半导体芯片测试系统操作说明书

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1、半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0第一章 系统概述1.1 系统概述半导体芯片测试系统是使用我公司自主研发的 ZWL900 测试主机、快速光谱、高精度直流电源、高稳定沟通电源、数显功率计等高精度仪器， 协作人性化的上位机软件，对HID、节能灯、LED 模块等灯具测试光、色、电综合性能的产品。系统实现了真正传统仪器技术和虚拟仪器技术的完善结合，既可直接通过仪表的大屏幕液晶进展一系列测试，又可工作在计算机模式下进展各种测试并进展数据图形分析、存储及报表打印。另外，由于系统中的快速光谱分析模块承受了光纤传输导光、CCD 快速采集、高速数据转换系统、VC+计算机高效人机交换界面等一系列高技术计量标准

2、，保证了对在 5ms800ms 内光谱功率分布图、半宽度、主波长、色品坐标等全部光谱参数的测量。系统的模块化和高集成度保证了系统的高牢靠性，低温漂保证了系统的重复性。同时，系统具有强大的电源功能，最大输出恒流可达 5A。便利的试验特性 清楚的大屏幕液晶显示器 快捷式的中英文操作按键 承受先进的四线制测量，使得测量数据更加准确 使用先进的校准算法，能够供给测量性能强大的曲线分析功能 连续性和全都性的测试功能 使用高精度、高稳定性的电源灵敏的系统特性 RS232 标准接口 配有功能强大的软件，系统升级灵敏 性能扩展便利 开放式的测试性能、齐全的测试支架可满足不同用户的各种测试需求1半导体芯片测试系

3、统操作说明书 v1.01.2 技术环境a. 操作系统：Windows XPb. 处理器：为 INTEL 兼容处理器，主频 1GHz 以上。c. 系统内存：128M 以上。d. 光谱分析，至少具备两个可用串口。e. 可适配打印机，进展报表打印。f. 半导体芯片测试系统主机及装置。1.3 产品特性n 快速、稳定系统使用独立高精度恒流电源模块，拥有先进的快速光谱分析模块。承受等一系列高技术计量标准，通过信号快速采集、导光、高速分析、高效计算，保证 ms 级的测试速度和可见光波段的光谱参数测试结果的全都性。n 适用性广开放式的测试、齐全的测试夹具，利于各种规格灯具测试。n 简便的使用操作人机交互界面友

4、善，操作简捷，实现全程软件把握。n 直观、完善的测试分析系统可系统性的完成光色电参数的高精度测试，并通过测试界面将测试结果以图形的方式直观的呈现出来。全部测试条件符合 CIE 相关标准。2半导体芯片测试系统操作说明书 v1.01.4 技术参数功能参数范围精度区分率5V：0.2%键值正向电压测1.0000V+0.01 V0.015V量45.000V5V： 0.2%键电参值数300 mA：0.2% 测试设置，或直接点击快捷按钮的“测试设置”，即可翻开根本曲线的测试设置界面。操作过程如以以以下图 2-4 所示：5半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-4根本曲线测试设置完成全部参数设置后，点击

5、“确认设置”，即完成测试设置，设置的参数值显示到根本曲线的显示界面上。关于参数名的定义、参数允许的输入范围、精度，在后面给出说明如图 2-5 所示：图 2-5 参数设置6半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0参数设置完毕后，即可进展联机测试。 可以统计出曲线的走势。如图 2-6 所示。图 2-6 曲线走势测试完成后，用户可依据需要进展应用报表、数据报表的打印，如图2-7 所示所示打印预览图 2-7 打印预览在报表中点击导出按钮，如以以下图，可将报表导出为 PDF、HTML、Excel、7半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0GIF、BMP 和 RTF 等格式。应用报表建议不承受导出 Excel

