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1、单靶镀膜工艺操作规程编 号 ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山东中恒科技第 1 页 共 4 页1. 适用范围本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。2. 技术要求2.1铝靶的直径60mm；2.2压缩空气的压强应到达0.40.6Mpa；2.3镀膜操作室的室温小于35，相对湿度小于70%RH；2.4镀室内清洁，无灰尘、异物。3. 操作步骤3.1工作准备翻开压缩空气阀门，检查空气压强是否到达0.40.6Mpa。翻开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和阀门有无泄漏。检查氩气、氮气两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏,分别翻开氩气、氮气的总阀。3.2开机开启本机电源。将机
2、箱控制面板上的电源开关置于“开的位置，手动状态下，翻开“机械泵，延时1分钟后，压差阀自动翻开，按下“前级阀按钮，当电离计显示数值低于8Pa时，开“机械泵扩散泵，扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160后，方可进行正常的操作。缓慢调节氩气、氮气减压阀，得氩气、氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。集热管单靶镀膜工艺操作规程编 号 ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山东中恒科技第 2 页 共 4 页翻开质量流量计显示器电源开关。翻开计算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。打至 “放气按钮，放完气后打到“停，然后翻开镀室门。3.3装管翻开转架电源开关，将合格内管插入转架插杆。装管时，预先
3、戴好一次性手套，外层再戴上干净的细纱手套，戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。玻璃管全部插满插杆后，观察每支管子的自转状态，确定玻璃管间无碰撞后，关闭转架电源开关，关闭镀室门。3.4粗抽真空将“前级拨到“停拨到“粗抽系统进入“粗抽，复合计开始显示读数。3.5精抽真空当复合计显示值小于8Pa时，将按钮由“粗抽拨到 “停然后到“前级再到“高阀。3.6溅射镀膜当高真空到达工艺设定复合计显示值后，将按钮到达“光栏按下“氩气开关将质量流量计到达“自动“阀控。开始进氩气。翻开转架旋转电源开关、慢慢调至8010V。当电离计显示到工艺压强时，翻开靶电源，调节电流旋钮至规定电流值。直到电压到达400V
4、，按下“运行开始镀膜。当镀膜机处于溅射工作状态时，操作工随时观察设备的运行状态，注意各仪器仪表显示的数值变化，严格按要求填写?镀膜操作记录?。集热管单靶镀膜工艺操作规程编 号 ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山东中恒科技第 3 页 共 4 页3.7装配支架装填支架前，检查支架清洗是否干净，焊接是否牢固。3.7.2支架装填到外管的圆头部，装填时应防止划伤外管的内壁。装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接触支架以免造成污染。3.8终止溅射镀膜 计算机程序运行到1秒后，执行如下操作：当镀室内真空度到达9.010-2Pa以上后，将“高阀关闭，到达“前级状态，将按钮到达“放气放完
5、气后到达“停3.9出管取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管移出镀室。内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放入时应注意防止内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。3.10连续工作时重复3.33.9的操作步骤。3.11产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下工序。3.12 关机当镀膜机要停止工作时，执行如下机程序：在镀膜机停止工作前，先关镀室门，翻开 “粗抽按钮，将镀室真空度抽到8Pa以下。然后将“粗抽拨到“停拨到“前级，将按钮“机械泵扩散泵拨到“机械泵，冷却60之后关掉
6、“前级关掉“机械泵。集热管单靶镀膜工艺操作规程编 号 ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山东中恒科技第 4 页 共 4 页关两气总阀高压、低压。3.12.4关循环水，关电源总开关。3.12.5假设设备关机后长期停放，那么需放净水套及盘管内的循环水，并用高压空气吹干。4. 质量标准整体膜色均匀，管口无明显变浅区，膜层无划伤、无脱落；内外管及卡子装配到位。5. 检查方法 目测 日期： 日期： 日期：1. 在组织间主任的指导下，安排本班组的日常生产，并处理生产过程中的各种问题。 2. 做好本班组员工之间的工作协调。 3. 按照工艺规程指导本班组人员生产。 4. 编写岗位操作规程，经批准后贯彻执行，并经常检查和指导各岗位正确执行。 5. 负责车间工艺指标执行情况的日常检查，保证生产稳定运行。 6. 组织本班组员工严格按照工艺规程和操作规程执行。 7. 负责组织、检查本班组各种原始记录、工艺记录。 8. 负责班组生产报表的制定。 8. 协助车间主任对发生的技术质量事故进行调查、分析、处理。 9. 做好班组平安生产检查工作，及时记录，对发现问题及时处理并向上级汇报。 10. 做好本班组现场5S管理。 11. 负责各项生产纪律的落实、检查考核。 12. 负责班组下属员工的培训、考核工作。 13. 负责班组级平安教育。 14. 领导安排的其它工作。
基础科学单靶镀膜工艺操作规程
