特气控制系统.

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1、特气系统控制口 - 一 I屈&心&HHU h气柜组成：1 电控2. COMPUTER3. GAS PANEL与媒農手改直生S81.电气控制电磁阀场tt!携手改迎生SS场tt!携手改迎生SS2. COMPUTERphilips3 盘面（一）与媒擴手改直生S5单盘面示意图D HPVVACUUM ACCESS PORTVACUUM GENERATORSOURCEREGULATOR RELEF VENT与媒擴手改直生S5与媒擴手改直生S5COMICAL FILTER GASKET Excess FLOW WITCH HIGH PWESSURE ISOLATION HIGH fRESSUNE VCMT

2、fWICATIM fREMURE WITCH LOW PRESSURE ISOLATION LOW HCSStME VWT KMGE 6AS ISOLATIOM PRESSURE SWITCHWOM疋九UM四 F ktr 匚._3 JWWi *JW0E trifleWiMTLW FWV 32心 心吨力沖*1 &A Hrt*MV CA5 iSttAHQ* MIMA 和6；常25般良补肿 %WTf性注mjmt mjm irota与媳携手改直生RS（二）GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD1kX4OJ4 ibHAWI FCLC 4.更

3、换钢瓶操作（依照L钢瓶为例）-.Semi-Gas全自动气柜更换钢瓶操作步骤:如果是液态类气体需要输入“净重”确认。1接通220V电源，打开“EMO”紧急开关，进入盘面画面。2输入password,按确认。3 L盘面进入 “In shutdown”按 ucommands菜单。4 选择 terminate purge5 Yes”。5选择“select purge”按uCylinder change,按“Yes”,按“ACK”确认，进入更换钢瓶的过 程。6 L-Cyliiider shutoff test,执行process Gas removal置换。7更换钢瓶前Pre-purge前吹扫，执行完循

4、环次数。8 Cylinder change 更换钢瓶，按ACK” 确认。9 Process Gas removal执行工艺气体置换。10 Auto leak tes咱动检漏测试11 Manual leak test手动检漏测试，按“ ACK”确认。12 Leak Repair泄漏维护，按“ACI”确认。13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按“ ACK”确认。14更换钢瓶后Pos t-purge后吹扫，执行完循环次数。15 Regulator调压阀 shutoff及测试。16缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈，进入钢瓶压力测试。17缓慢调节Regulatorii压阀的二次压力至

5、供气压力。18按“service进入钢瓶供气或备用。与媒農手改直生S8二半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：1选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶”后按“确认” O2关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步” o3确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认”。4进行低压释放。5进行预吹扫，完成设置的循环次数。6钢瓶检测结束报警，按“close”，按“下一步”。7更换钢瓶，结束后按“下一步”。8进行钢瓶Fitting测漏，正常后按“确认” o9进行后吹扫，完成循环次数。10钢瓶检测结束，按“close”。11如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重”确认。12缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。13选择供

6、气或备用。14缓慢调节Reguktor调压阀的二次压力至供气压力。三手动气柜更换钢瓶操作步骤:要求PN2钢瓶的出口压力80+/-10PSIo1关闭钢瓶手动阀。234567打开低压放穿的左抽空开关（V3L、V4L、V7L）,使之管道内气体完全放空， 然后关闭此阀，同时关闭Regulator o更换钢瓶前的Pre-piirge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pi驴ul吹扫5秒后关 闭，然后打开高產戏空的左高抽开关使之对P炉ul管道部分連行抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行Pigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。执行更换钢瓶的过程。更换钢瓶后的Pigtail Fitting漏：打开钢

7、瓶PN2管路左吹扫开关，然后再关闭， 进行Pigtail Fitting的check leako检漏通过后进行Pigtml后吹扫。更换钢瓶后的Post-purge：打开钢瓶PN2管路左吹扫开关进行Pi驴ul吹扫5秒后关 闭，然后打开高朮放皋的左高抽开关使之对Pigt通管道部分进仔抽真空3秒后关 闭；再次PN2进行PigSil管路吹扫以及抽真空，循环往复执行10次。关闭L盘面上所有气动阀件，打开L钢瓶手动阀，调节Regubtor的压力使之满足 工艺设备的供气压力。如果是液态类气体需要输入切携压力“毛重”确认。8缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/4圈。9缓慢调节Regiiktor调压阀的二次压力至供气压力。10按“供气开关”或“备用开关” o与媒農手改直生S85 气柜操作流程图6 钢瓶更换分解图示前吹扫：1 ）放空（图一）开VGS LPV-REG-HP I2 ）通PN 2关LPV-HP I 开PG I3）抽真空开VGS HPV后吹扫：1 ）Pigtail Fitting检漏2）通PN 2吹扫关LPV-HPI 开PG I3）抽真空开VGS HPV VMB/VMPValve Manifold Box改吨生asValve Manifold Panel与媒擴手改直生S5THANK S!