激光在检测计量中的应用

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1、激光在检测计量中的应用目录第1 章 综述激光在检测计量方面的应用11.1 激光准直导向1.2 激光测长1.3 激光测距21.4 激光雷达21.5 激光测速31.6 激光超声31.7 全息检测41.8 本章小结4第2 章 激光超声62.1 定义及基本原理62.1.1 激光超声的定义62.1.2 基本原理62.2 激光超声的应用62.2.1 用压电换能器接收激光超声脉冲72.2.2 用外差干涉仪接收激光超声脉冲72.2.3 用共焦法布里泊罗干涉仪接收超声波82.3 激光超声的优缺点和应用前景82.3.1 激光超声的优缺点82.3.2 应用前景8第3章 激光全息干涉检测技术93.1 激光全息术的基本

2、原理 93.2 激光全息干涉技术的应用 123.2.1 激光全息干涉技术原理123.2.2 用激光全息干涉技术对文物进行检测133.3 激光全息干涉技术的优点及其局限143.3.1 激光全息技术的优点143.3.2 激光全息技术的局限143.4 本章小结14参考文献15第1 章 综述激光在检测计量方面的应用引言激光是高强度的相干光，具有单色性和方向性，因而是精密计测的理想光源1。当前激光检测已发展为一个广阔而活跃的激光应用领域，受到科学与工业界 的极大重视。利用激光的某一特性或几种特性，可以进行多种几何和物理参数的 激光检测。目前,激光检测技术已涉及精密测量、计量、生产过程的自动监控以 及科学

3、研究多方面的应用。现选择准直导向、测长、测速、产品尺寸与表面缺陷检测、全息检测等几方 面来分析一下国内外激光检侧的发展与应用现状。1.1 激光准直导向原理：利用激光的方向性,把激光当作直线，或由激光扫出一个光束平面,就 可以用来进行精密的定位、导向、安平等2。优点：与目视光学仪器相比，具有工作距离长、测量精度高、便于自动控制、 操作方便等。缺点：在自由度测量时，分辨力较低。这类激光仪器在建筑、工矿、农业以及大地测量等方面得到满意效果，有些 已得到普遍应用。国外在大型土木建筑工程中，如管道工程、隧道工程、土方工 程、疏浚工程、高层建筑以及设备安装等工作中采用了激光，达到了很好的效果。 这种激光应

4、用提高了测量精度，也提高了生产效率。1.2 激光测长原理：利用激光的良好方向性和极高的亮度，以光的干涉现象为基础，用干 涉条纹来反映被测量的信息1。方法：干涉法、扫描法、光强法和准直法。 优点：非接触测量、具有高的测量灵敏度和精度，而且应用范围广泛。 缺点：与环境控制、湿度、温度、气压等的控制有关。目前,国际上已能达到氦氖激光频率稳定值 10-1210-13，复现性为 10-11，激光 测长干涉仪准确度为 10-8量级。今年 10 月的国际第17 届计量大会确定基于光速 值的新的米定义。全世界将统一采用激光代替氪 86作为长度标准。随着激光测长技术的发展,各种激光干涉仪产品也发展起来。1965

5、 年美国杂 志报导激光干涉仪已在车间使用后，1970 年美国已有 6 家大厂生产激光干涉仪。 近来，美国在激光干涉仪方面已有多种产品提供各种应用，包括测量波长、表面 不平度、距离等。1.3 激光测距原理：利用激光集中不发散的特性，根据发出和返回光束之间的时间差乘以 光速，来测量距离3。方法：脉冲法、相位法等。优点：较红外测距来讲，具有探测距离远、测距精度高，抗干扰能力强、保 密性好，且激光测距仪具有体积小、重量轻、重复频率高等特点4。缺点：对气候的依赖关系很强。在生产实践和科学研究中，常常会遇到测量距离的问题。例如，在大地测量 和地质勘探中，需要测出两个山头之间的距离；在建造大桥时，需要测量大

6、江两 岸的间隔；在军事上，炮位的瞄准、远距离打击等更离不开对距离的正确测量。 不同于激光测长，激光测距所能测量的长度要大得多。若按策程划分，激光测距 大体有三类：短程激光测距仪，它的测程仅在5km以内，适用于各种工程测量； 中长程激光测距仪，测程为五至几十千米，适用于大地控制测量和地震预报等； 远程激光测距仪，用于测量导弹、人造卫星、月球等空间目标的距离。在成功地进行了月球和人造地球卫星的激光测距后，各种民用和军用激光测 距仪历经几代的研究改进，现已大量用于实际工作中。1.4 激光雷达原理：利用分光方法，对特定的大其成分的分布进行测定，是一种工作在从 红外到紫外光谱段的雷达系统，其原理与构造与

