短脉冲及超短脉冲激光硅表面微加工研究

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1、测试计量技术及仪器专业毕业论文 精品论文 短脉冲及超短脉冲激光硅表面微加工研究关键词：纳秒脉冲激光 飞秒脉冲激光 微加工摘要：目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的

2、飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。正文内容 目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体

3、工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数

4、对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行

5、了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉

6、冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影

7、响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了

8、纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微

9、米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了

10、比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质

11、特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优

12、势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加

13、工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉

14、冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二

15、者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。目前激光加工技术已经应用

16、到了生产和生活的许多方面，短脉冲激光有着脉宽相对较窄，平均功率高，重复频率高，加工效率高，波长短，可以聚焦成较小的光斑实现微米量级的精密加工的特点，在半导体工业中有着很好的应用前景，超短脉冲激光以其物质移除的质量高、亚微米量级的加工精度、高的深宽比等优势引起国内外研究者的极大兴趣，二者有着各自的加工特点和优势。 本文利用波长355nm，脉冲宽度小于40ns，重复频率为20KHz的纳秒激光和波长为775nm，脉冲宽度150fs，重复频率为1KHz的飞秒激光在Si表面进行了一系列微结构加工的实验，分析了纳秒脉冲激光和飞秒脉冲激光与物质特别是半导体作用的机制，为纳秒脉冲激光与飞秒脉冲激光在Si表面的

17、微加工提供了理论基础；利用光学显微镜，扫描电镜以及聚焦离子束对加工出的微结构进行了测试，并分析了激光能量、脉冲个数、平台移动速度以及低能量重复加工等工艺参数对两种脉冲激光微结构加工效果的影响；实验中对二者的加工效果进行了比对，说明了两种脉冲激光各自的加工特点。特别提醒：正文内容由PDF文件转码生成，如您电脑未有相应转换码，则无法显示正文内容，请您下载相应软件，下载地址为 。如还不能显示，可以联系我q q 1627550258 ，提供原格式文档。 垐垯櫃换烫梯葺铑?endstreamendobj2x滌?U閩AZ箾FTP鈦X飼?狛P?燚?琯嫼b?袍*甒?颙嫯?4)=r宵?i?j彺帖B3锝檡骹笪yL

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