某ESD静电防护管理程序文件

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1、. ESD 静电防护管理程序 文件号 Doc No: 拟定 Draft: 签名Signature: 日期 Date: 复核 Check: 签名Signature: 日期 Date: 批准 Approve: 签名Signature: 日期 Date: 修改记录 Revision Record 日期 Date 页数 Pages 版本 Ver. 说明Description 初次发行 会签： 部门 D

2、ept. 姓名 Name 签名Signature 日期 Date Engineering Quality Assurance Logistic Manufacturing HR & IT Facility & GA ESD静电防护管理程序 目录 1目的3 2适用范围3 3术语和定义3 4引用法规、标准4 5职责:4 5.1ESD 组织

3、4 5.2职责4 6流程控制点6 7ESD静电放电防护区域〔EPA的界定6 7.1静电敏感零件的确认6 7.2静电放电防护区域〔EPA确定：〔详见各EPA 区域Layout. 7 7.3静电放电防护区域〔EPA的标识：7 7.4静电放电防护区域〔EPA人员进出管理要求8 7.5EPA区风室要求：11 7.6EPA区环境的温度和湿度要求：11 7.7EPA区静电源控制要求：12 7.8EPA区安全操作要求：12 8EPA区管理和技术要求12 8.1培训12 8.2静电放电防护区域〔EPA的防静电保护接地要求:13 防静电系统总接地：13 防静电地板接地：14 设

4、备接地、辅助设备接地、流水线接地：14 防静电工作表面〔静电席台垫等15 防静电工作台的接地：15 防静电货架15 防静电周转车：16 防静电周转容器16 用来装ESDS的防静电周转箱、元器件存放盒、印制板架、半成品装载泡棉等：16 8.3人员接地要求:17 8.4包装20 8.5标记21 8.6其它要求21 8.7认证检验22 8.8违规处置方式24 8.9ESD稽核奖惩规定：24 9参考文件24 10支持文件管理:25 1 目的 1.1 本程序旨在规定00电子〔上海内部的ESD控制程序,为满足ANSI/ESD-S20.20：2007的要求,为本公司的产

5、品在设计、制造、检测、贮存、包装、运输等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持。 1.2 确保ESD敏感元器件在过程中的质量,防止静电损伤,从整体上提高公司静电防护和控制水平,提高客户的满意度. 2 适用范围 2.1 本程序适用于00电子〔上海内部的防静电控制。程序中各项要求适用于在防静电敏感区域〔EPA内的收货、生产、组装、测试、维修、搬运、包装及储存等活动过程. 2.2 本程序内容涵盖ANSI/ESD-S20.20：2007标准所有要求. 对静电放电损害的敏感度超过或等于人体模型的100V的情况。〔更为敏感的ESD敏感产品的控制需要按比本程序要求更为严格的控制手段 2.3 当本公司

6、采用其它相关的ESD标准或其它要求时会在公司相关文件中加以注明,当客户的产品有不同于ESD S20.20的特殊要求时,采用客户要求. 3 术语和定义 本程序术语引用： ESD ADV1.0-2004—ESD术语定义标准 3.1 ESD 静电释放:将静电荷安全传导到大地 3.2 ESDS 静电敏感零件: Electrostatic discharge sensitive device 静电敏感器件是指对ESD的承受能力较低,在制造、运送、储存和测试等过程中容易因静电放电而遭致损伤的器件.器件对ESD的承受能力可以用静电放电敏感度表示,它是

7、指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电放电电压,基本单位是伏. 3.3 屏蔽材料：表面电阻率小于1*104欧姆/平方的材料 3.4 导电材料: 表面电阻率小于或等于105欧姆/平方的静电放电保护材料 3.5 静电衰减材料: 表面电阻率大于105欧姆/平方、小于或等于1011欧姆/平方的静电放电保护材料〔衰减材料中包括了抗静电包装材料 3.6 抗静电材料: 表面电阻率大于109欧姆/平方、小于或等于1011欧姆/平方的材料 3.7 绝缘材料: 表面电阻率大于1012 欧姆/平方的材料 3.8 ESD接地 :点、电极、总线、金属带、或其它导体系统,形成一

8、条从带静电人体或物体到地的通路。 3.9 静电消散 :带电体上的电荷由于静电中和,和静电泄漏,静电放电而使之部分或全部消失的现象 3.10 静电放电防护区 :拥有限制静电电位材料和设备的一个特定的环境〔如采取了接地措施、铺设了防静电地板和静电席等技术措施 3.11 人体模型 :依照由人体模型标准所作的模型,静电放电损坏来源于带电的人体.这个模型表示,放电从人体的指尖传到器件上的导电接头. 4 引用法规、标准 4.1 美国国家标准ANSI/ESD S20.20

9、静电防护系列标准──静电放电协会标准--建立一个静电放电控制方案 --电气和电子零件,装置和设备<不包括电动引爆装置>的保护要求 4.2 ISO9001：2008质量管理系统 ── 要求 4.3 其它标准要求详见本公司《ESD外来文件标准清单》 5 职责: 5.1 ESD 组织 公司由各部门选派人员成立静电防护项目小组, 负责公司ESD控制方案的制定和实施. ESD静电防护项目组 ESD项目经理 厂务部 研发部 采购部 销售部 人资 品管部 生产部 ESD执行人员 所有接触静电敏感组件的员工 ESD工程师 5.2 职责 5.2.1 静电防护项目组

10、EPPT ：负责制定公司和各部门的防静电措施要求和标准,监督整个ESD体系的建立、实施、保持和不断改进. 5.2.2 ESD项目经理：本公司指定由厂务部经理李晓纲先生担任ESD项目经理。ESD项目经理负责确保ESD管理体系所需的过程得到建立、实施和保持.并向最高管理者报告ESD管理体系的绩效和任何改进的需求. 确保在整个组织内提高满足客户ESD要求的意识. 负责ESD管理体系有关事宜的外部进行联络工作. 5.2.3 ESD工程师：ESD工程师负责公司内部各项ESD事务的协调与整合,并向ESD项目经理报告. 负责配合公司组织的IS

