国内外传感器现状及发展趋势

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1、.引言2正文21.传感器的开发21.1气体传感器21.2温度传感器52. 传感器的现状及开展趋势72.1传感器开展的三个阶段72.2我国传感器的现状82.3传感器的开展方向与途径82.4欧美传感器开展趋势92.5传感器的宏观技术特点分析143.传感器的精度问题143.1消除传感器零点误差和零点漂移的方法153.2提供直流供电电源的稳定性方法153.3统一和标准化保证传感器精度153.4传感器的标校163.5敏感元件的质量控制163.6精度的构造防护技术163.7传感器补偿技术174.传感器的品牌184.1称重传感器184.2压力传感器184.3流量传感器184.4位移传感器194.5温湿度传感

2、器194.6液位传感器194.7传感器的一些竞争品牌204.8中国的传感器基地20. .引言 随着科学技术的开展,检测技术巳应用于人类科研、生产、生活等活动中。检测技术既是效劳于其它学科的工具,又是综合运用其它多门学科最新成果的尖端技术。因此检测技术的开展是科学技术和生产开展的重要根底,也是一个国家生产力开展和现代化程度的重要标志。而研究检测技术的进步总是从检测的新方法与新对象来考虑。但不管是检测方法的更新还是检测对象的扩展,都与传感器的开发有着密切的联系,也就是说检测技术的开展,如果离开传感器的开发那是绝对不行的。正文1.传感器的开发1.1气体传感器 气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息

3、转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置，气体传感器通常是用来检测气体的类别、浓度和成分。气体传感器的种类很多，分类方法也各不一样。按气体传感器的材料分，可分为半导体型和非半导体型。应用广泛的气体传感器有：半导体型气体传感器、固体电解质气体传感器、电化学传感器、光学气体传感器等。1.半导体型气体传感器 这种类型的传感器在气体传感器中约占60%，根据其机理分为电阻型半导体气体传感器和非电阻型半导体气体传感器。1.1电阻型半导体气体传感器 电阻型半导体气体传感器是将气体浓度的变化转变成电阻值变化的一种传感器，典型的电阻型半导体气体传感器材料是等因为这些材料存在气敏效应，当外表吸附*种气

4、体时会引起电导率的变化，作为传感器，还要求这种反响必须是可逆的。电阻型半导体气体传感器中应用最广泛的是气敏元件，其工作原理是和空气中电子亲和性大的气体发生反响形成吸附氧束缚晶体中的电子。使器件处于高阻状态，当它与被测气体接触时，气体与吸附氧发生反响，元件外表电导增加，电阻减小。气敏元件制作时多采用烧结工艺。以多孔瓷为基底材料，再添加不同的其他物质，用制工艺烧结而成。烧结时埋入加热电阻丝和测量电极。此外，还有薄膜型与厚膜型两种工艺。1.2非电阻型半导体气体传感器1.2.1结型气体传感器结型气体传感器又称气敏二极管。是利用气体改变二极管的整流特性，将金属与半导体结合做成整流二级管，其整流作用来源于

5、金属和半导体功函数的差异。随着功函数因吸附气体而变化，其整流作用也随之变化。1.2.2MOSFET型气体传感器气敏二极管的特性曲线左移可以看作二极管导通电压发生改变,这一特性如果发生在场效应管的栅极,将使场效应管的阈值电压UT改变。利用这一原理可以制成MOSFET型气敏器件。氢气敏MOSFET是一种最典型的气体传感器，它用金属钯Pd制成钯栅。在含有氢气的气氛中由于钯的催化作用，氢气分子分解成氢原子扩散到钯与二氧化硅的界面。最终导致MOSFET的阈值电压UT发生变化。使用时常将栅漏短接，可以保证MOSFET工作在饱和区，利用这一气敏器件可以测出氢气浓度。氢气敏MOSFET在氢气浓度高时其灵敏度变

