多晶硅生产物料平衡技术附件中文

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1、技术附件目录附件 1 设计基础附件 2 工艺描述附件 3 工艺要求附件 4 工作范围及交付进度附件 5 设计范围及主体设备附件 6 性能保证值附件 7 公用工程条件附件 8 性能考核附件 9 技术服务附件1设计基础1.1还原尾气的总量及组份(3000t/a )按物料平衡计算：序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H212231.361.64436115.7 108221841279.08%2SiHCI 3158678.0921.32771171.1 103157.4353915.20%3SiCl441814.295.6202246.0 10333.06740.53.18

2、%4HCI7015.30.94293192.2 1025.83578.672.48%5SiH2Cl2462.770.062234.6 100.61613.70.06%合计220201.8129.5977729.6 1031038.90623283.87100.00%按物料平衡扩大20%计算:序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H214677.631.9737338.8 103986.422094.479.08%2SiHCl 3190413.7125.59331405.3 10188.884246.815.20%3SiCl450177.156.744295.2 1033

3、9.67888.63.18%4HCl8416.91.131230.6 10331.00694.42.48%5SiH2Cl2555.320.07465.5 1030.73916.440.06%合计264240.7135.51569275.4 1031246.6927940.64100.00%还原尾气回收系统入口参数： 温度：w 45C压力：3kg/cm2(A)1.2氢化尾气的总量及组份(3000t/a )按物料平衡计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H283181.1184159 X1035591252270.6%2SiHCI 3356234.7883263 XI0

4、35.37924.5%3SiCl420435727.46731202 10161.6361920.4%4HCI96311.2943263 035.37924.5%5SiH2Cl2/合计25792934.66735887 0791.217725100 %按物料平衡扩大20%计算序号物质T/aT/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H29981.61.3424990.8 103670.8115026.170.6%2SiHCl342747.65.746315.5 10342.40949.84.5%3SiCl4245228.432.96131442.5 10193.894343.120.4%4

5、HCl11557.21.5533315.5 1042.40949.84.5%5SiH2Cl2/合计309514.841.60237064.3 10949.5021268.8100%氢化尾气回收系统入口参数： 温度：w 45C压力：3kg/cm2(A)1.3合成尾气的总量及组份(3000t/a )按物料平衡计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H251669.35258 XI0334.68776.7748.69%2SiHCl3293723947.853216.8 1029.14652.6341.08%3SiCl42876386.5616.9 1032.2750.93

6、3.21%4HCl772103.7621.2 1032.8463.684.01%5SiH2Cl21580212.37315.6 102.1047.103.01%合计351164719.89528.5 10371.031591.11100.00%按物料平衡扩大20%计算序号物质T/akg/hKmol/aKmol/hNm3/hV %1H2619.283.23309.6 10341.61932.1348.69%2SiHCl335246.44737.423260.1 1034.96783.1641.08%3SiCl43451.2463.87320.3 102.7361.123.21%4HCl926.4

7、124.52325.4 103.4176.424.01%5SiH2Cl21896254.84318.8 102.5256.523.01%合计42139.25663.88634.2 10385.23佃 09.35100.00%合成尾气回收系统入口参数： 温度：w 45C压力：2.5kg/cm2(A)附件 2工艺描述尾气回收系统接收反应炉排出的尾气，并把它们分离成为 氯硅烷混合液、 HCL 和 H2。从反应炉排出的热的尾气在管壳式换热器内冷却， 将气态氯硅烷冷凝为氯硅 烷液体。剩余的气体送入压缩机。压缩气体冷却后进入 HCL 吸收塔。在此处 HCL 气体被低温液态氯硅烷加压 吸收。（压缩机为 2

