全自动多晶制绒酸洗设备20100806

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1、苏州赤诚洗净科技有限公司www. szchicheng. comCH-A200U17全自动多晶制绒酸洗设备技术规格书制造商：苏州赤诚洗净科技有限公司张家港德科超声有限公司地 址：苏州市张家港西张镇北路69号电 话：0512-5842812258428111传 真：0512-58421687企业简介本公司是一家集高新技术、高起点、高素质员匸为一体的股份企业，公司全体名 员工通过十年努力，得到了市科学技术进步奖、高新技术产品奖、市髙新技术企业， 良好的信誉给予r AAA级金业资信等级、苏州市重合同守信用企业、苏州市知名商标 等荣誉，通过了 IS09001-2000质星认证，完成了 ODS淘汰的国际

2、项目，成为国家环保 总局洗净协会会员单位。产品在航空、航天、兵器、汽车、燃托车零部件、电子、光 学、轻工机械、化纤及新材料等行业中得到广泛应用外，还被总后勤部、众多设计院 等定为超声波清洗机的指定生产厂家。公司主要产品有：硅片淸洗设备、单多晶制绒清洗设备、扩散后去PSG活洗、制 绒前预清洗、供酸系统、石墨板清洗、石英管清洗，硅料清洗设备、硅芯/硅棒消洗设 备等。为国内部分大型企业集团提供使用，深受用户信赖。全体员1本着“您的需要就是我们的追求”这一宗旨，为您提供高品质产品及快 捷周到的服务。WI赤诚洗净科技有限公司www. szclucheng. com全I动多晶制绒酸洗设备技术规格书H录1范

3、【韦12标准和规范3设备概要4设备组成5设备描述6设备棊本动作7工艺流程8清洗工件耍求9设备棊本参数10控制系统主要功能11设备安装与调试12部分主耍配件13验收标准和现场验收方法14文件资料及交付15包装及运输16质最保证内容WI赤诚洗净科技有限公司www. szclucheng. com1范用本技术协议书适用丁全IH动多晶制绒酸洗设备（以下简称“合同设备”）的设计、 制造、试验及检验。2标准和规范卖方所供介同设备和材料的设计、选材、制造、检验和试验应按照国家、行业标 准执行，无国家、行业标准按企业的现行标准和规范执行。技术文件中另有规定的除 外。外购配件执行相应的国家标准或部颁标准。所有标

4、准和规范不得低丁相关的现行 国家标准或规范。1. 机械设备安装施工及验收规范JBJ23-962. 电气装置安装匸程及二次冋路施.及验收规范Q/ZB75-733. 机械加工通用技术条件GB50/71-924. 化学淸洗一般施匸及检验JJCO4-O9-17A3设备概要木设备主要功能是对硅片进行制绒酸洗清洗处理的全H动设备。4设备组成此清洗设备主耍由槽式清洗主体、移载机械手、抽风系统、电控及操作盘等部分 组成。5设备描述此设备是一个全fl动的处理设备。清洗匸作过程由三菱FX系列PLC控制。 操作员通过10. 4英寸彩色触摸屏控制生产由移载机械手运输，经各处理与淸洗匚位组成的清洗装置。清洗作业员将装满

5、匸件的T件框放置在进料台上，由移载机械手将件框依次送 到以处理工位，对工件进行腐蚀、清洗，然后工件由机械手移到出料台上，由作 业员将T件框取出，进行下步的处理。WI赤诚洗净科技有限公司vww. szclucheng. com6设备基木动作-将欲处理工件放丁上料传输线上由移载机械手依次将工件送到各处理工位-将已经处理过的工件人工转移7丄艺流程 被淸洗物硅片156 X 156 X 0. 28mm T.艺流程上料-0F清洗-HF & HN03多晶制绒f QDR淸洗一QDR诸洗-OF清洗-0F淸洗-KOH处理f QDR淸洗QDR清洗-0F清洗-0F淸洗一连接通道一1HHC1 tffi-*2ttOF清洗

6、-3#混酸槽-*4ttQDR ffi-*5ttOF 槽-6廿慢提拉槽下料 工艺细节工位工序辅助处理液时间温度材质自动盖循环抽风自动上料处理10F清洗鼓泡DI水3minRTpp/2多晶制绒鼓泡HF & HNO33min8-16*CPVDF仃仃仃3QDR清洗鼓泡DI水3minRTPP/有4QDR淸洗鼓泡DI水3minRTPP/5OF清洗鼓泡DI水3minRTPP/60F淸洗鼓泡DI水3minRTpp/7KOH处理鼓泡KOH3min205*Cpp有仃仃8QDR清洗鼓泡DI水3minRTpp/9QDR清洗鼓泡DI水3minRTpp/100F消洗鼓泡DI水3minRTpp/11OF清洗鼓泡DI水3min

