单独或者合计持有公司百分之10以上股份的股东，有向股东大会行使提案的权利；（10）法律、行政法规、部门规章或本章程规定的其他权利。3、股东提出查阅前条所述有关信息或者索取资料的，应当向公司提供证明其持有公司股份的种类以及持股数量的书面文件，

51、公司经核实股东身份后按照股东的要求予以提供。4、公司股东大会、董事会决议内容违反法律、行政法规的，股东有权请求人民法院认定无效。股东大会、董事会的会议召集程序、表决方式违反法律、行政法规或者本章程，或者决议内容违反本章程的，股东有权自决议作出之日起_日内，请求人民法院撤销。5、董事、高级管理人员执行公司职务时违反法律、行政法规或者本章程的规定，给公司造成损失的，连续180日以上单独或合并持有公司1%以上股份的股东有权书面请求监事会向人民法院提起诉讼；监事会执行公司职务时违反法律、行政法规或者本章程的规定，给公司造成损失的，股东可以书面请求董事会向人民法院提起诉讼。监事会、董事会收到前款规定的股

52、东书面请求后拒绝提起诉讼，或者自收到请求之日起30日内未提起诉讼，或者情况紧急、不立即提起诉讼将会使公司利益受到难以弥补的损害的，前款规定的股东有权为了公司的利益以自己的名义直接向人民法院提起诉讼。他人侵犯公司合法权益，给公司造成损失的，本条第一款规定的股东可以依照前两款的规定向人民法院提起诉讼。6、董事、高级管理人员违反法律、行政法规或者本章程的规定，损害股东利益的，股东可以向人民法院提起诉讼。7、公司股东承担下列义务：（1）遵守法律、行政法规和本章程；（2）依其所认购的股份和入股方式缴纳股金；（3）除法律、法规规定的情形外，不得退股；（4）不得滥用股东权利损害公司或者其他股东的利益；不得滥

53、用公司法人独立地位和股东有限责任损害公司债权人的利益；公司股东滥用股东权利给公司或者其他股东造成损失的，应当依法承担赔偿责任。公司股东滥用公司法人独立地位和股东有限责任，逃避债务，严重损害公司债权人利益的，应当对公司债务承担连带责任。（5）法律、行政法规及本章程规定应当承担的其他义务。8、持有公司_%以上有表决权股份的股东，将其持有的股份进行质押的，应当自该事实发生当日，向公司作出书面报告。9、公司的控股股东、实际控制人员不得利用其关联关系损害公司利益。违反规定的，给公司造成损失的，应当承担赔偿责任。公司控股股东及实际控制人对公司和公司社会公众股股东负有诚信义务。控股股东应严格依法行使出资人的

54、权利，控股股东不得利用利润分配、资产重组、对外投资、资金占用、借款担保等方式损害公司和社会公众股股东的合法权益，不得利用其控制地位损害公司和社会公众股股东的利益。二、 董事1、公司设董事会，对股东大会负责。董事会由5名董事组成。公司不设独立董事，设董事长1名，由董事会选举产生。2、董事会行使下列职权：（1）召集股东大会，并向股东大会报告工作；（2）执行股东大会的决议；（3）决定公司的经营计划和投资方案；（4）制订公司的年度财务预算方案、决算方案；（5）制订公司的利润分配方案和弥补亏损方案；（6）决定公司内部管理机构的设置；（7）根据董事长的提名，聘任或者解聘公司总经理、董事会秘书，根据总经理的

55、提名，聘任或者解聘公司副总经理、财务总监等高级管理人员，并决定其报酬事项和奖惩事项；（8）制订公司的基本管理制度；（9）制订本章程的修改方案；（10）管理公司信息披露事项；3、董事会应当就注册会计师对公司财务报告出具的非标准审计意见向股东大会作出说明。董事会须及时对公司治理机制是否给所有的股东提供合适的保护和平等权利，以及公司治理结构是否合理、有效等情况进行讨论、评估，并在其年度工作报告中作出说明。4、董事会制定董事会议事规则，以确保董事会落实股东大会决议，提高工作效率，保证科学决策。董事会议事规则作为本章程的附件，由董事会拟定，股东大会批准。5、董事长和副董事长由董事会以全体董事的过半数选举

56、产生。6、董事长行使下列职权：（1）主持股东大会和召集、主持董事会会议；（2）督促、检查董事会决议的执行；（3）签署董事会重要文件和其他应由公司法定代表人签署的文件；（4）行使法定代表人的职权；（5）在发生特大自然灾害等不可抗力的紧急情况下，对公司事务行使符合法律法规规定和公司利益的特别处置权，并在事后向公司董事会或股东大会报告；（6）董事会授予的其他职权。7、董事会可以授权董事长在董事会闭会期间行使董事会的其他职权，该授权需经由全体董事的二分之一以上同意，并以董事会决议的形式作出。董事会对董事长的授权内容应明确、具体。除非董事会对董事长的授权有明确期限或董事会再次授权，该授权至该董事会任期届