7、激光测距仪极为相似。优点：与普通微波雷达相比，具有分辨率高、隐蔽性好、抗有源干扰能力强、 低空探测性能好、体积小、重量轻等。缺点：工作时受天气和大气影响大、波束窄，在空间搜索目标困难等。目前，激光雷达在低空飞行直升机障碍物规避、化学生物战剂探测和水下 目标探测等方面已进入实用阶段，其它军事应用研究亦日趋成熟。直升机在进行低空巡逻飞行时，极易与地面小山或建筑物相撞。为此，研制能规避地面障碍物的直升机机载雷达是人们梦寐以求的愿望。目前，这种雷 达已在美国、德国和法国获得了成功。美国研制的直升机超低空飞行障碍规避系统，使用固体激光二极管发射机和 旋转全息扫描器可检测直升机前很宽的空域，地面障碍物信息

8、实时显示在机载平 视显示器或头盔显示器上，为安全飞行起了很大的保障作用。1.5 激光测速原理：利用激光照射到运动物体上所产生的多普勒效应来测量运动物体速 度。 激光多普勒测速仪就是利用这个原理1。方法：脉冲法测速、相位法测速、多普勒测速等。优点：与传统测速方法相比，具有非接触测量，不影响流场分布 ;测速精度 高，一般可达12%；空间分辨率高，已可测直径10um、深度lOOum的小体积 流速，测速范围广，可从1Oum/s至8M；动态响应快，可实时测量，是研究湍流、 测量脉动速度的有效手段;可同时进行多维测量，具有良好的方向灵敏度等。缺点：散射影响较大。首先，人们利用这项测速技术，进行了大量的空气

9、动力学和流体力学研究。 从层流的流场分布到湍流强度的测量，这些测量工作现在启经变成常规。血流测 速是低速测量中较为困难的一种应用，因为各种散射影响很大，光的利用差，而 且信噪比很低，这就必须使用合适的信号处理机来获取数据。虽然存在这些困难， 但是对于复杂的光散射作了理论分析，信号处理方法也有改进，正在取得重大进 展。较困难的应用有内燃机、透平机以及磁流体动力学装置中的侧量。这类测量， 由于环境复杂，光的利用差，粒子引入困难。激光多普勒测速往往是获得理想结 果的唯一方法，经过努力，在这些复杂测量方面取得了重大进展。例如，近几年 来英、美、日等国特别热心于激光流速计在内燃机中的研究。1.6 激光超

10、声原理：激光超声是样品在激光脉冲的作用下产生的，超声波在样品表面和 内部的传播情况与样品的性能和结构有关。在遇到异质界面时，激光超声会产生 反射、透射、折射和散射等现象。通过对探测到的激光超声信号进行分析和处理， 可以获得样品信息5 。方法：缺陷共振法、反射系数法、飞行时间方法以及脉冲反射法。优点：非接触、高速、高精度、大量程、远距离、检验一致性等。 近年来，国内外对激光超声进行了大量实验，尤其是德国、美国、加拿大等 国家对激光超声的研究比较先进。我们实验室从 1989 年开始进行了激光超声的 研究工作。已成功地用YAG脉冲激光器分别在铜、钢和铝质样品中激发出激光 超声脉冲并对激光超声在金属中

11、的传播样品材料的厚度，缺陷对激光超声的响应 等进行了初步研究。在接收方面除成功地用压电换能器接收到激光超声外，还研 制了用光外差干涉仪和共焦法布里泊罗干涉仪探测激光超声，并取得了一定的 进展。1.7 全息检测原理：利用全息干涉计量技术，把相干性好的激光照射到试件表面，通过热、 机械等加载方式使试件表面产生微小变形，比较加载前后的两组光波波前的形 状，根据干涉条纹的变化来判断是否有缺陷6。方法：实时法、二次曝光法、时间平均法。优点： 激光全息干涉计量技术具有灵敏度高、检测速度快、不用探头接触 零件表面、不需要耦合剂、对构件的形状和表面状态无特殊要求、能全面直观显 示缺陷情况等优点，而且检测结果易

