ESD风险评估报告.pptx

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1、EPA ESD Estimate Report 为 何 要 做 ESD防 护由 于 集 成 电 路 元 器 件 的 线 路 缩 小 , 耐 压 降 低 , 线 路 面积 减 小 , 使 得 器 件 耐 静 电 冲 击 能 力 的 减 弱 , 静 电 电 场( Static Electric Field) 和 静 电 电 流 ( ESD current) 成 为这 些 高 密 度 元 器 件 的 致 命 杀 手 。 同 时 大 量 的 塑 料 制 品 等高 绝 缘 材 料 的 普 遍 应 用 , 导 致 产 生 静 电 的 机 会 大 增 。 日常 生 活 中 如 走 动 , 空 气 流 动 ,

2、 搬 运 等 都 能 产 生 静 电 。 人们 一 般 认 为 只 有 CMOS类 的 晶 片 才 对 静 电 敏 感 , 实 际 上 ,集 成 度 高 的 元 器 件 电 路 都 很 敏 感 。 随 着 越 来 越 多 的 客 户 (国 内 外 的 )认 识 到 ESD对 元 件 的破 坏 性 , 也 有 示 例 因 为 公 司 因 ESD没 做 好 而 导 致 失 去 订单 的 。 ESD/EOS的 危 害ESD/EOS 5 9 %电 子 测 试 3 %氧 化 /钝 化 3 %导 体 失 效 3 %硅 片 断 裂 3 % 引 脚 短 路 /开 路 7 %引 脚 连 接 1 5 %其 它 6

3、 % 以 上 是 根 据 专 业 数 据 统 计 得 出 的 结 论 , 按该 数 据 所 示 ESD/EOS在 元 器 件 损 伤 类 的 问题 占 到 近 6 0 %硬 损 伤 : 器 件 直 接 不 能 工 作 .软 损 伤 : ESD减 弱 了 器 件 或 单 板的 性 能 , 但 仍 能 通 过 测 试 。 单 板或 器 件 的 特 性 变 差 , 最 终 失 效 . 静 电 对 电 子 产 品 的 主 要 影 响 以 及 特 点1 . 静 电 吸 附 灰 尘 , 改 变 线 路 间 的 阻 抗 , 影 响 产 品 的 功 能 与 寿 命 。 2 . 因 电 场 或 电 流 破 坏

4、元 件 的 绝 缘 或 导 体 , 使 元 件 不 能 工 作 ( 完全 破 坏 ) 。3 . 因 瞬 间 的 电 场 或 电 流 产 生 的 热 , 元 件 受 伤 , 仍 能 工 作 , 寿 命受 损 。4 . 高 电 位 : 可 达 数 万 至 数 十 万 伏 , 操 作 时 常 达 数 百 至 数 千 伏( 人 通 常 对 3 KV以 下 静 电 不 易 感 觉 到 ) 。5 . 低 电 量 : 静 电 流 多 为 微 安 级 ( 尖 端 瞬 间 放 电 例 外 ) 。 6 . 作 用 时 间 短 : 微 秒 级 。7 . 受 环 境 影 响 大 : 特 别 是 湿 度 , 湿 度 上

5、 升 则 静 电 积 累 减 少 , 静电 压 下 降 。 静 电 对 电 子 产 品 的 主 要 影 响 以 及 特 点 隐 蔽 性 :人 体 不 能 直 接 感 知 静 电 , 除 非 发 生 静 电 放 电 , 但 发 生 静 电 放 电 ,人 体 也 不 一 定 能 有 电 击 的 感 觉 。 这 是 因 为 人 体 感 知 的 静 电 放 电 电 压 为 2 -3 KV。 潜 伏 性 :有 些 电 子 元 器 件 受 到 静 电 损 伤 后 性 能 没 有 明 显 的 下 降 , 但 多 次 累加 放 电 会 给 器 件 造 成 内 伤 而 形 成 隐 患 , 而 且 增 加 了 器

6、 件 对 静 电 的 敏 感 性 。已 产 生 的 问 题 并 无 任 何 方 法 可 治 愈 。 随 机 性 :电 子 元 件 什 么 情 况 下 会 遭 受 到 静 电 破 坏 呢 ? 可 以 这 么 说 , 从 一 个元 件 生 产 后 一 直 到 它 损 坏 以 前 所 有 的 过 程 都 受 到 静 电 的 威 胁 , 而 这 些 静 电的 产 生 也 具 有 随 机 性 。 由 于 静 电 的 产 生 和 放 电 都 是 瞬 间 发 生 的 , 极 难 预 测和 防 护 。 复 杂 性 :静 电 放 电 损 伤 分 板 工 作 , 因 电 子 产 品 的 精 细 , 微 小 的 结