11、O管理体系的内部稽核,负责制订及执行一年一次的ESD内部稽核。 5.2.4 销售部：销售部负责人负责将客户关于ESD要求传达给EPPT相关部门人员. 5.2.5 研发部：研发部负责提高产品自身的抗静电能力,对于静电敏感零件、器件、模块、系统,应进行抗静电防护设计. 并负责整理敏感零件清单,罗列各类零件抗静电电压. 确定最低敏感零件,提供给EPPT作为制定静电防护措施的依据. 5.2.6 采购部：采购部负责申购防静电用具、零件,确保对防静电用品的合格检验、ESD敏感零件的采购. 5.2.7 厂务部：负责ESD管理体系内部事务的整合. 负责各种接地系统如雷电保护、故障保护、大地电极、防静电

12、接地等的正确和有效, 并负责委外测试的联络.负责对整个ESD系统的各项参数进行持续监视测量。 5.2.8 生产相关单位<仓库、SMT生产、组装等>：必须按公司ESD控制规范来进行防静电控制,并实施防静电操作. 对静电敏感〔ESDS零部件和半成品的生产制造﹑运送传递、存储、包装、拆包装、检测、使用都应采取静电防护措施.如使用防静电的周转箱、防静电的周转架和小车来转运对静电敏感产品,采用防静电工具如镊子等来加工静电敏感产品等等措施. 5.2.9 生产部的设备管理人员：负责新机型的设备、治工具ESD防护要求的评估和确认. 并将ESD防护要求<如:防静电腕带、离子风机等>定

13、义在SOP中. 5.2.10 生产部的仓库管理人员：负责静电敏感组件的收发货及运输,确保收发ESD敏感货物均在静电保护状态下进行。 5.2.11 生产部ESD管理人员：确保所负责区域的员工按Esd防护要求处理敏感组件,并按验证要求,对员工的着装、静电带、桌面接地、静电源等现场ESD控制要求进行点检确认,并及时处理不符合项。 5.2.12 品管部：IQC负责ESD静电敏感零件及其包装的进料验证,确保其符合ESD要求。PQC负责监督生产相关单位的ESD防护执行状况.QA负责ESD静电敏感零件及其包装的确认. 根据防静电零件及其包装的防静电要求,进行合格验证。 5.2.13 人力资源部：人力

14、资源部培训负责人,负责制定公司ESD培训计划,确保每个接触ESD敏感组件的员工或其它人员均接受ESD培训并考核合格后方可操作触摸ESD敏感组件。 5.2.14 其它各ESD相关部门：负责管理本部门ESD执行情况,负责本部门EPA区域内静电线、接地线、静电垫、防静电周转容器等防静电设施的管理,测试和记录以及所有相关记录的保存. 6 流程控制点 编号 控制点 控制重点说明 控制文件/记录 1 销售 客户提出的ESD控制要求 客户ESD问题反馈记录 2 研发 负责产品的ESD设计,规范厂内对原材ESD防护等级的定义,使各部门在执行ESD防护时有标准可依。 敏感元器件抗静电

15、电压记录表 3 厂务 各类接地测试、定期验证测量、ESD稽核 各类检测记录、审核记录 4 采购 负责提出申购敏感组件、防静电用具的合格检验要求 ESD物品的合格检验技术规范 5 IQC 敏感零件均需以抗静电方式包装. 敏感零件须在有防静电之检测区检测 验收单〔IQC材料包装静电点检记录零件确认单 6 生产,SMT,仓库OQC 必须按公司ESD控制规范来进行防静电控制,并实施防静电操作 ESD静电防护控制/方案认证检验计划 7 PQC PQC负责监督生产相关单位的ESD防护执行状况 ESD 点检记录 8 QA 负责ESD静电敏感零件及其包装的确认

16、. 根据防静电用具和设施的防静电要求, 进行合格验证 检验记录 7 ESD静电放电防护区域〔EPA的界定 7.1 静电敏感零件的确认 7.1.1 研发部设计人员应考虑产品的ESD保护. 在线路上应考虑设计静电保护线路,在零件的采用上考虑静电敏感零件的影响,在包装材料上根据元器件性能要求考虑采用静电导电材料、静电衰减材料及屏蔽材料。 7.1.2 研发部负责规范厂内对原材料ESD防护等级的定义,使各部门在执行ESD防护时有标准可依,有效防护,将ESD造成的损失减至最低。经研发部确认,目前公司最高敏感零件,其抗静电电压为>100V。研发部将零件抗静电电压记录于BOM系统,零件的技

17、术规范参数内容中ESD Level栏目。在研发输出阶段由研发部电子负责人汇出ESD最敏感元件清单给EPPT成员. 以便于各部门对此采取控制措施。 7.1.3 本公司生产的控制面板成品,因出货后,给客户在安装过程中,人体或设备不会直接接触板上的敏感组件,产品在设计上本身具备屏蔽保护敏感组件的作用,故本公司的产品成品无静电防护要求。 7.1.4 本公司静电敏感零件如下〔待研发部确认： 1） TTL器件、包括各种逻辑门数字集成电路； 2） A生产放大器、比较器、调节器等模拟集成电路； 3） X-ROM存储体器件和内存器件,包括PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等 4）

