辽宁半导体专用设备项目可行性研究报告

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1、目录第一章 项目总论8一、 项目名称及建设性质8二、 项目承办单位8三、 项目定位及建设理由9四、 报告编制说明10五、 项目建设选址12六、 项目生产规模12七、 建筑物建设规模12八、 环境影响13九、 原辅材料及设备13十、 项目总投资及资金构成13十一、 资金筹措方案14十二、 项目预期经济效益规划目标14十三、 项目建设进度规划15主要经济指标一览表15第二章 项目建设单位说明18一、 公司基本信息18二、 公司简介18三、 公司竞争优势19四、 公司主要财务数据20公司合并资产负债表主要数据20公司合并利润表主要数据20五、 核心人员介绍21六、 经营宗旨22七、 公司发展规划23

2、第三章 市场分析29一、 导体设备行业发展趋势29二、 导体设备行业发展趋势31三、 影响发展的有利因素和不利因素33第四章 项目背景、必要性38一、 我国半导体设备行业38二、 行业发展情况和未来发展趋势39三、 半导体设备行业竞争格局及市场化情况40第五章 项目选址方案42一、 项目选址原则42二、 建设区基本情况42三、 创新驱动发展46四、 社会经济发展目标47五、 产业发展方向49六、 项目选址综合评价50第六章 SWOT分析51一、 优势分析（S）51二、 劣势分析（W）52三、 机会分析（O）53四、 威胁分析（T）53第七章 法人治理结构57一、 股东权利及义务57二、 董事6

3、2三、 高级管理人员67四、 监事69第八章 建设进度分析72一、 项目进度安排72项目实施进度计划一览表72二、 项目实施保障措施73第九章 劳动安全评价74一、 编制依据74二、 防范措施75三、 预期效果评价78第十章 原辅材料供应、成品管理79一、 项目建设期原辅材料供应情况79二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理79第十一章 项目投资分析81一、 投资估算的编制说明81二、 建设投资估算81建设投资估算表83三、 建设期利息83建设期利息估算表84四、 流动资金85流动资金估算表85五、 项目总投资86总投资及构成一览表86六、 资金筹措与投资计划87项目投资计划与资金筹措一览表8

4、8第十二章 经济效益90一、 基本假设及基础参数选取90二、 经济评价财务测算90营业收入、税金及附加和增值税估算表90综合总成本费用估算表92利润及利润分配表94三、 项目盈利能力分析94项目投资现金流量表96四、 财务生存能力分析97五、 偿债能力分析98借款还本付息计划表99六、 经济评价结论99第十三章 项目招标及投标分析101一、 项目招标依据101二、 项目招标范围101三、 招标要求102四、 招标组织方式104五、 招标信息发布106第十四章 风险防范107一、 项目风险分析107二、 项目风险对策109第十五章 总结评价说明112第十六章 附表114营业收入、税金及附加和增值

5、税估算表114综合总成本费用估算表114固定资产折旧费估算表115无形资产和其他资产摊销估算表116利润及利润分配表117项目投资现金流量表118借款还本付息计划表119建设投资估算表120建设期利息估算表120固定资产投资估算表121流动资金估算表122总投资及构成一览表123项目投资计划与资金筹措一览表124报告说明近年来，电子信息技术发展迅速，各类智能化、网络化和移动化的便携消费电子产品层出不穷，而新一代网络通信、物联网、云计算、节能环保等新兴产业更成为半导体产业发展的新动力，共同推动全球半导体行业持续快速蓬勃发展。随着我国成为世界电子信息产品最重要的生产基地之一，越来越多的国际半导体企

6、业向我国转移产能，持续的产能转移不仅带动了国内半导体整体产业规模和技术水平的提高，为半导体设备制造业提供了巨大的市场空间，也促进了我国半导体产业专业人才的培养及配套行业的发展，半导体产业环境的良性发展为我国半导体设备制造业产业的扩张和升级提供了机遇。根据谨慎财务估算，项目总投资40879.25万元，其中：建设投资32689.36万元，占项目总投资的79.97%；建设期利息372.51万元，占项目总投资的0.91%；流动资金7817.38万元，占项目总投资的19.12%。项目正常运营每年营业收入65900.00万元，综合总成本费用51279.86万元，净利润10695.36万元，财务内部收益率2

7、0.37%，财务净现值8604.93万元，全部投资回收期5.63年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。本报告基于可信的公开资料，参考行业研究模型，旨在对项目进行合理的逻辑分析研究。本报告仅作为投资参考或作为参考范文模板用途。第一章 项目总论一、 项目名称及建设性质（一）项目名称辽宁半导体专用设备项目（二）项目建设性质本项目属于扩建项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xx集团有限公司（二）项目联系人史xx（三）项目建设单位概况公

8、司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经

9、营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。公司不断推动企业品牌建设，实施品牌战略，增强品牌意识，提升品牌管理能力，实现从产品服务经营向品牌经营转变。公司积极申报注册国家及本区域著名商标等，加强品牌策划与设计，丰富品牌内涵，不断提高自主品牌产品和服务市场份额。推进区域品牌建设，提高区域内企业影响力。三、 项目定位及建设理由从产品类型看，半导体主要由集成电路、光电子器件、分立器件和传感器组成。根据WSTS2018年统计数据，2018年集成电路销售额为3,932.88亿美元，占比83.90%，同比增长14.60%，是全