7、 构 特 点 而费 时 、 费 事 、 费 钱 , 要 求 较 复 杂 的 技 术 往 往 需 要 使 用 扫 描 电 镜 等 精 密 仪 器 ,即 使 如 此 有 些 静 电 损 伤 现 象 也 难 以 与 其 他 原 因 造 成 的 损 伤 加 以 区 别 , 使 人误 把 静 电 损 伤 失 效 当 作 其 它 失 效 , 这 是 对 静 电 放 电 损 害 未 充 分 认 识 之 前 , 常 常 归 咎 于 早 期 失 效 或 情 况 不 明 的 失 效 , 从 而 不 自 觉 的 掩 盖 了 失 效 的 真 正原 因 。 严 重 性 :ESD问 题 会 造 成 发 到 客 户 处 的

8、 零 件 功 能 不 稳 定 或 丧 失 功 能 而 带 来抱 怨 , 甚 至 导 致 大 批 退 货 和 主 机 厂 停 线 。 静 电 控 制 为 什 么 要 进 行 ESD控 制 ( Why) 哪 些 人 要 参 与 进 行 ESD控 制 ( Who) 在 哪 些 地 方 需 要 进 行 ESD控 制 ( Where) 控 制 什 么 ( WHAT) 怎 样 进 行 ESD控 制 ( How) 静 电 控 制 ( WHY)1 . 静 电 只 能 被 控 制 , 不 能 被 消 除 除 非 在 真空 状 态2 . 内 部 损 失 : 时 间 , 人 力 资 源 等3 . 外 部 损 失 :

9、 信 誉 度 丧 失 、 客 户 满 意 度 下降 静 电 控 制 ( WHO) 供 应 商 研 发 人 员 采 购 人 员 仓 库 人 员 生 产 以 及 测 试 人 员 包 装 人 员 所 有 接 触 产 品 的 人 员 , 特 别 是 主 管 和 技 术 人 员 。 静 电 控 制 ( WHERE)供 应 商实 验 室IQC( 重 点 控 制 )仓 库生 产 线装 配 和 测 试维 修 ( 重 点 控 制 ) 静 电 控 制 ( WHAT)EPA(ESD PROTECTION AREA)环 境 个 人 材 料地 板 个 人 物 品 原 材 料温 湿 度 工 衣 周 转 材 料工 作 台

10、工 鞋 包 装 材 料工 装 夹 具 接 地 另 外 还 需 要 相 应 的 流 程 制 度 来 保 证 ! ! 静 电 控 制 ( HOW)静 电 控 制 的 原 则在 EPA控 制 区 域 操 作 所 有 静 电 敏 感 器 件存 放 、 运 输 所 有 静 电 敏 感 器 件 要 用 法 拉 第 笼测 试 和 监 控 整 个 静 电 控 制 流 程 静 电 控 制 ( HOW)防 静 电 工 作 台 防 静 电 台 垫 的 尺 寸 应 不 小 于 工 作 台 面 的 大 小 ; 防 静 电 台 垫 均 须 正 面 ( 即 防 静 电 面 、 耗 散 层 ) 朝 上 、背 面 ( 即 导

11、电 层 ) 朝 下 铺 设 ; 多 个 防 静 电 工 作 台 的 接 地 线 不 能 相 互 串 接 , 应 以 并联 方 式 与 公 共 接 地 线 连 接 , 每 块 台 垫 ( 地 垫 ) 必 须且 只 需 接 一 根 防 静 电 地 线 。 静 电 控 制 ( HOW)1 .护 腕 部 分 的 金 属 铁 皮 一 定 要 紧 贴 人 体 手 腕 , 即 保 证 静 电 测 试 时 通 过 的 状 态 即 可2 .接 地 端 一 定 要 通 过 接 地 插 口 , 将 手 腕 部 分 连 接 至 大 地3 .离 开 座 位 时 , 将 连 接 于 接 地 插 口 的 接 地 端 拔 起

