DATACON培训PPT课件

《DATACON培训PPT课件》由会员分享，可在线阅读，更多相关《DATACON培训PPT课件（46页珍藏版）》请在装配图网上搜索。

1、DATACON 2200 evo培训材料 一 .DATACON的 简 单 介 绍 。二 .机 台 的 基 本 操 作 。三 .机 台 常 见 报 警 的 处 理 。四 .DATACON的 改 机 。五 .机 台 的 保 养 。DATACON内 容 简 介 一 .DATACON的 简 介 右 图 为 我 司 FC03机 器 ：DATACON 2200 evo 安 全 门操 作 键 盘信 号 灯操 作 面 板电 源 /启 动 开 关 显 示 器 实 物 照 片 DATACON的 简 介 紧 急 开 关Step按 钮继 续 确 认 按 钮 取 消 按 钮LED指 示 灯生 产 权 限 钥 匙1、 外

2、 部 按 钮 与 状 态 牌 Table号状 态 牌不 导 胶 标 签ESD按 扣 DATACON的 简 介2、 点 胶 头 点 胶 装 置 给 产 品 点 不 导 胶 ， 由 气 管 、 胶 管 、点 胶 头 、 扫 描 相 机 构 成 ， 基 板 传 进 轨 道 后 ，Camera进 行 识 别 扫 描 对 位 ， 然 后 在 预 先 设 定 的位 置 进 行 点 胶 。点胶头 DATACON的 简 介3、 Pick up 将 新 的 吸 嘴 放 进 卡 盘 ，塞 到 底 。 2） Pp tool的 高 度 校 准 。 选 择 Tool height后 Start，把 pp tool移 到

3、 校 准 盘 上 方 ， 紧 贴 校 准 盘 ， 但 不 接 触 ，然 后 点 击 Done， 高 度 校 准 成 功 。 3） Pp tool的 alignment校 准 。 点 击 Tool alignment下 的 start 选 项 ， 调 节 操 纵 杆 ， 使 得camera能 清 晰 显 示 出 pp tool的 吸 嘴 ， 调 节 十 字 框 ，使 框 的 中 心 在 吸 嘴 的 中 心 ， 然 后 点 击 next， 吸 嘴 会 自 动旋 转 180度 ， 同 样 的 方 法 使 框 中 心 和 吸 嘴 中 心 重 合 ， 点击 done， 校 准 完 成 。 DATACON

4、的 改 机 4.ES tool的 设 置 。 在 ES tool编 程 之 前 ， 检 查 顶 针 寿命 是 否 到 期 ， 如 果 到 期 或 顶 针 已 损 坏 应 及 时 更 换 。 （ 1） 顶 针 的 更 换 。 1) 拆 开 顶 针 盖 2) 将 顶 针 座 放 置 在 安 装 量 规 治 具 2） 将 顶 针 系 统 在 量 规 上 放 好 然 后 通 过 上 图 1. 所 示 的 上顶 装 置 将 顶 针 固 定 座 顶 起 来 3) 更 换 顶 针 将 相 关 顶 针 的 无 头 螺 丝 松 开 然 后 更 换 顶 针 . 如 果 顶 针 不能 取 出 , 就 将 顶 针 固

5、 定 螺 丝 全 部 松 开 ( 如 图 中 2 所 示 的 螺 丝 ). 4) 调 整 顶 针 松 开 顶 针 固 定 无 头 螺 , 用 如 图 所 示 的 量 规 的 基 准 调 节 平板 来 调 整 顶 针 的 位 置 ( 用 镊 子 夹 住 顶 针 向 基 准 调 节 面 板 ). 拧 紧 顶 针 锁 紧 螺 丝 ( 不 要 太 紧 , 以 免 将 针 拧 断 ). 2 （ 2） ES的 高 度 校 准 。 在 顶 针 系 统 下 选 择Height measurement,点 击 start， 出 现 一个 报 警 提 示 attach touchdown tool to the

