一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备
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19)中华人民共和国国家知识产权局汐(12 )实用新型专利(10)申请公布号CN210085563U(43)申请公布日2020.02.18(21)申请号 CN201920895209.7(22)申请日 2019.06.14(71)申请人 沈阳乐贝真空技术有限公司地址110135 辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室(72)发明人 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪(74)专利代理机构 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 代理人 王荣亮(51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备(57)摘要一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备,解 决现有技术存在的靶材直径小,弧光不够细腻, 溅射颗粒大,膜层均匀性差,涂层与基体的结合 强度和韧性低,耐高温抗氧化能力弱的问题。包 括内部设置有工件旋转架的真空室,其特征在 于:真空室一侧的抽气口与真空抽气系统相连, 真空室另一侧的开口处活动设置有真空密封门, 真空密封门一端与真空室开口的侧部相铰接,真 空密封门另一端锁固在真空室开口的外侧壁上;
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