18、集成电路； 5） CPU微处理器及各种BGA器件； 6） 各种半导体开关零件； 7） 以上元器件组装的PCBA板. 8） 其它敏感原件 7.1.5 ECN变更或新产品时, 研发部需再次确认组件的ESD抗静电电压敏感度 7.2 静电放电防护区域〔EPA确定：〔详见各EPA 区域Layout. 7.2.1 生产车间,除办公区域外,参考文件《车间EPA 区域Layout. 》 7.2.2 IQC 电子验货区,参考文件《IQC电子验货区EPA 区域Layout》. 7.2.3 仓库电子材料的收发区及电子货架,参考文件《仓库EPA 区域Layout》. 7.2.4 研发部电子实验室

19、部分区域,参考文件《研发部实验室EPA 区域Layout》. 7.3 静电放电防护区域〔EPA的标识： 7.3.1 静电放电防护区域〔EPA界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识〔下图C, 从静电放电防护区域〔EPA的入口处开始, 在明显处应贴上静电敏感区的警示标志. 〔如下图A须显眼,五米远清晰可辨文字。EPA区域内如有无静电防护要求的区域, 需予以标示<例如标识为"非EPA区域">. 7.3.2 防静电周转容器<防静电周转箱,防静电零件盒等>、料架和运输车等有静电防护措施的器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方.如图B 图B 防静电标志 图A 图C 防静电界限

20、 图B 防静电标志 图B 防静电标志 7.4 静电放电防护区域〔EPA人员进出管理要求 7.4.1 凡进入静电放电防护区〔EPA的人员都应接受防静电知识培训,未经培训的个人进入静电防护保护区,应由受过培训的人员陪同. 不合格的着装 合格的着装 不合格穿戴： 1.头发漏在帽子 外面 2.鞋子没有穿好 3.衣袖卷起 4.衣服纽扣没有系完整 7.4.2 公司员工无论直接或间接单位, 凡进入车间EPA静电放电防护区者, 进入前应首先当进入车间前穿戴衣帽时<如下图>,衣服穿着整齐纽扣全部扣好,衣服袖子不能卷起,佩戴帽子时,头发要全部塞在

21、帽子里面不允许散落在外面,换静电鞋时,鞋后跟不能踩在脚底,要穿戴整洁。 7.4.3 防静电鞋<防静电拖鞋>、防静电腕带：接触PCBA等敏感零件的员工需要穿着防静电工作鞋、佩戴好防静电腕带。静电鞋、带测试设备需放置车间外量测。各部门静电防护主管, 负责监督员工每日量测合格后才能进入车间. 7.4.4 静电鞋<静电拖鞋>测试不过者,由领班记录后,至厂务处进行更换良品,经复测通过后方得进入车间. 7.4.5 各线领班和主管应确保本部门员工在需要的岗位上工作时都正确佩戴好防静电腕带,与皮肤完全接触,不能松脱,更不能戴在袖子上. 详见记录《 ESD : 手环带/防静电鞋测试记录》 打开电源开关〔

22、两种测试仪型号如图1,2；当STATUS指示灯为红色时,请及时充电。 当STATUS指示灯为红色时,需要及时充电。 打开电源开关 打开电源开关 当STATUS指示灯为红色时,需要及时充电。 图1 图2 当测试防静电鞋时,穿好鞋后被测试人员站在测试仪上〔如图3； 被测试人员站在测试仪上 图3 转换开关置于FOOTPLATE〔两种仪器型号如图4-7,被测试人员手按不锈钢圆片,该仪器会自动判别警告和OK。当发出OK语音时,绿灯亮表示为合

23、格。反之为不合格。 转换开关置于FOOTPLATE 被测试人员手按不锈钢按钮进行测试〔指定单一手指按测试按钮,其他的手指不应碰到仪器 被测试人员手按不锈钢按钮进行测试〔指定单一手指按测试按钮,其他的手指不应碰到仪器 转换开关置于FOOTPLATE 图4 图5 图6 图7 当测试手环带时,将手环带戴好并贴紧手腕；转换开关置于WRIST CORD〔如图8,9；防静电手环带插于香蕉头WRIST CORD孔位上,手按不锈钢按钮,该仪器

24、会自动判别警告和OK。当发出OK语音时,绿灯亮表示为合格。反之为不合格。 手按不锈钢圆片进行测试〔指定单一手指按测试按钮,其他的手指不应碰到仪器 转换开关置于WRIST CORD 防静电手环带插于香蕉头WRIST CORD孔位上 图8 手按不锈钢圆片进行测试〔指定单一手指按测试按钮,其他的手指不应碰到仪器 防静电手环带插于香蕉头WRIST CORD孔位上 转换开关置于WRIST CORD 图9 测试完成合格后把测试记录填

25、写在《ESD 手环带/防静电鞋测试记录》。 7.4.6 公司访客或间接单位员工若不进入车间的EPA区域,可不需量测静电鞋和静电腕带,亦可套防尘鞋套。 7.4.7 未穿着静电带及静电工作鞋的人员在参观或作业过程中,不得靠近操作静电敏感器件的工作人员,也不得靠近或接触含有静电敏感器件的在制品或成品. 若访客需要进入EPA,需要由陪同人员提供静电衣和量测通过的静电鞋,提供测试OK 的防静电腕带,佩戴好防静电腕带才能接触静电元器件/PCB/半成品。 7.4.8 临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作<如电焊、启动电机、开关高压电源等>或事前采取防范措施,或安排在非生产时间内施

26、工作业. 7.4.9 静电放电EPA防护区域内需要进行某种维护、修理作业时,维护人员应遵守防静电区域的有关规定. 7.5 EPA区风室要求： 7.5.1 所有进入EPA区的人员,必须经ESD除尘除静电风室进入。等风室自动进行离子静电消除后,自动门打开后方可进入静电放电EPA防护区。EPA区风室应定期保养维护。详见《风室管理规范》。 7.6 EPA区环境的温度和湿度要求： 7.6.1 EPA区域环境温度应在20℃至30℃之间, 环境湿度应在30%至70%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录.记录于温湿度表中.湿度超出范围时应采取干燥或增湿等相应的措施。详见《环境温湿度