7、RTpp/连接通道1HC1槽鼓泡HC1水3minRTpp有有有20F淸洗鼓泡DI水3minRTpp/3混酸槽鼓泡混合酸3minRTpp有/仃4QDR槽鼓泡DI水3minRTpp/仃5OFffi鼓泡DI水3minRTpp/6慢提拉槽慢提DI水3min50*Cpp/仃自动卜料处理8淸洗匚件要求名称硅片尺寸清洗节拍156 X 156 X 0.28mm3min/框（按实际工艺时间设定）清洗篮装载帚200片/框机械臂瑕大承亜40kg9设备慕本参数9.1 S备形式：室内放置型苏州赤诚洗净科技有限公司www. szclucheng. com9.2 电源：三 38010%, 50Hz (5 线制)9. 3 D

8、I 水：压力 2. 50. 5kg/cm,流量 llm/h (max),接管口径 19. 4 氮气：压力 2.50. 5kg/cm:,流量 16m/h,接管口径 3/4-19. 5压缩空气：压力50. 5kg/cm:,流量17m7h,接管口径3/4-19. 6环境耍求：空气温度：5-40C 相对湿度：80%10控制系统上要功能10. 1三菱FX系列PLC控制，彩色触摸屏操作10. 2报警、设备各项参数检测10. 3具备低水位保护功能10.4鬥动手动转换开关10. 5马达开关io. 6m洗时间、传动速皮调节器10. 7紧急停止开关10.8本设备是一个全门动的处理设备，工作过程由三菱FX系列PLC

9、控制。设备主要 由以下儿部分组成：移载机械臂清洗本体上下料台控制电柜10. 9移载机械臂设备共配备机械手4套，制绒部分2套，酸洗部分2套：机械爪部分全塑设计，防止腐蚀发生伺服电机控制水平及竖fi方向的位移粘:度：水平方向同步带传动；廉宜方向导轨丝杠传动：机械手外置盐白PP保护罩； 各个槽位光电传感器确认； 机械手脱钩位置位丁工艺杷液而外安全保护止常上卜位光电开关（光电开关屈于非接触式检测）上下极限位行程开关（行程开关属于接触式检测）报警水平定位高速脉冲数据采集+非接触金属感应器水平极限位高速脉冲数据采集+接触式检测紧急停止设备多处安装紧急停止按纽10. 10清洗本体门动上下料台材质10mm厚P

10、P板传动方式ABS材质平链传动检测光电开关其他进入设备的部分配备自动门，IH动门采用气缸控制按钮手动确认上料多晶制绒工位时间连续可调处理液來源采用自动补液系统，补液精度0.5%材质10mm 厚 PVDF处理液HF & HN03处理温度8-16C时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒 0F清洗时间连续可调处理液纯水材质10mm厚PP板处理温度RT时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范閑1秒 QDR淸洗时间连续可调处理液纯水材质10mm厚PP板处理温度RT时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1

11、秒其他喷淋+快排系统 KOH处理时间连续可调处理液來源自动补液系统,补液精度0.5%材质10mm厚PP板处理液KOH处理温度RT时间管理有触摸屏宜接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范1韦1 1秒 HC1 榊时间连续可调处理液來源自动补液系统,补液精度0.5%材质10mm厚PP板处理液HCL处理温度RT时间管理有触摸屏直接管理时间WI赤诚洗净科技有限公司www. szchicheng. com功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范閑1秒混酸槽时间连续可调处理液來源自动补液系统,补液精度0.5%材质10mm厚PP板处理液HCL+HF处理温度RT时间管理有触摸屏肖接管理时间功能包

12、括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒慢拉脱水处理时间连续可调处理液纯水材质10mm厚进口 PP板处理温度50C时间管理有触摸屏直接管理时间功能包括显示时间/设定时间/报警时间控制范围1秒 H动补液系统补液流程：补液房（150L） -1/2隔膜阀（氟橡胶密封圈）隔膜阀/磁力泵一补液桶（30L）一 1/2隔膜阀（氟橡胶密封圈）一设备处理药槽补液功能：a. 补液精度0.5%b. 设备具有药液泄露、无液、超液位报警提示功能c. 该系统具有排除气泡和尽帚使管道内床力的波动降到最低限度的能力301|0if150LXX x-一MD-55FX170W/220VA药溉11安装、调试及试运行11.1安装11