6、低，氢气浓度低时灵敏度则升高。2. 固体电解质气体传感器这种传感器元件为离子对固体电解质隔膜传导，称为电化学池。分为阳离子传导和阴离子传导，是选择性强的传感器，研究较多到达实用化的是氧化锆固体电解质传感器。其机理是利用隔膜两侧两个电池之间的电位差等于浓差电池的电势。稳定的氧化锆固体电解质传感器已成功地应用于钢水中氧的侧定和发动机空燃比成分测量等。为弥补固体电解质导电的缺乏，近几年来在固态电解质上蒸镀一层气体敏膜。把周围环境中存在的气体分子数量和介质中可移动的粒子数量联系起来。3.接触燃烧式气体传感器 接触燃烧式气体传感器的工作原理是:气敏材料在通电状态下,温度约在300600,当可燃性气体氧化

7、燃烧或在催化剂作用下氧化燃烧,燃烧热进一步使电热丝升温,从而使其电阻值发生变化,测量电阻变化从而测量气体浓度。该种气体传感器的优点是对气体选择性好,受温度和湿度影响小,响应快,已经被广泛应用在石油化工厂、矿井、浴室和厨房等处。目前接触燃烧式气体传感器实现规模生产的有H2、LPG、CH4以及局部有机溶剂蒸气检测用产品。该类传感器市场上一般以各类报警器的形式出现较多,但它们对低浓度可燃性气体灵敏度低,敏感元件受催化剂侵害较严重。4.光学式气体传感器 光学式气体传感器包括光谱吸收型、荧光型、光纤化学材料型等类型。光谱吸收型荧光型的原理是:不同的气体物质由于其分子构造不同、浓度不同和能量分布的差异而有

8、各自不同的吸收光谱。这就决定了光谱吸收型气体传感器的选择性、鉴别性和气体浓度的唯一确定性。假设能测出这种光谱便可对气体进展定性、定量分析。目前已经开发了流体切换式、流程直接测量式等多种在线红外吸收式气体传感器16,24。在汽车的尾气中,CO、CO2和烃类物质的浓度,以及工业燃烧锅炉中的有害气体SO2、NO2都可采用光谱吸收型气体传感器来检测。荧光型是指气体分子受激发光照射后处于激发态,在返回基态的过程中发出荧光。由于荧光强度与待测气体的浓度成线性关系,荧光型气体传感器通过测试荧光强度便可测出气体的浓度。光纤化学材料型气体传感器是在光纤的外表或端面涂一层特殊的化学材料,而该材料与一种或几种气体接

9、触时,引起光纤的耦合度、反射系数、有效折射率等诸多性能参数的变化,这些参数又可以通过强度调制等方法来检测。例如:涂在光纤上的钯膜遇H2时就会膨胀,薄膜的膨胀可以通过测量干预仪的输出光的强度来测得。光谱吸收型的原理清楚,技术相对成熟,是目前光学式气体传感器的市场主流。5.石英谐振式气体传感器 石英谐振式气体传感器的气敏元件主要由石英基片、金电极和支架三局部组成。其电极上涂有一层气体敏感膜,当被测气体分子吸附在气体敏感膜上时,敏感膜的质量增加,从而使石英振子的谐振频率降低。由于谐振频率的变化量与被测气体的浓度成正比,故通过检测谐振频率便可判断气体浓度大小7。该传感器构造简单、灵敏度高,但只能使用在

10、室温下工作的气体敏感膜。选取聚乙烯亚胺PEI(poly ethylene imine)作敏感膜,该传感器对CO2的气敏特性、选择性都很好,对体积分数为50010-6的CO2进展测试,其响应时间为5 s,恢复时间为2 s。另外酞菁类聚合物也常被用来制成石英谐振式气敏元件。目前已经开发出可测试NH3、SO2、HCl、H2S、醋酸蒸气等气体的石英谐振式气体传感器,但产业化还需时日,尤其是选择性还未得到根本解决。6.外表声波气体传感器外表声波气体传感器的开展历史很短,可谓是后起之秀。外表声波传播速度的影响因素很多,例如:环境温度、压力、电磁场、气体性质、固体介质的质量、电导率等。通过选择适宜的敏感膜来

11、控制诸多影响因素中的一个因素起主导作用。当质量起主导作用时,外表声波的振荡频率与气体敏感膜的密度成正比;当电导率起主导作用时,外表声波的振荡频率与气体敏感膜的电导率成反比。设计时,通常采用双通道延迟线构造来实现对环境温度和压力变化的补偿。目前研究的该类气体传感器大多采用有机膜做气敏材料,主要有聚异丁烯、氟聚多元醇等,被用来检测苯乙烯和甲苯等有机蒸气16,28;酞菁类聚合物薄膜被用来检测NO2、NH3、CO、SO2等气体7。尽管该类气体传感器在实用化方面还存在许多问题,但它符合信号系统数字化、集成化、高精度的方向,因此受到许多国家的高度重视。7.气体传感器的开展方向 气体传感器的研究涉及面广、难

