蚀刻材料PPT课件
上传人:仙***
文档编号:183748612
上传时间:2023-01-31
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12345圖蝕刻的底切度 6圖(a)等方向蝕刻,(b)非等方向蝕刻 78910111213圖6.3三種乾蝕刻終點偵測器之原理圖 141516圖桶狀蝕刻反應器內的正視圖 17圖(a)電漿蝕刻和(b)RIE蝕刻的比較 18圖三極RIE的概略圖 19圖(a)RIE蝕刻機的概略圖,(b)電位分佈圖 20圖6.8濺擊蝕刻和濺鍍的概略圖 21圖MERIE(a)以永久磁鐵,(b)以電磁線圈產生磁場 22圖6.10磁場約束電漿蝕刻機的概略圖 23圖離子輔助蝕刻反應的原理 24圖ECR蝕刻機的概略圖 25圖ICP蝕刻機的概略圖 26圖CMP的概略圖 2728
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