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1、12009三通道供气真空旋转CVD系统CY-O1200-60IIIC-R 12009三路供气低真空度旋转 CVD 系统采用高纯石英制作炉管。旋转装置为风 冷法兰，摩擦传动，倾角（0-15）任意可调。管式炉三个温区分别由精密控温 仪表独立控温，通过调节各个温区的温度，该管式炉可以在加热区内形成三段温 度梯度或是形成较长的恒温区域。12009三路供气低真空度旋转 CVD 系统每个 温区均可编辑30 段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配 有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制炉管内的气氛环境。 如果您需要保持物料的单粒结构（如在干燥或煅烧物料时），旋转管式炉是您的 理想选择。炉
2、管持续不断的旋转运动和气氛保护的结合应用能使得管内物料搅拌 混合获得均匀受热效果为您带来理想的处理结果。该设备主要应用领域为：粉末冶金、陶瓷、耐火材料、锂电正负极材料、新能源 等行业颗粒粉末烧成、煅烧，测定材料。技术参数：真取大功率4.5kw炉管材质咼纯石英空炉管直径两端60mm,中间100mm管炉管长度1400mm炉膛长度600mm式加热区长200mm+200mm+200mm工作温度01100 C炉控温精度1C控温模式30段或50段程序控温显示模式咼亮数字显示密封方式304不锈钢真空法兰法兰接口1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头可抽真空4.4E-3Pa供电电源AC:220V 50/
3、60Hz倾斜角度015转速020 转产品型号CY-3F气体通道3通道供测量部件气体浮子流量计A通道：0100ml/min H2气 备注：如需其它量程或气体种气测量量程B通道：16160ml/min N2气类，定货时需要特别注明。可根（测 量量程C通道：25250ml/min Ar气 据客户的具体要求来选配对应系的气体种类和量程的流量计。测量精度2.0%统管道耐压3MPa工作压差50 300KPa连接管道304不锈钢控制阀门304不锈钢针阀接口规格进气口和出气口为1/4英寸卡套接头排机械泵旋片泵抽气速率1.1L/S气排气接口KF16真空测量电阻规系极限真空1.0E-1Pa供电电源AC:220V 50/60Hz统抽气接口KF16
1200℃真空旋转CVD管式炉系统
