载流子浓度参考资料-霍尔系数法

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1、霍尔系数和电阻率的测量把通有电流的半导体置于磁场中，如果电流方向与磁场垂直，如此在垂直于电流和磁场的方向会产生一附加的横向电场，这个现象称为霍尔效应。随着半导体物理学的开展，霍尔系数和电导率的测量已成为研究半导体材料的主要方法之一。通过实验测量半导体材料的霍尔系数和电导率可以判断材料的导电类型、载流子浓度、载流子迁移率等主要参数。假如能测量霍尔系数和电导率随温度变化的关系，还可以求出材料的杂质电离能和材料的禁带宽度。一、实验目的1. 了解霍尔效应实验原理以与有关霍尔元件对材料要求的知识；2. 学习用“对称测量法消除副效应的影响，测量并绘制试样的VH-IS和VH-IM曲线；3. 确定试样的导电类

2、型、载流子浓度以与迁移率。二、实验原理霍尔效应从本质上讲是运动的带电粒子在磁场中受洛仑兹力作用而引起的偏转。当带电粒子电子和空穴被约束在固体材料中，这种偏转就导致在垂直于电流和磁场的方向上产生正负电荷的积累，从而形成附加的横向电场，即霍尔电场。 对于图2.1 (a)所示的N型半导体试样，假如在X方向的电极D、E上通以电流IS，在Z方向加磁场B，试样中载流子电子将受洛仑兹力： 2.1XYZEDISAACCbl+ + + + + + + +- - - - - - - -dFEFgEH-eEDISAACCbl- - - - - - - - - + + + + + + + +dFEFgEH+e(a)(

3、b)图2.1 样品示意图其中，e为载流子电子电量，为载流子在电流方向上的平均定向漂移速率，B为磁感应强度。无论载流子是正电荷还是负电荷，Fg的方向均沿Y方向，在此力的作用下，载流子发生偏移，如此在Y方向即试样A、A电极两侧就开始聚集异号电荷，在A、A两侧产生一个电位差VH，形成相应的附加电场EH霍尔电场，相应的电压VH称为霍尔电压，电极A、A称为霍尔电极。电场的指向取决于试样的导电类型。N型半导体的多数载流子为电子，P型半导体的多数载流子为空穴。对N型试样，霍尔电场逆Y方向，P型试样如此沿Y方向，有IS(X)、B(Z) EH(Y) 0 (P型)显然，该电场是阻止载流子继续向侧面偏移。试样中载流

4、子将受一个与Fg方向相反的横向电场力： (2.2)其中，EH为霍尔电导强度。FE随电荷积累增多而增大，当达到稳定状态时，两个力平衡，即载流子所受的横向电场力FE与洛仑兹力Fg相等，样品两侧电荷的积累就达到平衡，故有 (2.3)设试样的宽度为b，厚度为d，载流子浓度为n，如此电流强度IS与的关系为 (2.4)由式(2.3)、(2.4)可得 (2.5)即霍尔电压VHA、A电极之间的电压与ISB乘积成正比，与试样厚度d成反比。比例系数RH=1/ne称为霍尔系数，它是反映材料霍尔效应强弱的重要参数。根据霍尔效应制作的元件称为霍尔元件。由式(2.5)可见，只要测出VH伏，以与知道IS安、B高斯和d厘米，

5、可按下式计算RH厘米3/库仑： (2.6) 上式中的108是由于磁感应强度B用电磁单位高斯而其它各量均采用C、G、S实用单位引入。注：磁感应强度B的大小与励磁电流IM的关系由制造厂家给定，并标明在实验仪上。霍尔元件就是利用上述霍尔效应制成的电磁转换元件。对于成品的霍尔元件，其RH和d，因此在实际应用中，式(2.5)常以如下形式出现： (2.7)其中，比例系数KH=RH/d=1/ned称为霍尔元件灵敏度其值由制造厂家给出，它表示该器件在单位工作电流和单位磁感应强度下输出的霍尔电压。IS称为控制电流。(2.7)式中的单位取IS为mA、B为KGS、VH为mV，如此KH的单位为mV/(mAKGS)。K