6、bonding head。 把 touchdown tool装 到 bonding head后 点 击 OK， 接 着 出 现 下图 到 对 话 框 。 把 touchdown tool移 到 顶 针帽 正 上 方 大 约 5MM处 ， 点 击 done,取 下touchdown tool， 高 度 校 准 成 功 。 （ 3） 顶 针 0点 位 置 的 校 准 。 选 择 needle zero position后 点 击 start开 始 。 出 现 右 上图 。 利 用 操 作 杆 把 顶 针 抬 到 0点 位 置 （ 4） 顶 针 xy方 向 上 的 校 准 。 顶 针 xy方 向 校

7、准 分 两 步 ， 第 一 步 ， 校 准 wafer camera的 焦 距 。 调 节 好 灯 光 ， 利 用 顶 针 上 下 工 具 和 自动 校 准 对 wafer camera聚 焦 。 第 二 步 ， 移动 十 字 框 ， 使 其 中 心 和 顶 针 中 心 重 合 。 DATACON的 改 机 5. Flip tool的 设 置 。 在 Flip tool编 程 之 前 ， 检 查 其 吸 嘴 寿 命是 否 到 期 ， 如 果 到 期 或 已 损 坏 应及 时 更 换 。（ 1） Flip tool吸 嘴 的 更 换 。1） Flip tool的 拆 卸 。 如 图 ， 把 吸嘴

8、 上 方 的 固 定 螺 丝 拧 松 ， 小 心 的拔 出 吸 嘴 。2） 按 装 flip tool。 把 新 的 吸 嘴 放入 吸 嘴 槽 中 ， 然 后 用 治 具 轻 轻 按一 下 。 使 吸 嘴 在 吸 嘴 槽 中 的 位 置 适 中 。 然 后 把 吸 嘴 上 方 的 固 定 螺丝 拧 紧 。 在 做 一 下 flip tool的 校准 。 DATACON的 改 机 （ 2） Flip tool的 校 准 。 1） 选 择 flip tool positions开 始 。 如 图 把 十 字 框中 心 移 到 吸 嘴 右 上 角 。 点 击 next。 2） 把 十 字 框 中 心

9、 移 到 离 吸 嘴 右 下 角 300um处 ，点 击 next。 3） 把 pp tool移 向 flip tool， 使 其 二 者 轻 轻 接 触 。点 击 next。 4） 把 flip tool移 向 ES tool， 使 其 二 者 轻 轻 接 触 。点 击 done,校 准 成 功 。DATACON的 改 机 6.点 胶 系 统 的 设 置 。1） 因 为 系 统 1是 点 胶 系 统 ， 所 以 在 这 一 步 要把 系 统 切 换 到 系 统 1.选 择 Dispenser calibration开 始 。 接 着 会 出 现 两 个 报 警 ，提 示 你 要 把 顶 针

10、和 预 点 胶 盘 擦 干 净 。 然 后出 现 下 图 。 把 点 胶 头 移 至 预 点 胶 盘 中 心 的正 上 方 大 约 5mm处 ， 点 击 next。2） 接 着 ， 设 置 点 胶 高 度 和 时 间 。 点 击 OK。3） 点 胶 系 统 在 预 点 胶 盘 上 点 一 个 圆 点 。 打 开灯 光 ， 移 到 十 字 框 ， 使 其 中 心 和 圆 点 的 中心 重 合 ， 点 击 done。 点 胶 系 统 设 置 成 功 。DATACON的 改 机 7. Substrate的 设 置 。 Substrate包 含 传 输 单 元 ， 基 板单 元 ， 每 个 block

