池州薄膜设备项目可行性研究报告模板

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1、泓域咨询/池州薄膜设备项目可行性研究报告目录第一章 项目基本情况6一、 项目名称及投资人6二、 编制原则6三、 编制依据7四、 编制范围及内容8五、 项目建设背景8六、 结论分析10主要经济指标一览表12第二章 项目投资背景分析14一、 光伏设备行业14二、 光伏行业概览16三、 半导体设备行业18四、 实施产业强市战略，加快发展创新型现代产业体系21五、 项目实施的必要性24第三章 市场分析26一、 薄膜沉积技术概况26二、 行业发展面临的机遇与挑战29三、 太阳能电池片行业31第四章 项目选址方案37一、 项目选址原则37二、 建设区基本情况37三、 深化与沪苏浙协同合作39四、 提高县城

2、综合承载能力40五、 项目选址综合评价41第五章 建筑工程方案分析42一、 项目工程设计总体要求42二、 建设方案42三、 建筑工程建设指标43建筑工程投资一览表43第六章 SWOT分析45一、 优势分析（S）45二、 劣势分析（W）47三、 机会分析（O）47四、 威胁分析（T）48第七章 法人治理56一、 股东权利及义务56二、 董事61三、 高级管理人员65四、 监事68第八章 环境保护分析71一、 编制依据71二、 环境影响合理性分析71三、 建设期大气环境影响分析71四、 建设期水环境影响分析72五、 建设期固体废弃物环境影响分析73六、 建设期声环境影响分析74七、 环境管理分析7

3、5八、 结论及建议78第九章 进度计划80一、 项目进度安排80项目实施进度计划一览表80二、 项目实施保障措施81第十章 节能可行性分析82一、 项目节能概述82二、 能源消费种类和数量分析83能耗分析一览表84三、 项目节能措施84四、 节能综合评价86第十一章 投资计划87一、 投资估算的依据和说明87二、 建设投资估算88建设投资估算表90三、 建设期利息90建设期利息估算表90四、 流动资金92流动资金估算表92五、 总投资93总投资及构成一览表93六、 资金筹措与投资计划94项目投资计划与资金筹措一览表95第十二章 经济效益及财务分析96一、 经济评价财务测算96营业收入、税金及附

4、加和增值税估算表96综合总成本费用估算表97固定资产折旧费估算表98无形资产和其他资产摊销估算表99利润及利润分配表101二、 项目盈利能力分析101项目投资现金流量表103三、 偿债能力分析104借款还本付息计划表105第十三章 招投标方案107一、 项目招标依据107二、 项目招标范围107三、 招标要求107四、 招标组织方式108五、 招标信息发布109第十四章 总结说明110第十五章 附表112主要经济指标一览表112建设投资估算表113建设期利息估算表114固定资产投资估算表115流动资金估算表116总投资及构成一览表117项目投资计划与资金筹措一览表118营业收入、税金及附加和增

5、值税估算表119综合总成本费用估算表119固定资产折旧费估算表120无形资产和其他资产摊销估算表121利润及利润分配表122项目投资现金流量表123借款还本付息计划表124建筑工程投资一览表125项目实施进度计划一览表126主要设备购置一览表127能耗分析一览表127第一章 项目基本情况一、 项目名称及投资人（一）项目名称池州薄膜设备项目（二）项目投资人xxx投资管理公司（三）建设地点本期项目选址位于xx（以选址意见书为准）。二、 编制原则本项目从节约资源、保护环境的角度出发，遵循创新、先进、可靠、实用、效益的指导方针。保证本项目技术先进、质量优良、保证进度、节省投资、提高效益，充分利用成熟、

6、先进经验，实现降低成本、提高经济效益的目标。1、力求全面、客观地反映实际情况，采用先进适用的技术，以经济效益为中心，节约资源，提高资源利用率，做好节能减排，在采用先进适用技术的同时，做好投资费用的控制。2、根据市场和所在地区的实际情况，合理制定产品方案及工艺路线，设计上充分体现设备的技术先进，操作安全稳妥，投资经济适度的原则。3、认真贯彻国家产业政策和企业节能设计规范，努力做到合理利用能源和节约能源。采用先进工艺和高效设备，加强计量管理，提高装置自动化控制水平。4、根据拟建区域的地理位置、地形、地势、气象、交通运输等条件及安全，保护环境、节约用地原则进行布置；同时遵循国家安全、消防等有关规范。

7、5、在环境保护、安全生产及消防等方面，本着“三同时”原则，设计上充分考虑装置在上述各方面投资，使得环境保护、安全生产及消防贯穿工程的全过程。做到以新代劳，统一治理，安全生产，文明管理。三、 编制依据1、国民经济和社会发展第十三个五年计划纲要；2、投资项目可行性研究指南；3、相关财务制度、会计制度；4、投资项目可行性研究指南；5、可行性研究开始前已经形成的工作成果及文件；6、根据项目需要进行调查和收集的设计基础资料；7、可行性研究与项目评价；8、建设项目经济评价方法与参数；9、项目建设单位提供的有关本项目的各种技术资料、项目方案及基础材料。四、 编制范围及内容根据项目的特点，报告的研究范围主要包

8、括：1、项目单位及项目概况；2、产业规划及产业政策；3、资源综合利用条件；4、建设用地与厂址方案；5、环境和生态影响分析；6、投资方案分析；7、经济效益和社会效益分析。通过对以上内容的研究，力求提供较准确的资料和数据，对该项目是否可行做出客观、科学的结论，作为投资决策的依据。五、 项目建设背景物理气相沉积（PVD）技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。到二三五年，池州经济实力、科技实力、综