12、 即 可 , 护 腕 部 分 不 需 移 动 静 电 腕 带 准 确 佩 戴 及 注 意 事 项 静 电 腕 带 的 接 触 面 , 如 下 图 红 圈 部 分 , 该 金 属 片 必 须 在 佩 戴 时 和 人 体 手 臂 接 触 良 好 静 电 手 环 普 通 防 静 电 手 腕 带 使 用 柔 软 而 富 用 弹 性 的 材 料 配 以 导 电 丝 混 编 而 成 。 内 置 电 阻 : 1M %5。 静 电 泄 放 时 间 : 0.1S 兼 顾 人 体 安 全 强 烈 建 议 取 消 无 线 静 电 手 环 ,因 为 该 手 环 的 效 果 远 远 达 不 到理 论 效 果 静 电 控

13、 制 ( HOW)ESD防 护 区 域 的 的 所 有 设 备 与 设 施 都 应 该 与 大 地 保 持 硬 接地 或 软 接 地 状 态 , 以 实 现 ESD防 护 的 作 用 针 对 ESD防 护 区 域 的桌 子 ,都 应 用 黄 绿 线 接 地 .且 有 的 桌 子 需 铺 设 ESD防 护 桌 布 。依 据 ESD防 护 标 准 : 与 敏 感 元 器 件 接 触 的 桌 子 需 铺 设 防 静电 桌 布 , 如 IQC电 子 来 料 检 验 。 静 电 控 制 ( HOW)人 员 在 正 常 作 业 时 , 通 过 椅 子 /人 体 本 身 , 使 手 上 的 产 品 与大 地

14、 形 成 一 个 导 通 的 回 路 , 起 到 ESD防 护 的 作 用 。根 据 ESD20.20标 准 产 线 上 所 有 的 椅 子 必 须 使 用 防 静 电 椅 , 椅子 需 要 使 用 接 地 链 链 接 ( 表 面 电 阻 为 1*105到 1*109欧 姆 、 对 地电 阻 为 1*105到 1*109)作 业 人 员 的 坐 姿 需 双 脚 接 触 到 地 面 , 不 允 许 单 脚 或 双 脚 离 地 静 电 控 制 ( HOW)人 员 规 范防 静 电 工 作 服 、 工 作 鞋 操 作 指 引 每 月 定 期 对 生 产 人 员 的 衣 服 、 鞋 子 及 装 料 的

15、 tray进 行 抽 检 ,以 保 证 其 在 ESD防 护 规 格 内 。 定 期 的 对 衣 服 , 鞋 子 进 行 清 洗 , 保 持 其 整 洁 静 电 是 表 面 积 累 , 尖 端 放 电 , 单 纯 的 手 或 脚 都 不 好 , 人 体放 电 最 经 常 的 是 指 尖 、 毛 发 , 所 以 防 静 电 帽 也 是 很 有 必 要的 , 不 能 留 长 发 , 帽 子 必 须 戴 好 , 不 允 许 头 发 在 帽 外 。 静 电 控 制 ( HOW)人 员 规 范作 业 过 程 的 防 静 电 指 引 进 入 EPA区 域 前 , 测 试 腕 带 和 人 体 电 阻 , 测

16、 试 通 过 并 做 好记 录 方 可 进 入 ; 接 触 ESSD及 组 件 之 前 应 戴 好 防 静 电 腕 带 , 防 静 电 腕 带 插 入香 焦 插 孔 中 接 地 , 要 保 证 腕 带 与 皮 肤 接 触 良 好 ; 确 认 工 作 区 域 内 的 工 具 、 设 备 和 仪 器 安 全 、 可 靠 接 地 , 尤其 对 那 些 经 常 移 动 的 设 备 要 特 别 注 意 ; 确 认 工 作 区 内 的 静 电 源 ( 例 如 : 非 防 静 电 塑 料 袋 、 非 防 静电 泡 膜 、 橡 胶 等 ) 远 离 ESD敏 感 器 件 和 敏 感 单 板 ( 至 少 3 0

17、CM) 。 静 电 控 制 ( HOW)人 员 规 范防 静 电 工 作 服 、 工 作 鞋 操 作 指 引 所 有 人 员 进 入 防 静 电 区 域 必 须 穿 好 防 静 电 工 作 服 、 防 静电 工 作 鞋 或 防 静 电 鞋 套 , 已 配 发 工 作 帽 的 还 必 须 戴 好 工作 帽 。 工 作 服 外 部 严 禁 携 带 除 工 卡 和 笔 之 外 的 金 属 物 件 , 防 静电 鞋 内 不 得 垫 鞋 垫 。 更 换 工 作 服 应 在 指 定 地 点 进 行 , 不 允 许 在 设 备 旁 边 穿 、脱 工 作 服 。 静 电 控 制 ( HOW)防 静 电 包 装