12、度大,属于多学科穿插的研究领域。要切实提高传感器各方面的性能指标需要多学科、多领域研究者的协同合作。气敏材料的开发和根据不同原理进展传感器构造的合理设计一直受到研究人员的关注。在综合气体传感器的国外的研究未来气体传感器的开展也将围绕这两方面展开工作。主要容为:(1)气敏材料的进一步开发:一方面寻找新的添加剂对已开发的气敏材料的敏感特性进一步提高,尤其是通过选择不同的添加剂来改善同一基质材料对不同气体的选择性;另一方面充分利用纳米、薄膜等新材料制备技术使气敏材料各方面的性能均得到大大改善,譬如:纳米器件比外表积大,有利于提高其灵敏度,大大降低使用温度,易于器件集成化,降低本钱,便于使用。(2)新

13、型气体传感器的开发和设计:根据气体与气敏材料可能产生的不同效应设计出新型气体传感器是气体传感器未来开展的重要方向和后劲。近年来外表声波气体传感器、光学式气体传感器、石英谐振式气体传感器等新型传感器的开发成功进一步开阔了设计者的视野。目前仿生气体传感器也在研究中。警犬的鼻子就是一种灵敏度和选择性都非常好的理想气敏传感器,结合仿生学和传感器技术研究类似狗鼻子的电子鼻将是气体传感器开展的重要趋势和目标之一。 (3)气体传感器传感机理的研究:新的气敏材料和新型传感器层出不穷,需要在理论上对它们的传感机理进展深入研究。传感机理一旦明确,设计者便可有据可依地针对传感器的缺乏之处加以改良,也将大大促进气体传

14、感器的产业化进程。 (4)气体传感器的智能化:生产和生活日新月异的开展变化对气体传感器提出了更高的要求,气体传感器智能化是其开展的必由之路。纳米、薄膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器集成化和智能化提供了很好的前提条件30。气体传感器将在充分利用微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、电路与系统、传感技术、神经网络技术、模糊理论等多学科综合技术的根底上得到开展。研制能够同时监测多种气体的全自动数字化的智能气体传感器将是以后该领域的重要研究方向。1.2温度传感器1.气体温度传感器 气体的状态方程为PV = nRT，其中P为压力，V为体积，n为气体的摩尔量，R为常数，T为温度。如果其

15、中一个量保持不变，测量另外一个变量，然后第三个变量可以通过计算得到。因此，如果气体的摩尔量保持不变，温度可以通过测量压力计算出。简单的气体温度计最早是1952年Simon使用的。它包括一个球形容器，并通过一毛细管连接至测量压力的规管。这个气体温度计在低温下的测量结果非常准确。在高温下需要经过一些修正。在温度降低的时候，外来体积的比例越来越小，因此修正值也越来越小。2.蒸汽压力温度传感器 液体的饱和蒸汽压随温度的变化而表现出一定的关系，因此可以通过测量液体的饱和蒸汽压推算出环境温度。蒸汽压温度计的一个最大的优势是在其使用的温度围其灵敏度非常高，适合于蒸汽压温度计的气体包括氧气、氮气、氢气和氦气。

16、这些温度计比拟准确，可以从临界点到三相点的温度区间使用。因此，对于*些温度区间可能蒸汽压力温度计并不适合。例如从40 K至50K，这个温度区间比氖气的高，但比氧气和氮气的低。这些温度计的响应时间比拟迅速，并且其准确度不受离子束和磁场的影响。蒸汽压力温度计的准确度非常高，常用来作为对其他温度计的标定。3.金属电阻温度传感器 金属电阻温度传感器的原理是基于金属的电阻与温度之间的关系。一般来说，金属的电阻与温度成正比例方向的关系。根据Mattheissen定律，纯金属的总的电阻可以表示为:P = Po + P1。这里P是指总的电阻，P0是本身的剩余电阻，是不依赖于温度，由材料本身的缺陷或杂质引起的电