9、合实力跃上新台阶，经济总量和城乡居民收入较二二年翻一番以上，人均地区生产总值达到全国平均水平、与长三角城市平均水平差距持续缩小。基本实现新型工业化、信息化、城镇化、农业现代化，基本建成现代产业体系、现代城镇体系、现代基础设施体系；基本实现治理体系和治理能力现代化，基本建成法治池州、法治政府、法治社会；国民素质和社会文明程度达到新高度，教育、卫生等保障水平全面提升，文化软实力显著增强；广泛形成绿色生产生活方式，生态环境质量保持全省前列，全面绿色转型走出新路子，实现绿水青山和金山银山的有机统一；形成对外开放新格局，建成具有较强影响力的承接长三角产业转移示范区和长三角重要旅游目的地、重要休闲康养地、

10、绿色有机农产品生产供应地；常住人口城镇化率达到百分之七十，人民基本生活保障水平与长三角平均水平大体相当，基本公共服务实现均等化，城乡区域发展差距显著缩小；平安池州建设达到更高水平，建成人人有责、人人尽责、人人享有的社会治理共同体；人民生活更加美好，人的全面发展、全体人民共同富裕取得更为明显的实质性进展。六、 结论分析（一）项目选址本期项目选址位于xx（以选址意见书为准），占地面积约92.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx套薄膜设备的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务

11、估算，项目总投资32060.19万元，其中：建设投资25838.81万元，占项目总投资的80.59%；建设期利息636.08万元，占项目总投资的1.98%；流动资金5585.30万元，占项目总投资的17.42%。（五）资金筹措项目总投资32060.19万元，根据资金筹措方案，xxx投资管理公司计划自筹资金（资本金）19079.01万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额12981.18万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：62000.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：47419.21万元。3、项目达产年净利润（NP）：10691.10万元。4、财务内部收益率

12、（FIRR）：25.73%。5、全部投资回收期（Pt）：5.46年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：18741.26万元（产值）。（七）社会效益本项目生产线设备技术先进，即提高了产品质量，又增加了产品附加值，具有良好的社会效益和经济效益。本项目生产所需原料立足于本地资源优势，主要原材料从本地市场采购，保证了项目实施后的正常生产经营。综上所述，项目的实施将对实现节能降耗、环境保护具有重要意义，本期项目的建设，是十分必要和可行的。本项目实施后，可满足国内市场需求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境

13、产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积61333.00约92.00亩1.1总建筑面积111647.651.2基底面积39253.121.3投资强度万元/亩268.212总投资万元32060.192.1建设投资万元25838.812.1.1工程费用万元21656.322.1.2其他费用万元3464.212.1.3预备费万元718.282.2建设期利息万元636.082.3流动资金万元5585.303资金筹措万元32060.193.1自筹资金万元19079.013.2银行贷款万元12981.184营业收入万元6200

14、0.00正常运营年份5总成本费用万元47419.216利润总额万元14254.807净利润万元10691.108所得税万元3563.709增值税万元2716.5210税金及附加万元325.9911纳税总额万元6606.2112工业增加值万元21837.1413盈亏平衡点万元18741.26产值14回收期年5.4615内部收益率25.73%所得税后16财务净现值万元16572.12所得税后第二章 项目投资背景分析一、 光伏设备行业1、光伏设备行业发展情况按照光伏电池产业链，可将光伏设备分为硅片设备、电池片设备、组件设备，其中硅片设备主要包括多晶铸锭炉、单晶炉、切片机、切断机、硅片检测分选设备等；

15、电池片设备主要包括清洗制绒设备、扩散炉、刻蚀设备、镀膜设备、激光开槽设备、丝网印刷机等；组件设备主要包括划片机、自动串焊机、自动叠层设备、层压机、自动包装机等。我国光伏电池设备制造企业通过工艺与装备的创新融合，以提高设备产能、自动化程度及转换效率为目标，同时适应大硅片生产，已具备了成套工艺设备的供应能力，基本实现设备国产替代，并在国际竞争中处于优势地位。自2010年以来，中国一直是全球最大的光伏设备市场。2018年，我国光伏设备产业规模达到了220亿元。2019年达到了250亿元，同比增长13.6%。2020年，虽然存在新冠疫情等客观不利因素，但我国主要光伏企业均发布了产能扩张计划，相关设备厂

16、商订单不断增加，光伏设备产业规模超过280亿元，仍保持增长。在光伏行业“降本增效”的发展趋势推动下，新产品、新技术层出不穷，相应量产和扩产需求催生更多的生产设备需求，在国内巨大市场需求拉动下，光伏设备厂商收入快速增长。2、光伏薄膜沉积设备应用情况光伏薄膜沉积设备主要应用于太阳能晶硅电池片的制造环节，根据电池不同工艺和所需的薄膜性质，所采用的薄膜沉积设备会有所不同。2018年-2020年，我国新建产线已基本全部为PERC产线，针对目前已经大规模生产的PERC电池生产技术，生产设备基本实现国产化，其中薄膜沉积设备主要用于PERC电池的钝化和减反膜的制备。对于新型高效电池来说，目前产业化前景最为明确

17、的TOPCon电池和HJT电池对于薄膜沉积的需求更高。TOPCon电池生产线可以由PERC电池生产线升级改造实现，除原薄膜沉积需求外，还增加了隧穿层和掺杂多晶硅层镀膜需求。HJT电池整体结构变化较大，其制造环节只需4大类设备，分别是制绒清洗设备（投资占比10%）、非晶硅沉积设备（投资占比50%）、透明导电薄膜设备（投资占比25%）和印刷设备（投资占比15%），其中非晶硅沉积设备、透明导电薄膜设备均需要用到薄膜沉积设备。3、光伏薄膜设备发展趋势（1）技术创新催生更多设备需求现阶段，下游光伏行业发展已经由过去的粗放式、外延式发展向精细化、内涵式发展转变，高效率、低成本的产品受到行业的青睐，产品升级