27、检查记录》 7.7 EPA区静电源控制要求： 当静电防护区域或单独的工作站内有静电发生源时, 必须遵循以下要求: 7.7.1 避免在EPA区内放置不必要的绝缘物体例如: 塑料,私人物品>,EPA区岗位上不得放置员工私人物品. 7.7.2 生产流程中,EPA区存在的作业所必须要的绝缘物品,若带有2000伏特/英吋的电场,需要与静电敏感元器件保持30cm <12 inches >以上距离,如不能满足距离要求, 必须使用离子发生器等静电消除设备予以中和. 7.7.3 所有在EPA区域内直接接触静电元器件的物品与治具等,摩擦电压需要小于100V.否则需采取离子中和的措施。 7.7.4 采用

28、静电场计对工作中的各项操作进行监测,详见《IC板量测说明》,如发现有静电电压超过规定的电压,则存在静电源,需要对静电源采取措施。 7.8 EPA区安全操作要求： 7.8.1 为确保人员操作安全,研发部人员及工程技术人员应检查确保在EPA区里不可有大于36V以上的金属裸露电线或接头,以防止人员触及导致安全事故。 7.8.2 在设备的安装操作使用过程中,应严格按照设备的安全指示,确保设备正确接地,防止漏电以确保人员安全。 7.8.3 电工等可能直接接触电源的岗位应采取绝缘保护或漏电保护器等措施,防止触电事故发生。 7.8.4 必要时,由厂务组织制订防漏电/触电伤害紧急预案,与每年的消防演

29、习一并进行相应的演习,以确保紧急情况下员工的漏电/触电伤害能得到及时救助。 8 EPA区管理和技术要求 8.1 培训 8.1.1 所有进入EPA区工作的新员工在接受入厂培训时,必须接受ESD知识的培训。课程包括理论知识培训和简要讲解静电防护管理办法.培训结束后,由人力资源部组织ESD的考试,并作好考试记录,考试合格者才能上岗. 8.1.2 临时进入EPA区域的来访人员,由接待部门对其作简要介绍EPA注意事项,或在进入EPA区前,予以ESD注意事项警示,并在按受过ESD培训合格的接待人员陪同下进入EPA区。 8.1.3 每天都要进入EPA区工作的常态进入EPA区人员,每年必须由人力资源

30、组织或由部门组织进行ESD再培训一次,口头或操作考核合格才能再上岗。 8.1.4 EPPT成员、研发部、PE、QC、厂务等直接负责静电敏感器件的静电控制技术要求、管理规范、验证量测量的相关人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训.培训内容包括介绍ESD的新技术,新规范等. 8.1.5 HR负责制定ESD年度培训计划, 定义培训方式、考核方式并监督计划的有效实施. 培训及考核计录需有效保存. 8.1.6 培训项目对照表 培训对象 培训内容 培训方式 培训频率 考核方式 合格标准 负责部门 1.新进人员 ESD理论基本知识, ESD S20.20标准简介 防静电操

31、作要求 上课 新员工入职当月 笔试 实际操作 >=60分 HR 2.临时进入EPA区域人员<访客、客户、厂商等> 进入EPA区域注意事项 进入EPA区域前简介 每次进入 观察实际操作 观察无违反EPA区规定 接待部门 3. 常态进入EPA区域人员 ESD静电防护管理程序 上课 每年1次 口述 >=60分 HR或各部门 4.EPPT 成员、ESD量测、稽核人员 ESD静电防护管理程序, ESD量测作业指导书, ESD S20.20标准 上课,实际量测 每年1次 笔试 实际操作 >=60分 HR 8.2 静电放电防护区域〔EPA的防静电保

32、护接地要求: 8.2.1 防静电系统总接地： 8.2.1.1 防静电系统总接地必须有独立可靠的接地装置。公司的防静电专用地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用。 8.2.1.2 ESD地线不得接在电源零线AC地上,不得与防雷地线共用同一地线,接地点至少与防雷地线接地点保持20M距离以上. 8.2.1.3 ESD总接地有两种接法,一种是接地网接地,接地网设置在室外草坪下方0.6-0.8M以下深度.防静电接地极连接线采用120mm裸铜线,火药焊接.一种是接地柱接地,防静电接地极铜棒采用Φ16mm,长度2.5M,埋没入地面中. AC插座分析器 8.2.1.4 ESD总接地可与电源地汇总

33、,但须汇总在总接地处,分支工作站的电源地线不可与静电地线互相连接。 8.2.1.5 为确保地线与零线火线不至于混淆,须用用AC插座分析器进行检查验证。 8.2.1.6 每层车间静电箱静电引线采用BV2×70mm铜线. 每层车间设置静电接地点.〔详见每层《车间接地点layout》> 8.2.1.7 每年一次由厂务部委托上海市避雷装置检测站对全厂总大地系统接地量测一次,规定在<1欧姆以内。 8.2.1.8 防静电设备的连接端子应确保接触可靠,易装拆,要求焊接或铆接、采用镙钉紧固等方式进行连接,原则上不允许使用各种夹式连接器,如鳄鱼夹,插头座等. 8.2.2 防静电地板接地： 8.2.2

34、.1 公司采用防静电地板来进行静电导地,防静电地板是采用导电材质,可有效将人员及设备的静电缓慢导入大地。每月由厂务部进行防静电地板的保养维护,详见《防静电地板使用、保护、维护指南》 8.2.2.2 导电静电地板的表面阻抗阻值在0.025M—0.99M欧姆/平方,由厂务部负责每月测量与记录。 8.2.2.3 地板测量采用抽样检测,每楼层每月不少于10处点位量测防静电地板,包括产线区修复、仓库区及其它区块,若有不合格应增加检测点。 8.2.2.4 测量时不能在同一静电地砖上量测,具体量测参考《静电地板量测操作说明》.测量结果记录于《静电地板测量记录表》.如有量测结果不符合规范则需将不符合情况