10、球半导体产业增长的主要动力；光电子器件销售额为380.32亿美元，占比8.1%，同比增长9.25%；分立器件销售额为241.02亿美元，占比5.1%，同比增长11.32%；传感器销售额为133.56亿美元，占比2.9%，同比增长6.24%。必须认清形势，增强忧患意识，强化底线思维，保持战略定力，自觉遵循经济规律、自然规律和社会规律，紧紧抓住战略机遇期，积极主动适应经济发展新常态，坚持问题导向，以坚强毅力和攻坚克难的勇气，切实解决突出矛盾和问题，把辽宁老工业基地振兴发展大业推向前进。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、国家经济和社会发展的长期规划，部门与地区规划，经济建设的指导方针、任务、产

11、业政策、投资政策和技术经济政策以及国家和地方法规等；2、经过批准的项目建议书和在项目建议书批准后签订的意向性协议等；3、当地的拟建厂址的自然、经济、社会等基础资料；4、有关国家、地区和行业的工程技术、经济方面的法令、法规、标准定额资料等；5、由国家颁布的建设项目可行性研究及经济评价的有关规定；6、相关市场调研报告等。（二）报告编制原则本项目从节约资源、保护环境的角度出发，遵循创新、先进、可靠、实用、效益的指导方针。保证本项目技术先进、质量优良、保证进度、节省投资、提高效益，充分利用成熟、先进经验，实现降低成本、提高经济效益的目标。1、力求全面、客观地反映实际情况，采用先进适用的技术，以经济效益

12、为中心，节约资源，提高资源利用率，做好节能减排，在采用先进适用技术的同时，做好投资费用的控制。2、根据市场和所在地区的实际情况，合理制定产品方案及工艺路线，设计上充分体现设备的技术先进，操作安全稳妥，投资经济适度的原则。3、认真贯彻国家产业政策和企业节能设计规范，努力做到合理利用能源和节约能源。采用先进工艺和高效设备，加强计量管理，提高装置自动化控制水平。4、根据拟建区域的地理位置、地形、地势、气象、交通运输等条件及安全，保护环境、节约用地原则进行布置；同时遵循国家安全、消防等有关规范。5、在环境保护、安全生产及消防等方面，本着“三同时”原则，设计上充分考虑装置在上述各方面投资，使得环境保护、

13、安全生产及消防贯穿工程的全过程。做到以新代劳，统一治理，安全生产，文明管理。（二） 报告主要内容按照项目建设公司的发展规划，依据有关规定，就本项目提出的背景及建设的必要性、建设条件、市场供需状况与销售方案、建设方案、环境影响、项目组织与管理、投资估算与资金筹措、财务分析、社会效益等内容进行分析研究，并提出研究结论。五、 项目建设选址本期项目选址位于xxx（以选址意见书为准），占地面积约99.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xx套半导体专用设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期

14、项目建筑面积127043.57，其中：生产工程80602.37，仓储工程28626.05，行政办公及生活服务设施12982.89，公共工程4832.26。八、 环境影响项目建设区域生态及自然环境良好，该项目建设及生产必须严格按照环保批复的控制性指标要求进行建设，不要在企业创造经济效益的同时对当地环境造成破坏。本项目如能在项目的建设和运营过程中落实以上针对主要污染物的防止措施，那么污染物的排放就能达到国家标准的要求，从而保证不对环境产生影响，从环保角度确保项目可行。项目建设不会对当地环境造成影响。从环保角度上，本项目的选址与建设是可行的。九、 原辅材料及设备（一）项目主要原辅材料该项目主要原辅材

15、料包括钢板、钢管、钢带、铝带、其他型材、PTFE管料、焊条、液压油。（二）主要设备主要设备包括：等离子切割机、鳍片自动焊机、弯管机、抛光机、空压机、暖风器绕片机、切管机、冲床、摇臂钻、倒角机、除尘机、高速型材下料机、烧结炉、开式固定台压力机、雕刻机、砂轮机、电焊机、车床、蛇形管生产线、膜式壁焊机。十、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资40879.25万元，其中：建设投资32689.36万元，占项目总投资的79.97%；建设期利息372.51万元，占项目总投资的0.91%；流动资金7817.38万元，占项目

16、总投资的19.12%。（二）建设投资构成本期项目建设投资32689.36万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用28130.88万元，工程建设其他费用3506.14万元，预备费1052.34万元。十一、 资金筹措方案本期项目总投资40879.25万元，其中申请银行长期贷款15204.49万元，其余部分由企业自筹。十二、 项目预期经济效益规划目标（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：65900.00万元。2、综合总成本费用（TC）：51279.86万元。3、净利润（NP）：10695.36万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.63年。

17、2、财务内部收益率：20.37%。3、财务净现值：8604.93万元。十三、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划12个月。十四、项目综合评价本项目生产所需的原辅材料来源广泛，产品市场需求旺盛，潜力巨大；本项目产品生产技术先进，产品质量、成本具有较强的竞争力，三废排放少，能够达到国家排放标准；本项目场地及周边环境经考察适合本项目建设；项目产品畅销，经济效益好，抗风险能力强，社会效益显著，符合国家的产业政策。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积66000.00约99.00亩1.1总建筑面积127043.571.2基底面积4