18、需求进一步提高。光伏企业从传统重视规模效益、依赖补贴，逐步转向对高效率、高性能、高品质的光伏产品的追求。在市场化愈发重要的背景下，各种技术的创新，将会催生出更多的设备需求。（2）设备研制与新型工艺更紧密地结合设备研制与新型工艺技术开发相结合成为趋势。以提高转换效率为目的采用新型工艺的电池片生产将采取设计、制造、工艺开发、设备开发与改进联合进行的方式，上下游紧密合作，既缩短设备的开发周期，同时促进先进工艺的应用，也能降低设备采购成本，进一步提高国内光伏企业的市场竞争力。（3）薄膜沉积在新一代光伏设备中投资比重增加由于TOPCon电池生产线可以由现有PECR电池生产线升级改造完成，而且目前TOPC

19、on电池生产线单位投资规模和运营成本明显低于HJT电池生产线，因此TOPCon电池生产线在N型电池线建设中进展显著。根据上市公司披露的项目投资明细，TOPCon（含未披露具体技术类型的N型电池）产线每GW平均投资规模高于PERC产线。二、 光伏行业概览1、光伏产业链情况光伏产业链从上到下依次为：晶体硅料的生产和硅棒、硅锭、硅片的加工制作；光伏电池片的生产加工；光伏电池组件的制作；光伏应用（包括电站项目开发、电站系统的集成和运营）。2、光伏行业发展概况2010年以来，全球太阳能光伏产业进入了高速发展期，太阳能光伏年装机容量快速增长，上游相关行业也得到迅速发展。2011年至2020年的10年间，全

20、球年度光伏新增装机容量和累计装机容量大幅增长，其中，新增装机容量由2011年的32.2GW增加至2020年的126.84GW，增长约4倍。IRENA根据巴黎协定制定的目标进行测算，从现在起至2050年，与能源有关的二氧化碳排放量需要每年减少3.5%左右，并在此后持续减少。因此，全球能源格局的深刻变革对于实现该协定的气候目标至关重要。随着清洁能源的使用和迅速发展，太阳能和风能将引领全球电力行业的转型，取代传统的化石燃料发电将成为可能。根据IRENA的预测，未来，风力发电将占总电力需求的三分之一以上，而太阳能光伏发电将紧随其后，占总电力需求的25%，这意味着在未来十年内，太阳能光伏发电的全球总容量

21、将从2018年的480GW，到2030年达到2,840GW，到2050年达到8,519GW。按年增长率计算，到2030年，太阳能光伏发电的年新增容量较2018年水平需要增加近3倍，达到270GW/年，到2050年，需要增加4倍，达到372GW/年。到2050年，太阳能光伏将有助于减少4.9Gt的二氧化碳年排放量，占实现巴黎气候目标所需能源部门总减排量的21%。我国太阳能光伏产业起步相对国外较晚，但受惠于全球光伏行业的高速发展，凭借国家政策的大力支持与人力资源、成本优势，发展极为迅速。截至2020年底，我国光伏发电装机量达253GW，同比增长48.2%，连续6年位居全球首位；2020年新增光伏发

22、电装机48.2GW，增幅达60.1%，连续8年位居世界第一。2020年9月中国提出了“努力争取2030年前实现碳达峰，2060年前实现碳中和”的应对气候变化新目标。根据中国光伏行业协会预测，在“碳达峰、碳中和”目标下，“十四五”期间我国光伏市场将迎来市场化建设高峰，预计国内年均光伏装机新增规模在70-90GW。三、 半导体设备行业1、半导体设备发展基本情况及特点半导体设备主要包括前道工艺设备和后道工艺设备，前道工艺设备为晶圆制造设备，后道工艺设备包括封装设备和测试设备，其他类型设备主要包括硅片生长设备等。其中晶圆前道工艺设备整体占比超过80%，是半导体设备行业最核心的组成部分。前道工艺主要包括

23、七大步骤分别为热处理（氧化/扩散/退火）、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、清洗与抛光、金属化。薄膜沉积工艺系在晶圆上沉积一层待处理的薄膜，匀胶工艺系把光刻胶涂抹在薄膜上，光刻和显影工艺系把光罩上的图形转移到光刻胶，刻蚀工艺系把光刻胶上图形转移到薄膜，去除光刻胶后，即完成图形从光罩到晶圆的转移。制造芯片的过程需要数十层光罩，集成电路制造主要是通过薄膜沉积、光刻和刻蚀三大工艺循环，把所有光罩的图形逐层转移到晶圆上。因此，半导体制造过程可以理解为循环进行“加减法”。薄膜沉积作为“加法工艺”，与光刻和“减法工艺”刻蚀，共同构成了半导体制造过程中不可或缺的生产工艺。从晶圆厂的投资构成来看，刻蚀设备、光刻

24、设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。其中，薄膜沉积设备投资额占晶圆厂投资总额的16%，占晶圆制造设备投资总额的21%。2、全球半导体设备行业发展情况2013年以来，随着全球半导体行业整体景气度的提升，半导体设备市场也呈增长趋势。根据SEMI统计，全球半导体设备销售额从2013年的约318亿美元增长至2020年的712亿美元，年均复合增长率约为12.20%。由于半导体专用设备行业对制造工艺和标准要求严格，行业进入的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒较高，全球半导体设备市场集中度较高。目前全球前十大半导体设备制造商主要集中在美国、日本和荷兰。根据VLSIResearch数据，