6、H越大，霍尔电压VH越大，霍尔效应越明显。从应用上讲，KH愈大愈好。KH与载流子浓度n成反比，半导体的载流子浓度远比金属的载流子浓度小，因此用半导体材料制成的霍尔元件，霍尔效应明显，灵敏度高，这也是一般霍尔元件不用金属导体而用半导体制成的原因。另外，KH还与d成反比，因此霍尔元件一般都很薄。本实验所用的霍尔元件就是用N型半导体硅单晶切薄片制成的。由于霍尔效应的建立所需时间很短约10-1210-14s，因此使用霍尔元件时用直流电或交流电均可。只是使用交流电时，所得的霍尔电压也是交变的，此时，式(2.7)中的IS和VH应理解为有效值。根据RH可进一步确定以下参数。1. 由RH的符号或霍尔电压的正、

7、负判断试样的导电类型判断的方法是按图2.1所示的IS和B的方向，假如测得的VH=VAA2500GS/A电磁铁、N型半导体硅单晶切薄片式样、样品架、IS和IM换向开关、VH和V即VAC测量选择开关组成。2. THH型霍尔效应测试仪，主要由样品工作电流源、励磁电流源和直流数字豪伏表组成。四、实验方法1. 霍尔电压VH的测量应该说明，在产生霍尔效应的同时，因伴随着多种副效应，以致实验测得的A、A两电极之间的电压并不等于的VH值，而是包含着各种副效应引起的附加电压，因此必须设法消除。根据副效应产生的机理参阅附录可知，采用电流和磁场换向的对称测量法，根本上能够把副效应的影响从测量的结果中消除，具体的做法

8、是IS和B即IM的大小不变，并在设定电流和磁场的正、反方向后，依次测量由如下四组不同方向的IS和B组合的A、A两点之间的电压V1、V2、V3和V4，即+IS +BV1+IS -BV2-IS -BV3-IS +BV4然后求上述四组数据V1、V2、V3和V4的代数平均值，可得通过对称测量求得的VH，虽然还存在个别无法消除的副效应，但其引入的误差甚小，可以略而不计。2电导率的测量可以通过图2.1所示的A、C或A、C电极进展测量，设A、C间的距离为l，样品的横截面积为S=bd，流经样品的电流为IS，在零磁场下，测得A、CA、C 间的电位差为VVAC，可由下式求得 (2.10)3. 载流子迁移率的测量电

9、导率与载流子浓度n以与迁移率之间有如下关系：由比例系数RH=1/ne得，=|RH|。五、实验内容仔细阅读本实验仪使用说明书后，按图2.2连接测试仪和实验仪之间相应的IS、VH和IM各组连线，IS与IM换向开关投向上方，明确IS与IM均为正值即IS沿X方向，B沿Z方向，反之为负值。VH、V切换开关投向上方测VH，投向下方测V。经教师检查后方可开启测试仪的电源。红黑红黑红黑黑红IS输入接测试仪IS输出接测试仪VH、V输入接测试仪IM输出IM输入VH、V输入+-橙黄白黑红橙黄白DEANCACX、Y调节样品架样品电磁铁励磁线圈图2.2 霍尔效应实验仪示意图注意：图2.2中虚线所示的局部线路即样品各电极

10、与线包引线与对应的双刀开关之间连线已由制造厂家连接好。必须强调指出：严禁将测试仪的励磁电源“IM输出误接到实验仪的“IS输入或“VH、V输出处，否如此一旦通电，霍尔元件即遭损坏！为了准确测量，应先对测试仪进展调零，即将测试仪的“IS调节和“IM调节旋钮均置零位，待开机数分钟后假如VH显示不为零，可通过面板左下方小孔的“调零电位器实现调零，即“0.00。转到霍尔元件探杆支架的旋钮X、Y，慢慢将霍尔元件移到螺线管的中心位置。1. 测绘VH-IS曲线将实验仪的“VH、V切换开关投向VH侧，测试仪的“功能切换置VH。保持IM值不变取IM=0.6A，测绘VH-IS曲线，记入表2.1中，并求斜率，代入式2

11、.6求霍尔系数RH，代入式2.7求霍尔元件灵敏度KH。表2.1 IM=0.6A IS取值：1.00-4.00mAIS(mA)V1(mV)V2(mV)V3(mV)V4(mV)(mV)+IS、+B+IS、-B-IS、-B-IS、+B1.001.502.002.503.004.002. 测绘VH-IM曲线实验仪与测试仪各开关位置同上。保持IS不变取IS=3.00mA，测绘VH-IM曲线，记入表2.2中。表2.2 IS=3.00mA IM取值：0.300-0.800AIM(A)V1(mV)V2(mV)V3(mV)V4(mV)(mV)+IS、+B+IS、-B-IS、-B-IS、+B0.3000.4000