8、级往复式压缩机， 设计压力能够满足将 HCL 和 H2 分离回收。）氯硅烷富液被送到 HCL 解析塔，在此 HCL 以液态形式与 H2 分离回收。从 HCL 加压吸收塔出来的氢气被送到活性碳吸附柱，除去剩余的杂质。洁 净的氢气将被回收用于还原炉中。碳吸附柱通过热再生的方式工作。附件 3工艺要求3.1合成系统的尾气按3000t/a 套回收系统考虑；回收系统的氢压机按2台50% 考虑（200%）,设一台备用机（50%）。3.2氢化系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a氢化需两套回收 系统）;每套回收系统的氢压机按2台50%考虑（250%）,每套回收系统设 一台备用机（ 50

9、%）。3.3还原系统的尾气按1500t/a线一套回收系统考虑（即3000t/a还原需两套回收 系统）；每套回收系统的氢压机按 3台 33%考虑（333%），每套回收系统设 一台备用机（ 33%）。3.4 还原和氢化的尾气回收系统 （各两套回收系统 ）需考虑在一套出现问题的情况 下，另一套能够处理有问题套系统对应的尾气 （即考虑两套回收系统用管道 互联）。3.5每套回收系统均在系统前增设一个尾气的储罐； 在系统后增设 H2、HCl 的储 罐，体积另议。3.6 根据中国国内实际运行的经验，中方建议 CDI 尾气回收系统中的 R22 的蒸 发冷凝器采用满液式结构。3.7 根据中国国内实际运行的经验，

10、 中方建议 CDI 尾气回收系统中设置 3个活性 炭吸附柱。3.8整个CDI尾气回收系统温度W 20 T的部分采用牌号316的不锈钢材质； 20C的部分采用普通碳钢材质。3.9 中方建议在泵前面加强过滤，采用 2个过滤器并联的结构。3.10 中方建议在主要设备出口加过滤器。3.11 中方建议在关键设备处加装阀门，以便于维修。附件4工作范围及交付进度4.1以下规定的日期为预计提交技术资料的时间。CDI公司将尽可能提前一周交付技术资料。CDI公司将通过电子邮件提交PDF版本的资料供买方审核。 终版技术资料将提交电子版和纸质版，包括全尺寸图纸。进度付款要求的技术资料工艺流程图（PFD图）初版管线仪表

11、流程图（P&ID图） 压缩机规格 冷冻机规格容器（设备）布置图纸和设计参数公用工程清单管道规格参数电力单线图初版平面布置图泵数据表R22蒸发冷凝器换热器数据表换热器平面布局图终版平面布置图自动阀门数据表控制系统设计交付进度（合同生效后）4周4周4周4周8周8周8周8周8周14周14周14周14周14周20周10周16周16周16周地基土建设计（收到中方反馈资料后） 结构设计（收到中方反馈资料后） 管道详细设计（收到中方反馈资料后）需按时提交以下其他技术资料，不受进度付款约束减压阀计算书24周减压阀数据表24周阀门清单24周仪表清单28周仪表数据表28周绝热规格参数8周电气原理图（闭路）16周吸

12、附柱程序图表16周操作说明28周带设定值的I/O数据表28周终版管线仪表流程图（P&ID图）28周不限于以上4.2 如出现文件迟交的情况，将处于每周赔偿相应工程进度款0.2%的罚款，最大限额为合同总价款的2.0%。4.3 中方提前90天通知CDI公司，CDI公司保证90天内将活性炭Chlorsorb RL-13运抵中国天津。4.4 Chlorsorb RL-13 的供货条件双方将通过传真最终商定 Chlorsorb RL-13的供货条款和条件。4.5 所有压力容器、塔等设备由CDI公司提供设备参数，这些资料能够满足由中国制造商转化并制造设备附件 5设计范围及主要设备5.1 设计范围CDI 公司