12、于保存。缺点：对环境要求十分苛刻，严格的防震性和避光性要求，加载条件也十分 严格，同时还具有银盐记录介质在实施全息干涉记录中无法记录瞬态连续变化等 问题。近期，于在实验室之外获得了更实际应用。国外现在常可在工业流水线上看 到全息系统。随着新技术、新材料的出现，全息检测技术终于在实验室之外获得 了更实际应用。国外现在常可在工业流水线上看到全息系统。另外，最近出现的热塑材料和机器观察必将促进全息检测的实用。热塑记录 材料使记录技术得列革新，记录后几秒钟即可原地显影，检测之后可擦除，而几 秒钟后又可重新使用。实验室的观察系统可用显微镜、照相机，长期观察则可用 闭路电视。以后随着图象处理技术的发展，将

13、可采用图象分析计算机来完成，同 一计算机也能用来控制机器人装卸检验部件。1.8 本章小结本章简单介绍激光在检测计量方面的具体应用，以及各种技术的优缺点和国 内外发展现状，现简单总结一下激光应用在检测计量方面的特点，以及国内外发 展现状。激光应用在检测计量方面的特点：1. 激光在相干性、单色性、方向性等方面的几个主要特点在检测技术中得到 普遍应用，优点得到充分的发挥；2. 激光用于检测，其可测参量之多，涉及面之广，为其它许多技术所不及；3. 激光检测技术在我国经过研究、开发，已逐步进入实用阶段,并深入科研、 国防及国民经济各领域；4. 激光检测技术还在进一步向高精度、高难度发展，前景无限，大有可

14、为。 国内激光检测计量技术的现状及发展：1. 利用相干法测长度及其它参量的技术，在我国是较为成熟的，浙江大学采 用激光干涉频比计。数法测量低频大振幅振动，与低频标准振动台配合，可用于 标定低频振动传感器的灵敏度及频响，也可用于测量其它正弦振动物体的振幅、 速度及加速度。2. 横向剪切干涉术在干涉仪中有广泛的应用前景。上海激光所通过理论分析 和实验验证,采用空间滤波技术，解决了光栅剪切干涉在高精度测试中存在的某 些问题，对于所选用的光栅取得了最佳的灵敏度。3. 在我国,利用激光的方向性进行检测,也有较长历史，近年来水平又有提高。4. 上海交大发展了一种激光动态测角系统，具有合理使用光能、抗千扰性

15、能 好、使用方便等特点，较之跟踪测角系统有更多功能。5. 现在除了广泛利用激光相干性、方向性等特性外，还注意利用激光偏振态 变化、以单色性为基础的高分辨率吸收光谱等特性，发挥它们在检测技术中的特 殊优点。国外激光检测技术的现状及发展：(1) 大部分激光检测系统能做到精度高，可靠性好，侧量速度快。有些高水 平的工作还在精益求精；(2) 检测系统的产品往往实现快,规格品种较全，结构紧凑、轻便，并注意多 功能；(3) 有些检测系统已直接配上计算机和自动显示系统,做到自动实时处理测量(4) 信息，分析试验数据并得出结果，做到测控兼能。(5) 应用面较广，许多系统已进入生产线，并取得显著经济效果，正吸引

16、着更多的用户。第2 章 激光超声2.1 定义及基本原理2.1.1 激光超声的定义激光超声是指脉冲激光所产生的脉冲超声。目前人们在努力研究利用激光干 涉仪来测量超声，所以有时又偶然把利用激光来产生超声和测量超声统称激光超 声。这里的激光是指脉冲激光，不指连续激光，也不指幅度调制的连续激光7。2.1.2 基本原理原理如图 l 所示。用从较远处发射脉冲激光轰击样品表面,使材料内部非接 触地产生超声振荡。由于超声波在固体中传播,并在固体几个表面之间来回反射, 使固体表面产生垂直于表面的位移。当用另一束稳频激光束照射到固体表面时, 其超声位移会使激光频率发生多普勒频移 ,被调制的激光经样品散射后 ,进入

17、干 涉仪,由干涉仪把加载在激光频率上的超声波信号重新解调出来 ,由光电探测器 接受后显示在示波器上或由其它处理仪分析处理 ,通过对波形的分析 ,就可以计 算出样品的厚度以及材料内部缺陷的大小和分布情况8。光电检测干涉仪幷 品示波赛Mt 激址图12.2 激光超声的应用近年来,国内外对激光超声进行了大量实验,尤其是德国、美国、加拿大等国 家对激光超声的研究比较先进。我们实验室从 1989 年开始进行了激光超声的研 究工作。已成功地用 YAG 脉冲激光器分别在铜、钢和铝质样品中激发出激光超声 脉冲并对激光超声在金属中的传播,样品的厚度以及材料的缺陷对激光超声的响 应等进行了初步研究。在接收方面除成功