35、填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.2.3 设备接地、辅助设备接地、流水线接地： 8.2.3.1 公司各项生产ESD敏感元件的设备、工装必须进行接地,使用横截面不小于2mm2的绞合铜芯软线或电缆,直接接地,设备接地电阻规定在<1.0欧姆。每月量测一次,具体量测方式参考《设备、静电接地量测操作说明》并将量测记录于《设备接地测量记录表》, 如有量测结果不符合需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.2.4 防静电工作表面〔静电席台垫等 工作台静电垫,输送线体栈板,输送线体空桥,Cell 工作台,敏感元器件物料架、静电垫等工作表面须进行接地： 8.2.4.1 在操作ESDS

36、零件时,工作台上应铺设以防静电材料制成的防静电台垫,使所有与之接触的ESDS零件的端子、器具、仪表、人体等都处于同一电位,并通过适当接地使静电得以迅速泄放. 8.2.4.2 一般的安装方法是,在台垫〔表面阻抗值为<1.0*109欧姆上装设接地端子,用以连接腕带线,同时垫子通过适当电阻〔1M欧姆电阻接入接地母线.〔见下图 8.2.4.3 每季量测防静电工作表面阻抗,具体量测方式参考《工作台量测操作说明》〔表面阻抗仪并将量测结果记录于《工作台台垫及静电接地量测记录》。规定阻值在<1.0*109欧姆,如果超出此阻值范围,则须进一步评估其起电性能,经摩擦后其表面静电不得超过100V。 8.2.5

37、 防静电工作台的接地： 8.2.5.1 使用横截面不小于2mm2的绞合铜芯软线或电缆把防静电台垫串联1M欧姆电阻后连接到地线配置系统上. 8.2.5.2 多台防静电工作台的接地线不能相互串接.全部安装完毕后,对各参数指标进行检验合格后,方可开始使用. 8.2.5.3 防静电工作台垫上表面上任意一点与地线配置系统间的电阻为1X106~1X109欧姆, 下表面上任意一点与地线配置系统间的电阻为1X104~1X106欧姆.每季量测一次, 具体量测方式参考《工作台量测操作说明》〔表面阻抗仪 ,并将量测结果记录于《工作台台垫及静电接地量测记录》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,

38、并采取不合格纠正措施。 8.2.6 防静电货架 8.2.6.1 EPA区内存放ESD敏感元器件的物料货架需确保静电接地,接地阻抗<1欧姆。 8.2.6.2 存放ESDS敏感元件的货架的表面Magazine〔消电性量测, 每季量测,规定阻值在1.0*106~1.0*109欧姆, 8.2.6.3 存放ESDS敏感元件的防静电栈板 ,每季量测,规定阻值在<1.0*109欧姆 8.2.6.4 具体量测方式参考《防静电货架量测操作说明》.记录表《防静电货架检测表》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.2.7 防静电周转车： 8.2.7.1 转运、

39、暂存ESDS零件或含有ESDS的整、部件产品时,应使用有防静电性能的周转车或周转架〔表面阻抗值为<1.0*109欧姆.并保证接地良好,可在车底加装接地金属链使用,接地阻值在<1欧姆.还应作好ESD标识.具体量测方式参考《防静电周转车量测操作说明》,记录表《防静电周转车量测记录》如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.2.8 防静电周转容器 用来装ESDS的防静电周转箱、元器件存放盒、印制板架、半成品装载泡棉等： 8.2.8.1 在电子产品生产中,在各工位、各工序间用于传递和储存ESDS和单板的各类容器都应具备防静电性能,而不允许使用金属和普通塑料容器

40、. 8.2.8.2 每季量测防静电周转容器表面阻抗,规定阻值在<1.0*109欧姆。如果超出此阻值范围,则须进一步评估其起电性能,经摩擦后其表面静电不得超过100V。 8.2.8.3 具体量测方式参考《防静电周转容器量测操作说明》,记录表《防静电周转容器量测记录》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.2.9 电动工具的防静电要求: 8.2.9.1 操作ESDS敏感元件过程中,带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座,应选用安全型. 8.2.9.2 焊接操作ESDS敏感元件的烙铁、电动起子等手持工具外壳部分应实行硬接地.通电状态下从

41、焊头、起子头至接地点电阻阻抗值<20欧姆. 8.2.9.3 用于操作ESDS元件的电烙铁量测漏电电压<2mv,漏电电流小于10mA具体量测方式参考《交流掌上型电动工具的防静电量测操作说明》, 记录于《交流掌上型电动工具防静电量测表》,如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.3 人员接地要求: 8.3.1 静电腕带： 8.3.1.1 在EPA区内佩戴防静电碗带是本公司采用的人员接地的首选方法,也是主要方法。本公司禁止使用无绳腕带. 8.3.1.2 员工进入静电放电防护区〔EPA接触PCB,半产品等ESDS静电敏感元器件. 应通过手环,或脚环接地。手

42、环佩带时必须要求紧贴于手腕或脚腕,并要求接触裸露的皮肤。保证防防静电腕带正常有效的工作. 8.3.1.3 员工操作ESDS敏感元件时,凡是坐着作业的岗位,一律必须佩戴静电腕带来确保人员的接地。 8.3.1.4 员工每日对腕带功能进行测试与记录,测试不合格不能进入EPA区域. 8.3.1.5 腕带系统规定阻值 Rg<3.5*107欧姆〔参照ESD S20.20 8.2 人员接地表2. 具体量测方式参考《防静电腕带检测SOP》. 如测量结果不合格则记录于《防静电腕带检测不良矫正记录》. 8.3.1.6 手腕带插头必须插入ESD监测仪,确定牢固后,方可接触ESD敏感组件。 8.3.1.7