18、2240.001.3投资强度万元/亩312.762总投资万元40879.252.1建设投资万元32689.362.1.1工程费用万元28130.882.1.2其他费用万元3506.142.1.3预备费万元1052.342.2建设期利息万元372.512.3流动资金万元7817.383资金筹措万元40879.253.1自筹资金万元25674.763.2银行贷款万元15204.494营业收入万元65900.00正常运营年份5总成本费用万元51279.866利润总额万元14260.487净利润万元10695.368所得税万元3565.129增值税万元2997.1810税金及附加万元359.6611纳

19、税总额万元6921.9612工业增加值万元23165.1913盈亏平衡点万元26109.17产值14回收期年5.6315内部收益率20.37%所得税后16财务净现值万元8604.93所得税后第二章 项目建设单位说明一、 公司基本信息1、公司名称：xx集团有限公司2、法定代表人：史xx3、注册资本：1130万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2011-7-227、营业期限：2011-7-22至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事半导体专用设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，

20、经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司始终坚持“人本、诚信、创新、共赢”的经营理念，以“市场为导向、顾客为中心”的企业服务宗旨，竭诚为国内外客户提供优质产品和一流服务，欢迎各界人士光临指导和洽谈业务。公司不断推动企业品牌建设，实施品牌战略，增强品牌意识，提升品牌管理能力，实现从产品服务经营向品牌经营转变。公司积极申报注册国家及本区域著名商标等，加强品牌策划与设计，丰富品牌内涵，不断提高自主品牌产品和服务市场份额。推进区域品牌建设，提高区域内企业影响力。三、 公司竞争优势（一）公司具有技术研发优势，创新能力突出公司在研发方面

21、投入较高，持续进行研究开发与技术成果转化，形成企业核心的自主知识产权。公司产品在行业中的始终保持良好的技术与质量优势。此外，公司目前主要生产线为使用自有技术开发而成。（二）公司拥有技术研发、产品应用与市场开拓并进的核心团队公司的核心团队由多名具备行业多年研发、经营管理与市场经验的资深人士组成，与公司利益捆绑一致。公司稳定的核心团队促使公司形成了高效务实、团结协作的企业文化和稳定的干部队伍，为公司保持持续技术创新和不断扩张提供了必要的人力资源保障。（三）公司具有优质的行业头部客户群体公司凭借出色的技术创新、产品质量和服务，树立了良好的品牌形象，获得了较高的客户认可度。公司通过与优质客户保持稳定的

22、合作关系，对于行业的核心需求、产品变化趋势、最新技术要求的理解更为深刻，有利于研发生产更符合市场需求产品，提高公司的核心竞争力。（四）公司在行业中占据较为有利的竞争地位公司经过多年深耕，已在技术、品牌、运营效率等多方面形成竞争优势；同时随着行业的深度整合，行业集中度提升，下游客户为保障其自身原材料供应的安全与稳定，在现有竞争格局下对于公司产品的需求亦不断提升。公司较为有利的竞争地位是长期可持续发展的有力支撑。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额13011.4810409.189758.61负债总额5491.604393.2

23、84118.70股东权益合计7519.886015.905639.91公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入29807.3823845.9022355.53营业利润7380.135904.105535.10利润总额6271.615017.294703.71净利润4703.713668.893386.67归属于母公司所有者的净利润4703.713668.893386.67五、 核心人员介绍1、史xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有限

24、责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。2、曹xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。3、陈xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。4、任xx，中国国籍，1976年出生，本科学历。2003年5月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理；2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司执行董事、总经

25、理；2004年4月至2011年9月任xxx有限责任公司执行董事、总经理。2018年3月起至今任公司董事长、总经理。5、潘xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。6、陶xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、

26、副总经理、总工程师。7、史xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。8、尹xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。六、 经营宗旨凭借专业化、集约化的经营策略，发挥公司各方面的优势，创造良好的经济效益，为全体股东提供满意的经济回报。七、 公司发展规划（一）发展计划1、发展战略作为高附加值产业的重要技术支撑，正在转变发展思路，由“高速增长阶段”向“高质量发展”迈进。公司顺应产业的发展趋势，以“科技、创新”为经营理念，以技术创新、智能

27、制造、产品升级和节能环保为重点，致力于构造技术密集、资源节约、环境友好、品质优良、持续发展的新型企业，推进公司高质量可持续发展。2、经营目标目前，行业正在从粗放式扩张阶段转向高质量发展阶段，公司将进一步扩大高端产品的生产能力，抓住市场机遇，提高市场占有率；进一步加大研发投入，注重技术创新，提升公司科技研发能力；进一步加强环境保护工作，积极开发应用节能减排染整技术，保持清洁生产和节能减排的竞争优势；进一步完善公司内部治理机制，按照公司治理准则的要求规范公司运行，提升运营质量和效益，努力把公司打造成为行业的标杆企业。（二）具体发展计划1、市场开拓计划公司将在巩固现有市场基础上，根据下游行业个性化、

28、多元化的消费特点，以新技术新产品为支撑，加快市场开拓步伐。主要计划如下：（1）密切跟踪市场消费需求的变化，建立市场、技术、生产多部门联动机制，提高公司对市场变化的反应能力； （2）进一步完善市场营销网络，加强销售队伍建设，优化以营销人员为中心的销售责任制，激发营销人员的工作积极性； （3）加强品牌建设，以优质的产品和服务赢得客户，充分利用互联网宣传途径，扩大公司知名度，增加客户及市场对迎丰品牌的认同感； （4）在巩固现有市场的基础上，积极开拓新市场，推进省内外市场的均衡协调发展，进一步提升公司市场占有率。2、技术开发计划公司的技术开发工作将重点围绕提升产品品质、节能环保、知识产权保护等方面展开