18、地用压电换能器接收到激光超声外,还 研制了用光外差干涉仪和共焦法布里一珀罗干涉仪探测激光超声,并取得了一定 的进展,现简介如下:2.2.1 用压电换能器接收激光超声脉冲实验装置如图 7 所示。我们分别对铝、黄铜和钢样品投射激光脉冲,并且从 接收的波形中可以计量出样品的厚度,同时还进行了样品表面状态对激励超声脉 冲的影响、材料中人工缺陷对超声脉冲的影响等的研究。图7在实验中所用的激光波长1.06p m,脉宽10ns，单脉冲能量60mJ,光斑直径 4mm,接收器为20的5MHz压电探头，样品厚度为25mm,分别摄制了铝、钢、铜中 激光激励的超声脉冲的波形照片 ， 从照片中可知由于声速不同， 各个波

19、到达的时 间不同, 但都符合回波时间公式 t=l/c。2.2.2 用外差干涉仪接收激光超声脉冲实验装置如图8所示。我们采用光外差技术和一系列电子技术,对铝、铜和 钢样中的激光超声脉冲进行了非接触接收,并取得了初步结果。图82.2.3 用共焦法布里一泊罗干涉仪接收超声脉冲我们研制了一台用单片机稳定毛作点的共焦法布里一泊罗干涉仪并成功地 接收到铝样品中的超声脉冲信号。2.3 激光超声的优缺点和应用前景2.3.1 激光超声的优缺点激光超声有许多优点，如激光的光点小，光束容易移动和组成阵列，由此可 以在不平的表面上产生超声和扫动超声，而所产生的超声脉冲短、检测分辨率高。 激光超声最主要的优点是非接触检

20、测,它消除了压电换能器技术中的耦合剂的影 响,可用于各种较复杂形貌试样的特性检测,加上它又是一种频带宽的检测技术, 并能用光波波长为测量标准而精确测量超声位移,所以是一种极有应用前景的新 的无损检测技术9。但激光超声也有它的缺点：激光设备庞大复杂。2.3.2 应用前景计量标准：由于是非接触测量,对被测系统无影响,具有宽的频带、高的空间 分辨力和干涉仪共同作用，对光波波长绝对测量,其准确度较高,因此激光超声检 测系统适合于超声换能器和声发射换能器的计量标准。无损检测：因为激光技术对包括纵波、横波和表面波在内的整个超声波都是 灵敏的,所以它可以用来探测体内,表面和表面下的缺陷。由于激光超声检测可实

21、 现非接触式遥控检测 ,因此它特别适合恶劣环境下敏感表面产品和很小样品 ,如 微观焊接的无损检测。材料特性的检测：由于超声能透入金属内部,大多数需要测量的材料特性参 数不是影响超声速度,就是影响超声衰减,或者两者都影响,再加上激光超声的特 点,它有可能测量以下各项特性：(1) 材料的尺寸特性如厚度、高度等,用激光超声可提高测量薄片的能力，几 十微米厚的金属片,测量误差约2%。还可进行高温在线测厚。(2) 力学特性，如测量残余应力、弹性模量等。(3) 表面质量检测。第三章 激光全息干涉检测技术3.1 激光全息术的基本原理在全息技术(holography)这个词中，“holo”就是“全部完全的意思

22、”， “graphy”是指“记录的意思”。全息技术就是使用干涉技术不仅仅能够记录物 体光波的振幅而且也可以记录物体光波的相位信息。光波的振幅信息反映了光波 的强弱，而它的相位信息反应了光波传播时间的先后。当在一定的条件下照明这 个记录就可以再现物体的光波。从这个过程来看，就好像我们把波前信息“冻结” 在某种记录介质上，然后又把这些波前信息在一定条件下从全息图上“释放”出 来，这样即使物体不存在，我们也可以在一定条件下观察物光波就能看到物体的 三维像。全息技术分为两步：(1)将物光与参考光形成的干涉条纹记录在全息图上， 称为记录过程；(2)在一定条件下对全息图照明，再现物光波，该过程称为再现 过