25、2020年全球半导体设备前十名厂商合计实现销售收入708亿美元，市占率为76.63%。中国半导体设备厂商因发展起步较晚，目前尚未进入全球行业前列。3、中国半导体设备行业发展概况（1）中国大陆成为全球第一大半导体设备需求市场从需求端分析，根据SEMI统计数据，2013-2020年半导体设备在大陆销售额的年复合增长率达到27.59%，2020年在全球半导体市场大幅下跌的态势下依然逆势增长，在中国大陆的销售额达到187.2亿美元，发展势头良好。（2）顶尖设备仍依赖进口2020年中国大陆已经成为最大的半导体设备市场，但全球前十五名设备商中尚没有中国企业。中国半导体设备明显落后于美国、荷兰、日本等国。据

26、中国电子专用设备工业协会数据统计，2020年国产半导体设备销售额约为213亿元，自给率约为17.5%，其中集成电路设备自给率仅有5%左右，技术含量最高的集成电路前道设备则自给率更低，与不断增长的需求市场形成了较大的缺口，国产化率增长空间巨大。中国半导体设备大量依赖进口不仅严重影响我国半导体的产业发展，也对我国电子信息安全造成重大隐患，中国半导体设备国产替代、自主可控需求迫切。（3）半导体设备发展趋势向好集成电路尺寸及线宽的缩小、产品结构的立体化及生产工艺的复杂化等因素都对半导体设备行业提出了更高的要求和更多的需求。尺寸缩减趋势重点推动光刻设备的进步，3D结构化趋势重点推动刻蚀、薄膜设备的进步。

27、两因素共同推动了集成电路整体结构的复杂化，进而推动化学机械研磨、清洗、离子注入、检测等其他设备的进步，并为半导体核心装备的发展提供了广阔的市场空间。除此之外，功率器件、光电子等领域市场的发展和市场需求的提升，也将不断刺激半导体设备市场需求。受多个下游市场需求增长的共同驱动，半导体设备市场预计将持续保持增长势头，市场前景良好。2021年7月，SEMI发布半导体制造设备年中总预测，预测原始设备制造商全球半导体制造设备销售额相比2020年的711亿美元，2021年增长34%至953亿美元，2022年将创下超过1,000亿美元的新高。四、 实施产业强市战略，加快发展创新型现代产业体系坚持把做实做强做优

28、实体经济作为主攻方向，以皖江城市带承接产业转移示范区、皖南国际文化旅游示范区为重要平台，推进“科创+产业”深度融合，着力构建以先进制造业为主体、现代服务业和现代农业加快发展的现代产业体系，形成半导体、轻合金材料、非金属材料、金属材料、化工5个300亿级产业集群，打造50家10亿级以上企业。（一）突出创新核心地位。坚持创新驱动，加快建立以企业为主体、市场为导向、政产学研用金深度融合的创新体系，确保研发经费投入增幅、高新技术产业增加值增幅高于全省平均水平，建成省级创新型城市。提升企业创新能力，实施中小微科技型企业梯度培育计划、高新技术企业倍增计划，力争高新技术企业突破300家。加强创新平台建设，创

29、成国家级池州高新区，东至经开区、青阳经开区创成省级高新区，建成省级以上企业研发机构50个。推动产学研深度融合，支持龙头企业牵头组建创新联合体，促进企业与高校院所建立产学研合作关系。加速科技成果转化，搭建池州市技术成果交易平台，设立科技成果转化引导基金，促进市外创新成果转化为池州制造，企业吸纳技术合同交易额年均增长10%以上。完善人才引育政策，组织实施新时代“池州英才计划”，引进高层次创新创业人才团队20个，加强创新型、应用型、技能型人才培养，为创新发展提供人才支撑。（二）发展壮大新兴产业。实施重点战略性新兴产业集群工程，发展壮大半导体、轻合金等新材料、高端装备制造等新兴产业，提升新兴产业对经济

30、发展的支撑作用。坚持把半导体产业作为全市战略性新兴产业的首位产业，壮大芯片设计，做强封装测试，突破晶圆制造和材料，打造全国有特色的分立器件产业基地和设计、封测产业基地。轻合金等新材料产业实施铝基提升计划，全力推进镁基轻合金材料及深加工等重大项目建设，打造国内一流的轻合金材料基地。高端装备制造产业加快核心技术产业化进程，突出发展精密零部件、特色数控机床、成套装备等领域，打造12个全省领先的产业集群。（三）大力发展数字经济。聚焦数字产业化和产业数字化，推动数字经济和实体经济深度融合，构建数字经济产业体系。培育发展大数据、人工智能、5G、移动互联网、云计算、区块链等数字产业，推进江南数字产业园建设，

31、打造全国知名的智能教育装备产业基地。开展制造业数字化转型行动，建设一批数字车间、智能工厂，打造工业互联网标杆企业。大力推进农业数字化应用，建设农业农村大数据平台。实施服务业数字化提升行动，积极培育网络体验、智能零售、共享经济、平台经济等新模式新业态。（四）改造提升传统产业。开展新一轮大规模技术改造，推动非金属材料、金属冶炼及加工、化工、机电装备、农副产品加工等传统产业高端化、智能化、绿色化发展，支持鼓励“小升规、规入新、新上市”，加快新旧动能转换。非金属材料产业加快精深加工和延伸产业链步伐，推动非金属矿加工向超细、超纯、改性、复合及终端应用材料转型，建成全国重要的非金属材料产业基地、长三角装配

32、式建筑产业基地。金属冶炼及加工产业推动铅、锌、铁、铜冶炼向终高端产品、低能耗、绿色化方向提质改造，单位产品能耗达到先进水平。化工产业推动产品由原料型向材料型延伸，提升化学制药、生物医药、化工新材料等高附加值产品比重，建设省级化学原料药基地、精细化工产业集群。机电装备产业加快向主机、整机装备延伸，促进生产方式和产品智能化改造。农副产品加工产业向规模化、链条化、标准化、品牌化发展，打响“池州生鲜”品牌。五、 项目实施的必要性（一）提升公司核心竞争力项目的投资，引入资金的到位将改善公司的资产负债结构，补充流动资金将提高公司应对短期流动性压力的能力，降低公司财务费用水平，提升公司盈利能力，促进公司的进