29、。公司将在现有专利、商标等相关知识产权的基础上，进一步加强知识产权的保护工作，将技术研发成果整理并进行相应的专利申请，通过对公司无形资产的保护，切实做好知识产权的维护。为保证上述技术开发计划的顺利实施，公司将加大科研投入，强化研发队伍素质，创新管理机制和服务机制，积极参加行业标准的制定，不断提高企业的整体技术开发能力。3、人力资源发展计划培育、拥有一支有事业心、有创造力的人才队伍，是企业核心竞争力和可持续发展的原动力。随着经营规模的不断扩大，公司对人才的需求将更为迫切，人才对公司发展的支撑作用将进一步显现。为此，公司将重点做好以下工作：（1）加强人才的培养与引进工作，培育优秀技术人才、管理人才

30、；（2）加强与高校间的校企人才合作，充分利用高校的人才优势和教育资源优势，开展技术合作和人才培养，全面提升技术人员的整体素质；（3）加强对基层员工的技能培训和岗位培训，提高劳动熟练程度和自动化设备的操作能力，有效提高劳动效率和产品质量。（4）积极探索员工激励机制，进一步完善以绩效为导向的人力资源管理体系，充分调动员工的积极性。4、企业并购计划公司将抓住行业整合机会，根据自身发展战略，充分利用现有的综合竞争优势，整合有价值的市场资源，推进收购、兼并、控股或参股同行业具有一定互补优势的公司，实现产品经营和资本经营、产业资本与金融资本的有机结合，进一步增强公司的经营规模和市场竞争能力。5、筹融资计划

31、目前公司正处于快速发展期，新生产线建设、技术改造、科技开发、人才引进、市场拓展等方面均需较大的资金投入。公司将根据经营发展计划和需要，综合考虑融资成本、资产结构、资金使用时间等多种因素，采取多元化的筹资方式，满足不同时期的资金需求，推动公司持续、快速、健康发展。积极利用资本市场的直接融资功能，为公司的长远发展筹措资金。（三）面临困难公司资产规模将进一步增长，业务将不断发展和扩大，但在战略规划、营销策略、组织设计、资源配置，特别是资金管理和内部控制等方面面临新的挑战。同时，公司今后发展中，需要大量的管理、营销、技术等方面的人才，也使公司面临较大的人才培养、引进和合理使用的压力。公司必须尽快提高各

32、方面的应对能力，才能保持持续发展，实现各项业务发展目标。1、资金不足发展计划的实施需要足够的资金支持。目前公司融资手段较为单一，所需资金主要通过银行贷款解决，融资成本较高，还本付息压力较大，难以满足公司快速发展的要求。因此，能否借助资本市场，将成为公司发展计划能否成功实施的关键。如果不能顺利募集到足够的资金，公司的发展计划将难以如期实现。2、人才紧缺随着经营规模的不断扩大，公司在新产品新技术开发、生产经营管理方面，高级科研人才和管理人才相对缺乏，将影响公司进一步提高研发能力和管理水平。因此，能否尽快引进、培养这方面人才将对募投项目的顺利实施和公司未来发展产生较大的影响。（四）采用的方式、方法或

33、途径建立多渠道融资体系，实现公司经营发展目标公司拟建立资本市场直接融资渠道，改变融资渠道单一依赖银行贷款的现状，为公司未来重大投资项目的顺利实施筹集所需资金，确保公司经营发展目标的实现。同时，加强与商业银行的联系，构建良好的银企合作关系，及时获得商业银行的贷款支持，缓解公司发展过程中的资金压力。1、内部培养和外部引进高层次人才，应对经营规模快速提升面临的挑战公司现有人员在数量、知识结构和专业技能等方面将不能完全满足公司快速发展的需求，公司需加快内部培养和外部引进高层次人才的力度，确保高素质技术人才、经营管理人才以及营销人才满足公司发展需要。为此，公司拟采取下列措施：1、加强人力资源战略规划，通

34、过建立有市场竞争力的薪酬体系和公平有序的职业晋升机制，吸引优秀的技术、营销、管理人才加入公司，提升公司综合竞争力；2、进一步完善以绩效为导向的员工激励与约束机制，努力营造团结和谐的企业文化，强化员工对企业的归属感和责任感，保持公司人才队伍的稳定性和积极性；3、加强年轻人才的培养，建立人才储备机制，增强公司人才队伍的深度和厚度，形成完整有序的人才梯队，实现公司可持续发展。2、以市场需求为驱动，提高公司竞争能力公司将以市场为导向，认真研究市场需求，密切跟踪印染行业政策及最新发展动向，推动科技创新和加大研发投入，优化产品结构，开拓高端市场，不断提升管理水平和服务质量，丰富服务内容，完善和延伸产业链，

