Al、O掺杂性TiN薄膜的制备及性能研究

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Al、O掺杂改性掺杂改性TiN薄膜的制备薄膜的制备及性能研究及性能研究 一、研究背景PVD沉积硬质薄膜研究较多，很实用但不够美观，限制了其适用范围一、研究背景优点：PVD沉积TiN薄膜具有高熔点、高硬度，颜色以金色为主。它是第一个产业化并广泛应用的硬质薄膜材料。一、研究背景缺点：其颜色以金色为主，简单工艺改善很难达到变色的效果，这也限制了其使用范围我们是否可以沉积彩我们是否可以沉积彩色薄膜，扩大使用范色薄膜，扩大使用范围，比如电脑外壳围，比如电脑外壳创新点一、研究背景原有电子产品外壳表面处理技术中电镀、喷涂、电泳等，外观精美，颜色多样，一、研究背景缺点：薄膜硬度低、易划伤；电镀、电泳工艺是高污染、高浪费、高耗能工艺技术。背景衍生二、现有条件工程实践报道PVD沉积Cr、Ti、Al、Ni等多元复合金属氮氧化物薄膜在提高提高薄膜硬度薄膜硬度的同时可实现薄膜颜色变颜色变化化，但未见深入研究三、薄膜设计TiAlNxOyTiAlNxTi45# samples/Silicon chips打底层硬质薄膜层变色薄膜四、工艺设计五、产品展示五、产品展示六、力学性能测试随氧气通量增大，颗粒边界紧密化纤维组织细化，致密化，表面平整化六、力学性能测试六、力学性能测试创新点制备TiN薄膜的同时掺入Al、O：u更高硬度、u抗氧化能力更强,u具备金、棕、蓝紫等多色系氮氧铝钛复 合膜硬质涂层谢谢