43、当ESD监测仪绿灯亮起,表示接地正常；红灯亮起,表示接地不正常。若ESD监测仪红灯亮起,必须立即通知厂务部维修,维修正常后,方可接触ESD敏感组件。〔详见下图 正确的插头插到位,绿灯亮,正常。 错误的插头没有插到位,红灯亮,错误。 8.3.2 防静电鞋或防静电拖鞋: 8.3.2.1 防静电鞋作为本公司EPA区内的人员接地的辅助方法.要求员工进入EPA区必须穿着防静电工作鞋。 8.3.2.2 访客或间接单位人员若不进入车间EPA内, 可套防尘鞋套. 8.3.2.3 防静电鞋或防静电拖鞋需每日做功能测试与记录, 人员每日量测合格后才能进入车间EPA区域。 8.3.2.4 穿着防静电鞋

44、或防静电拖鞋测量其综合阻抗规定阻值<3.5*107,具体量测方式参考《防静电鞋检测SOP》《多功能测试仪使用规范》 8.3.2.5 如测量结果不合格则记录于《防静电鞋检测不良矫正记录》. 8.3.3 防静电椅 8.3.3.1 防静电工作椅是作为本公司人员接地的辅助方法,修复区域与SMT 生产区域操作者所坐的工作椅必须具有防静电性能。不得使用普通人造革面或塑料面的椅,不能用木制椅代替防静电椅。 8.3.3.2 如果椅腿是非金属材料或有绝缘套脚时,应将防静电椅面接地。 8.3.3.3 防静电椅每半年点检与量测,防静电椅表面阻抗<1.0*109欧姆和对地阻抗<1.0*109欧姆,如果椅脚是

45、绝缘脚,则防静电椅必须有金属地链。 8.3.3.4 具体量测方式参考《防静电椅防静电量测操作说明》记录表《防静电椅检查量测记录》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.3.4 防静电工作服、帽子、手套、指套： 8.3.4.1 所有进入EPA防静电区域的人员必须按规定穿防静电夹克或大褂衣, 防静电衣不允许在EPA区域穿或脱. 8.3.4.2 禁止在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品.不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领,需将防静电衣的拉炼拉满后, 非防静电衣的长度不能长过静电衣. 8.3.4.3 防静电大褂和夹克,应保持清

46、洁,工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行,要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤. 8.3.4.4 防静电大褂和夹克每半年对其防静电特性进行量测, 测量双袖间或两个衣摆间的表面阻抗,规定阻值在1*105~1.0*1011欧姆。具体量测方式参考《防静电衣量测操作说明》, 记录表《防静电衣检查量测记录》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.3.4.5 对于检测不过关的应停止使用,更换新的. 8.3.4.6 防静电帽的相关规定参照防静电服.防静电帽应正确佩戴,帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外. 8.3.4.7 防静

47、电手套用防静电布或防静电针织物制成.在对静电敏感的工位,如MOS管等敏感器件的装配工位,操作员工应戴上防静电手套或指套,在不便使用防静电腕带的岗位,如制程间的搬运等流动操作岗位,须将敏感原件置于防静电周转容器内,并配带防静电手套进行搬运.应定期更换破,旧和脏的防静电手套和指套. 8.3.5 静电消除设备<离子风扇、离子风枪、PCB切割机之离子发生器等> 8.3.5.1 EPA区内所必须的摩擦电压大于2000V的静电源,应远离ESDS敏感元件30公分以上。摩擦电压大于100V的静电源,不应与ESDS敏感元件直接接触。 8.3.5.2 但有些场合,因为工作需要,这些静电源无法与ESDS敏感元

48、件保持安全距离,在不能有效泄放静电的场合,可采用静电消除设备〔如离子风扇、离子风枪等通过电离空气产生的正负离子,来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累. 8.3.5.3 离子风机的性能须每月进行除尘、检查保养维护。 8.3.5.4 离子风机的静电消除能力需每季量测, 静电消除设备的离子静电平衡电压为+/-50V,离子静电残留电压为+/-50V ,静电消电时间为3S<从初始电压衰减到10%的电压,例：1000V衰减到100V的时间>。 8.3.5.5 具体量测方式参考《离子风机量测SOP》.记录于《除静电装置<设备>检测量测记录》.如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并

49、采取不合格纠正措施。 8.4 包装 8.4.1.1 本公司生产的成品有外壳保护,经综合测试为非ESDS敏感产品。故ESD防护包装要求只指对材料产品、半成品PCBA. 8.4.1.2 如客户对成品有ESD包装要求的,则按客户的合同订单要求进行包装. 8.4.1.3 原包装标识为静电敏感的零件其散料必须使用防静电材料盛放和包装. 8.4.1.4 关于包装袋的屏蔽性：灰色包装袋只限一次性使用,对银色铝箔袋进行目视,如发现有破孔,立即停止使用,更换新的铝箔袋,如果顾客有要求量测其屏蔽性,则按照顾客要求送外部量测。 8.4.1.5 进入静电放电防护区域〔EPA的所有电子元器件都应视为ESDS

50、来对待.拒绝接受未包装在防静电容器里的ESDS. 8.4.1.6 所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域,经过拆包和静电泄放处理后,方可用防静电中转工具将其转到静电放电防护区域〔EPA 8.4.1.7 不允许在非静电放电防护区域〔EPA内存放和处理未包装的ESDS,不允许非ESD的材料与ESDS混放. 8.4.1.8 不得随意拆除和改变ESDS的封装,清点也尽可能在原包装内完成.禁止重复使用或过期的ESDS器件包装管来包装ESDS器件. 8.4.1.9 由QA部对包装袋的电阻进行定期抽验〔电阻值标准见下表,填写《包装材料检测记录表》,抽检数量频率根据实际抽验结果增加