6、 格式。点击 导出PDF 文件 后消灭对话框如图 2-8 所示，选用默认设置，点击确认即可将报表导出为PDF 格式，其他格式的导出操作与此全都。2.2.3 参数定义图 2-8 导出到 PDF 界面起始电流：进展曲线测试时的开头电流； 终止电流：进展曲线测试时的完毕电流；步进电流：进展曲线测试时电流的每次增量； 测试电流：进展典型参数测试时 LED 的电流。通信串口：与 ZWL-9200 主机连接的计算机串口。点亮电流：测试完毕后，用于 LED 点亮的电流； 预热时间：进展曲线测试前，预热 LED 所用时间。曲线类型：电流-电压：用于测试 LED 电流和电压关系曲线；光强模式：自动光强装置连入主

7、机系统时的测试模式； 光通量模式：积分球装置连入主机系统时的测试模式； 电流-光强：用应测试 LED 电流和光强关系曲线；CIEA远场：自动光强装置为 远场 标准，测试可见光；8半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0CIEB近场：自动光强装置为 近场 标准，测试可见光； CIEA 红外远场： 自动光强装置为 远场 标准，测试红外光； CIEB 红外近场： 自动光强装置为 近场 标准，测试红外光；电流-光通量：用于测试 LED 电流和光通量关系曲线；小积分球、中积分球、大积分球：用于标识测试所用积分球，无实质作用； 正向电流：即测试电流，用于测定典型值；正向电压：LED 输入为正向电流时，两端的

8、电压； 光强值：LED 输入为正向电流时，LED 的光强值； 光通量：LED 输入为正向电流时，LED 的光通量；光效率：LED 的发光效率，对应于光通量测试且 LED 输入为正向电流时。2.2.4 参数输入范围和精度说明电流：输入范围为：0，1500mA，精度 0.1mA；终止电流最大值为0， 100)，则步进电流精度为 0.1mA；终止电流最大值为100，1500，则步进电流精度为 1mA；点亮时间：为非负整数；2.2.5 功能按钮说明确认设置：确定已设置的测试参数，并将测试参数保存； 退出设置：退出测试设置界面；恢复最近设置：恢复上次设置的参数值；重置设置：清空全部输入值，恢复全部选择项

9、为默认选项。2.3 光谱分析测试介绍2.3.1 光谱分析测试简介光谱分析局部可进展 LED 光谱参数分析，光效率、光功率计算。具有强大的功能按键和人性化的操作界面。9半导体芯片测试系统操作说明书 v1.02.3.2 操作流程在进展全部方式的测试操作前，用户必需先进展硬件系统和串口的连接。操作流程如图 2-9 所示：开头光谱类型设定测试设置并确认采集设定联机测试测试标识设置确认应用报表、数据报表输出完毕2.3.3 光谱类型设定图 2-9 操作流程在主界面中点选光谱分析，此时全部菜单、快捷按钮都对应到光谱分析的操作。然后在在菜单中点击 设置测试设置，或直接点击快捷按钮的 测试设置， 即可翻开光谱分

10、析的测试设置界面。设置过程如以以以下图 2-10 所示：10半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-10 光谱设置图 2-11 电参数设置电参数设置页面说明：如图 2-11 所示ZWL-600 只支持横流输出， ZWL-8105 支持恒压及横流输出。 不管在何种供电方式下，勾选读光通量都会从 ZWL-600 主机读取光通量。这儿的 ZWL-600 通信串口自动匹配，不需要用户选择，其他串口需要用户选择。如图 2-12 所示。11半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-12 光谱采集完成全部参数设置后，点击“确认设置”，即完成测试设置，设置的参数值显示到界面上。关于参数名的定义、参数

11、允许的输入范围、精度，在后面给出说明如图 2-13 所示：图 2-13 光电参数设置参数设置完毕后，即可进展联机测试，具体操作为：点击菜单 文件联机测试 或直接点击快捷按钮的“联机测试”，也可用点击主界面中的测试按钮。如以以以下图 2-14 所示。图 2-14 光谱采集配置12半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-15 测试界面测试完成后，用户可依据需要进展应用报表、数据报表的打印。2.4 参数定义采集；点亮电流： 测试前用来电流光源的电流值，测试完毕后返回点亮电流。预热时间： 测试前光源通测试电流的时间测试电流： 进展光谱分析时 LED 的电流； 光谱串口： 计算机与光谱仪连接的串口