35、提升公司的核心竞争力和市场地位，最终实现公司的战略发展目标。第三章 市场分析一、 导体设备行业发展趋势1、设备将向高精度化与高集成化方向发展随着半导体技术的不断进步，半导体器件集成度不断提高。一方面，芯片特征尺寸不断缩小，由12微米-0.35微米（1965年-1995年）到65纳米-22纳米（2005年-2015年），且还在向更小的方向发展；另一方面硅片尺寸却不断扩大，主流产品硅片尺寸已经从4英寸、6英寸，发展到现阶段的8英寸、12英寸。此外，半导体器件的结构也趋于复杂，例如存储器领域的NAND闪存已进入3D时代。3DNAND制造工艺中，增加集成度的方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠层数，堆

36、叠层数也从32层、64层量产向128层发展。这些对半导体设备的精度与稳定性的要求越来越高，未来半导体设备将向高精度化与高集成化方向发展。2、各类技术等级设备并存发展虽然半导体技术持续迅猛发展，未来半导体设备将向高精度化与高集成化方向发展，但是由于芯片的用途极其广泛，性能要求及技术参数等差异较大，各类性能、用途芯片大量并存并应用，这也决定了不同的芯片产线需配置相匹配的、技术等级及性价比相当的半导体设备。即使在同一产线上，复杂程度不同的工艺环节也是根据其实际需要搭配使用各类技术等级的设备。因此，高、中、低各类技术等级的生产设备均有其对应市场空间，并存发展。3、国产化进程加快近年来，在国家政策的拉动

37、和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，封装测试技术逐步接近国际先进水平，但半导体基础材料研究和先进设备制造仍然相对薄弱。中国半导体行业要实现从跟踪走向引领的跨越，装备产业将是重要环节。发展国产半导体装备具有重要战略意义，半导体设备国产化将大幅降低我国芯片制造商的投资成本，提高我国芯片制造竞争力。中国制造2025对于半导体设备国产化提出明确要求：在2020年之前，90-32nm工艺设备国产化率达到50%，实现90nm光刻机国产化,封测关键设备国产化率达到50%。在2025年之前，20-14nm工艺设备国产化率达到30%，实现浸没式光刻机国产化。

38、为推动我国半导体产业的发展，国家先后设立国家重大专项和国家集成电路基金，国家集成电路基金首期计划募资1,200亿元，实际募资1,387亿元。目前，国家集成电路基金二期方案已上报国务院并获批，计划募资1,500亿元至2,000亿元。以1:3的撬动比列测算，所撬动的社会资本规模在4,500亿元至6,000亿元，加上首期的1,387亿元及所撬动的5,145亿元社会资本，资金总额将超过万亿元。此外地方政府也推出地方版集成电路投资基金，为半导体产业发展破解融资瓶颈提供了保障，有力促进了半导体行业的可持续发展。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的

39、发展契机，有助于我国半导体设备行业技术水平提高和行业的快速发展，从而进一步加快我国半导体设备的国产化进程。二、 导体设备行业发展趋势1、设备将向高精度化与高集成化方向发展随着半导体技术的不断进步，半导体器件集成度不断提高。一方面，芯片特征尺寸不断缩小，由12微米-0.35微米（1965年-1995年）到65纳米-22纳米（2005年-2015年），且还在向更小的方向发展；另一方面硅片尺寸却不断扩大，主流产品硅片尺寸已经从4英寸、6英寸，发展到现阶段的8英寸、12英寸。此外，半导体器件的结构也趋于复杂，例如存储器领域的NAND闪存已进入3D时代。3DNAND制造工艺中，增加集成度的方法不再是缩小

40、单层上线宽而是增加堆叠层数，堆叠层数也从32层、64层量产向128层发展。这些对半导体设备的精度与稳定性的要求越来越高，未来半导体设备将向高精度化与高集成化方向发展。2、各类技术等级设备并存发展虽然半导体技术持续迅猛发展，未来半导体设备将向高精度化与高集成化方向发展，但是由于芯片的用途极其广泛，性能要求及技术参数等差异较大，各类性能、用途芯片大量并存并应用，这也决定了不同的芯片产线需配置相匹配的、技术等级及性价比相当的半导体设备。即使在同一产线上，复杂程度不同的工艺环节也是根据其实际需要搭配使用各类技术等级的设备。因此，高、中、低各类技术等级的生产设备均有其对应市场空间，并存发展。3、国产化进

41、程加快近年来，在国家政策的拉动和支持下，我国半导体产业快速发展，整体实力显著提升，设计、制造能力与国际先进水平不断缩小，封装测试技术逐步接近国际先进水平，但半导体基础材料研究和先进设备制造仍然相对薄弱。中国半导体行业要实现从跟踪走向引领的跨越，装备产业将是重要环节。发展国产半导体装备具有重要战略意义，半导体设备国产化将大幅降低我国芯片制造商的投资成本，提高我国芯片制造竞争力。中国制造2025对于半导体设备国产化提出明确要求：在2020年之前，90-32nm工艺设备国产化率达到50%，实现90nm光刻机国产化,封测关键设备国产化率达到50%。在2025年之前，20-14nm工艺设备国产化率达到3

42、0%，实现浸没式光刻机国产化。为推动我国半导体产业的发展，国家先后设立国家重大专项和国家集成电路基金，国家集成电路基金首期计划募资1,200亿元，实际募资1,387亿元。目前，国家集成电路基金二期方案已上报国务院并获批，计划募资1,500亿元至2,000亿元。以1:3的撬动比列测算，所撬动的社会资本规模在4,500亿元至6,000亿元，加上首期的1,387亿元及所撬动的5,145亿元社会资本，资金总额将超过万亿元。此外地方政府也推出地方版集成电路投资基金，为半导体产业发展破解融资瓶颈提供了保障，有力促进了半导体行业的可持续发展。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体