51、或减少。如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.4.2 搬运规定 8.4.2.1 ESDS敏感零件在EPA区内往外搬运时,必须置于ESD屏蔽包装袋内,密封良好,并用防静电台车搬运。如用非静电台车,则规定在装和卸产品时应先将非静电台车接地或采取离子消除措施,消除台车上的静电。 8.4.2.2 在发料及收料时应以原厂完整之防静电包装搬运.不需额外采取措施。 8.5 标记 8.5.1.1 本公司因成品产品为非ESDS敏感零件,故产品和包装上不规定ESD标记要求。但如果客户提出标记要求,则依照客户合同,采购订单,制图或其它文件要求执行。 8.6 其它要

52、求 8.6.1.1 新布置的生产线线体、人员、电烙铁、电动起子等设备及人员的ESD损害风险都应由厂务进行ESD确认.只有确认合格后,方可正式生产使用. 8.6.1.2 防静电敏感零件和包装的合格检验由QA执行. 可采用的方法为：产品规范复查,独立实验室评估或内部实验室评估.本公司一般采用产品规范复查法,要求供应厂商提供静电零件及其包装的技术参数、合格证明. 视需要如需采用外部实验室评估或内部实验室评估法来合格验证静电零件及其包装时,应向 EPPT ESD项目协调员报告,以采取进一步措施。 8.6.1.3 新投入静电放电防护区域〔EPA的电子零件的防静电包装材料,经QA在零件承认后, 后续

53、由IQC每3月抽测5件. 进行ESD确认, 记录于《包装材料检测记录表》. 如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。只有确认合格后,方可正式生产使用. 8.6.1.4 新投入静电放电防护区域〔EPA的治具和设备包括ESD静电消除设备等都应由PE进行ESD确认, 记录于治具验收单.只有确认合格后,方可正式生产使用. 8.6.1.5 防静电衣、静电鞋、静电椅、静电腕带、静电帽、防静电周转容器、防静电推车等防静电用具都应由采购要求厂商在供货时一并提供产品合格报告,采购单位按ESD申购物品的合格检验作业指导书要求对厂商提供的数据做合格检验. 厂商合格报告在采购进行保

54、存留檔。后续EPA区域内使用时,由使用部门按规定进行量测,不合格物品禁止在生产中使用. 8.7 认证检验 8.7.1.1 为确保ESD防护系统的正常运行,公司各部门人员应定期对ESD系统中的人员、设备、物品等进行持续的监控,定期进行检验测量,并进行记录,如有不符合规范的情况,应采取相应的纠正或纠正措施。 8.7.1.2 各部门依据本部门ESD静电防护控制方案/认证检验计划中的检验计划规定执行ESD相关量测并保留量测记录. 8.7.1.3 PQC对各生产相关单位的ESD防护执行状况进行每日稽核, 依《PQC ESD静电防护控制方案/认证检验计划》. 并记录稽核结果于PQC《PQC静电查核

55、表》如有量测结果不符合规范则需将不符合情况填写在表中,并采取不合格纠正措施。 8.7.1.4 内部处理敏感组件的时候如发现因ESD而损坏的元器件或疑似ESD原因而损坏的元器件时,应将损坏元器件进行标识、隔离、记录、处置。按照不合格品处理程序处理 8.7.1.5 ESD工程师负责组织每年一次执行ESD内部稽核, 内容涵盖ESD S20.20标准各项要求.详见《ESD内审检查表》及《ESD内部审核报告》 8.7.1.6 各部门ESD量测过程中所发现不符合项、PQC稽核过程中发现的不符合项、ESD内部稽核中发现的不符合项均应执行纠正与预防措施。 8.7.1.7 ESD工程师负责监督量测过程中

56、的各项不合格的纠正措施。 8.7.2 静电防护检测要求一览表〔待修改 静电防护对象与设备 本公司  静电防护规范值 量测设备量测方法 量测频率 摩擦电压 大地系统量测 Rg <1欧姆 委外量测 每年 NA 设备接地 Rg 1欧姆以下 用钳表/万用表 每月 NA 共同点的接地 Rg <1.0欧姆 用钳表/万用表 每月 NA 腕带系统-防静电腕带 Rg <3.5*107欧姆 综合阻抗测试仪 每日 NA 静电鞋系统 Rg <3.5*107欧姆 综合阻抗测试仪 每日 NA 静电衣 Rg <1.0*1011欧姆 表面阻抗测试仪/高阻表

57、 半年 <100V 静电地板<依每楼面量测点> 欧姆 高阻表 每月 NA 静电椅 Rg <1.0*109欧姆 高阻表/表面阻抗测试仪 半年 <100V 工作台表面 输送带 Rg <1.0*109欧姆 表面阻抗测试仪/高阻表 每季 <100V 静电皮/货架面 Rg <1.0*109欧姆 每季 <100V 输送线体空桥 Rg <1.0*109欧姆 每季 <100V Cell 工作台 Rg <1.0*109欧姆 每季 <100V 静电垫 Rg <1.0*109欧姆 每季 <100V 货架&周转容器 防静电栈板 Rg <1.0*

58、109欧姆 表面阻抗测试仪 每季 NA 静电框 1.0*104~1.0*106欧姆 高阻表/表面阻抗测试仪 每季 NA 半成品装载泡棉 Rg <1.0*1011欧姆 高阻表/表面阻抗测试仪 每季 <100V 半成品装载泡壳 Rg <1.0*1011欧姆 高阻表/表面阻抗测试仪 每季 <100V 静电台车 接地电阻阻抗值<1欧姆 万用表 每季 NA 表面电阻<1.0*109欧姆 高阻表/表面阻抗测试仪　 除静电设备 离子风扇&气枪 残留电压<+/-50V 静电电压量测仪 每季 NA 从初始电压降到10%时的初始电压的时间,小