18、 、 存 储 、 转 运 温 度 : 2 0 2 5 ; 相 对 湿 度 (RH): 4 0 %6 0 % 注 意 : 对 环 境 有 特 殊 要 求 的 , 如 潮 湿 敏 感 器 件 等 , 请 遵 照 相应 的 专 用 操 作 指 导 书 执 行 。 存 储 器 具 : 可 用 于 直 接 存 储 静 电 敏 感 器 件 及 组 件 的 器 具 有 防 静 电 器 件 盒 、 IC管 、 防 静 电 袋 、 防 静 电 周 转 箱 、 单 板周 转 车 等 。 静 电 控 制 ( HOW)防 静 电 包 装 、 存 储 、 转 运A 静 电 敏 感 器 件 须 使 用 防 静 电 器 件

19、 盒 、 屏 蔽 袋 、 防 静 电 器 件 管 包 装存 放 , 静 电 敏 感 单 板 和 组 件 需 使 用 屏 蔽 袋 、 防 静 电 Tray、 周 转 箱 、周 转 车 包 装 存 放 。B 静 电 敏 感 器 件 尽 量 保 持 原 包 装 状 态 , 严 禁 随 意 拆 封 。C 用 于 静 电 敏 感 器 件 散 装 清 点 和 发 料 的 工 作 台 必 须 铺 设 防 静 电 台 垫 ,并 可 靠 接 地 。 操 作 人 员 应 佩 带 防 静 电 手 套 、 指 套 或 将 有 绳 防 静电 腕 带 接 入 防 静 电 接 地 系 统 。D 静 电 敏 感 器 件 在

20、储 运 过 程 中 , 勿 靠 近 强 静 电 、 强 电 磁 场 , 如 电 脑主 机 及 其 显 示 器 上 方 、 公 共 人 行 通 道 两 侧 等 。 静 电 控 制 ( HOW)离 子 风 机 、 地 板1.定 期 用 离 子 风 机 测 试 仪 进 行 抽 查 校 准 离 子 风 扇 , 且 保 证 且扇 叶 的 清 洁 度 , 工 作 时 须 保 证 其 对 准 有 效 工 作 区 域其 spec为 : 消 散 时 间 为 3S 平 衡 电 压 为 35V测 试 方 式 : 测 试 板 与 离 子 风 机 的 距 离 为 30-50cm,测 3次 取 平 均 值 记 录2.每

21、月 针 对 ESD防 护 区 域 的 地 板 进 行 点 检 , 每 天 需 保 证 其干 净 , 定 期 保 养 , 减 少 其 磨 损 度 ESD防 护 管 理 的 重 点 事 项 -员 工 的 ESD知 识 培 训为 了 更 好 的 维 护 公 司 的 ESD2 0 .2 0 的 体 系 正 常 运 行 , 需 要进 行 对 员 工 的 ESD培 训 。 培 训 的 对 象 : 工 程 师 、 生 产 主管 、 班 组 长 、 一 线 作 业 人 员 ; 培 训 计 划 分 为 : 新 员 工 入职 培 训 、 在 职 员 工 的 年 度 培 训 。培 训 内 容 主 要 是 讲 : 让

22、 员 工 认 识 到 ESD/EOS对 电 子 类 的产 品 的 风 险 性 。 结 论引 入 ESD2 0 .2 0 体 系 需 要 有 如 下 文 件 表 单 来 维 护 该 体 系 的 正 常 运 行 :a) 静 电 防 护 程 序 书b) 静 电 手 环 点 检 表c) 静 电 防 护 点 检 表d) 表 面 电 阻 测 试 作 业 指 导 书e) 静 电 电 压 测 试 作 业 指 导 书f) 离 子 风 机 平 板 测 试 指 导 书设 备 设 施 有 :a) 表 面 电 阻 测 试 仪b) 静 电 电 压 测 试 仪 c) 离 子 风 机 平 板 测 试 仪d) 静 电 手 环 测 试 仪e) 温 湿 度 计

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