JMP的使用实用教案
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1、(一)JMP DOEJMP DOE的设计(shj)(shj)(二)JMP JMP 数据分析(三)JMP DOEJMP DOE的分析第1页/共19页第一页,共20页。JMP DOE的设计(shj)根据影响OTB PECVD工艺因素较多的情况(qngkung),分三部分设计实验。DOE 1( Screening DoE ): 目的:找到影响效率最重要的因素,选择6个影响因素。包括:PHT TOP,DCH TOP,source current,gas ratio,total flow,pump frequency DOE 2 (surface DOE):找到影响大的3个因素,设计实验3因素中最佳的工
2、艺参数设置。其中3个因素包括:PHT bottom,DCH TOP, Gas ratio。验证实验:根据前两次结果,验证最佳工艺的稳定性。第2页/共19页第二页,共20页。Screening design DOE 按图示进入screen DOE 设计(shj)界面。选择PHT TOP,DCH TOP,source current,gas ratio,total flow,pump frequency 这6因素(yn s),每个因素(yn s)选择1、2、3、个水平,例如上图每个因素(yn s)选择2个水平,进行试验设计。第3页/共19页第三页,共20页。Screening design DOE
3、 选择实验方案类型:工艺分组的数量、排列(pili)顺序、因素之间交叉实验类型。第4页/共19页第四页,共20页。Screening design DOE 方案的得出包括工艺的顺序(shnx)、参数的搭配等,一目了然。第5页/共19页第五页,共20页。Surface DOE2的设计(shj) 选择surface design,进入右面界面添加所要实验因素并 将其名称填写清楚,每个因素的上下线填写到表格(biog),JMP就可以在这个范围内自动取值设计实验。第6页/共19页第六页,共20页。Surface DOE2的设计(shj) 选择设计实验的类型,工艺数量、中心的的数量、对称(duchn)类
4、型。右图显示可以选择列表工艺方案显示顺序。如图显示随机,则每次列表排列顺序都有可能不一样。第7页/共19页第七页,共20页。Surface DOE2的设计(shj) 工艺方案(fng n)JMP自动取值列表如图所示第8页/共19页第八页,共20页。JMP数据(shj)的分析各个工艺间结果(ji gu)趋势的显示:将原始数据复制,按图所示粘贴,则数据显示在JMP data table。按右图所示点击variability/Gauge chart .第9页/共19页第九页,共20页。JMP数据(shj)的分析将要显示(xinsh)的数据入VOC、ISC、NCELL等添加到Y表格,将组别、分类项目添
5、加到X grouping 里面,然后点击OK.第10页/共19页第十页,共20页。JMP数据(shj)的分析第11页/共19页第十一页,共20页。JMP数据(shj)的分析变化趋势图Run chart 的制作,如图选择,进入右面(yumin)界面。选择要显示的参数例如VOC、ISC等,然后将样本标号选入Sample Label。点击OK.第12页/共19页第十二页,共20页。JMP数据(shj)的分析选择想要的图片,进行复制、粘贴,以便查看(chkn)结果进行分析。第13页/共19页第十三页,共20页。JMP数据(shj)的分析数据的分布:查看数据是否(sh fu)符合正态分布。并且可以显示各
6、数据所到的百分比。第14页/共19页第十四页,共20页。JMP DOE的实验(shyn)分析数据准备:先将原始数据进行处理,去掉异常(ychng)后,利用数据透视表将各组对应的参数平均值与DOE 设计的方案,相对应。然后粘贴到JMP data table里面。第15页/共19页第十五页,共20页。JMP DOE的实验(shyn)分析JMP实验分析:制作模型可以得出实验的可靠性、真实性。同时,得出各个因素对结果(ji gu)的影响程度、及预计的变化趋势。如右图:选择效率NCELL作为Y值分析,影响因素选择前面DOE2设计时的3因素PHT bottom、 DCH TOP、gas ratio。考虑到
7、这些因素(yn s)之间如何相互作用,在Macros选择相应的作用模式,进行数据处理,点击Run mobel得出相应的模型。第16页/共19页第十六页,共20页。JMP数据(shj)的分析当,说明变化因素与结果(ji gu)之间建立的模型符合实际情况。如图说明模型很成功,有一定的参考性。如右图显示各个因素对结果影响的程度大小及正、负作用的显示。下图形象的给出了各个变化因素与结果的变化趋势图。得出曲线确切(quqi)的、定值的给出每个因素对应的结果。第17页/共19页第十七页,共20页。第18页/共19页第十八页,共20页。感谢您的观看(gunkn)!第19页/共19页第十九页,共20页。NoImage内容(nirng)总结(一)JMP DOE的设计。找到影响大的3个因素,设计实验3因素中最佳的工艺参数设置。方案的得出包括工艺的顺序、参数的搭配等,一目了然。右图显示可以选择列表工艺方案显示顺序。同时,得出各个因素对结果的影响程度、及预计的变化(binhu)趋势。如右图显示各个因素对结果影响的程度大小及正、负作用的显示。下图形象的给出了各个变化(binhu)因素与结果的变化(binhu)趋势图。得出曲线确切的、定值的给出每个因素对应的结果。感谢您的观看第二十页,共20页。
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