17、子散射而产生的电阻。P1是温度依赖的电阻。大约在20 K以下，纯金属的电阻只剩下剩余电阻，而与温度关系不大。因此，在该温度围不能使用这种类型的电阻。4.铂电阻温度传感器 铂电阻温度传感器是在20 K至800 K温度围准确度高和重复性好的温度计。它具有很多优势，例如，它的电阻与温度几乎呈线性。根据Lakeshore的PT一100温度计的温度、电阻曲线图。铂很容易获得较高的纯度，并且它的纯度在制造过程中可以重复。就像之前所提到的，在20 K以下，铂的灵敏度下降的非常快。在50K以上的时候，具有相对较低的磁场依赖性。在65 K以下温度继续增大。这些传感器也可以抵抗离子辐射的影响。5.半导体电阻温度传

18、感器1锗温度传感器 锗温度传感器一小块单晶。其电阻随着温度的降低增长的非常快。锗温度传感器具有较高的稳定性，在无磁场存在的条件下最适合于测量0. 05-30K区间的温度。其测量的精度还受锗中所掺杂的其他原子的影响，并且其可以抗离子辐射的干扰。2碳电阻温度传感器 因为在低温下具有较高的灵敏度，所以碳电阻传感器广泛应用于低温测量。1952年Allen- Bradley公司的Clement和Quninell首次推出了商业化的碳电阻温度传感器。从那时起，碳电阻温度传感器开场用在1K至100K之间的温区测用。随着温度的降低，碳电阻温度计的电阻粗糙的上升，其灵敏度也在增加，典型的碳电阻温度传感器在1K时的

19、电阻大约为1 千欧。 碳电阻温度传感器的可重复性较差，在4. 2K经过热循环以后，其测温误差在2%左右。如果需要进展准确测量，碳电阻温度传感器在每次热循环处理后都需要进展校正。在液氦温度围，经过几次热循环以后可以观察到电阻会上升2%。出现这种现象的原因是因为在经过热冲击的时候，碳原子会发生重排。因为质量较轻，所以其温度响应时间短(在4. 2K时10ms) 。3碳-玻璃电阻温度传感器 碳一玻璃电阻温度传感器是在碳电阻温度传感器根底上开展起来的，具有更高的稳定性和抗磁干扰性。它是通过在高纯碳里添加了孔状的玻璃制备的，它的温度一电阻性能在很长的温度区间(1 K-325K)表现出一定的单调性。但是它在

20、100K以上的温度其灵敏度比拟低(0.01欧 /K)，所以限制了它在高温区的使用。碳一玻璃电阻温度传感器在100K以下的可重复性非常高，并且其在10K以下的灵敏度也非常高。通过一定的校正，碳一玻璃温度传感器可以在高达20T的强磁场中使用。6. 热电偶温度传感器 热电偶温度传感器广泛应用在不同温度的测量，它必须要进展实时校正，因为热偶的整条线在有温差的环境中会对输出电压产生影响。不同的电线组成，结点甚至拉伸力都会对温度的显示产生影响。用于低温测量的温度计有很多种，最常用的热偶包括铜镍合金(T型)，其中镍的含量大约在10%;铬镍合金(E型)，其中镍的含量大约在10%;镍铬合金和镍铝合金(K型)等。

21、E型热偶主要应用于3-1000K温区的测量。在T型和K型热偶中，E型热偶最有最高的灵敏度。2. 传感器的现状及开展趋势2.1传感器开展的三个阶段 传感技术的开展经历了三个阶段,即构造型传感器、物性型传感器和智能型传感器。 1构造型传感器以其构造局部变化或构造局部变化后而引起*种场的变化来反映被测量的大小及变化。经常使用的方法是以传感器机构的位移或力的作用使传感器产生电阻、电感或电容等值的变化来反映被测量的大小。 2物性型传感器利用构成传感器的*些材料本身的物理特性在被测量的作用下发生变化,从而将被测量转换为电信号或其他信号输出。例如,利用半导体材料在热辐射照射下会产生各种光效应的特性可制成光敏

