光罩版制作工艺简介课件.ppt

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1、2017-09-18吴焕光罩版制作工艺简介 铬 版 制 作 简 介 05 0403 02 01 掩 膜 版 的 分 类 铬 版 原 材 结 构 掩 膜 制 作 流 程 品 质 特 性 与 检 验 铬 版 存 放 要 求 铬 版 ：（ 精 度 高 、 耐 用 、 价 格 高 ）干 版（ 精 度 适 中 、 耐 用 性 适 中 、 价 格 适 中 ）菲 林（ 精 度 低 、 不 耐 用 、 价 格 低 ）凸 版 （ APR)版 （ 主 要 用 来 转 移 PI液 等 ） 1、 掩 膜 版 的 分 类 2、 铬 版 原 材 结 构从 膜 面 看 ： 表 观 看 起 来 比 较 暗 ， 呈 深 褐 色

2、 从 非 膜 面 （ 玻 璃 ） 看 ： 表 观 看 起 来 银 亮 色 ， 可 以 清 楚 看 清反 射 物 体 类 似 于 镜 子 一 样光 阻氧 化 铬铬基 板 通 常 是 高 纯 度 ， 低 反 射 率 ， 低 热 膨 胀 系 数 的 石 英 玻 璃 。 铬 版 的 不 透 光层 是 通 过 溅 射 的 方 法 镀 在 玻 璃 下 方 厚 约 700A的 铬 层 ， 铬 的 下 方 还 有 一 层 由铬 的 氮 化 物 或 氧 化 物 形 成 的 薄 膜 其 作 用 是 增 加 铬 与 玻 璃 的 粘 附 力 。 选 择 铬膜 是 因 为 它 的 沉 积 与 刻 蚀 相 对 比 较 容

3、 易 ， 而 且 对 光 线 完 全 不 透 明 。 铬 版 原 材 玻 璃 ， 依 材 质 分 类 ： 苏 打 玻 璃 、 石 英 玻 璃 、 硼 硅 玻 璃 ；1. 硼 硅 玻 璃 ， 优 点 不 突 出 ， 很 少 使 用 ；2. 石 英 玻 璃 的 硬 度 、 膨 胀 系 数 都 远 优 于 苏 打 玻 璃 ， 一 般 用 在 对 精 度 要 求 较 高 的 产 品 上 ； 3、 掩 膜 制 作 流 程 掩 膜 版 的 图 像 形 成 流 程（ 除 曝 光 外 ， 其 它 与 一 般 的 黄 光 过 程 类 似 ）曝 光 过 程 ：掩 膜 版 的 曝 光 过 程 与 一 般 产 品 的

4、 的 曝 光 差 异 最 大 的 地 方 ， 就 是 一 般 的 曝 光 ，都 是 整 版 一 次 性 完 成 ； 而 掩 膜 版 的 精 度 要 求 非 常 高 ， 需 要 使 用 激 光 束 （ 或 电子 束 ） 逐 行 扫 描 的 方 式 来 完 成 ， 因 此 ， 曝 光 一 片 掩 膜 版 ， 需 要 相 当 长 时 间 。 4、 品 质 特 性 与 检 验 、 CD (CRITICAL DIMENSION)指 光 照 图 形 线 宽 大 小 一 般 CUSTOMER设 计 的 图 形 1倍 ,光 罩 会 因 厂 家 STEPPER制 程 不同 有 1X,4X,5X之 相 对 图 形

5、 。 光 罩 厂 依 据 CUSTOMER的 需 求 提 供 正 确 之 CD大 小 ,并 合乎 其 要 求 的 公 差 规 格 . 、 PATTERN/LAYOUT(图 形 与 布 局 准 确 性 )光 罩 厂 依 据 CUSTOMER的 需 求 将 其 所 提 供 资 料 的 图 形 制 作 在 光 罩 上 需 确 认 图 形 和 布 局 是 否 准 确 。 客 户 提 供 资 料 光 罩 (图 形 正 确 ) 光 罩 (图 形 不 正 确 ) 光 罩 (布 局 不 正 确 ) A AA A A AA A F FF F A A . DEFECT (缺 陷 )除 CUSTOMER原 设 计

6、图 形 外 ， 多 出 的 部 份 及 少 的 部 份 都 成 为 不 良 。一 般 铬 膜 光 罩 常 有 的 缺 陷 如 下 ：HARD DEFECT 制 程 中 产 生 无 法 用 清 洗 或 吹 拭 清 除 ,需 以 雷 射 或 离 子 束 修 补 机 修补 的 缺 陷 (1) OS(OPAQUE SPOT)铬 残 留 :图 形 透 明 区 （ 玻 璃 区 )多 余 未 理 掉 的 铬 金 属 残 留 。 (2) PH(PIN HOLE)針 孔 /铬 膜 脱 落 :图 形 黑 区 (铬 膜 区 )铬 膜 脱 落 透 光 缺 陷 。 A SOFT DEFECT :制 程 或 环 境 中

7、产 生 的 粉 尘 、 脏 污 可 用 清 洗 或 吹 拭 清 除 的 异 常 。B KILLING DEFECT :缺 陷 太 大 無 无 法 修 补 或 伤 及 玻 璃 造 成 內 伤 缺 陷 .C 5、 铬 版 存 放 要 求铬 版 为 硬 掩 膜 版 ， 为 防 止 其 变 形 ， 尽 量 竖 直 存 放 。 为 了 保 证 掩 膜 版 表 面 的 洁净 度 ， 一 般 要 保 存 在 1000 级 以 上 的 无 尘 室 内 ， 温 度 ： 2026 ， 湿 度 需 维 持 在40-60%RH 以 内 ， 静 电 电 压 控 制 在 500 伏 以 内 。因 为 铬 版 的 基 材

8、是 玻 璃 ， 如 果 需 要 对 铬 版 长 期 保 存 ， 则 需 要 保 持 在 干 燥 的 环境 里 ， 以 防 止 玻 璃 出 现 发 霉 现 象 ， 影 响 光 学 性 能 。为 了 尽 可 能 地 避 免 划 、 碰 伤 ， 影 响 寿 命 ， 使 用 时 要 轻 拿 轻 放 ， 曝 光 前 必 须 对光 检 查 铬 版 表 面 是 否 有 硬 性 颗 粒 ， 在 曝 光 过 程 中 也 需 要 经 常 用 净 化 后 的 压 缩 气 体 清除 铬 版 表 面 的 玻 璃 碎 片 。 使 用 完 毕 后 ， 应 将 铬 版 表 面 重 新 清 洗 洁 净 ， 干 燥 后 再 保 存 。 谢 谢