11、， 每 个 module的 设 置 等 。 （ 1） Substrate position的 设 置 。 1） 基 板 的 基 础 设 置 ， 在 transport unit可 以 根 据 需 要设 置 ， 例 如 在 transport unit adjust 选 项 中 选 择 no adjust， 在 substrate processing中 选 择 Divide。 substrate adjust可 以 设 置 2 points,也 可 以 设 置 3 points。 2） 基 板 测 高 ， 测 高 之 前 ， 会 出 现 提 示 ， 把 touchdown装 在 bonding

12、 head上 。 然 后 把 touchdown tool移 到基 板 正 上 方 大 约 5mm处 ， 点 击 next。 把 touchdown tool拿 走 。 3） 把 十 字 框 中 心 移 到 基 板 的 0点 位 置 ， 一 般 设 第 一 个block的 左 上 adjust点 为 基 板 0点 位 置 。 点 击 next。 4） 把 十 字 框 中 心 移 到 最 后 一 个 block的 相 同 位 置 。 DATACON的 改 机 5） 把 整 个 基 板 看 成 一 个 大 的 4*1矩 阵 。 在 框 内 输 入 4，表 示 此 矩 阵 有 4列 。 6)把 十

13、字 框 中 心 移 到 最 后 一 个 block同 一 列 的 相 同 位 置 ，点 击 next， 然 后 输 入 行 数 。 点 击 done。 Substrate position设 置 完 成 。 （ 2） Substrate adjust的 设 置 。 1） 定 义 一 下 block的 位 置 。 2） 为 了 测 出 基 板 的 水 平 角 度 ， 设 置 两 个 点 ， 这 一 步 先 找出 最 左 边 的 点 。 3） 同 样 找 出 这 一 个 block的 同 一 行 的 最 右 边 一 个 位 置 。 水 平 位 置 测 量 ok。 然 后 点 击 next。 4）

14、移 到 block的 第 一 个 adjust点 ， 调 节 好 灯 光 ， 学 习 一下 ， 然 后 点 击 next。 5） 同 样 的 方 法 ， 选 择 block的 第 二 个 adjust点 学 习 。 DATACON的 改 机 （ 3） Module position的 设 置 。 1） 把 十 字 框 中 心 移 到 module的 0点 位 置 。 定义 一 下 0点 位 置 。 点 击 next。 2） 把 中 心 移 到 同 一 行 的 最 后 一 个 module的 同一 个 位 置 。 点 击 next。 3） 把 每 个 block看 成 一 个 21*23的 矩

15、阵 ， 在 下面 输 入 列 数 。 4） 把 中 心 移 到 同 一 列 的 最 后 一 个 module的 相同 位 置 。 定 义 一 下 行 数 ， 点 击 next， 输 入 行 数 ，点 击 done。 Module position设 置 成 功 。 (4) Module adjust的 设 置 。 选 择 一 个adjust点 进 行 编 辑 。 点 击 done。 设 置 完 成 DATACON的 改 机 (5)Module ink dot的 设 置 。 1)选 择 module ink dot开 始 后 ， camera会对 基 板 进 行 一 次 扫 描 。 扫 描 结

16、束 后 选 择 一 个ink的 module进 行 编 辑 。 2)根 据 ink的 特 点 选 择 不 同 的 search框 ， 根 据基 板 的 灰 度 设 定 恰 当 的 值 ， 使 camera能 够 很明 显 的 扫 描 出 ink和 非 ink点 。 点 击 done。Ink设 置 完 成 。DATACON的 改 机 8.Bonding position的 设 置 。 Bonding position分 为 点 胶 和 芯 片 的 位 置 设 定 。 把 十 字 框 的中 心 移 到 第 一 个 胶 点 的 位 置 ， 点 击 done。 用 相 同 的 方 法 ， 学 习 其

17、他 两 个 胶 点 和 芯 片 的 位置 。DATACON的 改 机 9. Components的 学 习 。 (1) Component wafer map的 调 入 。在 component菜 单 下 ， 选 择component wafer map,开 始 。 出 现下 图 的 对 话 框 ， 在 框 内 输 入 晶 圆 的 刻 号 。点 击 OK。 (2) Component geometry的 学 习 。 1） 选 择 component geometry开 始后 ， 对 wafer焦 距 进 行 校 准 。 点 击Autofocus wafer camera。 自 动 校准 成 功