43、及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，有助于我国半导体设备行业技术水平提高和行业的快速发展，从而进一步加快我国半导体设备的国产化进程。三、 影响发展的有利因素和不利因素1、有利因素（1）国家对半导体设备行业的政策支持半导体设备行业是国家产业政策鼓励和重点支持发展的行业。近年来，为推动我国半导体产业的发展和加速国产化进程，国家先后出台科技部重点支持集成电路重点专项、集成电路产业“十三五”发展规划等鼓励政策，特别是国家集成电路产业发展推进纲要提出：“到2020年，集成电路与国际先进水平差距逐步缩小，全行业销售收入年均增速超过20%，企业可持续发展能力不断增强，关键装备和材料进入国际采购体系，基本

44、建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系；到2030年，集成电路产业链主要环节达到国际先进水平，一批企业进入国际第一梯队，实现跨越发展。”我国半导体设备行业迎来了前所未有的政策契机，有助于我国半导体设备行业技术水平的提高和行业的快速发展。（2）市场需求长期保持增长近年来，电子信息技术发展迅速，各类智能化、网络化和移动化的便携消费电子产品层出不穷，而新一代网络通信、物联网、云计算、节能环保等新兴产业更成为半导体产业发展的新动力，共同推动全球半导体行业持续快速蓬勃发展。随着我国成为世界电子信息产品最重要的生产基地之一，越来越多的国际半导体企业向我国转移产能，持续的产能转移不仅带动了国内半导体整体产

45、业规模和技术水平的提高，为半导体设备制造业提供了巨大的市场空间，也促进了我国半导体产业专业人才的培养及配套行业的发展，半导体产业环境的良性发展为我国半导体设备制造业产业的扩张和升级提供了机遇。（3）半导体国产设备进口替代趋势日趋明显我国半导体消费需求增长以及国产化进程有力推动了我国半导体产业快速发展，然而与我国快速增长的半导体产业不相匹配的却是我国半导体设备市场大量依赖进口，极大影响了我国半导体产业的可持续良性发展。近来来在国家科技重大专项和集成电路产业投资基金的支持下，我国半导体产业链不断完善，特别是国内半导体设备制造业技术水平的不断提高，并涌现一批优秀的半导体设备制造企业。未来半导体的国产

46、化势必向着设备国产化方向传导，国产设备进口替代趋势将越趋明显，国产替代空间巨大。此外随着我国半导体产业发展阶段逐步走向成熟，很多半导体厂商开始考虑在设备上节约成本，此时，采用产品性价比高、能满足特定类型产品个性化需求并能够提供及时、快速售后服务的国产半导体设备已成为各大半导体厂商的重要选择。（4）全球半导体产能向我国大陆地区转移全球半导体产业向中国大陆地区转移趋势明显，我国大陆地区迎来建厂潮。根据SEMI预测，2017-2020年全球将有62座晶圆厂投产，其中26座晶圆厂来自于中国大陆地区，占比约42%。根据SEMI2018年中国半导体硅晶圆展望报告，中国大陆地区的Fab厂产能预计将从2015

47、年的每月230万片到2020年的400万片，年复合增长率为12%，增速高于其他所有地区。此外，根据ICInsights预测，由于“中国效应”，2018年全球半导体资本支出将首次突破1,000亿美元，中国企业半导体资本支出达110亿美元，将超过欧洲和日本企业半导体资本支出之和的107亿美元。全球半导体产业向中国大陆地区转移，为国内上游半导体设备行业带来了强劲的需求。2、不利因素（1）融资环境仍不成熟半导体设备行业具有投资周期长、研发投入大等特点，属于典型的资本密集型行业，为保持技术优势，需要长期、持续不断的研发投入。目前行业内企业主要资金来源于股东投入，融资渠道单一一定程度上限制了国内产业的发展

48、。（2）高端技术人才相对缺乏半导体设备行业属于典型的技术密集型行业，对于技术人员的知识背景、研发能力及操作经验积累均有较高要求。人才的培养需要一定时间和相应的环境，现有半导体设备行业的人才和技术水平难以满足行业内日益增长的人才需求，外部引进高端人才又需要支付较高的人力成本，因此行业内企业主要依靠内部培养形成人才梯队，制约了行业的快速发展。（3）产业环境有待进一步改善半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用高精度元器件，对原材料机械结构的精度和材质要求很高，我国与此相关的核心原材料供应体系尚未完全建立，部分核心部件仍然依赖进口，其技术指标、交货周期、价格等均不可控，一定程度上限制了国

49、产设备厂商的发展；此外，目前国内进口二手半导体设备存量较大，价格较低，深受下游客户的青睐，这在一定程度上都制约了国产半导体设备的推广与应用。第四章 项目背景、必要性一、 我国半导体设备行业1、我国半导体设备需求旺盛随着国际产能不断向我国大陆地区转移，英特尔（Intel）、三星（Samsung）等国际大厂陆续在我国大陆地区投资建厂，同时在集成电路产业投资基金的引导下，我国大陆集成电路生产线建设热情高涨，我国大陆地区对半导体设备的需求巨大。根据SEMI统计，2018年我国大陆地区半导体专用设备销售规模达到128亿美元，超过中国台湾地区成为全球第二大市场，SEMI预计未来我国大陆地区半导体专用设备市