33、一步发展。同时资金补充流动资金将为公司未来成为国际领先的产业服务商发展战略提供坚实支持，提高公司核心竞争力。第三章 市场分析一、 薄膜沉积技术概况1、基本情况薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。2、薄膜沉积设备技术基本情况及对比薄膜沉积设备按照工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）设备和原子层沉积（ALD）设备。（1）PVD物理气相沉积（PVD）技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子

34、体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。（2）CVD化学气相沉积（CVD）是通过化学反应的方式，利用加热、等离子或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术，是一种通过气体混合的化学反应在基体表面沉积薄膜的工艺，可应用于绝缘薄膜、硬掩模层以及金属膜层的沉积。（3）薄膜沉积设备技术之间对比PVD为物理过程，CVD为化学过程，两种具有显著的区别。ALD也是采用化学反应方式进行沉积，但反应原理和工艺方式与CVD存在显著区别，在CVD工艺过程中，化学蒸气不断地

35、通入真空室内，而在ALD工艺过程中，不同的反应物（前驱体）是以气体脉冲的形式交替送入反应室中的，使得在基底表面以单个原子层为单位一层一层地实现镀膜。相比于ALD技术，PVD技术生长机理简单，沉积速率高，但一般只适用于平面的膜层制备；CVD技术的重复性和台阶覆盖性比PVD略好，但是工艺过程中影响因素较多，成膜的均匀性较差，并且难以精确控制薄膜厚度。3、ALD、PVD、CVD技术应用差异PVD、CVD、ALD技术各有自己的技术特点和技术难点，经过多年的发展，亦分别发展出诸多应用领域。原子层沉积可以将物质以单原子层形式一层一层地镀在基底表面的方法。从原理上说，ALD是通过化学反应得到生成物，但在沉积

36、反应原理、沉积反应条件的要求和沉积层的质量上都与传统的CVD不同，在传统CVD工艺过程中，化学气体不断通入真空室内，因此该沉积过程是连续的，沉积薄膜的厚度与温度、压力、气体流量以及流动的均匀性、时间等多种因素有关；在ALD工艺过程中，则是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中，因此并非一个连续的工艺过程。ALD与CVD技术之间既存在明显的区分度，又在部分常规应用场景中存在可替代性。具体情况如下：在PERC电池背钝化Al2O3的沉积工艺中，ALD技术与PECVD技术存在互相替代的关系在2016年之前，PECVD在PERC电池背面钝化的应用被迅速推广，原因是在常规单晶电池制造工艺流程中

37、，仅电池正面需要用PECVD镀SiNX，因此电池厂商选择PERC电池背面沉积Al2O3的方法时，PECVD技术被优先用于Al2O3的沉积。而当时的ALD技术在国外主要应用于半导体领域，大多属于单片式反应器类型，这种反应器虽然镀膜精度高，但产能较低。近年来，晶圆制造的复杂度和工序量大大提升，以逻辑芯片为例，随着90nm以下制程的产线数量增多，尤其是28nm及以下工艺的产线对镀膜厚度和精度控制的要求更高，特别是引入多重曝光技术后，工序数和设备数均大幅提高；在存储芯片领域，主流制造工艺已由2DNAND发展为3DNAND结构，内部层数不断增高；元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构。由于ALD独特的技术优

38、势，在每个周期中生长的薄膜厚度是一定的，拥有精确的膜厚控制和优越的台阶覆盖率，因此能够较好的满足器件尺寸不断缩小和结构3D立体化对于薄膜沉积工序中薄膜的厚度、三维共形性等方面的更高要求。ALD技术愈发体现出举足轻重、不可替代的作用。二、 行业发展面临的机遇与挑战1、行业发展面临的机遇（1）清洁能源发展以及光伏产业降本提效带动行业持续发展过去对传统能源如煤炭、石油、天然气等化石能源的过度依赖已导致严重的生态环境问题，使得国际社会对保障能源安全、保护生态环境、应对气候变化等问题日益重视。而太阳能作为最重要的可再生能源之一，具有资源普遍可及、便于应用、成本低等优势，是替代化石能源的主力能源之一，已经

39、成为世界范围内应对气候变化的共同选择。近年来，全球多个国家陆续出台了一系列鼓励和扶持太阳能光伏产业发展的政策，为各国光伏产业的健康、持续发展创造了良好的政策环境。中国在2020年9月提出了“二氧化碳排放力争于2030年前达到峰值，努力争取2060年前实现碳中和”的目标；2021年3月12日发布的国民经济第十四个五年规划和2035年远景目标纲要指出，推进能源革命，建设清洁低碳、安全高效的能源体系，提高能源供给保障能力，加快发展非化石能源，坚持集中式和分布式并举，大力提升风电、光伏发电规模。通过数十年的持续研发，光伏产业主要原材料的价格已经大幅下降，技术不断迭代升级，光电转换效率稳步提升，与之相对

40、的，光伏领域的专用设备行业技术也将大幅提升。随着行业技术的持续进步与生产成本的不断下降，光伏发电的综合成本有望维持降低趋势。这将有助于光伏发电的大规模普及应用，进而使得高性能光伏专用设备的市场规模呈现持续扩张态势。（2）半导体产能转移以及国产替代背景使得国内设备厂商面临发展机遇中国大陆作为全球最大半导体终端产品消费市场，随着国际产能不断向中国转移，半导体企业纷纷在中国投资建厂，国内半导体产业的规模不断扩大，设备需求将不断增长。持续的产能转移不仅带动了国内半导体整体产业规模和技术水平的提高，为半导体专用设备制造业提供了巨大的市场空间，也促进了国内半导体产业专业人才的培养及配套行业的发展，半导体产

