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1、 计 算 机 集 成 制 造 系 统 表 产 品及 加 工 流 程 信 息 第 卷 计算 该设 备 的约束权 重 。部分设 备 的约束权 重如表 所 示 。 表 部 分 设 备 的 约 束 权 重 值 本 文依据 该 软件 建 立 了相 关 仿 真模 型 ， 图 如 所 示为仿 真软件 的运 行界 面 。 为得 到最优 的在制 品水 平差 额 上 限 ） 和下 限 ， ） ， 者 选 取 了 个 水 平 和 个 平 。 通 ， 笔 水 过 组实 验 ， 比较 了每 种 参数 组 合 的 结果 ， 中 当 其 为 为 一 或 一 ， 时 实 验 结 果 最 好 。 表 给 出了不 同参数组 合下
2、 的系 统平均 生产 周期 。 表 不 同上 限 和下 限 组合 下 的 实验结果 （ 生产 周 期 ） 图 仿 真 界 回 模 型仿 真时 间为 因为前 期仿 真阶段 在制 品 ， 数 量较低 ， 系统状态 不稳 定 （ 图 。所 以 ， 初期 如 ） 在 采 用 简单 的先 进 先 出 （ ， 规 ） 则调度， 当系 统 稳 定 时 ， 采 用 本 文 提 出的 。 再 忽 略前 三个 月的数 据 ， 为生成 运行 环境所需 时 间 。 作 算 法 比较 在仿 真实验 时 ， 别设 定 的值 为 分 ， 值为 。为验 证 算法 的有效 性 ， 本文 另外采用 紧 迫 系数 （ ） （ ，
3、， ， ） 最 短 加 工 时 间 （ ， ， 。这几种 算 法 是 当今 晶 圆厂 在 实 际 生 ） 图 仿 真生成 赖行 阶段 设备 约束权 重及 其他参 数确定 产 中普遍 采用 的 调 度算 法 。在 算 法 的 比较 试 验 中 ， 采用 上 述 仿 真 模 型 以及 四个 评 价 指 标 ： 产 周 期 生 按照式 （ ）通 过仿 真实验 考察设 备可用 性对 系 ， 统绩效 的影 响程度 ， 以此 确定 不 同设 备 的瓶 颈权 重 ， 其 中各 个指 标 的权 重分 别取 。通过 延 长设 备 的 值 ， 每 种 设 备 的可 用 性 与 原 值 相 比 下 降 使 ， 比较
4、 因此 引起 的系统 绩 效 改 变 ， 运 用 式 （ ） 并 （ ， ） 按 期 交货 率 （ ， ） 产出率 （ ， ） ， ， 和 。从表 可 以看 出 ， 算法 在 各 项 指标 上 均 比其 他 算法 要 本 好 。特别 是在 缩短 生产周 期 和降低 在制 品水 平上较 方法 都有 以上 的提 高 。 同时要 注意 的是 第 期 胡 鸿 韬 等 ： 导体 生 产 线 动 态 在 制 品水 平 控 制 方 法 半 方法 由于过 于注 重 交货 期 使 得 按 期 交 货 率 和 在制 品水平 反 而不如 。而 方法 在生产 周 期这 一指标 上 的结果 也不令 人 满意 。 表 调
5、 度 算 法 比 较 ， （ ， ） ： ， ， （） ， ： ， ， ： （ ） ， ， ： ， ， （ ） ： ， ， 结 束 语 本文 针 对半 导 体 芯 片制 造 的特 点 ， 出了一 种 提 基 于 约 束 权 重 和 产 品 制 程 的 调 度 方 法 。该 方 法 主 要 ： ， ， （ ） ： ， ， 有 以下几 点的 改进 ： 用 约束 权 重 描 述 设 备对 系统 ： ， ， ： ， ： 绩效 的约束 大小 ； 通 过设 备 约束 权 重 和 产 品加 工 参数 设定 和分 配在 制 品水 平 分 布 ； 设 备 依据 实 际 在制 品水平 高低 动 态选 择 产 品加
6、 工 ， 制 不 同产 品 控 不 同 阶段 的在 制 品数 量 。仿 真 表 明 ， 方 法适 用 于 该 稳 定投料 的多 品种 大 批 量 的半 导 体 芯 片 制造 过 程 。 但 文 中某 些参 数还 需 要 靠经 验 取 值 ； 外 设 备 约束 另 权 重是 离线仿 真确 定 的 ， 是 实 际生 产 中系 统状 态 但 变化 多端 ， 如何 动 态调 整 设 备 约束 权 重 以及 相应 的 调度 目标和规 则还有 待进 一步 研究 。 参考 文献 ： ， ， ： ： ， ，（ ： ） ， （ ） ， ， ）： （ ， ， ， ， ）： ， （ 李 （ ） 莉， 乔 非， 姜 桦 ， 半 导体 生 产 线 等 动 态 调 度 方 法研 究 计 算 机 集 成 制 造 系 统 ， （ ） ， ： ， ， ： ， （ ： ， ） ， ， ： （ ） （ ） 张 怀， ， ， 江 志斌 ， 乘 涛面 向瓶 颈 的半 导 体 晶圆 制 造 系 统 派 工 策 略 及 郭 参 数 优化 上 海交 通 大 学学 报 ， （ ） ， ： ， ， ： ， ， （ ）： ， ， ： ， ：卜 ， （ ）
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