12、； 积分时间： 对被测光的积分时间；重复采集： 当被勾选时，软件自动连续采集；当未被选中时，进展单步正向电流： 即测试电流；13半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0正向电压： LED 为正向电流时，两端的电压； 光通量： LED 为测试电流时的光通量；光效率： LED 为测试电流时的发光效率。光谱相当能量分布曲线： 对应于当前灯具电学参数状态及采集参数状态下光谱的相当能量分布数据。最大能量波长对应为 100%，其他波长能量与其比值为 该波长的相当能量值；CIE1931 色品图的靶点： 对应于当前光谱测试数据 色品坐标 X，色品坐标 Y 的坐标点。2.4.1 参数输入范围和精度说明电流：输入范

13、围为：0，1500mA，精度 0.1mA； 电压：输入范围：0，20V，精度：0.01V；光谱波长： 保存一位小数； 色温： 为整数；色品坐标： 保存四位小数； 显色指数： 保存一位小数； 色纯度： 保存三位小数； 光功率： 保存四位小数； 预热时间：为非负整数；2.5 功能按钮说明确认设置：确定测试参数，然后将测试参数保存； 退出设置：退出测试设置界面；恢复最近设置：恢复上传设置的参数值到设置界面；重置设置： 清空全部输入值，恢复全部选择项为默认选项。数据采集： 同联机测试功能。重复采集： 软件系统将对光谱数据主机数据进展连续采集，第一次采集时同单步采集，即有 LED 灯点亮过程同时进展主机

14、数据采集状况下，之后的采集光谱数据主机数据重复进展。14半导体芯片测试系统操作说明书 v1.02.6 系统校准在菜单中 点击 设置 - 系统校准，然后弹出系统校准登录界面，输入登录密码初始密码为空，点击确认， 如图 2-16 所示。图 2-16 系统校准登录进入到系统校准界面，如以以以下图 2-17 所示。2.6.1 主机校准图 2-17系统校准在系统校准界面，先切换到 主机校准 项， 先正确选择 通信串口进过系15半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0统初始化后，当前串口号无需调整。在相应校准项进展 数据校准 前应领先进展 数据复位。如图 2-18 所示。图 2-18 系统校准填入全部的所需

15、的校准数据后，点击数据校准，即可完成校准过程。2.6.2 光谱仪校准-色温标定图 2-19 系统校准点击启用色温标定按钮如图 2-19 所示。 弹精彩温标定界面如以以以下图 2-20 所示：16半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-20 光谱标定选择好光谱仪串口后，点击下一步 按钮。17半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0图 2-21 光谱标定点击导入标定数据按钮，消灭如上图 2-21 所示对话框，选中 gpdb.zwl 文件 并导入。在保证标准光源到达发光稳定的状况下，点击左边的灯泡按钮图形 按钮， 进展光谱采集。点击下一步，消灭如以以以下图 2-22 操作界面：18半导体芯片测试

16、系统操作说明书 v1.0图 2-23 背景光依据要求，点击灯泡按钮 采集背景光。背景光采集完成后，点击下一步，消灭如以以以下图 2-24 所示操作界面。图 2-24 光谱标定把标准光源点亮并使其发光稳定后，点击定标按钮，假设提示定标失败，则再次19半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0定标。假设消灭 定标成功 提示信息，则完成色温定标。关闭色温定标界面。2.6.3 光谱仪校准-波长校准点击光谱仪校准页面中的启用波长校准按钮，启动波长校准界面。如图2-25 所示。图 2-25 光谱仪校准图 2-26 波长校准正确选择串口。用户将光谱光纤对准点亮的日光灯，然后采集日光灯光谱。界面右下角有日光灯汞元素的特征谱线，将采集后的特征谱线看峰值波长，20半导体芯片测试系统操作说明书 v1.0和日光灯典型波长比照，假设觉察有光谱轮廓线整体偏移，则进展光谱轮廓线整体偏移校准，校准波长范围为 -2 2 nm。如图 2-26 所示。21