50、场仍将保持增长态势，2020年市场规模将达170.6亿美元。2、细分领域涌现一批优秀本土半导体设备厂商近年来随着国家对半导体产业的持续投入及部分民营企业的兴起，我国半导体装备实现了从无到有、由弱到强的巨大转变，填补了产业链空白，使我国半导体制造体系和产业生态得以建立和完善。在硅单晶炉、刻蚀机、封装设备、测试设备等壁垒相对低的领域，国产设备已达到或接近国外先进水平，且成本优势明显。例如晶盛机电生产的单晶硅长晶炉，其在投料量、自动化程度和晶棒尺寸等指标方面均已处于国际领先水平；中微半导体生产的16nm刻蚀机实现了商业化量产，并已进入台积电5条生产线；北方华创生产的CVD设备已进入中芯国际28nm生

51、产线，14nm设备处于验证期；硅刻蚀机已突破14nm技术，金属刻蚀方面14nm技术成熟，目前已经进入8英寸主流硅晶圆厂。3、我国半导体设备大量依赖进口在需求拉动和国家支持下，我国半导体产业链得以不断完善，但目前我国半导体设备还主要依赖进口。根据中国电子专用设备工业协会的统计数据，2018年国产半导体设备销售额预计为109亿元，自给率约为13%。中国电子专用设备工业协会统计的数据包括集成电路、LED、面板、光伏等设备，实际上国内集成电路设备的国内市场自给率仅有5%左右，在全球市场仅占1-2%，技术含量最高的集成电路前道设备市场自给率更低。半导体设备是半导体产业发展的基石，半导体设备的大量依赖进口

52、不仅严重影响我国半导体的产业发展，也对我国电子信息安全造成重大隐患。二、 行业发展情况和未来发展趋势半导体被称为制造业皇冠上的明珠，半导体产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。作为“工业粮食”,半导体芯片被广泛地应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业，是绝大多数电子设备的核心组成部分。根据国际货币基金组织测算，每1美元半导体芯片的产值可带动相关电子信息产业10美元产值，并带来100美元的GDP，这种100倍价值链的放大效应奠定了芯片行业在国民经济中的重

53、要地位。作为半导体产业的核心，集成电路占据半导体行业规模的八成以上，其细分领域包括逻辑电路、存储器、微处理器和模拟电路等四类。从产业链的角度看，以集成电路为代表的半导体产品被广泛用于消费电子、通讯、工业自动化等下游电子信息产业中，同时也受到下游终端应用结构发展的推动，下游应用是半导体产业发展的核心驱动力。三、 半导体设备行业竞争格局及市场化情况1、行业竞争格局目前，我国半导体设备行业市场份额仍主要由国外知名企业所占据，凭借较强的技术、品牌优势，在高端市场占据领先地位，面对我国巨大的市场需求和相对较低的生产成本，纷纷通过在我国建立独资企业、合资建厂等方式占领大部分国内市场。本土企业中，行业内少数

54、半导体设备制造商通过多年的研发和积累，已掌握了相关核心技术，拥有自主知识产权，具备一定品牌知名度，占据了一定市场份额，奠定了一定的市场地位。与国外知名企业相比，国内优势企业对客户需求的理解更加到位，服务方式更为灵活，产品性价比更高，具有一定的本土优势。2、行业市场化程度半导体设备制造业属于战略性新兴产业，其发展受到国家和各级政府的鼓励和支持，市场化程度较高，不存在行业限制或市场准入方面的行政管制。但半导体设备的制造需要综合运用光学、物理、化学等科学技术，具有技术含量高、技术研发周期较长以及产品工艺和制造技术难度大等特点，需要以高级专业技术人员和高水平研发手段为基础。上述特性使得该行业具有较高的

55、技术壁垒。第五章 项目选址方案一、 项目选址原则1、符合国家地区城市规划要求；2、满足项目对：原材料、能源、水和人力的供应；3、节约和效力原则；安全的原则；4、实事求是的原则；5、节约用地；6、注意环保（以人为本，减少对生态环境影响）。二、 建设区基本情况辽宁省位于东北地区南部，界于北纬3843至4326，东经1853至12546之间，南濒黄海、渤海二海，西南与河北接壤，西北与内蒙古毗连，东北与吉林为邻，东南以鸭绿江为界与朝鲜隔江相望，总面积14.86万平方公里。辽宁省地势大致为自北向南，自东西两侧向中部倾斜，山地丘陵分列东西两厢，向中部平原下降，呈马蹄形向渤海倾斜，由山地、丘陵、平原构成；地

56、跨辽河、浑河、大凌河、太子河、绕阳河、鸭绿江六大水系，属温带季风气候。新石器时代，在这里居住的除汉族的先人外，还有东胡、肃慎等民族的先人。辽宁是大清王朝的发祥地，努尔哈赤在此统一东北各族诸部，建立了后金政权，皇太极继承汗位，改国号为大清，建立了清王朝。新中国成立后，辽宁是新中国工业的摇篮，为新中国贡献“1000多个全国第一”，被誉为“共和国长子”、“辽老大”。辽宁省共辖14个地级市，共有59个市辖区、16个县级市、17个县，8个自治县。2019年，辽宁省地区生产总值24909.5亿元，按可比价格计算，比上年增长5.5%。一年来，全省经济运行稳中有进、持续向好，发展质量稳步提升。预计地区生产总值