18、 后 ， 点 击 next。 2)选 择 一 颗 好 的 芯 片 ， 学 习 一 下 左 上 角 右 上 角 右 下 角 。 3） 在 search method下 选 择 一 个 模 式 ，通 常 选 择 pattern matching。 把 窗 口选 择 为 search window,设 置 search框的 大 小 中 心 。 DATACON的 改 机 4） 把 窗 口 选 择 为 model window。 设 置一 下 model框 的 大 小 中 心 ， 并 且 选 择 好纹 路 ， teach model。 学 习 好 纹 路 后search几 次 ， 如 果 quality

19、均 在 98%以 上 ，此 纹 路 ok。 点 击 next。5） 把 窗 口 选 择 为 model window。 设 置一 下 model框 的 大 小 中 心 ， 并 且 选 择 好纹 路 ， teach model。 学 习 好 纹 路 后search几 次 ， 如 果 quality均 在 98%以 上 ，此 纹 路 ok。 点 击 next。6） 纹 路 学 习 好 之 后 ， 机 器 会 自 动 跳 动 搜 索几 个 芯 片 。 如 果 一 切 搜 索 ok， 那 么component geometry学 习 成 功 。 （ 3） Component wafer edge的 学

20、 习 。 三 点 确 定 一 个 圆 ， 依 次 学 习 圆 边 缘 的三 个 点 。 DATACON的 改 机 （ 4） Component carrier geometry的 学习 。1） 选 择 component carrier geometry后开 始 ， 出 现 下 图 对 话 框 ， 在 框 内 输 入 晶 圆的 刻 号 。 点 击 OK。2） 选 择 一 个 定 位 点 ， 但 是 一 定 要 确 保 你 选 的定 位 点 在 mapping是 good die。 选 择 好之 后 点 击 next。 3） 在 mapping上 点 击 一 下 定 位 点 ， 那 么 对话 框

21、 内 会 出 现 定 位 点 的 坐 标 。 确 认 无 误 后 ，点 击 OK。 Component carrier geometry学 习 成 功 。 DATACON的 改 机 10. Epoxy application的 设 置 。 当 设 置 epoxy application时 ， 要 把 系 统 切 换 到 系 统 一 。 参 数 根据 需 要 设 置 ， 例 如 ,每 次 动 作 只 点 一 个 点 single dot only.点 完 胶 的 脱 离 高 度 tear-off 1 height为 2mm，speed为 fast等 。 11. Processing list的

22、设 置 。 在 processing step 里 输 入 要 执 行 的 步 骤 ， 依 次 为 S1_Disp1, S1_Disp2, S1_Disp3, S1_PBI,S2_Bond,S2_PBI,S3_Bond,S3_PBI。 输完 步 骤 后 要 把 每 一 个 步 骤 和 相 应 的 程 序 对 应 起 来 。例 如 ， S1_Disp1， 在 Bonding position里 对 应S1_Disp1-bp， 在 component里 对 应 no component bonding,在 Post-bond inspection里 对 应 no post-bond inspect

23、ion,在Epoxy application里 对 应 S1_Disp-gl。 用 同 样的 方 法 把 其 他 几 个 步 骤 和 子 程 序 一 一 对 应 。 DATACON的 改 机 五 .机 台 的 保 养 机 台 的 保 养 保 养 分 配 表机 台 的 保 养 Thanks！ DATACON的 简 介3、 Pick up & Placement tool PP tool装 置 安 装 在 placement head上 ，它 的 作 用 是 实 现 芯 片 的 交 换 与 贴 装 1 . 开 机 和 关 机 。1） 开 机 。 依 次 打 开 压 缩 空 气 阀 ， 机 器 主