13、按照合同规定，应提供的系统设计系指为了保证还原尾气 回收、氢化尾气回收和合成尾气回收系统能够独立工作的完整系统设计。CDI 公司应提供尾气回收系统下述主要设备的必要的和充分的工程 设计资料。以下设备单是一套尾气回收系统的内容。 CDI 公司保证系统配 置的完整性和独立性，并保证达到设计基础的要求。买方将根据 CDI 公 司提供的规格参数采购和安装所有设备。尾气和再生气体压缩机组采购规格参数包括：压缩机电机中间冷却器后冷却器脉冲消除装置润滑油系统冷冻机组采购规格参数包括：容器：HCL 吸收塔HCL 解析塔吸附柱氯硅烷缓冲罐压缩机吸收储罐压缩机排放储罐膨胀罐回流罐再生气体分离器回收氢器过滤器H2储

14、罐HCL储罐尾气储罐换热器（根据要求）泵氯硅烷泵氯硅烷泵热液泵阀门自动球阀数据表控制阀数据表释压阀数据表自控仪表数据表吸附塔顺序图表和逻辑图吸附剂Chlorsorb RL-13。CDI将提供吸附塔最初运行所需的吸附剂 不限于上述范围。5.2 说明5.2.1 所有工程设计均采用英文 , 采用 ASTM （美国材料实验协会）材料等级。压力容器制造商必须具备中华人民共和国特殊设备制造许可证。可使用 CDI 公司指定材料同等的本地材料。5.2.3 施工指导和开机指导不包括在合同总价内， 但可在按照费率付费的情况下 提供相关服务。性能保证值每套 CDI 回收系统所回收的 H2、 HCL 和氯硅烷都应满足

15、下面的参数：6.1 H2压力：10 kg/cm2 (A)温度：w 50C 质量要求：回收率98%H2 99.995% ( V )HCLw0.005% ( V ) 氯硅烷w 0.001% ( V ) 露点w 60C6.2 HCL压力：7 kg/cm2 (A)温度：20C质量要求：回收率98%H2w 5% ( V )氯硅烷w 0.5% ( V )6.3 氯硅烷压力：5 kg/cm2 (A)温度：w 40C质量要求：回收率99%HCLw1% ( V )公用工程条件7.1蒸汽 ：7.2循环水：7.3电：7.4N27.5H2：7.6脱盐水：7.7压缩空气及仪表空气：7.8平面布置空间要求：7.9“三废”

16、处理量及处理办法：7.10 冷冻盐水：性能考核8.1 性能考核回收氢气、 HCL 和氯硅烷的纯度必须达到规定的值。 CDI 公司将建议 工艺改进和 /或设备的更换，以达到保证纯度。对于由 CDI 公司设计 并由买方提供的设备，如果必须更换设备才能满足工艺要求， CDI 公 司将承担所述设备费的 25%，但最多不超过合同总金额的 5%。8.1.2 如果回收的氢气量少于 98%，CDI 公司将承担氢气减少量的 25%的费 用，但最多不超过合同总金额的 5%。8.1.3 如果回收的 HCL 量少于 95%，CDI 公司将承担 HCL 减少量的 25%的 费用，但最多不超过合同总金额的 5%。8.1.

17、4 如果回收的氯硅烷量少于 98%，CDI 公司将承担氯硅烷减少量的 25% 的费用，但最多不超过合同总金额的 5%。8.2 考核说明CDI 公司仅对本合同项下由 CDI 公司提供设计的设备进行担保。8.2.2 责任的限制。不论任何原因， CDI 公司承担的最大责任不超过合同 总价的 10%。技术服务9.1 设计联络会合同价格包括两次设计联络会。 双方将商定设计联络会的时间。 第一次设计 联络会在美国举行，双方对设计前的基础数据、设计参数及准备工作进行确认； 第二次设计联络会在中国举行， 双方对设计资料进行审查。 买卖双方各自承担参 加设计联络会的费用。9.3 安装指导CDI 公司有义务和责任派出人员对重要设备的安装工作进行现场指导。 服务 时间和服务费用由双方商定。9.4 调试指导CDI公司有义务和责任派出人员对 CDI回收系统的调试工作进行现场指导。 服务时间和服务费用由双方商定。9.5 人员培训CDI 公司有义务和责任派出人员对 CDI 回收系统的操作人员进行培训。服 务时间和服务费用由双方商定。