22、电阻、光敏三极管等光敏元件。利用二氧化锡材料在*些气体作用下,其阻值会发生变化的特性可以制成气敏元件。由于物性型传感器无可动部件,灵敏度高,因此,可减少对被测对象的影响,从而能解决构造型传感器不能解决的*些参数及非接触测量的问题,扩大了传感器应用领域。 3智能型传感器把传感器与微处理器有机地结合成一个高度集成化的新型传感器。它与构造型、物性型传感器相比,能瞬时获取大量信息,对所获得的信息还具有信号处理的功能,使信息的质量大大提高,其功能也扩展了。以网络化智能传感器为例,它以嵌入式微处理器为核心,集成了传感单元、信号处理单元和网络接口单元,使传感器由单一功能、单一检测向多功能和多点检测开展;从被

23、动检测向主动进展信息处理方向开展;从孤立元件向系统化、网络化开展;从就地测量向远距离实时在线测控开展,它已成为传感器技术开展的主要方向之一。2.2我国传感器的现状 我国传感器行业虽起步较早,但直到1986年七五开场才正式将传感器技术列入国家重点攻关工程,展开以机械敏、力敏、气敏、温敏、生物敏为主的5大敏研究。经过十几年的开展,现已形成了一定规模的产业格局,其特点有: (1)厂商多,上规模的企业少。 (2)地区开展不平衡。 (3)品种多,档次不高。目前国共有主要传感器产品1000多种,国产敏感元器件950种,根本涵盖了信息采集的各种领域。但是,水平还处在国际80年代末或90年代初的水平。 (4)

24、生产研发多以大学和研究所为依托,专业公司少。 当然,从80年代开场开展传感器技术至今,也取得了一些骄人的成绩,虽然规模有限但也给了我们信心,看到前途的光明。 (1)综合实力得到加强目前全行业职工总数约42万人,固定资产5亿多元,共引进50多条生产线与专用设备。传感器行业产值每年都以(1015)%的速率增长。 (2)拓宽了开发领域已经由过去的少数品种扩展到光敏、热敏、力敏、电压敏、磁敏、气敏、湿敏、声敏、射线敏、离子敏、生物敏等各种传感器,以及变送器、二次仪表等多种类、多形式产品,与国外研制领域相当。同时形成了近40个院校、研究所的骨干科研队伍。 (3)扩大了生产规模热敏电阻器、ZnO压敏电阻器

25、、可燃性气体传感器、光电二极管等十几个品种已形成一定规模的生产能力。经过九五阶段的努力,已建成敏感技术国家重点实验室,包括南北两局部(北方在中科院电子所,南方在冶金所)。此外,还建立了传感器国家工程研究中心,并形成了4个生产基地: (1)湿敏传感器。主要以中科院*物理所和715厂为主,年产量到达20003000万只,有少量出口。 (2)电压敏传感器。主要以无线电二厂为主,年产量10002000万只。 (3)集成霍尔开关。中旭微电子(从半导体总厂分出),生产能力30004000万只/年。 (4)石英谐振称重传感器。清华传感设备,产值1000多万元。产品以出口为主。2.3传感器的开展方向与途径1.

26、 开展方向（1） 向高精度方向开展随着自动化生产程度的不断提高,对传感器技术的要求也在不断提高,必须研制出具有灵敏度高、准确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。2向高可靠性、宽温围开展传感器的可靠性直接影响到电子设备的性能。研制高可靠性、宽温度围的传感器将是永久性的方向。大局部传感器的工作围都在-20 70 ,在军用系统中要求工作温度在-40 85 ,而汽车、锅炉等场合对传感器的温度要求更高,因此开展新兴材料(如瓷)的传感器将很有前途。3向微型化开展以往的传感器由于尺寸大,可以用经典物理知识很好地描述。微传感器敏感元件的尺寸一般为微米级,所以随着传感器的微小型化,量

27、子效应将越来越起支配作用。在将来,把光波和电子波统一在一起的统一波将可以更好地提醒传感器的工作规律。4向模糊识别方向开展从传感的模式看,微观信息由人工智能完成,感觉信息由神经元完成,宏观信息由模糊识别完成。未来的传感器将突破零维、瞬间的单一量检测方式,在时间上实现广延,空间上实现扩(三维),检测量实现多元,检测方式实现模糊识别。2.开展途径 传感器的核心部件是敏感元件,其作用是感受、检测未知量。开发新型传感器,其途径大致有以下几个方面:1采用新材料由于材料科学的进步,新功能材料的开发将导致新的传感器的出现。半导体材料研究的进展,促进了半导体传感器的迅速开展;光导纤维的问世,产生了各种光纤传感器