12、.5000.6000.7000.8003. 测量V值将“VH、V切换开关投向V侧，测试仪的“功能切换置V。在零磁场下，取IS=2.00mA，测量V。注意：IS取值不要过大，以免V太大，毫伏表超量程此时首位数码显示为1，后三位数码熄灭。4. 确定样品的导电类型将实验仪三组双刀开关均投向上方，即IS沿X方向，B沿Z方向，毫伏表测量电压为VAA。取IS=2mA，IM=0.6A，测量VH大小与极性，判断样品导电类型。5. 记录实验仪器的磁场强度，求样品的RH、n、和值。六、预习思考题1. 列出计算霍尔系数RH、载流子浓度n、电导率与迁移率的计算公式，并注明单位。2. 如霍尔样品的工作电流IS与磁感应强

13、度B的方向，如何判断样品的导电类型。3. 在样的条件下会产生霍尔电压，它的方向与哪些因素有关？4. 实验中在产生霍效应的同时，还会产生哪些副效应，它们与磁感应强度B和电流IS有关系，如何消除副效应的影响？附 录实验中霍尔元件的副效应与其消除方法1不等势电压降VO如图2.3所示，由于元件的测量霍尔电压的A、A两电极不可能绝对对称地焊在霍尔片的两侧，位置不在一个理想的等势面上，因此，即使不加磁场，只要的电流IS通过，就有电压VO=ISr产生，其中r为A、A所在的两个等势面之间的电阻，结果在测量VH时，就叠加了VO，使得VH值偏大VO与VH同号或偏小当VO与VH异号。由于目前产生工艺水平较高，不等势

14、电压很小，像本实验用的霍尔元件试样N型半导体硅单晶切薄片只有几百微伏左右，故一般可以忽略不计，也可以用一支电位器加以平衡。在本实验中，VH的符号取决于IS和B两者的方向，而VO只与IS的方向有关，而与磁感应强度B的方向无关，因此VO可以通过改变IS的方向予以消除。ISAA等势面图2.3 不等势面2热电效应引起的附加电压VEIS+e+eXYZ图2.4 热电效应如图2.4所示，由于实际上载流子迁移速率服从统计分布规律，构成电流的载流子速度不同，假如速度为v的载流子所受的洛仑兹力与霍尔电场的作用力刚好抵消，如此速度小于v的载流子受到的洛仑兹力小于霍尔电场的作用力，将向霍尔电场作用力方向偏转；速度大于

15、v的载流子受到的洛仑兹力大于霍尔电场的作用力，将向洛仑兹力方向偏转。这样使得一侧高速载流子较多，相当于温度较高，另一侧低速载流子较多，相当于温度较低，从而在Y方向引起温差TA-TA，由此产生的热电效应，在A、A电极上引入附加温差VE，这种现象称为爱延好森效应。这种效应的建立需要一定的时间，如果采用直流电如此由于爱延好森效应的存在而给霍尔电压的测量带来误差；如果采用交流电，如此由于交流变化快使得爱延好森效应来不与建立，可以减小测量误差，因此在实际应用霍尔元件片时，一般都采用交流电。由于VEISB，其符号与IS和B的方向的关系跟VH是一样的，因此不能用改变IS和B方向的方法予以消除，但其引入的误差

16、很小，可以忽略。3热磁效应直接引起的附加电压VN图2.5 热磁电压如图2.5所示，因器件两端电流引线的接触电阻不等，通电后在接点两处将产生不同的焦耳热，导致在X方向有温度梯度，引起载流子沿梯度方向扩散而产生扩散电流，热流Q在Z方向磁场作用下，类似于霍尔效应在Y方向上产生一附加电场，相应的电压VNQB，而VN的符号只与B的方向有关，与IS的方向无关，因此可通过改变B的方向予以消除。4热磁效应产生的温差引起的附加电压VRL图2.6 热磁温差电压如图2.6所示，3节中所述的X方向热扩散电流，因载流子的速度统计分布，在Z的方向的磁场B作用下，和2节中所述的同一道理将在Y方向产生温度梯度TA-TA，由此