24、电 源 按 钮 ， 按 下 UPS启 动 开 关 二 .DATACON的 基 本 操 作 启 动 按 钮防 静 电 手 链 插 孔电 源 开 关 UPS开 关2） 关 机 。 选 择 菜 单 file shut down shut down， 待 到 机 台 显 示 器 无 显 示 后 ,再 关 掉 主 电 源 开 关 和 UPS关 闭 开 关 。 1.抛 料 报 警 报 警 处 理 ： 该 报 警 为 PP tool连 续 出 现 抛 料 异 常 导致 的 报 警 ， 常 为 PP tool与 Flip tool交 换 芯 片 位 置偏 移 或 Flip tool未 吸 取 芯 片 导 致

25、的 抛 料 报 警 。 点OK可 继 续 生 产 ， 点 Cancel停 止 生 产 。 出 现 该 报 警时 需 要 联 系 技 术 员 查 看 抛 料 类 型 并 作 出 维 修 ， 否 则会 导 致 芯 片 的 浪 费 。 2芯 片 识 别 报 警 报 警 处 理 ： Component 扫 描 时 会 出 现 连 续 识 别 不过 的 情 况 ， 右 图 为 出 现 该 情 况 时 的 报 警 ： 识 别 错 误颗 数 超 过 设 定 值 ， 小 字 提 示 为 当 前 芯 片 行 数 和 列 数及 开 始 连 续 出 现 错 误 时 的 芯 片 行 列 坐 标 ， 对 应 mappi

26、ng上 芯 片 会 显 示 白 色 ， wafer camera显 示芯 片 识 别 错 误 。 点 击 OK在 下 次 对 位 框 点 done， 在坐 标 框 出 现 时 点 OK即 可 。 若 仍 有 报 警 可 以 联 系 技术 员 处 理 。 三 .常 见 报 警 的 处 理 5） 把 整 个 基 板 看 成 一 个 大 的 4*1矩 阵 。 在 框 内 输 入 4，表 示 此 矩 阵 有 4列 。 6)把 十 字 框 中 心 移 到 最 后 一 个 block同 一 列 的 相 同 位 置 ，点 击 next， 然 后 输 入 行 数 。 点 击 done。 Substrate p

27、osition设 置 完 成 。 （ 2） Substrate adjust的 设 置 。 1） 定 义 一 下 block的 位 置 。 2） 为 了 测 出 基 板 的 水 平 角 度 ， 设 置 两 个 点 ， 这 一 步 先 找出 最 左 边 的 点 。 3） 同 样 找 出 这 一 个 block的 同 一 行 的 最 右 边 一 个 位 置 。 水 平 位 置 测 量 ok。 然 后 点 击 next。 4） 移 到 block的 第 一 个 adjust点 ， 调 节 好 灯 光 ， 学 习 一下 ， 然 后 点 击 next。 5） 同 样 的 方 法 ， 选 择 block的

28、 第 二 个 adjust点 学 习 。 DATACON的 改 机 （ 3） Module position的 设 置 。 1） 把 十 字 框 中 心 移 到 module的 0点 位 置 。 定义 一 下 0点 位 置 。 点 击 next。 2） 把 中 心 移 到 同 一 行 的 最 后 一 个 module的 同一 个 位 置 。 点 击 next。 3） 把 每 个 block看 成 一 个 21*23的 矩 阵 ， 在 下面 输 入 列 数 。 4） 把 中 心 移 到 同 一 列 的 最 后 一 个 module的 相同 位 置 。 定 义 一 下 行 数 ， 点 击 next， 输 入 行 数 ，点 击 done。 Module position设 置 成 功 。 (4) Module adjust的 设 置 。 选 择 一 个adjust点 进 行 编 辑 。 点 击 done。 设 置 完 成 DATACON的 改 机 五 .机 台 的 保 养