23、程。全息图的记录过程 为了记录物体光波的相位，全息图的拍摄需要基于光波的干涉原理。全息图的记录光路如图 3.1图 3.1 全息图的记录光路Las ter:激光器；P：分光镜；Ml、M2：全反镜；LI、L2：扩束镜；O：物体；H： 全息底片由于激光的空间和时间相干性比较好，发散角小，能量集中，所以全息记 录最好的光源是激光器。激光器的发出的光束由分光镜一分为二，其中一束直接 照射在记录介质上，称为参考光束；另一束照射在被摄物体上，由物体散射的光 射到记录介质上，成为物光束。扩束镜将束扩大以便照明整个物体和记录介质， 并且尽可能使物光束与参考光照射在全息底片上产生干涉的光强相当。物光束与 参考光干

24、涉后形成密密麻麻的干涉条纹，这些条纹的密度和位置反应物体的各部 分散射光的相位变化，条纹的明暗对比度(即反差)则与散射光的强度对应。这 样就可将物体的全部信息记录下来，得到一张全息图。 设物光和参考光复振幅分别为：R(斗刃二尺(“)exp 肝盘(x,y)其中和及心-厂为物光和参考光的振幅,和小，丄为物光和 参考光的相位，物光和参考光在全息底片上干涉后的复振幅为A(x,y) = O(xiy) + R(xty)对应光强为：心刃二|0(叩)+ &斗卅=g + 町 + 20A cos0(x,y)-叫(和)由式(3-1)可知，全息图上记录了物光波的振幅项和相位项。其干涉以后的 光强分布是按余弦规律变化的

25、。全息图的再现从式(3-1)可知，全息图上记录的不仅仅有物光波的振幅项还记录了物光波 的相位项。为了能够再现物光波，我们就把全息图放回原光路的位置，再用原参 考光照射这张全息图，如图 3.2所示，当物光波被遮住时，从全息图上透射的光 波就有物光波。L第项第一项遮比板光胖图 3.2 全息图的再现光路T11T=a-bEE-lt图 3.3 振幅透过率和振幅量的关系设全息底片的振幅透过率为T,即透射振幅和入射振幅之比。通过实验可知， 振幅透过率T和全息底片的曝光量E成线性关系（其中曝光量E等于光强I和曝 光时间t的乘积），如图3.3所示。为计算方便设比例系数为1,则振幅透过率T可以写为：当参考光波照射

26、全息图后，透射光波的复振幅为：L 沖（3-2）将（1-1）代入（1-2）式得：/? =尺&斗鹰）exp（j叫丰用Qexpg）中用4即-、他-纲）”（ 3-3）这是对全息图再现后透射光波的基本方程。由式（3-3）可以看出，当用参考光照射全息图时，由于光栅衍射，从全息图 后可以观察到三种光波。其中，第一项为零级光波，即通过全息图后沿参考光方 向射出的光波；第二项代表沿原物光波方向再现的物光波，人眼可以观察到物体 的虚像；第三项为物光波的共轭光波，它可以在光屏上呈现出物体的实像。形成 物体的虚像和实像的两列光波分别是正负一级衍射波，它们的方向对称于零级衍 射光波10。3.2 激光全息干涉技术的应用3

27、.2.1 激光全息干涉技术原理 激光全息干涉计量技术进行无损检测，是把被检测物体在两种不同状态下 所显示的全息图进行比较。首先摄取一张被检测物体在不受外力作用下的全息 图，这个全息图反映了物体没有发生形变的表面轮廓。然后，使物体受力（如压 力、加热等）发生形变，再摄取一张全息图，此全息图反应了物体形变后的表面 轮廓。由于物体表面轮廓发生了变化，因此第 2 个全息图上的干涉条纹相对于第 一个全息图上的干涉条纹就发生了移动。用激光再现时时，除了再现出原来物体 的全息像外，还产生较为粗大的干涉条纹图样，即波纹图样。这是由于每一个全 息图显示的是被物体表面反射的物光波原来的波面，即两个相位和振幅不同的

28、波 面相干涉的结果。由于物体表面有一定的形状，所以在同样的外力作用下，物体 表面不同部位所发生的位移各不相同，因而各处所对应的干涉条纹的形状和间距 也不同。如果物体内部没有缺损，则干涉条纹的形状和间距的变化是连续的，与 物体外形轮廓的变化同步。如果物体内部有缺陷，则波纹图样在对应有缺陷的局 部地区出现不连续、突变的形状变化和间距变化。通过测算这些变化微差位 移，便可查明物体内部缺陷及其位置。全息干涉计量原理有多种变化形式，观察微差表面位移的方法有一次曝光 法（又称实时全息干涉）、二次曝光法和时间平均法。一次曝光法是先摄取一张 物体没有受力作用的全息图，再放回原位。然后利用该全息图观察在激光照射

