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1、JSM-6700F 扫描式电子显微镜使用指导书目錄l.i的. 22 範圍. 23 權責. 24. 參考資料. 25. 儀器介紹. 26 操作程序.7 留意事項. 81 目的本文旨於介紹 JSM-6700F 掃描式電子顯微鏡 Z 工作原理及操作方法等根本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。2 範圍HR-FESEM 室 JSM-6700F 掃描式電子顯微鏡之操作。3 權責3.1 本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。3.2 本工作指導書供相關操作人員參考。4 參考資料捷東 JSM-6700F 掃描式電子顯微鏡操作說明書。5. 儀器介紹5.1 External view
2、 of JSM-6700F5.2 General view of column 6 操作程序6.1 開啟 SEM OPE switch6.2 打開 SEM 電腦主機&螢幕6.3 點選操作軟體視窗-JEOL PC-SEM 6700桌面6.4 確認 SEM 操作前步驟 0K,檢視以下數值： a氮氣鋼瓶內壓 1 小格以上，操作壓力上 5Kgb確認 EDS 及 BEI detector 已伸出 chamber 夕卜c.確認 tilt在d位確認STAGE 0 WD在 8mm 及螢幕上 WD 在 8mme確認 STAGE 歸至原位 X=35.00 Y 二 25.00、R=0.00Soft:stag
3、e/exchange 一選擇 holder -exchange f確認放大倍率縮至最小250 倍g確認加速電壓是否在 10KVh確認 ROTATION 與 BEAM SHIFT 是否已歸位 i確認 Probe Current 是否在 7j確認 EXCHANGE CHAMBER 抽真空k確認I.close 橘色燈亮6.5 將樣品置入試片載台a. 試片大小需符合 JEOL specimen holders,將試片處理完後放置於樣品holder ,試片高度不行超過樣品 holder 方 0.5 公分，並確認試片己固定好。b. 洩真空，按 SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER約一秒鐘聽到
4、“喀” 一聲前室真空腔的扣型開關打開。c依 holder 標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將 試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之 Oring 及電線，再關閉前室真空腔門。d抽真空,按 CHAMBER 約一秒鐘，爍此時前室真空腔和真空腔之間的 閥門會打開，將試片傳送桿拉下至水平，緩緩將試片座推入真空腔。e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。6.6 設定加速電壓及 WD 依試片及實驗需求而定。6.7 檢視真空腔中的壓力,等候 PVG 值達到 9.63X10-5 Pao6.8由藍色轉變成綠色，待電流值達到設定值一般設定值為 10uAo 6.9Gun 和真空腔中的
5、閥門即會打開。6.10 調整影像a.25倍利用移b. 用搖桿掌握 x、y 位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。c. 調整聚焦及像差至影像清楚先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差 x、y,直至影像清楚後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及形的情況發生，應先調整 FOCUS 再調幣像差 x、y 直到影像完全清楚。6.11 傾斜觀察：根據試片使用的 holder size 及 STAGE 上的 WD 查詢對照表調整 tilt 角度，不行超過上限規定。6.12 BEI 觀察：a. 確認 tilt=O WD 不得低於8mm。b.c.視窗右上方，約 37 秒 BEI detector 會自動進入 ch
6、amber,此時 1 d.影像調整至清楚狀態在 SEI 或 LEI 模式下，再點選 Image Selectore調整亮度及對比,假设訊號太弱，則增加 Probe Current I 般設定值為 10o6.13 儲存影像a有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇，假设經FINE VIEW 使影像凍結。b此模式可將 SEM 之操作參數一併存入儲存影像，檔案可存成 bmp.tif、jpgo6.14 實驗結束步驟 a.此時燈會亮起；Gun 和真空腔中的閥門關閉。b由綠色轉變成藍色。c假设有執行 BEI 或察分析者, 應將其 detector 伸出dE.D復S原相關設定(ex. Freeze Fine
7、view放ch大am倍be率r。、Probe Current等)e確認 tilt=O、STAGE 上 WD=8mm 及螢幕 WD 設定 8mm0f.確認 STAGE 歸位 X 二 35.00、Y 二 25.00、R =0.00(Soft:stage/exchange選擇 holder -exchange) g-h以試片傳送桿緩緩抽出試片座 i約一秒鐘聽到“喀” 一聲等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。 j取出試片座，並檢查艙門之 Oring 及電線。k.閃爍，使 Specimen-exchange chamber 維持真空。1填寫儀器使用記錄表及儀器使用檢查表。7. 留意事項7.1
8、 準備黏貼試片時請戴手套，並請丨次戴好，以免手上的汗水和油脂污染了手套，間接污染了試片座。請儘量保持手套的乾淨、勤更換之7.2 試片的前處哩，包含使用 Pt coater 或將試片黏貼於銅基座及固定 等步驟，請各持有 License 的操作者自己親自動手，勿假手於他人，並多 留意試片的清潔度。7.3 holder 及 90 銅座請勿直接放入 coater 中鍍 Pt。如試片欲直接固定 於holder。上或欲作 90 觀察時，鍍 Pt 請將試片以銅膠帶貼於載玻片上，再放 入coater中濺鍍，完成後在將英固定或貼於銅座上。7.4 假设試片不導電，需作鍍 Pt 處理時，請留意導電通路的製作。7.5
9、 試片就定位後，以空氣噴球或鎳子輕推試片確定其是否貼牢。O7.6 試片黏在試片載台上時最好對齊，試片座上的四顆固定試片載台 的小螺絲不行旋太出來約伸出 0.5mm 即可，以免螺絲遺失，放入試片座進入試片室前，請在外面先確認各個試片的相對位置，以免放入 chamber 後，找不到試片。7.7 試片简洁有 Outgasing 的現象或基板是多孔性的物質，請將試片預 先以 hotplate 於適當溫度預烤 20 分鐘以上，再置於 coater 中抽真空。7.8 PVG 的真空度未達 9.63x10-5 Pa 7.9的情形之下如要短暫的離開，請務必將倍率放到最7.10 觀測完畢，請留意試片數量是否與 loading 前一样，如試片不滲 遺留在chamber 中，請通知技術員處理。7.11 觀測完畢，請將試片取回自己保存，銅或碳膠帶請撕下，並以酒 精小心仔細地將銅座擦拭清潔乾淨。7.12 全部工具使用完畢請放回原位、並請保持桌面及地板的清潔乾淨。
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书