13、. 1.1按提供的设备的总图及TOP图把设备安装在指定位置。注意设备的前后耍留有 一定的观察检修空间。11.1.2接好水、电、气及各排液管道和排风管道。11.1.3洁各淸洗杷I,检查各紧固件有否松动、以传动件有否卡碰。特别耍淸理各传 动轨道。11. 1. 4检查管道及各洗憎有无渗漏。11. 2调试11.2.1合上总电源，接通水源、气源，手动调试设备的各项动作。11.2.2检査机械臂运行情况，调整运行速度及各位置检测开关，保证机械臂运行平稳, 定位安全可靠。11. 2. 3.调整白动盖动作，保证开启及关闭动作灵活。11. 2. 4.检査排液阀动作可靠性。11.3试运行11. 3. 1设备经以上动

14、作调试后，可按实际的淸洗节拍和工艺流程进行设备的试运行， 此时的备腐蚀槽液体用水代替。11.3.2门动进行榕机试运作，重新检测各位置准确度及运行平稳性。11.3.3检测清洗效果。11. 3. 4通过试运行，进一步完善设备与清洗工艺流程的配套。11. 3. 5连续试运行达24小时没问题，才能最终交付客户使用。12部分主要配件NO.名称规格供应商1PLCFX3U-128MT三菱2触摸屏MT510TEVIEW3接近开关E2EX10ME1OMRON4空气开关施耐徳5漏电开关施耐徳6行程开关HL-5030OMRON7隔膜泵VERDER8伺服马达肝-KE43（B）Wl-S100二爰9上下料台马达S9R90

15、GXH-CE+S9KC1OOBH-SSPG （韩国）10气缸CDRA1BS63-90CSMC （日本）11直线导轴SFC30SAMIC12滚珠丝杆SFUR02510T4DFC10恒力（台湾）13电磁阀CRD14隔膜阀PTFEFIP苏州赤诚洗净科技有限公司vww. szclucheng. com13验收标准和现场验收方法序号内容1电源进入前接入不小于最大负荷电流的漏电开关2电气控制元件尽可能全部集中在总电气柜内，整齐有序排列3电气柜内高低压电路耍明显分界4不同电位采用不同颜色电线5接线端两侧接线码(白色整体线码，字体黑色打印)6连接线长短适当，不太长或过短，预留备用接线7在没有托盘的设备主槽与主

16、榊之间进行密封，防止液体漏出8所有主线槽用PP材料制作9设备管道、气路耍有明确标识10注意机器表面划伤及设备卫生14文件资料及交付(1) 装箱清单。(2) 产品合格证书及出厂试验报告。 设备使用说明书(含设备操作、维修说明、电气原理图、配线图、安装接线图、 机械装配图等)，所提供的相关图纸必须满足买方安装、维护和检修的更求。(4) 外购件的使用维护说明书。(5) 调试完成后，提交设备测试数据表。15包装及运输卖方应采取适当措施以保证设备内防潮和防止异物侵入。所有设备必须得到买方检验人员的认可后方可包装和运输。合同设备必须按国家和关包装标准进行包装，防止A同设备在运输、装卸过程中 碰撞和压伤。所

17、有内件、外部构件和接管均应进行加固支撐，以防止在爪装和运输过程由丁震 动和摇见而造成破坏。16质量保证内容16.1设备质保期丄年。16.2售后服务承诺质保期内非操作原因出现设备故障，卖方保证在接到买方通知血Hr内到达现场, 并内解决。人工费、差旅费由卖方承担。 质保期内操作原因出现设备故障，卖方保证在接到买方通知_Hr内到达现场， 并在_Hr内解决。其间因发生的更换零部件费用由买方承担，人匸费由卖方承担, 差旅费由卖方承担。质保期外非操作原因出现设备故障，卖方保证在接到买方通知迪r内到达现场, 并在丄Hr内解决。其间发生的更换零部件费用由买方承担，人I.费由买方承担, 差旅费由买方承担。质保期外操作原因造成设备故障，卖方保证在接到买方通知理Hr内到达现场， 并6：_4_Hr内解决。其间发生的更换冬部件费用由买方承担，人匸费由买方承担, 差旅费由买方承担。卖方保证优先优价向买方提供备品备件。卖方对设备终身提供售后服务。