41、业环境的良性发展为中国半导体专用设备制造业产业的扩张和升级提供了机遇。在半导体领域，元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构，部分核心工艺通过传统方式难以实现，ALD设备在该类应用中已通过国外大型集成电路晶圆制造厂商的量产验证。与此同时，从中美贸易战开始，限制了通过国际采购获得先进设备渠道。在此背景下，我国半导体设备提升国产化率的任务迫在眉睫，随着国内核心晶圆厂商规模扩大和工艺提升，国内设备厂商面临发展机遇。2、行业发展面临的挑战（1）高端技术和人才缺乏光伏、半导体等专用设备属于典型技术密集型行业，对于技术人员的知识背景、研发能力及操作经验积累均有较高要求。由于中国研发起步较晚，业内人才和技术水平仍

42、然较为缺乏，在一定程度上制约了行业的快速发展。随着市场的日臻成熟与下游需求的推动，专业人才缺乏的矛盾将会更加突出。（2）国产核心零部件配套能力薄弱国产高端专用设备总体起步较晚，对零部件市场拉动时间较短，高端专用设备零部件配套能力较弱，影响专用设备的优化周期和制造成本。三、 太阳能电池片行业1、太阳能电池片行业基本情况太阳能电池片技术的发展对光伏设备技术提升和应用拓展有重要推动作用。从太阳能电池片的生产技术来看，近几年可分为三个阶段：第一个阶段是2015年以前，光伏电池市场主要采取多晶Al-BSF技术，单晶PERC电池处于技术验证阶段，以试验产能为主，增长迅速但总量较小，随着单晶PERC电池成功

43、量产，其商业化的可行性得到确认；第二阶段是2015-2017年，单晶PERC电池投资吸引力凸显，国内厂商开始加码PERC电池生产，但从整个光伏电池市场来看，主要还是采取多晶Al-BSF技术，Al-BSF技术电池因性能稳定，生产成本较低，此阶段仍占据着市场主要份额；第三阶段是2018年至今，PERC电池产能实现爆发式增长，根据中国光伏行业协会的统计数据，继2019年后，2020年新建量产产线仍以PERC电池产线为主，PERC电池片市场占比进一步提升至86.4%。太阳能电池片技术路线主要包括铝背场电池（Al-BSF）、PERC、TOPCon、异质结（HJT）、背接触（IBC）及钙钛矿等。P型电池以

44、P型硅片为原材料，技术路线包括传统的铝背场技术以及目前主流的PERC技术；N型电池以N型硅片为原材料，技术路线包括TOPCon、HJT等，近年来已有厂商陆续开始布局，属于下一代高效电池技术路线的潜在方向，而IBC和钙钛矿为未来技术，尚处于实验和验证阶段。（1）Al-BSF技术Al-BSF电池是指在晶硅太阳能电池P-N结制备完成后，通过在硅片的背光面沉积一层铝膜，制备P+层，从而形成铝背场。其既可以减少少数载流子在背面复合的概率，同时也可以作为背面的金属电极，因此能够提升太阳能电池的转换效率。（2）PERC技术PERC技术采用的是在现有Al-BSF工艺上增加背面介质钝化层然后用激光在背表面进行打

45、孔或开槽露出硅基体。背面介质钝化层通过背面钝化工艺是在硅片背面沉积Al2O3和SiNX，Al2O3由于具备较高的负电荷密度，可以对P型表面提供良好的钝化，SiNX主要作用是保护背部钝化膜，并保证电池正面的光学性能。背面钝化可实现两点价值，一是显著降低背表面少数载流子的复合速度，从而提高少子的寿命，增加电池开路电压；二是在背表面形成良好的内反射机制，增加光吸收的几率，减少光损失。由于PERC电池具有结构简单、工艺流程短、设备成熟度高等有点，已经替代Al-BSF电池成为主流电池工艺。（3）TOPCon技术TOPCon是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触电池技术，与常规电池最大的不同在于，

46、其在电池的背面采用了接触钝化技术，结构包括超薄二氧化硅隧穿层和掺杂多晶硅层（晶硅基底与掺杂多晶硅在背面形成异质结），二者共同形成了钝化接触结构，为电池的背面提供了优异的表面钝化。TOPCon电池制备过程较PERC电池要复杂，但我国光伏企业在TOPCon电池技术上已取得一定积累，很多量产工艺瓶颈和设备瓶颈也获得了突破，未来存在将TOPCon技术与IBC技术相融合升级为TBC电池的可能性。（4）HJT技术HJT技术即异质结太阳能电池，电池片中同时存在晶体和非晶体级别的硅，非晶硅的存在能够更好地实现钝化。HJT电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度较低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工

47、艺难度大，且产线与传统电池技术不兼容，需要重新购置主要生产设备，产线投资规模较大。目前异质结电池市场渗透率相对较低，仅在部分企业中实现小规模量产。（5）IBC技术IBC电池最大的特点是P-N结和金属接触都处于电池的背面，正面没有金属电极遮挡的影响，因此具有更高的短路电流，同时背面可以容许较宽的金属栅线来降低串联电阻从而提高填充因子，加上电池前表面场以及良好钝化作用带来的开路电压增益，使得这种正面无遮挡的电池就拥有了高转换效率。相比于PERC、TOPCon和HJT，IBC电池的工艺流程和设备要复杂很多，并且投资较高，国内尚未实现大规模量产。（6）钙钛矿钙钛矿太阳能电池是以钙钛矿晶体为吸光材料的一