57、满或董事长不能履行职责时应自动终止。董事长应及时将执行授权的情况向董事会汇报。8、公司副董事长协助董事长工作，董事长不能履行职务或者不履行职务的，由副董事长履行职务；副董事长不能履行职务或者不履行职务的,由半数以上董事共同推举一名董事履行职务。9、董事会每年至少召开两次会议，由董事长召集，于会议召开10日以前书面通知全体董事和监事。10、代表1/10以上表决权的股东、1/3以上董事或者监事会，可以提议召开董事会临时会议。董事长应当自接到提议后10日内，召集和主持董事会会议。11、召开临时董事会会议，董事会应当于会议召开3日前以电话通知或以专人送出、邮递、传真、电子邮件或本章程规定的其他方式通知

58、全体董事和监事。12、董事会会议通知包括以下内容：（1）会议日期和地点；（2）会议期限；（3）事由及议题；（4）发出通知的日期。13、董事会会议应有过半数的董事出席方可举行。董事会作出决议，必须经全体董事的过半数通过。董事会决议的表决，实行1人1票。14、董事与董事会会议决议事项所涉及的企业有关联关系的,不得对该项决议行使表决权，也不得代理其他董事行使表决权。该董事会会议由过半数的无关联关系董事出席即可举行，董事会会议所作决议须经无关联关系董事过半数通过。出席董事会的无关联董事人数不足3人的，应将该事项提交股东大会审议。15、董事会决议以记名表决方式进行表决。董事会临时会议在保障董事充分表达意

59、见的前提下，可以用传真或电子邮件或其它通讯方式进行并作出决议，并由参会董事签字。但涉及关联交易的决议仍需董事会临时会议采用记名投票表决的方式，而不得采用其他方式。16、董事会会议，应由董事本人出席；董事因故不能出席，可以书面委托其他董事代为出席，委托书中应载明代理人的姓名，代理事项、授权范围和有效期限，并由委托人签名或盖章。代为出席会议的董事应当在授权范围内行使董事的权利。董事未出席董事会会议，亦未委托代表出席的，视为放弃在该次会议上的投票权。17、董事会应当对会议所议事项的决定做成会议记录，董事会会议记录应当真实、准确、完整。出席会议的董事、信息披露事务负责人和记录人应当在会议记录上签名。董

60、事会会议记录作为公司档案保存，保存期限为10年。18、董事会会议记录包括以下内容：（1）会议召开的日期、地点和召集人姓名；（2）出席董事的姓名以及受他人委托出席董事会的董事（代理人）姓名；（3）会议议程；（4）董事发言要点；（5）每一决议事项的表决方式和结果（表决结果应载明赞成、反对或弃权的票数）。19、董事应当在董事会决议上签字并对董事会的决议承担责任。董事会决议违反法律、法规或者公司章程、股东大会决议，致使公司遭受损失的，参与决议的董事对公司负赔偿责任。但经证明在表决时曾表明异议并记载于会议记录的，该董事可以免除责任。三、 高级管理人员1、公司设总裁一名，由董事会聘任或解聘。公司设副总裁若

61、干名、财务总监一名，由董事会聘任或解聘。公司总裁、副总裁、财务负责人、董事会秘书为公司高级管理人员。2、本章程关于不得担任董事的情形、同时适用于高级管理人员。本章程关于勤勉义务的规定，同时适用于高级管理人员。3、在公司控股股东、实际控制人单位担任除董事、监事以外其他职务的人员，不得担任公司的高级管理人员。4、总裁每届任期3年，总裁连聘可以连任。5、总裁对董事会负责，行使下列职权：（1）主持公司的生产经营管理工作，组织实施董事会决议，并向董事会报告工作；（2）组织实施公司年度经营计划和投资方案；（3）拟订公司内部管理机构设置方案；（4）拟订公司的基本管理制度；（5）制定公司的具体规章；（6）提请董事会聘任或者解聘公司副总裁、财务负责人；（7）决定聘任或者解聘除应由董事会决定聘任或者解聘以外的负责管理人员；（8）本章程或董事会授予的其他职权。总裁列席董事会会议。6、总裁应制订总裁工作细则，报董事会批准后实施。7、总裁工作细则包括下列内容：（1）总裁会议召开的条件、