59、于3S 静电电压量测仪 每季 NA 交流电手持电动工具 电烙铁&电动起子 手柄绝缘电阻大于1M欧姆,漏电电压<2mv, 从焊头至接地电阻阻抗值＜20欧姆,漏电电流＜10mA 万用表&高阻表&钳表 接地/每日 其它/每季 NA 8.7.2.1 摩擦起电电压测试方式：使用非接触式静电场表测量.测试时手持干燥布料<选用纯棉或防静电面料>,以频数约120次/min,手掌适当施加压力,单向摩擦被测件某一部位20次,立即到距离摩擦部位2.5cm处, 按静电电压表使用方法量测, 观察仪表显示数值,反复测试5次取平均值. 8.7.3 静电测量设备的校正 8.7.3.1 所有用于测量防

60、静电的相关参数的测量设备,均应建立清单,详细列出设备的编号、规格、操作人员、检验日期等内容。 8.7.3.2 静电测量设备应制订校准检定计划,定期或在使用前进行校准,并保留校准记录依据〔如校准报告,并在设备上贴上检定校准合格的标签予以标示. 8.7.3.3 如校准检定后发现检测设备不合格,应重新评估在校准检定前所测量过的设施物品人员的风险,并作出相应的纠正或纠正措施。 8.8 违规处置方式 8.8.1 ESD人员违规处分规定 对于违反ESD控制要求的人员及部门,应予以相关的处分,以下处分内容不得踰越本公司员工手册规范 8.8.1.1 首犯：口头警告,其上一阶主管对其实施ESD再教育

61、,并纪录备查. 8.8.1.2 再犯：视情结严重性给予小过之处分,上一阶主管陪同接受部门ESD专责人员对其实施ESD再教育,并纪录备查. 8.8.1.3 累犯：视犯意及情结严重性得给予记大过.上一阶主管陪同接受部门ESD专责人员对其实施ESD再教育,违规者须缴交心得报告,所有过程皆记录备查. 8.8.2 非本公司本部门人员违规处置规定 8.8.2.1 间接人员至产线维修设备或检测机型时必须配戴静电手套与防静电腕带,如有未依规定穿戴者, 由领班劝其按规范正确作业. 8.8.2.2 无视作业规范且不听劝导者由领班记下姓名及工号,反映给组长,由组长以上干部人员反应其单位主管 8.9 ES

62、D稽核奖惩规定： 8.9.1 连续三次稽核无缺失单位,作为单位主管绩效评核依据. 8.9.2 连续二次稽核缺失未改进单位,主管事迹存记,作为单位主管绩效评核依据.依过失情节给予ESD专责人员申戒到记过之处分. 8.9.3 连续三次稽核缺失未改进单位,由主管进行ESD项目辅导. 9 参考文件 9.1 静电防护量测要求一览表. 9.2 SLD-697E+ESD多功能测试仪使用说明书 9.3 SLD-697A+ESD 多功能测试仪使用说明书 9.4 风室管理规范 9.5 IC板量测说明 9.6 静电地板量测操作说明 9.7 防静电地板使用、保护、维护指南 9.8 设备、静电

63、接地量测操作说明 9.9 工作台量测操作说明 9.10 防静电货架量测操作说明 9.11 防静电周转车量测操作说明 9.12 防静电周转容器量测操作说明 9.13 交流掌上型电动工具的防静电量测操作说明 9.14 防静电腕带检测SOP 9.15 防静电鞋检测SOP 9.16 防静电椅防静电量测操作说明 9.17 防静电衣量测操作说明 9.18 离子风机量测SOP 9.19 ESD申购物品的合格检验作业指导书 9.20 SMT 作业规定 9.21 PQC ESD静电防护控制方案/认证检验计划 9.22 厂务部门ESD方案计划 9.23 品管部门ESD方案计划 9.

64、24 生产部门ESD方案计划 9.25 采购部门ESD方案计划 9.26 销售部门ESD方案计划 9.27 工程部门ESD方案计划 9.28 技术部门ESD方案计划 9.29 设备部门ESD方案计划 9.30 人事部门ESD方案计划 10 记录表单 10.1 ESD最敏感元件清单 10.2 静电敏感零件清单 10.3 EPA 区域Layout 10.4 ESD : 手环带/防静电鞋测试记录 10.5 环境温湿度检查记录 10.6 ESD年度培训计划 10.7 ESD培训记录 10.8 ESD考试试卷 10.9 车间接地点layout 10.10 总接地测量记录

65、报告 10.11 静电地板测量记录表 10.12 设备接地测量记录表 10.13 防静电椅检查量测记录 10.14 工作台台垫及静电接地量测记录 10.15 防静电货架检测表 10.16 防静电周转车量测记录 10.17 防静电周转容器量测记录 10.18 交流掌上型电动工具防静电量测表 10.19 防静电腕带检测不良矫正记录. 10.20 防静电鞋检测不良矫正记录. 10.21 防静电衣检查量测记录. 10.22 除静电装置<设备>检测量测记录 10.23 包装袋检测记录表 10.24 PQC静电查核表 10.25 ESD内审检查表及ESD内部审核报告 10.26 ESD测量仪器清单 10.27 ESD测量仪器校准报告 10.28 防静电设备/治具清单 10.29 防静电手环清单 10.30 防静电监控盒清单 10.31 防静电台车清单 10.32 防静电货架清单 10.33 防静电烙铁/手持工具清单 10.34 接地线路图/线路图 10.35 静电防护量测一览表 .