四、技术参数响应表

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1、设备（服务）名场发1射扫品型号技术参数牌Regulus8220（一）电镜主机技术规格（1）电子光学系统：*1.1 分辨率：SE 分辨率 W0.7nm15kV;0.9nm1kV；单位数量技术参数响应情况偏离说明套1（一）电镜主机技术规格（1）电子光学系统：*1.1 分辨率：SE 分辨率W0.7nm15kV;0.9nm1kV；详见资料第42页无偏离描电子显微镜系统（进口）1.2 加速电压：0.01-30kV；1.2 加速电压：0.01-30kV；无偏离1.3放大倍数：N200万倍（底片模式）；1.3放大倍数：N200万倍（底片模式）；无偏离1.4电子枪：场发射电子枪，灯丝2根并且保证性能使 用10

2、年；1.4电子枪：场发射电子枪，灯丝2根并且保证性能使用10年；无偏离1.5电子束流：N20nA，且连续可变；1.5电子束流：N20nA，且连续可变；正偏离1.6自动功能：对中、聚焦、像散，同时带有调节；1.6自动功能：对中、聚焦、像散，同时带有调节；无偏离1.7物镜光栏：内置加热自清洁装置，四孔，可移动物镜 光栏；1.7物镜光栏：内置加热自清洁装置四孔，可移动物镜光 栏；无偏离1.8 工作距离：1.5-30mm；1.8 工作距离：1.5-30mm；无偏离1.9 电位移：12um (WD=8mm)；1.9 电位移：12um (WD=8mm)；无偏离1.10透镜系统：3级电磁透镜系统；1.10透

3、镜系统：3级电磁透镜系统；无偏离1.11扫描线圈：两级电磁式；1.11扫描线圈：两级电磁式；无偏离1.12样品台控制：图形界面控制；自动样品更换位置定 位功能；样品台移动轨迹存储功能；1.12样品台控制：图形界面控制；自动样品更换位置定 位功能；样品台移动轨迹存储功能；优中心旋转功能；图 片导航功能，见资料第42页正偏离1.13保护措施：断电、断水、漏气保护。1.13保护措施：断电、断水、漏气保护。无偏离（2）样品室：2.1样品台：马达驱动；（2）样品室：2.1样品台：马达驱动；无偏离*2.2通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到 样品交换过程，预抽室可放样品N150mm；*2.2通过预

4、抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到 样品交换过程，预抽室可放样品N 150mm；详见资料第42页无偏离2.3具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落；2.3具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落；无偏离2.4 样品台移动：XN50mm； YN50mm； ZN25mm； R=360 连续旋转；2.4 样品台移动：XN50mm； YN50mm； ZN25mm； R=360 连续旋转；无偏离2.5样品倾斜角：-5+70；2.5样品倾斜角：-5+70；无偏离2.6有样品防撞警报装置。2.6有样品防撞警报装置。备注：可以在样品碰撞之前停 止马达台，更加安全无偏离* （3）检测器：二次电子检测器

5、：配有高位以及低位二 次电子探测器，高位探测器可选择接受二次电子像或背 散射像，并以任意比例混合，在低压下（小于2kV）可 以成背散射电子像* （3）检测器：二次电子检测器 配有顶位二次电子探测 器，高位以及低位二次电子3个探测器，高位探测器可选 择接受二次电子像或背散射像，并以任意比例混合，在低 压下（小于2kV）可以成背散射电子像。说明：加配了顶 位二次电子探测器，详见资料第42页正偏离（4）数字图像记录系统：4.1图像处理软件；（4）数字图像记录系统：4.1图像处理软件；无偏离4.2数据记录；4.2数据记录；无偏离4.3扫描速度：TV扫描（640X480像素显示,25/30祯 /s）；快

6、速扫描（全屏显示,6.25/7.5祯/s）；慢速扫描（全 屏显示，1/4/20/40/80 s/祯）；4.3扫描速度：TV扫描（640X480像素显示,25/30祯/s）； 快速扫描（全屏显示,6.25/7.5祯/s）；慢速扫描（全屏显 示，1/4/20/40/80 s/祯）；无偏离4.4图像显示：不低于1280X960像素；4.4图像显示：不低于1280X960像素；无偏离4.5 图像储存：640X480，1280X960，2560X 1920， 5120X3480 像素。4.5 图像储存：640X480，1280X960，2560X 1920，5120 X3480像素。无偏离（5）控制成像

7、系统5.1完整的系统操作控制系统；（6）控制成像系统5.1完整的系统操作控制系统；无偏离5.2 电脑系统：CPU： i7-7700K内存 8GB,硬盘：1000GB, CD-RW/DVD-ROM：显示器：24” 宽屏Led,多功能A4彩色激光双面打印机，30p/min以 上。5.2 电脑系统：CPU： i7-7700K内存 8GB，硬盘：1000GB，CD-RW/DVD-ROM:显示器：24” 宽屏Led，多功能A4彩色激光双面打印机，30p/min以上。无偏离(6)真空系统6.1真空泵:机械泵X1,涡轮分子泵(磁悬浮型)X1，离子泵X3；(6)真空系统6.1真空泵:机械泵X1，涡轮分子泵(磁

8、悬浮型)X1，离子泵X3；无偏离6.2真空度：电子枪优于10-8Pa；样品室优于10-4Pa；6.2真空度：电子枪优于10-8Pa；样品室优于10-4Pa；无偏离6.3保护：自动真空抽气及诊断系统；6.3保护：自动真空抽气及诊断系统；无偏离6.4真空计：潘宁规X1,皮拉尼规X2；6.4真空计：潘宁规X1，皮拉尼规X2；无偏离6.5样品更换抽真空时间：W10秒6.5样品更换抽真空时间：W10秒无偏离(7)冷却水要求:流量1.0 -1.5L/min；压力50-100kPa； 水温：10 - 20C。(7)冷却水要求：流量1.0 -1.5L/min；压力50-100kPa； 水温：10 - 20 C