57、增长5.8左右。一般公共预算收入2652亿元，增长1.4，考虑政策性减收因素同比增长11.9。规模以上工业增加值增长6.7左右。粮食产量达到486亿斤，创历史最高水平。社会消费品零售总额增长6.1左右。居民消费价格上涨2.4，低于全国0.5个百分点。城镇新增就业47.5万人，超额完成全年目标任务。城乡居民人均可支配收入39777元和16108元，分别增长6.5和9.9。去年政府工作报告确定的10件民生实事全部完成，社会大局保持和谐稳定。今年是决胜全面建成小康社会、打赢精准脱贫攻坚战、实现“十三五”规划收官之年，做好今年工作意义重大。全省经济社会发展的主要预期目标是：地区生产总值增长6左右；一般

58、公共预算收入增长2左右；规模以上工业增加值增长7以上；固定资产投资增长7以上；社会消费品零售总额增长6；居民消费价格涨幅3左右；城乡居民收入增长与经济增长基本同步；城镇新增就业42万人，城镇调查失业率5.5左右，城镇登记失业率4.5以内；单位GDP能耗持续降低，主要污染物排放量继续下降。上述预期目标，与全面建成小康社会和“十三五”规划收官相衔接，兼顾需要与可能，以体现既积极进取又切实可行的要求。“十三五”时期，我省经济社会发展面临的国内外经济形势复杂多变，我国经济发展步入新常态，辽宁老工业基地新一轮全面振兴站在新的起点上，既面临难得的历史发展机遇，也面对诸多风险和挑战。总体上机遇大于挑战。从国

59、际看，和平、发展、合作仍是时代潮流，世界多极化、经济全球化深入发展，以“互联网+”、3D打印等为代表的新一轮科技革命和产业融合将对产业分工格局产生深刻影响。同时，世界经济进入深度调整期，经济复苏曲折，主要经济体走势分化，围绕市场、资源、技术、标准等竞争更加激烈。以美国为首的发达国家主导发起的跨太平洋战略伙伴关系协定(TPP)和跨大西洋贸易与投资伙伴关系协定(TTIP)谈判，设置了更高标准的自由贸易和投资规则，各种形式的贸易保护更加趋紧，地缘政治导致外部环境更加严峻。从国内看，我国仍处于可以大有作为的战略机遇期，经过30多年的改革开放，我国的综合国力、国际竞争力和国际影响力达到新高度，发展的基础

60、更加坚实。我国经济发展进入新常态，正向形态更高级、分工更复杂、结构更合理的阶段演化，经济发展长期向好的基本面没有变，经济韧性好、潜力足、回旋空间大的基本特质没有变，经济持续增长的良好支撑基础和条件没有变，经济结构调整优化的前进态势没有变。新的增长点正在加快孕育并不断破茧而出，新的增长动力正在加快形成并不断蓄积力量。同时，国内传统要素优势减少，资源环境约束趋紧，增长动力减弱，风险挑战增多。从省内看，新一轮东北振兴和“一带一路”建设、京津冀协同发展、长江经济带建设等重大国家战略同步实施，必将使辽宁的发展动能和优势得到充分释放。我省产业基础较为雄厚，设施条件完备，为促进结构转型升级、经济提质增效提供

61、了有力支撑。实施东北地区等老工业基地振兴战略以来，我省经济社会发展取得了重大阶段性成就，为推动新一轮全面振兴奠定了扎实的工作基础和发展基础。同时，我省发展形势更为严峻复杂，经济增速下滑，有效供给不足，制约发展的深层次矛盾仍然存在：体制机制弊端突出，市场发育不完善，创新创业环境欠佳，国企改革未迈出实质性步伐，发展理念落后，历史欠账较多，民营经济实力不强；结构性矛盾凸显，传统产业竞争力下降，战略性新兴产业和现代服务业发展滞后，资源环境压力增大；自主创新能力不强，科技成果转化不畅，人才支撑不足；区域发展差距较大，居民收入水平较低，社会治理能力和水平亟待提升。三、 创新驱动发展加快形成以创新为引领和支

62、撑的经济体系和发展模式，打造经济增长新引擎，使创新成为引领老工业基地全面振兴的第一动力，推进创新型省份建设。（一）强化企业创新主体地位坚持企业在创新中的主体地位和主导作用，支持科技型中小微企业健康发展，大力培育和发展创新型企业，建设一批创新型领军企业，形成以高新技术企业为重点，科技型龙头企业、科技型中小微企业协同发展新格局。（二）发挥创新示范引领作用以建设沈阳国家全面创新改革试验区、沈大国家自主创新示范区为重要载体，打造创新高地，引领、示范和带动全省加快实现创新驱动发展。（三）提升创新保障能力以提升创新基础能力，完善创新政策支持体系为重点，加强创新保障体系建设，切实增强科技创新能力。（四）激发人才创新创造活力坚持人才资源是第一资源，切实把人才资源开发放在科技创新最优先的位置，重点在用好、吸引、培养上下功夫，加快创新型人才队伍建设，开创人才引领创新、创新驱动发展、发展集聚人才的良好局面。四、 社会经济发展目标到“十三五”末期，如期实现全面建成小康社会目标，老工业基地新一轮全面振兴取得重大进展，努力把辽宁建成体制机制重点突破、经济结