什么是静电敏感器件

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1、(V) 我厂所用元器件典型范例IRF640 、SPP1 1N60S5、BSN304TDA4605、TDA16846M24C08、AT24C16K30AA 号板的 CF6264V 号板 LM3580S、V 号板 AT27C0 1 0(L)高清上网板 1N5817C1815、A1015V 号板 SFORIB42什么是静电敏感器件易被静电损坏的电子器件称为静电敏感器件(Static Sensitive Device简称SSD)。由于科技时代的需要,小体积、多功能、快速度的集成电路已是目前电子工业的基本要求。增厚氧化膜,提高其耐压性,显然是 行不通的, 因此在器件的集成度越来越高的趋势下, 通常将器件

2、氧化膜的膜厚做得越来越薄使其尺寸减少, 器件的耐压也随之降低。 半导体器件,特别是IC,根据其种类不同受静电破坏的程度也不一样,弱至100V的静电也会造成破坏,具体数据见表 l。表 l 各种半导体器受静电破坏的水平 元件的种类 遭受破坏的电压范围 VMOS 器件301800MOS 场效应器件 100200坤化镓场效应器件100300EPROM 100 结型场效应器件 1407000表面滤波器150500运算放大器1902500CMOS 器件2503000肖特基二极管 3002500薄膜电阻3003000双极型晶体管 3807000可控硅 6801000肖特基 TTL10002500从上表可以看

3、出, 元器件对静电的敏感度是不一样的, 主要可分为以下三个级别 (见表二)表二敏感类别敏感电压阈值 (V)1类0 - 19992 类2000 - 39993 类4000 - 15999敏感电压阈值大于 16000V 的产品,属于非敏感产品。静电敏感元器件一般采用以下图形(见 “工艺资料 ”栏目下的静电标识 。)作为防静电标志,生产过程 中碰到贴有这些标志的元器件时要特别注意防静电问题:半导体集成电路在设计上对防静电失效采取了保护措施,能为最敏感的元器件提供最低 2000V 的静电放 电设计保护,如增加保护电阻和嵌位二极管使之具有较强的抗静电能力。尽管静电防护设计成效很大,但 因为受到结构设计微

4、小型化和产品基本构造原理的局限,毕竟只能将敏感电压阈值提高到一定程度。另一 方面,该电压阈值还与元器件的制造工艺有密切关系。所以在器件应用时,仍需采取各种有效措施来防止 器件受到静电损伤。静电放电(ESD)失效可以是热效应,也可以是电效应,这取决于半导体集成电路承受外界过电应力的 瞬间以及器件对地的绝缘程度。若器件的某一引出端对地短路,则放电瞬间产生电流脉冲形成焦耳热,使 器件局部金属连线融化或芯片出现热斑,以至诱发二次击穿,这就是热效应。若器件与地不接触,没有直 接电流通路,则静电源不是通过器件到地直接放电,而是将储存电荷传到器件,放电瞬间表现为过电压导 致介质击穿或表面击穿,这就属于静电效应。静电敏感元器件被静电损伤后主要表现为两种形式,即硬击穿和软击穿。电子元器件被静电破坏后,约 有 90%产生软击穿,而 10%左右被完全破坏。电视机中的静电敏感元器件发生硬击穿后,往往会产生某种 故障,在生产过程中可以马上检验出来,不留隐患。而被软击穿的元器件,通常在事故发生后6天6 个月后工作性能发生变化,这种变化可以导致间接性故障,通常引发参数暂时性的漂移、不稳定或是带负载能 力变差。软击穿还会使器件耐压降低,在加上额定电压的 1/4 时便会损坏。电视机中的静电敏感元器件发 生软击穿后,不易产生故障,在生产过程中不易检验出来,存在隐患。

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