17、引入的附加电压VRLQB，VRL的符号只与B的方向有关，亦能消除。综上所述，实验中测得的A、A之间的电压除VH外还包含VO、VN、VRL和VE各电压的代数和，其中VO、VN和VRL均通过IS和B换向对称测量予以消除。具体方法是在规定了电流和磁场正、反方向后，分别测量由如下四组不同方向的IS和B的组合A、A之间的电压。设IS和B的方向均为正向时，测得A、A之间的电压记为V1，即：当+IS、+B时， V1=VH+VO+VN+VRL+VE将B换向，而IS的方向不变，测得的电压记为V2，此时VH、VN、VRL、VE均改号而VO符号不变，即当+IS、-B时，V2=-VH+VO-VN-VRL-VE同理，按

18、照上述分析当-IS、-B时，V3=VH-VO-VN-VRL+VE当-IS、+B时，V4=-VH-VO+VN+VRL-VE求以上四组数据V1、V2、V3和V4的代数平均值，可得由于VE符号与IS和B两者方向关系和VH是一样的，故无法消除，但在非大电流，非强磁场下，VHVE，因此VE可略而不计，所以霍尔电压为：THH型霍尔效应实验组合仪使用说明书霍尔效应发现于1879年，随着电子技术的进展，利用霍尔效应制成的电子器件霍尔元件，由于结构简单，频率响应宽高达10GHz，长，可靠性高等优点，已广泛用于非电量测量、自动化控制和信息处理等方面。霍尔效应实验既结合教学内容又富有实用性，是一个能深化课堂教学、培

19、养学生实验技能以与启发学生创造思维和应用设想的典型实验。THH型霍尔效应实验组合仪可测定霍尔系数和载流子浓度，此外，结合电导率测量可确定试样的载流子迁移率。THH型霍尔效应实验组合仪设计合理，性能稳定，各项技术指标完全符合实验要求。此外，其测试单元还具有多用功能，如用于电阻温度实验，也可单独作为直流恒流源或直流数字毫伏表使用。一、实验装置简介THH霍尔效应实验组合仪由实验仪和测试仪两大局部组成。A. 实验仪如图A.1所示1. 电磁铁规格为3.00KGS/A，磁铁线包的引线有星标者为头见实验仪上图示，线包绕向为顺时针操作者面对实验仪，根据线包绕向与励磁电流IM流向，可确定磁感应强度B的方向，而B

20、的大小与励磁电流IM的关系由制造厂家给定并标明在实验仪上。2. 样品和样品架样品材料为N型半导体硅单晶片，根据空脚的位置不同，样品分两种形式，即图A.2的a和b，样品的几何尺寸为：厚度d=0.5mm，宽度b=4.0mm，A、C电极间距l=3.0mm。样品共有三对电极，其中A、A或C、C用于测量霍尔电压VH，A、C或A、C用于测量电导；D、E为样品工作电流电极。各电极与双刀换接开关的接线见实验仪上图示说明。样品架具有X、Y调节功能与读数装置，样品放置的方位操作者面对实验仪如实验指导书图2.2所示。EDIS输入IM输入VH、V输入+-DEANCACX、Y调节样品架样品电磁铁图A.1 霍尔效应实验仪

21、示意图AAbadlbDEAC(NC)AC(a)dlbDEA(NC)CAC(b)图A.2 样品示意图3. IS和IM换向开关与VH和V测量选择开关IS和IM换向开关投向上方，如此IS与IM均为正值，反之为负值；VH和V测量选择开关投向上方测VH，投向下方测V。B、测试仪如图A.3所示1. “IS输出为010mA样品工作电流源，“IM输出为01A励磁电流源。VH、Vo显示Is、IM显示功能切换Vo VH输出Is输出IMIs调节调零IM调节VH、Vo显示+ -测量选择Is IM图A.3 测试仪面板图两组电流源彼此独立，两路输出电流大小通过IS调节旋钮与IM调节旋钮进展调节，二者均连续可调。其值可通过

22、“测量选择按键由同一只数字电流表进展测量，按键测IM，放键测IS。2. 直流数字电压表VH和V通过功能切换开关由同一只数字电压表进展测量。电压表零位可通过调零电位器进展调整。当显示器的数字前出现“号时，表示被测电压极性为负值。二、技术指标1. 励磁电流源IM输出电流：01A，连续可调，调节精度可达1mA。最大输出负载电压：25V。电流稳定度：优于10-3交流输入电压变化10%。电流温度系数：10-3。负载稳定度：优于10-3负载由额定值变为零。电流指示：3位发光管数字显示，精度不低于0.5%。2. 样品工作电流源IS输出电流：010mA，连续可调，调节精度可达10A。最大输出负载电压：12V。

