刻蚀机使用注意事项

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刻蚀机使用注意事项9月 24日 48所工程师来我公司进行刻蚀机操作与维护的培训， 在单体一车间和单体五车间大力支持下， 48 所工程师在培训室里和 车间主管进行了详细的交流， 并针对我公司刻蚀机现状提出了几点 建议，总结如下：1、刻蚀机在使用过程中应避免连续作业，在进行多次工艺以后最 好能够让设备休息 10-20分钟，让设备和腔体不会过热，让电源有 足够时间散热。2、针对我公司刻蚀机无状态检测程序报警的现状（工艺状态参数 是失控的），建议在刻蚀机进行辉光时员工能经常过去看一下辉光 状态，保证工艺的正常运行。检查辉光状态顺序：（1）观察辉光颜色，应呈乳白色并且很光亮。（2）观察压力，范围在 80-120之间，不应偏差过大。（3）观察双指针表，具体标准详见刻蚀机使用操作规范。3、压力变送器 3 个月校准一次。4、机械泵体应 20天清洁一次，生产50 小时更换泵油。5、腔体 50 小时用酒精清洁一次，要在关电源的状态下进行，并 且不要忘记清洁完毕以后开电源。6、在自动运行状态下送气或辉光步骤时发现电源未开切勿马上打开电源，应关闭自动运行按钮后再打开电源。7、停机周期在 2 天以上（包含2 天）应关闭刻蚀机及机械泵。设备工程部2009.9.25