9、o无偏离(8)配置减小样品污染的液氮冷阱(8)配置减小样品污染的液氮冷阱无偏离(9)仪器配置、附件及工具9.1场发射扫描电镜主机1台；自动变压器1台；冷却 循环水系统1套；样品交换仓1套；标准随机附件及工 具1套；10年灯丝备件，液氮冷阱1套，电脑1套；断 面样品台一个以及导电胶等常用工具。(9)仪器配置、附件及工具9.1场发射扫描电镜主机1台；自动变压器1台；冷却循 环水系统1套；样品交换仓1套；标准随机附件及工具1 套；10年灯丝备件，液氮冷阱1套，电脑1套；断面样 品台5个以及导电胶等常用工具。还可提供更多样品台等 耗材。详见第4页投标产品配置清单正偏离9.2标准随机文件操作系统恢复盘1

10、件；测试报告1件；软件安装盘1件； 安装手册1件9.2标准随机文件操作系统恢复盘1件；测试报告1件；软件安装盘1件； 安装手册1件无偏离(二)能谱仪技术要求* (1)探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效 面积150mm2，超薄窗设计，无需液氮冷却；(二)能谱仪技术要求* (1)探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面 积150mm2，超薄窗设计，无需液氮冷却；详见资料第50页无偏离*(2)能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV,元素分析氾 围：Be4 Cf98；* (2)能量分辨率：MnKa保证优于127eV,元素分析范围：Be4Cf98；详见资料第50页无偏离* (3)圆形对

11、称芯片，FET场效应管同阳极独立封装；* (3)圆形对称芯片，FET场效应管同阳极独立封装； 详见资料第51页无偏离(4)谱峰稳定性：1,000cps 到 100,000cps, Mn Ka 峰 谱峰漂移小于1eV,分辨率变化小于1eV, 48小时内峰 位漂移小于1.5eV；(4)谱峰稳定性：1,000cps 到 100,000cps，Mn Ka 峰谱 峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂 移小于1.5eV；无偏离(5)具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无 需重新修正峰位；(5)具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需 重新修正峰位；无偏离(6)探测器自动伸

12、缩，精确定位，无需手摇；(6)探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇；无偏离(7)能谱仪脉冲处理器和图形处理器与计算机采用分 立式设计，电子图像清晰度8192*8192，(7)能谱仪脉冲处理器和图形处理器与计算机采用分立 式设计，电子图像清晰度8192*8192，无偏离(8)全谱智能面分布图清晰度4096*4096；(8)全谱智能面分布图清晰度4096*4096；无偏离(9)能谱应用软件米用最新的AZtec平台，基于Win7 技术，多线程设计，导航器界面；(9)能谱应用软件米用最新的AZtec平台，基于Win7技 术，多线程设计，导航器界面；无偏离(10)能谱系统专用工作站不低于以下要求：800G

13、2TWR i5-6600CPU 8G/1TB/DVD,32 寸液晶显示器；(10)能谱系统专用工作站不低于以下要求：800G2TWR i5-6600CPU 8G/1TB/DVD,32 寸液晶显示器；无偏离（三）技术服务：1 .设备安装、调试和验收（三）技术服务：1 .设备安装、调试和验收正偏离1.1卖方应在合同生效后的1个月内向用户提供详细的 安装要求并提供技术咨询。1.1卖方应在合同生效后14日内向用户提供详细的安装 要求并提供技术咨询。详见第55页，厂家技术支持及售 后服务承诺原件。1.2仪器到达用户所在地，在接到用户通知后一周内进 行安装调试，直至通过验收。1.2仪器到达用户所在地，在接

14、到用户通知后一周内进行 安装调试，直至通过验收。无偏离2.技术培训:在用户所在地对用户进行为期1周的培训。 培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本 维护等。验收后半年内组织买方相关人员2到3人参加 在厂家举办的相关应用培训班。2.技术培训：在用户所在地对用户进行为期1周的培训。 培训内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维 护等。验收后半年内组织买方相关人员2到3人参加在厂 家举办的相关应用培训班。无偏离3.保修期：卖方提供一年的免费保修保修期自仪器验 收签字之日起计算。保修期间维修及零件更换费用由厂 家负担。3.保修期：我方提供一年的免费保修，保修期自仪器验收 签字之日起计算

15、。保修期间维修及零件更换费用由厂家负 担。无偏离4.维修响应时间：卖方应在72小时内对用户的服务要 求作出响应，维修服务包括电话指导和现场维修。4.维修响应时间：我方在24小时内对用户的服务要求作 出响应，维修服务包括电话指导和现场维修。详见第55 页，厂家技术支持及售后服务承诺原件。正偏离5.要求供货商在中国设有三个以上固定维修站，并配 有专业维修工程师，保证提供及时优质的售后服务。5.在中国设有三个以上固定维修站，并配有专业维修工 程师，保证提供及时优质的售后服务，并在上海设立办事 处，安徽设有常驻工程师王海波、周海鑫二人。详见第 60页，电镜维修技术服务支持力量和日立公司（中国区） 电镜技术支持工程师原件。正偏离6.要求供货商在国内设有自己的电镜应用中心。6.要求供货商在国内设有自己的电镜应用中心。无偏离7.供货商承担所有仪器和附件的报关、运输、装卸、安 装、调试等仪器验收交付使用前的一切费用。7.供货商承担所有仪器和附件的报关、运输、装卸、安装、 调试等仪器验收交付使用前的一切费用。无偏离投标人加盖公章:安徽省新安国际贸易有限公司