48、种新型太阳能电池技术。与其它太阳能电池材料相比，有机无机杂化钙钛矿材料的吸光系数高、载流子传输距离长、缺陷容忍度高、带隙可调，非常适合制备高效太阳能电池。但由于电池本身受温度及湿度影响，化学键合作用弱，易形变，光致衰退明显，因此稳定性问题仍未解决，尚处于小规模试验阶段。2、太阳能电池片行业发展情况2011年至2020年，全球电池片产量持续增长，2020年全球电池片总产量为163.4GW，同比增长16.6%。2010年至2020年，我国太阳能电池片产量逐年上升，2020年我国电池片产量为134.8GW，较2019年同比增长约22.2%。我国电池片生产规模自2007年开始已连续13年居全球首位，全

49、球电池片产业继续向我国集中。从各类电池的市场占有率看，2018年传统的BSF电池依然占领半数市场，2019年PERC电池技术迅速反超BSF电池，占据了超过65%的市场份额，2020年，PERC电池片市场占比进一步提升至86.4%。3、太阳能电池片行业发展趋势（1）短期内PERC电池仍是最主要的电池产品TOPCon和HJT是继PERC电池之后的主要新兴技术，TOPCon电池升级迭代的最大优势在于其与PERC产线兼容度高，可从PERC产线改造升级，是目前初始投资成本最低的N型高效电池之一。HJT技术的核心优势是电池结构相对简单，然而目前设备成本依旧较高，经济性不足，在材料端和设备端均存在降本空间。

50、虽然TOPCon电池、HJT电池可以获得较高的电池光电转换效率，但因其各有的限制性因素的存在导致目前规模量产偏少。TOPCon技术目前尚未取代PERC技术的主要原因为：（1）工艺步骤增加，导致技术成熟度和产品良率有待进一步提高；（2）工艺设备成本和双面银浆带来的成本上升。HJT技术目前尚未取代PERC技术的主要原因为：（1）HJT电池产线的投资成本较高，是PERC电池产线投资的2-3倍以上；（2）HJT技术路线采用透明电极和低温银浆，技术成熟度不高，运营成本相对较高。（2）长期来看TOPCon、HJT电池将成为未来产业化主流我国光伏企业在TOPCon、HJT等下一代高效晶硅电池生产技术的研发上

51、先后取得突破，转换效率不断刷新世界记录，效率更高的N型TOPCon电池、HJT电池等则最有望成为P型PERC电池后的产业化主流技术。第四章 项目选址方案一、 项目选址原则1、符合国家地区城市规划要求；2、满足项目对：原材料、能源、水和人力的供应；3、节约和效力原则；安全的原则；4、实事求是的原则；5、节约用地；6、注意环保（以人为本，减少对生态环境影响）。二、 建设区基本情况池州，安徽省辖地级市，长江三角洲中心区27城之一，是长江流域重要的滨江港口城市、全国双拥模范城市、国家森林城市。截至2020年11月，全市辖1个区、3个县：贵池区、东至县、石台县和青阳县。总面积8399平方千米。根据第七次

52、人口普查数据，截至2020年11月1日零时，池州市常住人口为134.2764万人。池州位于中国华东地区，安徽省南部，长江下游南岸，北与安庆市隔江相望，南接黄山市，西南与江西省九江市为邻，东和东北分别与芜湖市、铜陵市、宣城市接壤。是中国佛教四大名山之一的九华山所在地。池州素有“千载诗人地”之誉，历代名人李白、杜牧、陶渊明、苏轼、岳飞等都曾驻足池州，并留下宝贵的文化珍品。同时还有“中国戏剧活化石”贵池傩戏、“京剧鼻祖”青阳腔和东至花灯等一批国家级非物质文化遗产和源远流长的佛文化、茶文化；又素以生态闻名，有“天然大氧吧”之称，市域内森林覆盖率近60%，大气环境质量稳居安徽省前列，主要河流水质均在优、

53、良以上，空气中的负氧离子含量是国家标准的35倍，2013年，荣获“中国人居环境奖”，2019年，荣获中国最具生态竞争力城市。4-62020年10月，被评为全国双拥模范城（县）。锚定二三五年远景目标，奋力实现“增速居前列、人均争上游”，加快建设经济强、百姓富、生态美的新阶段现代化“三优池州”。综合实力实现新跨越。始终坚持发展是硬道理，坚持新发展理念，充分发挥增长潜力，主要经济指标增幅位居全省前列，地区生产总值突破1400亿元、力争1500亿元，人均地区生产总值进入全省中上游。经济结构实现新优化。工业化进程加快，创新驱动发展取得显著成效，主导产业转型升级取得较大突破，制造业增加值、战略性新兴产业增

54、加值占地区生产总值比重达到全省平均水平。世界正经历百年未有之大变局，不稳定不确定因素明显增加。我国转向高质量发展阶段，仍处于重要战略机遇期。安徽面临多重战略机遇叠加，经济社会发展总体处于上升期。池州作为区位优越的滨江之城、自然秀美的生态绿城、享有盛誉的旅游名城、正在崛起的产业新城，在积极融入新发展格局中面临新的机遇。面临发展位势提升的新机遇，随着长三角一体化发展、共建“一带一路”、长江经济带发展、促进中部崛起等国家重大战略叠加覆盖，池州位处合肥、南京、杭州、武汉、南昌等省会都市圈辐射交汇地，交通区位优势、生态旅游优势、发展空间优势将凸显放大，有利于在新一轮对外开放和区域合作中提升发展位势。面临