23、电流稳定度：优于10-3交流输入电压变化10%。电流温度系数：10-3。负载稳定度：优于10-3负载由额定值变为零。电流指示：3位发光管数字显示，精度不低于0.5%。3. 直流数字毫伏表测量X围：20mV；200mV。3位发光管数字显示，精度不低于0.5%。注：IS和IM两组电流源也可用于需要直流恒流供电的其它场合，用户只要将“VH、V输出短接，可按需要选取一组或两组恒流源使用均可。三、使用说明1. 测试仪的供电电源为220V，50Hz，电源进线为单相三线。2. 电源插座和电源开关均安装在机箱背面，保险丝为0.5A，置于电源插座内。3. 样品各电极与线包引线与对应的双刀换接开关之间连线已由厂家

24、连接好见实验仪上图示说明。4. 测试仪面板上的“IS输出、“IM输出和“VH、V输入三对接线柱应分别与实验仪上的三对相应的接线柱正确连接。5. 仪器开机前应将IS、IM调节旋钮逆时针方向旋到底，使其输出电流趋于最小状态，然后再开机。6. “VH、V切换开关应始终保持闭合状态。7. 仪器接通电源后，预热数分钟即可进展实验。8. “IS调节和“IM调节分别用来控制样品工作电流和励磁电流的大小，其电流随旋钮顺时针方向转动而增加，细心操作，调节的精度分别可达10A和1mA。IS和IM计数可通过“测量选择按键来实现。按键测IM，放键测IS。9. 三个开关，各用来控制或选择励磁电流、工作电流和霍尔电压的方

25、向。10. 关机前，应将“IS调节和“IM调节旋钮逆时针方向旋到底，使其输出电流趋于零，此时指示器计数为“000”，然后才可切断电源。四、仪器检验步骤1. 仪器出厂前，霍尔片已调至电磁电中心位置。霍尔片性脆易碎、电极甚细易断，严防撞击，或用手去触摸，否如此，即遭损坏！在需要调节霍尔片位置时，必须慎重，切勿随意改变y轴方向的高度，以免霍尔片与磁极面摩擦而受损。2. 测试仪的“IS调节和“IM调节旋钮均置零位即逆时针旋到底。3. 测试仪的“IS输出接实验仪的“IS输入，“IM输出接“IM输入，并将IS和IM换向开关掷向任一侧。注意：决不允许将“IM输出接到“IS输入或“VH、V输出处，否如此，一旦

26、通电，霍尔样品即遭损坏。4. 实验仪的“VH、V输出接测试仪的“VH、V输入，“VH、V输出切换开关倒向VH一侧。5. 接通电源，预热数分钟后，电流表显示“.000”当按下“测量选择键时或“0.00”放开“测量选择键时，电压表显示为“0.00”假如不为零，可通过面板左下方小孔内的电位器来调整。注：有时，IS调节电位器或IM调节电位器起点不为零，将出现电流表指示末位不为零，亦属正常。6. 置“测量选择于IS档放键，电流表所示的IS值即随“IS调节旋钮顺时针转动而增大，其变化X围为010mA，此时电压表所示VH读数为“不等势电压值，它随IS增大而增大，IS换向，VH极性改号此乃副效应所致，可通过“

27、对称测量法予以消除，说明“IS输出和“IS输入正常。取IS2mA。7. 置“测量选择于IM档按键，顺时针转动“IM调节旋钮，查看X围应为01A。此时VH值亦随IM增大而增大，当IM换向时，VH亦改号其绝对值随IM流向不同而异，此乃副效应所致，可通过“对称测量法予以消除，说明“IM输出和“IM输入正常。至此，应将“IM调节旋钮复零。8. 放开测量选择键，再测IS，调节IS=2mA，然后将“VH、V输出切换开关倒向V一侧，测量VA、C电极间电压，IS换向，V亦改号，至此，说明霍尔样品的各个电极均为正常。将“VH、V输出切换开关恢复VH一侧。注意：查看V时，IS不宜过大，以免数字电压表超量程，通常取IS为2mA左右。9. 本仪器数码显示稳定可靠，但假如电源线不接地如此可能出现数字跳动现象。“VH、V输入开路或输入电压超量程，如此电压表出现溢出现象。