28、。2采用新的加工方法随着生产工艺水平的不断提高,新的加工方法不但使传感器的性能指标得以提高,应用围得以扩大,还可加工出原有工艺不能制造的新型传感器。采用集成工艺和激光电阻微调技术,可制成集成温度传感器等。3采用新的原理随着各相关学科的开展,人们对非电量转化为电学量的认识逐步加深,它们之间新的转换关系必将导致新型传感器的产生。4采用新的构思许多古老的原理或设计,在巧妙的构思下可以产生出新的传感器。对热敏感的热敏电阻可做成温度传感器。也可把酶固定在电阻外表,用来检测酶反响中产生的热量,根据酶反响的专一性,就可测定酶的底物的含量,从而做成各种酶热敏电阻生物传感器。2.4欧美传感器开展趋势 传感器技术

29、是现代科技的前沿技术，许多国家已将传感器技术与通信技术和计算机技术列为同等重要的位置，称之为信息技术的三大支柱之一。传感器技术作为国外公认的具有开展前途的高新技术，正得到空前迅速的开展，并且在相当多的领域被越来越广泛地利用。 目前，全世界约有40个国家从事传感器的研制、生产和应用开发，研发机构达6000余家，其中以美、德、日、俄等国实力较强。 SENSOR + TEST传感器展览会与SENSORS E*PO传感器展览交流会是欧洲和北美地区最大和最专业的传感器和传感器系统集成展会，聚集欧州与美国的绝大局部传感器与仪表制造厂商，其展出产品在很大程度上代表了当前全球围先进传感器的开展趋势。 2011

30、年的SENSOR + TEST传感器展览会和2012年的SENSORS E*PO传感器展出的传感器种类主要有:MEMS传感器、光纤传感器、气体传感器和无线传感器等。从目前各类传感器的应用领域围和市场销售增长情况可以预测出:在未来10年甚至更长的时间，MEMS传感技术、光纤传感技术、气体传感技术及无线传感技术仍将是传感器领域的开展重点，而且其应用将渗透各个领域。1MEMS传感器 MEMS ( micro electro mechanical systems)技术是采用微制造技术，在一个公共硅片根底上整合了传感器、机械元件、执行器(actuator)与电子元件。MEMS通常会被看作是一种系统单晶片

31、SoC，它让智能型产品得以开发，并得以进人很多的次级市场，为包括汽车、保健、手机、生物技术、消费性产品等各领域提供解决方案。MEMS技术已被认为是21世纪最有前途的技术之一。 相对于传统的传感器，MEMS技术传感器具有体积小、质量轻、本钱低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点，这使得它们的应用数量和围大大扩大，国外MEMS厂商的数量在急剧增加，在航空航天、军事领域、汽车领域等都得到了广泛的应用。 目前市场上的MEMS传感器种类很多，包括惯性、压力、流量、温度传感器等，其主要应用领域包括军事、消费电子、汽车、航空、航天、医疗安康等。 美国飞思卡尔(Free

32、scale)公司是用于汽车领域的MEMS传感器的主要供给商，生产的产品主要有:MEMS卫星压力传感器、MEMS卫星加速度传感器、MEMS惯性传感器和MEMS低g传感器。 医疗安康领域的MEMS传感器主要包括:非接触式心电图测量传感器和惯性测量传感器。其中，研制非接触式心电图测量传感器的有英国普莱思( Plessey)公司，主要采用非接触的方式来测量人体心电图情况，例如，可以将该传感器安装在椅子上，通过与衣服的接触来测量人体心电图情况。研制惯性测量传感器的有美国YEI技术公司，主要可用于监测引起关节损伤的撞击，具有高准确度、高可靠性和本钱效益等优势。 用于航空航天领域的MEMS传感器主要包括:MEMS温度传感器、MEMS压力传感器、MEMS油液传感器、MEMS加速度传感器等。目前应用在航空航天的MEMS压力传感器大局部出自美国Kulite公司和AST公司，主要用于机械液压系统、发动机/推进器、润滑油系统、冷却系统等。Kulite公司的压力传感器精度0. 1 % FS，可耐500一600的高温。AST公司生产的压力传感器其精度士0.25% BFSL,稳定性小于