29、下 的受力物体。这种方法要求把全息图精确复位，但由于在处理时，全息干版乳胶 不可避免地要发生皱缩，从而使再现波的位相相对于记录波发生了畸变。二次曝 光法是把处于两种不同应力状态下物体的两次全息图先后照在同一张全息底片 上，然后进行再现观察、分析。此种方法操作比较简单，也比较实用。时间平均 法是在物体处于振动时摄取全息图，曝光时间远远超过振动周期，相当于无数全 息图记录在同一张干板上。再现时，振动的节线和振幅的等值线会以干涉条纹的 形式表现出来。这种方法适宜于物体表面振动状态的分析，可用于轮机叶片、晶 体振子、扩音器等的检测。3.2.2 用激光全息干涉技术对文物进行检测我们用二次曝光法对文物进行

30、了检测。在对文物检测中，我们用加热的方法 使物体形变，光路如图 3.4 所示。图 3.5是检测结果。从图中我们可以明显看出 干涉条纹有错开现象，此处正是物体的裂纹处。图 3.4 全息检测光路图 3.5 全息再现的干涉条纹照片全息干涉计量可广泛应用于物体的检测，特别适用于对形状比较复杂的物 体进行检测。它作为一种检测技术，可测材料、工件的损伤缺陷、应力、形变等， 如对汽车轮胎和飞行器部件的监测，文物、艺术品的维修和检查等。由于全息图 像具有三维性质，所以利用全息技术，通过干涉计量的方法，使我们从许多不同 的观察角来考察一个形状和结构比较复杂的物体。全息干涉计量还可以对同一物 体在两个不同时刻进行

31、比较，因而可以探测物体在这段时间间隔内所发生的微形变和位移，准确度可达到光波波长数量级。利用脉冲激光光源，可以将同 一机械零件在静态和动态两种不同条件下的形态进行比较。还可以记录应力波在 介质中的传播，也可以抽样描述非稳态场的特性、建立过程。另外，可利用微机 处理技术将全息图进行数字处理11。 3.3激光全息干涉技术的优点及其局限3.3.1 全息技术的优点：（1）立体性：当用参考光照射全息图时，再现的物光波包含有物光波的振幅和 相位信息，所以我们观察到的物体是一个三维的像。（2）由于整张全息图布满了由物体上反射的物光和参考光，所以在全息图任意 小的一个地方都记录整个物体的信息。这样情况下，即使

32、全息图由破损，或者被 分割了，都不影响物体的再现，并且仍然是物体的完整像。（3）在同一张全息图上，我们保持物光波不变，而改变参考光的方向，就可以 记录几种不同的物光波，这个优点使全息技术可以用于信息存储。3.3.2 全息技术的局限性: 由于光敏元件的尺寸和分辨率不是很理想，所以该方法比较适合小变形物 体的测量，如果物体变形超出干涉范围的时候，以目前的技术就很难实现有效的 计量。现在随着科技的不断进步，光敏元件的分辨率不断地提高，计算机对文件 的处理能力不断加强，以及学者们的不断努力探索，在不远的将来激光全息干涉 技术一定具有更大的发展潜力和应用前景。3.4 本章小结本章主要讲述了激光全息术的基

33、本原理，分析了全息术中的记录过程和再 现过程。以对文物的检测为例，说明了激光全息干涉技术在计量检测方面的应用， 并且指明了激光全息干涉技术的优点以及其局限性。参考文献1 .陈家璧，彭润玲主编.激光原理及应用.北京：电子工业出版社,，20092 .叶声华主编.激光在精密测量中的应用.北京：机械工业出版社，19803 .蓝信钜等.激光技术.北京：科学出版社，20004 .中国矿业学院测量教研室编.激光测距仪.北京：煤炭工业出版社，19805 .应崇福.超声学.北京：科学出版社，19906 .曹汉强，朱光喜，朱耀庭等.激光全息技术的发展及应用.激光杂志，2001 第 22 卷，第 6 期7 .应崇福，激光超声的原理及其在固体中的应用.1996-06-24.8 .龚育良，白世武，俞为民,刘惠敏，计量新技术激光超声.1995-01-28.9 .钱梦騄，激光超声检测技术及其应用.2003.10 张建华，激光全息干涉检测技术.应用光学.2000.11 范美霞，数字实时全息法在岩石应力场测量中的应用.昆明理工大学 2009.