55、产业转型升级的新机遇，新一轮科技革命和产业变革深入发展，以国内大循环为主体、国内国际双循环相互促进的新发展格局加快形成，有利于我市依托广阔发展空间承接新兴产业布局，推动传统优势产业转型升级，加快构建现代产业体系，更好融入长三角产业分工体系。面临消费升级拉动的新机遇，随着我国人均地区生产总值超过1万美元，城乡居民在旅游、文化、健康、养老等方面的需求会迅速增长，我市文旅、康养等产业发展将迎来广阔市场。面临基础设施改善的新机遇，国家大力支持“两新一重”建设，全面推进乡村振兴，有利于推进重大基础设施项目建设，加快补齐我市基础设施短板，提升发展承载能力。三、 深化与沪苏浙协同合作围绕承接长三角产业转移示

56、范区建设，推进与沪苏浙城市、园区对口共建，深化紧密型、项目化合作，努力取得一批标志性成果。协同推进长三角全域创新合作，参与长三角区域技术市场联盟，鼓励支持设立“创新飞地”，建立研发在外、落地在池的合作模式。协同推动长三角要素流动，支持长三角金融机构在我市设立分支机构，加强与沪苏浙金融资本、科创要素、人力资源市场深度融合，探索建立干部交流机制。围绕长三角重要旅游目的地建设，对接长三角旅游联盟平台，拓展沪苏浙旅游市场，融入沪苏浙旅游圈。围绕长三角重要休闲康养地建设，促进与沪苏浙优质教育、医疗资源、养老服务合作共享。围绕长三角绿色有机农产品生产供应地建设，搭建产供销对接平台。协同推进长三角大气、水、

57、固废危废污染联防联治，共同提升区域生态环境质量。协同促进长三角基本公共服务便利共享，推动优质教育、医疗资源、养老服务合作共享，参与建设平安长三角、诚信长三角。四、 提高县城综合承载能力实施县城现代化培育工程，加快补齐县城城镇化短板弱项。支持青阳县抓住池黄高铁建设开通契机，强化南部新城商业和文化功能，高水平开发建设高铁新区，打造与中心城市一体化发展的副中心城市。支持东至县深入推进尧东一体化，加快舜城新区、火车站站前区、滨湖新区连片发展，增强县城支撑带动能力。支持石台县结合池祁高速通车，优化县城空间布局，加快老城区有机更新，推动东部新区、醉山野景区联动发展，打造精致特色县城。五、 项目选址综合评价

58、项目选址所处位置交通便利、地势平坦、地理位置优越，有利于项目生产所需原料、辅助材料和成品的运输。通讯便捷，水资源丰富，能源供应充裕。项目选址周围没有自然保护区、风景名胜区、生活饮用水水源地等环境敏感目标，自然环境条件良好。拟建工程地势开阔，有利于大气污染物的扩散，区域大气环境质量良好。项目选址具备良好的原料供应、供水、供电条件，生产、生活用水全部由项目建设地提供，完全可以保障供应。第五章 建筑工程方案分析一、 项目工程设计总体要求1、建筑结构设计力求贯彻“经济、实用和兼顾美观”的原则，根据工艺需要，结合当地地质条件及地需条件综合考虑。2、为满足工艺生产的需要，方便操作、检修和管理，尽量采取厂房

59、一体化，充分考虑竖向组合，立求缩短管线，降低能耗，节约用地，减少投资。3、为加快建设速度并为今后的技术改造留下发展空间，主厂房设计成轻钢结构，各层主要设备的悬挂、支撑均采用钢结构，实现轻型化，并满足防腐防爆规范及有关规定。二、 建设方案1、本项目建构筑物完全按照现代化企业建设要求进行设计，采用轻钢结构、框架结构建设，并按建筑抗震设计规范（GB500112010）的规定及当地有关文件采取必要的抗震措施。整个厂房设计充分利用自然环境，强调丰富的空间关系，力求设计新颖、优美舒适。主要建筑物的围护结构及屋面，符合建筑节能和防渗漏的要求；车间厂房设有天窗进行采光和自然通风，应选用气密性和防水性良好的产品

60、。.2、生产车间的建筑采用轻钢框架结构。在符合国家现行有关规范的前提下，做到结构整体性能好，有利于抗震防腐，并节省投资，施工方便。在设计上充分考虑了通风设计，避免火灾、爆炸的危险性。.3、建筑内部装修设计防火规范，耐火等级为二级；屋面防水等级为三级，按照屋面工程技术规范要求施工。.4、根据地质条件及生产要求，对本装置土建结构设计初步定为：生产车间采用钢筋混凝土独立基础。.5、根据项目的自身情况及当地规划建设管理部门对该区域建筑结构的要求，确定本项目生产生间拟采用全钢结构。.6、本项目的抗震设防烈度为6度，设计基本地震加速度值为 0.05g，建筑抗震设防类别为丙类，抗震等级为三级。.7、建筑结构

61、的设计使用年限为50年，安全等级为二级。三、 建筑工程建设指标本期项目建筑面积111647.65，其中：生产工程64261.28，仓储工程27963.92，行政办公及生活服务设施9279.44，公共工程10143.01。建筑工程投资一览表单位：、万元序号工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程20019.0964261.287855.361.11#生产车间6005.7319278.382356.611.22#生产车间5004.7716065.321963.841.33#生产车间4804.5815422.711885.291.44#生产车间4204.0113494.871649.632仓储

62、工程10205.8127963.922603.472.11#仓库3061.748389.18781.042.22#仓库2551.456990.98650.872.33#仓库2449.396711.34624.832.44#仓库2143.225872.42546.733办公生活配套2319.869279.441448.943.1行政办公楼1507.916031.64941.813.2宿舍及食堂811.953247.80507.134公共工程6673.0310143.011005.13辅助用房等5绿化工程10641.28193.16绿化率17.35%6其他工程11438.6027.917合计61333.00111647.6513133.97第六章 SWOT分析一、 优势分析（S）（一）工艺技术优势公司一直注重技术进步和工艺创新，通过引入国际先进的设备，不断加大自主技术研发和